JPH0584416A - 可燃性揮発性有機化合物の回収方法 - Google Patents

可燃性揮発性有機化合物の回収方法

Info

Publication number
JPH0584416A
JPH0584416A JP3249314A JP24931491A JPH0584416A JP H0584416 A JPH0584416 A JP H0584416A JP 3249314 A JP3249314 A JP 3249314A JP 24931491 A JP24931491 A JP 24931491A JP H0584416 A JPH0584416 A JP H0584416A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
nitrogen
organic compound
adsorption tower
adsorption
oxygen
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP3249314A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3068272B2 (ja
Inventor
Jun Izumi
順 泉
Takashi Morimoto
敬 森本
Akinori Yasutake
昭典 安武
Hiroyuki Tsutaya
博之 蔦谷
Hiroshi Nohara
博 野原
Yasuyoshi Ishizaki
安良 石崎
Kazumi Takeda
和三 武田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Heavy Industries Ltd filed Critical Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority to JP3249314A priority Critical patent/JP3068272B2/ja
Publication of JPH0584416A publication Critical patent/JPH0584416A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3068272B2 publication Critical patent/JP3068272B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Treating Waste Gases (AREA)
  • Separation Of Gases By Adsorption (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 可燃性揮発性有機化合物に爆発限界を越える
ような酸素の混入を防止して高濃度の上記有機化合物を
効率的に回収する方法を提供しようとするものである。 【構成】 可燃性揮発性有機化合物吸着剤で上記有機化
合物を吸着し、窒素と酸素を上記吸着塔外に排出する吸
着工程と、上記流体と並流に窒素を流して吸着塔内に滞
留する酸素を掃気する並流パージ工程と、上記流体に対
して向流に吸着塔を減圧し、続いて、同じ方向に窒素を
流して上記有機化合物を回収する減圧向流パージ再生工
程とを有する可燃性揮発性有機化合物の回収方法であ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、有機化学工業等のプロ
セスから放出される空気などのプロセスオフガスからケ
トン、アルデヒド、アルコール、芳香族化合物、オレフ
ィン等の可燃性揮発性有機化合物を回収する方法に関す
る。
【0002】
【従来の技術】図3は、従来の塩化メチレン(CH2
2)を圧力スイング吸着法(PSA法)で回収する装置
のフローシートである。塩化メチレンを5000ppm
含有する空気(プロセスオフガス)1をブロア2で11
atmに加圧して流路3を経てバルブ4aから吸着塔5
aに供給する。吸着塔5aに充填されたNa−X型ゼオ
ライト6は、塩化メチレンを吸着し、塔頂出口からバル
ブ7a及び流路8を経て、塩化メチレン濃度を100p
pm以下に低下させた空気を系外に放出する。吸着塔5
bは、塩化メチレンの吸着帯の先端が塔頂出口近くまで
移動した状態にあり、バルブ11bを開放して真空ポン
プ12で減圧し、最高真空度に達した後、バルブ15b
を開放して吸着工程にある吸着塔5aからの流出ガス
(塩化メチレンを実質的に含まない空気)を逆止弁10
を介して導入し、向流パージして塩化メチレンを吸着剤
から脱着し、真空ポンプ12及び流路16を経てチラー
29に供給し、平衡蒸気圧分の塩化メチレン30を凝縮
して回収する。未凝縮ガスは流路31を経てブロワ2に
戻される。
【0003】脱着時の塩化メチレンの濃度C2 はSka
rstrom則に従って下記式で表すことができる。 C2 =kC0(Pa/Pd) 但し、C0 :入口濃度,Pa:吸着圧力,Pd:再生圧
力,kは1.2〜1.5の範囲にある。ここで、塩化メ
チレンは、ブロワ2、吸着塔5a,5b,真空ポンプ1
2,さらにブロワ2という閉鎖系にあるため系外に流出
することもなく、高濃度まで濃縮され、チラー29にお
いて高効率で回収される。上記のPSA法は、次の特徴
を有している。 比較的高濃度の有機化合物を効率的に回収することが
できる。 高温操作がないため、揮発性有機化合物や吸着剤の劣
化がない。 乾式分離法のため、排水処理等の二次汚染がない。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のPSA
法で可燃性有機化合物を回収しようとすると次のような
問題が生ずる。即ち、吸着工程で被処理ガス中の酸素を
完全に排出することができず、塔内の空隙部に残留す
る。この残留酸素が、濃縮された可燃性有機化合物とと
もに向流パージガスに随伴されて流出するため、真空ポ
ンプの後流で爆発限界を越える危険性がある。そこで、
本発明は、上記の問題点を解消し、酸素を実質的に除去
した状態で可燃性揮発性有機化合物を効率的に回収する
方法を提供しようとするものである。また、本発明は、
上記回収方法で使用するパージガスとして、系内で分離
回収した窒素を利用する方法を提供しようとするもので
ある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、可燃性揮発性
有機化合物吸着剤を充填した第1の吸着塔に、上記有機
化合物、酸素及び窒素を含有する流体を供給して上記有
機化合物を吸着し、窒素及び酸素を上記吸着塔外に排出
する吸着工程と、次いで、上記流体と並流に窒素を流し
て上記吸着塔内に滞留する酸素を掃気する並流パージ工
程と、さらに、上記流体に対して向流に上記吸着塔を減
圧し、続いて、同じ方向に窒素を流して上記有機化合物
を回収する減圧向流パージ再生工程とを有することを特
徴とする可燃性揮発性有機化合物の回収方法である。
【0006】なお、上記回収方法において、上記減圧向
流パージ再生工程で回収した上記有機化合物と窒素の混
合ガスを、上記有機化合物吸着剤を充填した第2の吸着
塔に供給して上記有機化合物を吸着し、窒素を上記吸着
塔外に排出し、次いで、上記混合ガスに対して向流に上
記吸着塔を減圧し、続いて、同じ方向に窒素を流して上
記有機化合物を回収するとともに、第2の吸着塔の吸着
工程で排出された窒素をホルダに貯め、第1の吸着塔の
並流パージ工程、減圧向流パージ再生工程、及び、第2
の吸着塔の減圧向流パージ再生工程におけるパージガス
として上記窒素を使用することが好ましい。
【0007】また、比較的多量の水分を含有する被処理
ガスから可燃性揮発性有機化合物を回収する場合は、上
記有機化合物吸着剤を充填した第1の吸着塔に、上記有
機化合物、酸素、窒素及び水分を含有する流体を供給し
て上記有機化合物を吸着し、酸素、窒素及び水分を第1
の吸着塔外に排出し、この排出ガスを水分吸着剤と窒素
吸着剤を順次積層充填した第3の吸着塔に供給してそれ
ぞれの吸着層に水分と窒素を吸着し、酸素を第3の吸着
塔から排出する吸着工程と、次いで、上記流体と並流に
窒素を流して第1の吸着塔内に滞留する酸素を掃気して
系外に直接排出する並流パージ工程と、さらに、第3の
吸着塔と連通した第1の吸着塔を真空ポンプで吸引して
向流に減圧し、第3の吸着塔から脱着する窒素及び水分
で第1の吸着塔を向流パージし、上記有機化合物を回収
する減圧向流パージ再生工程とを採用することにより、
上記パージガスを内製することが好ましい。
【0008】
【作用】PSA法で可燃性揮発性有機化合物を回収する
ときに、濃縮可燃性揮発性有機化合物中に酸素が混入す
ると爆発の危険性がある。そこで、本発明では吸着工程
で塔内に残留する酸素を窒素で並流パージし、かつ、減
圧向流パージ再生工程のパージガスにも窒素を使用する
ことにより、上記酸素の混入を実質的に防止することが
できた。また、PSA法で分離回収する窒素を上記の並
流パージ、及び、減圧向流パージに使用することができ
るので、可燃性揮発性有機化合物の回収コストを大幅に
低減することが可能となった。
【0009】図1は、本発明を実施するためのPSA装
置の1例であり、上記有機化合物を濃縮し、かつ、酸素
を除去するための吸着塔5a,5b,5cと、パージガ
スとして使用する窒素を上記有機化合物から分離回収
し、上記有機化合物をさらに濃縮するための吸着塔19
a,19bを設け、まず、吸着工程にある吸着塔5aの
前後のバルブ4a,7aを開放し、ブロワ2で上記有機
化合物を含有する空気(プロセスオフガス)1を流路3
を経て吸着塔5aに供給し、吸着剤5aに上記有機化合
物を吸着させ、窒素と酸素を流路8から塔外に排出す
る。その間、並流パージ工程にある吸着塔5bの前後の
バルブ10b,7bを開放し、窒素ホルダ22から流路
9を経て吸着塔5bに窒素を流し、吸着塔5b内に滞留
している酸素を並流パージして流路8から塔外に排出す
る。そして、再生工程にある吸着塔5cは、まず、バル
ブ11cのみを開放して真空ポンプ12により所定の圧
力まで減圧し、次いで、バルブ15cを開放して窒素ホ
ルダ22から窒素を、減圧弁14及び流路13を経て吸
着塔5cに供給して向流パージし、上記有機化合物を脱
着する。上記のバルブを切り換えることにより、吸着塔
5a,5b,5cを吸着工程から並流パージ工程、再生
工程に順次移行させ、連続的なガス分離を行う。
【0010】一方、再生工程の吸着塔5cから回収した
濃縮可燃性揮発性有機化合物は、後段の吸着塔19でパ
ージガスの窒素を分離する。吸着工程にある吸着塔19
aの前後のバルブ17a,20aを開放し、吸着塔5c
からの回収ガスを供給し、上記有機化合物を吸着剤18
に吸着させ、窒素を塔頂より流路21を経て窒素ホルダ
22に貯める。他方、再生工程にある吸着塔19bは、
まず、バルブ23bを開放して真空ポンプ24で所定圧
まで減圧し、次いで、吸着塔19aから流出する窒素を
回収して、流路25及び減圧弁26を経て吸着塔19b
に導入して向流パージし、上記有機化合物を脱着する。
脱着された上記有機化合物は、真空ポンプ24及び流路
28を経てチラー29に導入され、上記有機化合物を凝
縮分離し流路30より回収する。未凝縮ガスは流路31
より、上記の回収ガスの流路16に戻すため、上記有機
化合物のガスを系外に流出させることはない。なお、前
段の吸着塔及び後段の吸着塔のパージガスとして使用す
る窒素が、系内で全て回収できないときは、系外から流
路37を介して窒素ホルダに補給する。
【0011】前段の吸着塔に充填する吸着剤は、可燃性
揮発性有機化合物を吸着し、必要に応じて窒素も同時に
吸着し、酸素を吸着しないものであればその種類を問わ
ないが、具体的には、Na−X型ゼオライト、シリカラ
イト、スチレン系ハイポーラスポリマ等を使用すること
ができる。なお、シリカライトはNa−X型ゼオライト
の30%の吸着剤量で済むので、特に適している。ま
た、後段の吸着塔の吸着剤は、可燃性揮発性有機化合物
を優先的に吸着するものであればその種類を問わない
が、具体的には、Na−X型ゼオライト、シリカライト
等を使用することができる。
【0012】図1のPSA装置は、プロセスオフガス中
の水分濃度が高くなると、前段の吸着塔において可燃性
揮発性有機化合物に次いで水分が優先的に吸着されるた
め、窒素の吸着量が少なくなり、後段の吸着塔で分離回
収する窒素では、前後段の吸着塔のパージガスを十分に
賄うことができない。図2のPSA装置は、図1の装置
を一部変更してパージガス用の窒素を確保できるように
したものである。前段の各吸着塔の塔頂に活性アルミナ
等の水分吸着剤32及びNa−X型ゼオライト等の窒素
吸着剤33を積層充填した吸着塔34a,34b,34
cを、バルブ35a,35b,35cを介して接続し、
吸着工程にある吸着塔5aからの流出ガスを吸着塔34
aに導入して水分吸着剤32で水分を吸着した後、窒素
吸着剤33で窒素を吸着保持し、その他のガスは流路8
から排出する。並流パージ工程の吸着塔5bには窒素ホ
ルダ22からの窒素を、流路9を経て並流に流して塔内
に滞留する酸素をパージし、塔頂から流路8を経て系外
に直接排出する。再生工程の吸着塔5cはバルブ35c
を開放することにより吸着塔34cと連通させ、真空ポ
ンプ12で減圧することにより吸着塔34cに吸着され
ていた水分と窒素を脱着し、この水分と窒素により吸着
塔5cを向流でパージして上記有機化合物を脱着し、後
段の吸着塔19に導入して上記有機化合物を回収し、チ
ラー29で凝縮して液状の有機化合物を得る。後段の吸
着塔以降の操作は図1と同じであるから説明を省略す
る。
【0013】
【実施例】
(実施例1)図1のPSA装置を用いて、トルエン、メ
チルエチルケトン、シクロヘキサノンをそれぞれ100
0ppm含有し、残りが空気である工場排気ガスから上
記有機化合物を回収した。前段の各吸着塔にはNa−X
型ゼオライトを0.5ton充填し、後段の各吸着塔に
はシリカライトを100kg充填した。上記工場排気ガ
スはブロワで1.05atmに加圧し、温度40℃で3
000Nm3/hの流量で吸着工程の吸着塔に供給し、上
記有機化合物、水分、二酸化炭素を吸着した後窒素の一
部を吸着し、窒素の残部と酸素を塔外に流出させた。こ
の間、並流パージ工程の吸着塔には窒素ホルダからの窒
素を30Nm3/hで供給して、塔内に残留する酸素と置
換し、酸素を系外に放出した。再生工程の吸着塔は、真
空ポンプで0.1atm以下に減圧し、次いで、窒素ホ
ルダからの窒素を減圧弁を介して向流パージに使用して
上記有機化合物の濃縮ガスを回収した。この回収ガス
は、上記並流パージにより当初の酸素濃度を1vol%
とし、その後はさらに低下させたので、爆発の危険性は
なかった。この回収ガス中の上記有機化合物の濃度は3
vol%以上であった。なお、上記並流パージの窒素ガ
ス流量を10Nm3/hで供給すると、回収ガス中の酸素
濃度は5vol%であり、20Nm3/hで供給すると、
回収ガス中の酸素濃度は2vol%であり、30Nm3/
hで供給して初めて、回収ガス中の酸素濃度を1vol
%以下に抑えることができた。
【0014】前段の吸着塔に付設した真空ポンプで回収
されたガスは、チラーからの未凝縮ガスとともに後段の
吸着工程にある吸着塔に供給され、上記有機化合物を吸
着し、窒素は塔頂より流出させて窒素ホルダに貯留し
た。再生工程の吸着塔は、真空ポンプで0.1atm以
下に減圧し、次いで、窒素ホルダからの窒素を減圧弁を
介して向流パージに使用し、上記有機化合物を脱着して
チラーに導入し、過飽和分の上記有機化合物を凝縮して
約30vol%まで濃縮して回収した。未凝縮ガスは吸
着工程に戻すため、95%以上の高い回収率を得ること
ができた。なお、後段の吸着塔の吸着工程で分離回収さ
れ、窒素ホルダに貯められた窒素は、前段の吸着塔の並
流パージ工程で約20%が使用され、系外に放出される
ので、不足分を窒素ホルダに補充した。上記の吸着操作
のシーケンスは図4の通りであり、工場排気ガスの供
給、可燃性揮発性有機化合物の回収を全て連続操作で行
った。なお、図4中、サイクルタイムの単位は秒であ
る。
【0015】
【発明の効果】本発明は、上記構成を採用することによ
り、可燃性揮発性有機化合物に爆発限界を越えるような
酸素の混入を防止し、高濃度の上記有機化合物を効率的
に回収することができ、かつ、PSA装置内で回収した
窒素をパージガスとして利用することができ、また、水
分量の多い被処理ガスについては水分吸着層及び窒素吸
着層を備えた吸着塔を付加することにより、パージガス
の確保を容易にした。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を実施するためのPSA装置のフローシ
ートであり、プロセスオフガス等から可燃性揮発性有機
化合物を回収するためのものである。
【図2】本発明を実施するためのPSA装置のフローシ
ートであり、水分含有量の多いプロセスオフガス等から
可燃性揮発性有機化合物を回収するためのものである。
【図3】従来の可燃性揮発性有機化合物の回収装置のフ
ローシートである。
【図4】実施例における吸着操作のシーケンスを示した
説明図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 蔦谷 博之 長崎市飽の浦1番1号 三菱重工業株式会 社長崎研究所内 (72)発明者 野原 博 長崎市飽の浦1番1号 三菱重工業株式会 社長崎造船所内 (72)発明者 石崎 安良 長崎市飽の浦1番1号 三菱重工業株式会 社長崎研究所内 (72)発明者 武田 和三 長崎市飽の浦1番1号 三菱重工業株式会 社長崎造船所内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 可燃性揮発性有機化合物吸着剤を充填し
    た第1の吸着塔に、上記有機化合物、酸素及び窒素を含
    有する流体を供給して上記有機化合物を吸着し、窒素及
    び酸素を上記吸着塔外に排出する吸着工程と、次いで、
    上記流体と並流に窒素を流して上記吸着塔内に滞留する
    酸素を掃気する並流パージ工程と、さらに、上記流体に
    対して向流に上記吸着塔を減圧し、続いて、同じ方向に
    窒素を流して上記有機化合物を回収する減圧向流パージ
    再生工程とを有することを特徴とする可燃性揮発性有機
    化合物の回収方法。
  2. 【請求項2】 上記減圧向流パージ再生工程で回収した
    上記有機化合物と窒素の混合ガスを、上記有機化合物の
    吸着剤を充填した第2の吸着塔に供給して上記有機化合
    物を吸着し、窒素を上記吸着塔外に排出する吸着工程
    と、次いで、上記混合ガスに対して向流に上記吸着塔を
    減圧し、続いて、同じ方向に窒素を流して上記有機化合
    物を回収する減圧向流パージ再生工程とを有し、かつ、
    第2の吸着塔の吸着工程で排出された窒素を、第1の吸
    着塔の並流パージ工程、減圧向流パージ再生工程、並び
    に、第2の吸着塔の減圧向流パージ再生工程におけるパ
    ージガスとして使用することを特徴とする請求項1記載
    の可燃性揮発性有機化合物の回収方法。
  3. 【請求項3】 可燃性揮発性有機化合物吸着剤を充填し
    た第1の吸着塔に上記有機化合物、酸素、窒素及び水分
    を含有する流体を供給して上記有機化合物を吸着し、酸
    素、窒素及び水分を第1の吸着塔外に排出し、この排出
    ガスを水分吸着剤と窒素吸着剤を順次積層充填した第3
    の吸着塔に供給してそれぞれの吸着層に水分と窒素を吸
    着し、酸素を第3の吸着塔から排出する吸着工程と、次
    いで、上記流体と並流に窒素を流して第1の吸着塔内に
    滞留する酸素を掃気して系外に直接排出する並流パージ
    工程と、さらに、第3の吸着塔と連通した第1の吸着塔
    を真空ポンプで吸引して向流に減圧し、第3の吸着塔か
    ら脱着する窒素及び水分で第1の吸着塔を向流パージ
    し、上記有機化合物を回収する減圧向流パージ再生工程
    とを有することを特徴とする可燃性揮発性有機化合物の
    回収方法。
JP3249314A 1991-09-27 1991-09-27 可燃性揮発性有機化合物の回収方法 Expired - Fee Related JP3068272B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3249314A JP3068272B2 (ja) 1991-09-27 1991-09-27 可燃性揮発性有機化合物の回収方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3249314A JP3068272B2 (ja) 1991-09-27 1991-09-27 可燃性揮発性有機化合物の回収方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0584416A true JPH0584416A (ja) 1993-04-06
JP3068272B2 JP3068272B2 (ja) 2000-07-24

Family

ID=17191154

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3249314A Expired - Fee Related JP3068272B2 (ja) 1991-09-27 1991-09-27 可燃性揮発性有機化合物の回収方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3068272B2 (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100728451B1 (ko) * 2004-12-22 2007-06-13 미츠비시덴키 가부시키가이샤 가스 상태 탄화수소의 처리 및 회수 장치
KR100812663B1 (ko) * 2007-06-08 2008-03-14 (주) 에이스엔 흡착관을 이용한 악취 및 voc 시료 포집 장치
JP2011062645A (ja) * 2009-09-17 2011-03-31 Toyobo Co Ltd 有機溶剤含有ガス回収処理システム
WO2020158442A1 (ja) * 2019-01-31 2020-08-06 東洋紡株式会社 有機溶剤回収システム
JP2020525515A (ja) * 2017-07-03 2020-08-27 コベストロ、ドイチュラント、アクチエンゲゼルシャフトCovestro Deutschland Ag H官能性反応物をホスゲンと反応させて化学製品を製造するための製造施設およびその稼働方法

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100728451B1 (ko) * 2004-12-22 2007-06-13 미츠비시덴키 가부시키가이샤 가스 상태 탄화수소의 처리 및 회수 장치
KR100812663B1 (ko) * 2007-06-08 2008-03-14 (주) 에이스엔 흡착관을 이용한 악취 및 voc 시료 포집 장치
JP2011062645A (ja) * 2009-09-17 2011-03-31 Toyobo Co Ltd 有機溶剤含有ガス回収処理システム
JP2020525515A (ja) * 2017-07-03 2020-08-27 コベストロ、ドイチュラント、アクチエンゲゼルシャフトCovestro Deutschland Ag H官能性反応物をホスゲンと反応させて化学製品を製造するための製造施設およびその稼働方法
WO2020158442A1 (ja) * 2019-01-31 2020-08-06 東洋紡株式会社 有機溶剤回収システム
JPWO2020158442A1 (ja) * 2019-01-31 2020-08-06
CN113365718A (zh) * 2019-01-31 2021-09-07 东洋纺株式会社 有机溶剂回收系统
CN113365718B (zh) * 2019-01-31 2023-07-25 东洋纺株式会社 有机溶剂回收系统

Also Published As

Publication number Publication date
JP3068272B2 (ja) 2000-07-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2744596B2 (ja) 供給ガス混合物の比較的吸着力の弱い成分から比較的吸着力の強い成分を選択的に分離する方法
FI85953C (fi) Foerfarande foer framstaellning av en syreprodukt med en renhetsgrad av 95% fraon omgivande luft.
KR101686085B1 (ko) 흡착 작업으로부터 nf3를 회수하는 방법
US5620501A (en) Recovery of trace gases from gas streams
US5415682A (en) Process for the removal of volatile organic compounds from a fluid stream
US4842621A (en) Recovery process
JPS6137968B2 (ja)
JPH02157013A (ja) 膜劣化の防止
JPH0244569B2 (ja)
JPH0250041B2 (ja)
JPH0257972B2 (ja)
WO2009116671A1 (ja) 高炉ガスの分離方法および装置
JP3921203B2 (ja) ガス分離方法および装置
US6017382A (en) Method of processing semiconductor manufacturing exhaust gases
US5512082A (en) Process for the removal of volatile organic compounds from a fluid stream
JPS6297637A (ja) 炭素質材料の酸化方法及び装置
US5626033A (en) Process for the recovery of perfluorinated compounds
JP3169647B2 (ja) プレッシャースイング式吸着方法および吸着装置
JP3068272B2 (ja) 可燃性揮発性有機化合物の回収方法
JP2007160163A (ja) 揮発性易吸着性成分及び難吸着性成分を含有する溶液から吸着剤を利用して揮発性易吸着性成分と難吸着性成分とを分離する方法
US5503658A (en) Process for the removal of volatile organic compounds from a fluid stream
JP2994843B2 (ja) 低濃度二酸化炭素の回収方法
JP2999050B2 (ja) 低濃度硫化水素の回収方法
JPS60819A (ja) 吸着法を使用して一酸化炭素を含む混合ガス中の二酸化炭素を分離・除去する方法
JPH05337323A (ja) 溶剤の回収方法

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19991214

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20000418

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees