JPH0257972B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

本発明は、混合ガスから高純度のガスを分離す
るための、主吸着床とシリーズになつている補助
吸着床を有する改善された圧力スイング吸着方法
および装置に関するものである。 混合ガス、すなわち分子の大きさが異なる少な
くとも２成分を主に含む空気およびその他の混合
ガスは、圧力スイング吸着によつて分離できるこ
とが一般に知られている。一或いは二以上の成分
が選択的に吸着されるように混合ガスを加圧（吸
着圧）下で吸着剤カラム内を通過させることによ
つてガス分離が行われる。この選択性は、吸着剤
の細孔サイズの分布と、特定の成分に対する適当
な細孔サイズの細孔容積によつて支配される。こ
の方法においては、細孔サイズより小さいか等し
い動的直径を有するガス分子が吸着剤に保持され
るか吸着され、他方それより直径が大きい分子は
カラムを通過する。 吸着剤は分子の大きさによつてガスをふるう
が、吸着剤の細孔系内へのガス成分の拡散速度の
差によつても混合ガスを分離することができる。
従つて、圧力スイング吸着を利用して濃縮された
ガスまたは高純度のガスを得る方法として上記の
２方法が本発明の範囲に属することになる。 典型的な例として、圧力スイング吸着装置は、
一つのカラムが再生され、他のカラムが吸着して
いるように少なくとも２基の吸着剤のカラムを含
むものである。再生と吸着の間の相互補足的な循
環操作は、吸着カラムから出て来るガスが、カラ
ムに入るガスの吸着される成分の希望する組成を
超えた時に行われる。この点が「破過点」
（break through point）として知られている。
「破過点」に達すると、操作段階は吸着から再生
に切り換えられる。吸着剤カラムの循環操作を行
うことにより、濃縮生成ガスがほぼ一定に流れ出
ることになる。米国特許第4.376640号および英国
特許第2018153号がかゝる装置の例として挙げら
れる。 濃縮ガスの純度を99.9％以上にするため、吸着
操作段階にある吸着カラムの数を１基以上使用す
ることが開示されている。かゝるカラムとして10
基までのものが提案されているが、追加の設備や
消費エネルギーに伴なう付随のコストが高く、純
度の向上では相殺できない。メタン、酸素、窒
素、アルゴンその他を含有する種々のガスの分離
のため多くの方式が提案されている。 モレキユラーシーブ炭素を利用した吸着法によ
り空気から窒素濃縮ガスを得ることは公知であ
る。例えばユントゲン（Juntgen）らの米国特許
第4264339号には、窒素濃縮ガスの製造に２基の
同じ大きさのカラムを用いる吸着方法について記
載されている。この方法では、２基のカラムの間
の、頂部から底部にわたる圧力の均等化が用いら
れている。 モレキユラーシーブ炭素を用いた４カラム圧力
スイング吸着装置が、空気から酸素と窒素を分離
するのに使用されている。例えばヴオ（Vo）の
米国特許第4376639号および第4376640号を参照さ
れたい。これら４カラム方式においては、２基の
カラムが直列に配列されており、高圧製品ガス発
生段階または低圧再生段階中は単一吸着ゾーンと
して作動している。第２の直列に連結されている
２基のカラム吸着ゾーンの第２炭素カラムから出
てくるガスを、この第２の吸着ゾーンの第２炭素
カラムの入口を通じて混合ガスを供給し続けなが
ら、その入口に導入することによつて１基の吸着
ゾーンの圧力回復が行われている。 二酸化炭素、一酸化炭素、水およびメタンとの
混合ガスから水素ガスを分離するために、４カラ
ム圧力スイング吸着装置を用いて成功している。
ワグナー（Wagner）の米国特許第3430418号を
参照されたい。この４カラム装置のカラムは並列
に配列され、各操作において同一機能を果してい
る。 典型的な例として、現在のモレキユラーシーブ
技術は、製品ガスの収率が低く、多量のモレキユ
ラーシーブが必要となる。さらに先行技術はその
再生エネルギー効率が不十分な方法である。 従つて、本発明の目的は、コスト効率が良く、
簡単な方法により濃縮ガスの収率を向上させるこ
とにある。さらに本発明の目的は、先行技術で付
髄した高価な設備を使用することなく、簡単な方
法でガス純度を向上させる方法ならびに装置を提
供することにある。 本発明は、直列に連結された主吸着床と補助吸
着床を夫々含む少なくとも第１吸着ゾーンと第２
吸着ゾーンとからなる吸着系を利用することによ
り、類似の複数床吸着法に対して重要な利点を提
供するものである。（主「吸着床」および補助
「吸着床」として記載しているが、主吸着床（ベ
ツド）および補助吸着床（ベツド）はともに、そ
れらベツド間に制御可能な入口及び出口手段を設
けることにより単一のカラム内に物理的に収容し
たものでもよいと理解されるべきである。）夫々
の床はガス分子を選択的に吸着するためモレキユ
ラーシーブ、好ましくは炭素を含んでいる。吸着
ゾーンは、その１基が吸着段階にある時は、付随
している相補ゾーンは再生段階にあるというよう
に、相補ゾーンと相互に補足的段階に操作され
る。このために、濃縮されたガス製品はほゞ連続
的に供給されることになる。この点に関しては、
本発明は米国特許第4376639号および第4376640号
と類似している。しかしながら、両者の方法には
重大な差異が存在している。 本発明の濃縮ガス流を生成させる方法は、濃縮
されるべきガスを含有する混合ガスを、少なくと
も第１吸着ゾーンを順流方向かつ直列的に、すな
わち先ず主吸着床を、ついで補助吸着床を、加圧
下で貯蔵しうる濃縮ガス流を生成するため、約
1.01×10⁵〜200×10⁵Paの圧力で通過させる段階
的なサイクルを含むものである。 破過に先立つて、混合ガスの流れを止め、その
直後に (i) 該第１吸着ゾーンの補助吸着床の出口と前記
の第２吸着ゾーンの主吸着床の出口の間を連通
して等圧化し、同時に第１吸着ゾーンの主吸着
床の入口と第２吸着ゾーンの主吸着床の入口の
間を連通して等圧化するとほぼ同時に； (ii) 第２吸着ゾーンの補助吸着床を前記の濃縮ガ
スによつて該ゾーンの主吸着床の圧力にほゞ等
しくなるように加圧する； ことによつて、第１吸着ゾーン内の圧力と第２す
なわち相補吸着ゾーン内の圧力とを等圧化する。 第１吸着ゾーンの再生は、第１吸着ゾーンを向
流的に大気圧に開放し、その後、第１ゾーンの補
助吸着床の出口から少量の濃縮製品ガスを導入し
て第１吸着ゾーンを向流的にパージすることによ
り行う。同時に第２すなわち相補ゾーンは主吸着
床の入口からガスを供給して吸着圧にまで再加圧
し、製品生成を開始する。ついで第１吸着ゾーン
の主吸着床の圧力を第２吸着ゾーンの圧力と同一
にする。前記の第１ゾーンの補助吸着床は、貯蔵
されている濃縮製品ガス、または３基以上の吸着
ゾーンを有する装置においては吸着段階にある他
の吸着ゾーンの主吸着床からのガスによつて加圧
される。少なくとも２基の吸着ゾーンの夫々につ
いて一循環の各段階が繰り返される。先行技術に
おけると同様、真空再生を利用することによつて
収率を向上させることができる。 本発明の利点は、付属の図面とともに以下の詳
細な現在での好ましい実施態様の記載によりさら
に明確となるであろう。 本発明を第１図により説明すると、本発明は第
１吸着ゾーンＡと第２吸着ゾーンＢを含んでい
る。第１ゾーンＡは主吸着床A′と補助吸着床
A″から構成されている。本発明の現在での好ま
しい実施態様は２基のゾーンから成る系である
が、３基、４基、５基等のゾーンのような２基よ
り多いゾーンから成る系も等しく実施可能であ
る。ゾーンが追加されゝば最終製品の純度は向上
するが、その製品に伴うコストも増大する。 これら各吸着床には分離すべきガス成分に適合
した吸着剤、好ましくは炭素モレキユラーシーブ
が含まれる。本発明の吸着剤としては、天然およ
び合成ゼオライトモレキユラーシーブ、活性炭、
シリカゲル、活性アルミナおよびけいそう土のよ
うな他の吸着剤もまた使用することができる。こ
れらの吸着剤は、空気からの酸素の分離、アルゴ
ンからの酸素の分離、炭化水素からのメタン、二
酸化炭素、水分、水素の分離、および炭化水素か
らの硫化水素、二酸化炭素の分離に用いられる。
前述の炭素モレキユラーシーブは空気から窒素を
分離するのに用いられる。 一般に炭素モレキユラーシーブは、その製造過
程中に形成される制御された細孔構造を有してい
る。この細孔構造は異つた分子の大きさのガスを
識別し、従つて分離することができる。本法で有
用な炭素モレキユラーシーブは、参考としてここ
に組み入れた米国特許第4124529号に記載されて
いる。しかしながら一般に、本発明においては、
分子の大きさまたは拡散速度の差によつて混合ガ
スから１もしくはそれ以上の成分を分離すること
ができればいかなる吸着剤であつても特定のガス
の分離に採用することができる。 第１吸着ゾーンＡに関連して記載したように、
第２すなわち相補吸着ゾーンＢは主吸着床B′と
補助吸着床B″を含んでいる。第１ゾーンＡおよ
び第２ゾーンＢは夫々バルブ１１および１２、な
らびに付属のガスパイプを含む混合ガス供給手段
を通して混合ガスと接続している。第１吸着ゾー
ンＡが濃縮ガス流の生成に用いられている場合
は、第２吸着ゾーンＢはその後の吸着段階での使
用に備えて再生されている。第１ゾーンと第２ゾ
ーン間で交替が行われることによつて、窒素、メ
タン、酸素、水素等の濃縮製品ガスをほゞ連続流
として供給することができる。 空気のような分離すべきガスは、加圧下例えば
1.01×10⁵〜20×10⁵Pa、ある種の適用においては
200×10⁵Paまでの圧力で、バルブ１１を経由し
て主吸着床A′の入口から第１吸着ゾーンＡに導
入される。導入されたガスは、主吸着床A′を通
つて順流的に、バルブ１８を含む第２ガス移送手
段を経由して補助吸着床A″に流れる。濃縮され
た製品ガスは、補助吸着床A″からバルブ２２を
含む第１ガス移送手段を経由して出て行き、製品
タンク３０に加圧下で貯蔵される。破過時点、好
ましくはその前に、ガスの流れを中断し、第１ゾ
ーンＡの圧力を、第２吸着ゾーンＢの主吸着床
B′内の圧力と同一にする。 上記の圧力を同一にするため、バルブ１１，１
９および２２を閉じ、補助吸着床A″の出口から
第２吸着ゾーンの主吸着床B′の出口へ、第３ガ
ス移送手段に含まれる逆止弁２４とバルブ１７を
経由してガスが流される。第３ガス移送手段は逆
止弁２５、バルブ１６ならびに相互連絡ガスライ
ン５０をも含んでいる。上記の流れと同時にガス
はまた主吸着床A′の入口か主吸着床B′の入口へ
このために開かれたバルブ１５を経由して流れ
る。同時に、バルブ２１が開かれて製品ガスが補
助吸着床B″に入つて補助吸着床B″を加圧し、主
吸着床B′の圧力に近づけるか好ましくは同一に
する。 ついで第４ガス移送手段（バルブ１４も含まれ
ている）のバルブ１３を開き、第１吸着ゾーンＡ
を向流的に大気圧へ開放する。続いて少量の製品
ガスを補助吸着床A″の出口を通じて補助吸着床
A″と主吸着床A′に流し、モレキユラーシーブに
吸着しているガスをパージする。その後、主吸着
床A′をB′とB″と等圧にし、A″はタンク３０から
の製品ガスで加圧して第１吸着ゾーンＡを次の吸
着段階に備える。その後第２吸着ゾーンＢを上述
の各段階にしたがつて再生段階に移行させ第１ゾ
ーンＡを供給される混合ガスで加圧する。 タンク３０からの濃縮製品ガスによるパージに
加えて、他の吸着ゾーンの主吸着床からの濃縮ガ
スも使用でき、また真空ポンプを使用することも
できる。第２図について説明するならば、ライン
４０が主吸着床A′と主吸着床B′の出口および入
口と真空ポンプ３５との間に使用されている。ラ
イン４０はバルブ３１を含み、真空ポンプ３５で
終つている。開放ラインは真空ポンプ３５の手前
に位置していて、大気へ開放するためのバルブ３
３と３４を含んでいる。補助吸着床A″と補助吸
着床B″の入口と出口の間のラインにバルブ３２
が追加挿入されている。吸着剤ベツドのパージに
真空ポンプを使用することは先行技術で示されて
いるように極めて効果的である。例えば本発明で
の真空再生を用いた効果を示す下記の第３表およ
び第４表を参照されたい。しかしながら真空法に
伴つてコスト高となり、本発明を実施する上で
は、真空再生技術を利用しなくても好結果が得ら
れる。 環境の空気を供給用ガスとして用いる場合は、
本装置に導入する前に圧縮、乾燥が一般的に行わ
れる。吸着に先立つて、空気を凝縮器を通過させ
て過剰の湿分を除去することにより改質すること
ができる。相対湿度は約40％以下であることが好
ましい。さらに二酸化炭素、二酸化硫黄または窒
素酸化物のようなガスを除去するため空気を濾過
または洗浄することもできる。当業者によく知ら
れているように、これらの手段は濃縮ガス流の純
度を向上し、特定のガスにおいて純度向上の要求
がなされる場合に採用される。またけいそう土を
カラム内に含有させ、ガスをゾーンに通過させる
際湿分を除去することもできる。これは一般的に
乾燥剤を主カラムの底部に置くことにより行わ
れ、再生中に底部で水蒸気が除去される。 補助ベツドを有する本発明の分離能力と米国特
許第4440548号（２ベツド）および第4376639号
（４ベツド）の方法の分離能力について多数の比
較試験を行なつた。下記の第１表および第２表は
炭素モレキユラーシーブを用いて空気から窒素を
分離した試験結果を示したもので、ここで収率％
は供給された空気に対する生成した製品ガスの収
率であり、O₂は製品ガス中の酸素含有率を表わ
す。ECCは製品ガスを１時間に１標準立法フイ
ート（0.0283Nm³）生成させるに要する有効吸収
剤量を表わすものである。 第３図および第４図は第１表および第２表に記
載した試験結果をグラフ化したものであり、空気
分離に関して本発明と標準２ベツドおよび標準４
ベツド圧力スイング吸着法とを比較したものであ
る。グラフから明らかなように、窒素の収率は２
ベツドおよび４ベツドを使用する従来の最も進ん
だ水準にある方法に比較して顕著かつ予想外に向
上している。濃縮製品ガスを１時間当りに１標準
立法フイート0.0283Nm³生成させるに要する炭素
または吸着剤量である有効炭素容量または有効吸
着剤容量をグラフ化して示した第３図によつて
も、上記の結論を確認することができる。 複数吸着床と真空ポンプの使用によつて先行技
術で同様の収率または有効容量が得られている
が、これらいずれの装置も、本発明が高価な追加
の吸着床または装置を使用することなく達成して
いる純度については到達していない。さらに、主
吸着床および補助吸着床は別個のカラムとして図
示され、記載されているが、これらを隔離するガ
ス分配マニホールドによれば単一カラムに結合す
ることができる。さらに真空再生を利用すること
により収率を向上させることが可能である。 一般的には、単一カラムの場合も２カラムの時
と同じ操作が行なわれる。しかし補助カラムが別
個にないために僅かな相違が生ずる。通常濃縮さ
れたガスの流れを生成するための方法としては、 (a) 夫々の入口と出口とを隔離しているガス分配
マニホールドによつて供給された濃縮されるべ
きガスを含有する混合ガスを、単一カラム内で
直列に連結された主吸着ベツドと補助吸着ベツ
ドを含む第１吸着ゾーンに順流方向に通過させ
る。このガスは濃縮ガス流を生成させるため
1.01×10⁵〜200×10⁵Paの圧力で両ベツドを通
過させる。 (b) 破過に先立つて、混合ガスの流れを中断し、
その直後に (i) 第１吸着ゾーンの出口から第２吸着ゾーン
のガス分配マニホールドに向けてガスを流
し、同時に第１吸着ゾーンの入口および第２
吸着ゾーンの入口を通して該ガスを流すと同
時に； (ii) 濃縮ガスを第２吸着ゾーンの出口に流す； ことによつて第１吸着ゾーン内の圧力と第２吸
着ゾーン内の圧力を等圧にし、 (c) 第１吸着ゾーンを向流的に大気圧に開放し、 (d) 前記の第１吸着ゾーンをパージし、 (e) (c)段階および(d)段階と並行して、第２吸着ゾ
ーンを供給される混合ガスによつて吸着圧まで
加圧し、第２吸着ゾーンの出口から濃縮製品ガ
スを生成させ、 (f) 第２吸着ゾーンの出口から第１吸着ゾーンの
ガス分配マニホールドにガスを流し、同時に第
２吸着ゾーンの入口を通して第１吸着ゾーンの
入口にガスを流して第１吸着ゾーンと第２吸着
ゾーンの圧力を等しくし、前記の濃縮ガスを第
１吸着ゾーンの出口に流し入れ、 (g) 前記第２吸着ゾーンについて前記(a)段階か
ら(e)段階までを、第１吸着ゾーンのそれら段階
と同時に、しかし相互に補足する形で行なわさ
せる方法である。 上述のとおり、主ベツドと補助ベツドの両者を
含む単一カラムの方法は、分離したベツドの方法
とほぼ同じである。ガス分配マニホールドは、ガ
スを補助ベツドの底部に分配するのに用いる通常
のマニホールドで良い。 第３表および第４表は、本発明方法に真空再生
を採用した時に得られる利点を説明したものであ
る。これら表から明らかなように、真空再生は装
置の種々の個所に適用された。これらの個所につ
いては表中に具体的に記載してある。

【表】

【表】

【表】 ＊＝比較しうる試験

【表】

【表】 【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法を実施するための２ゾーン
装置の概略を表わしたものである。第２図は第１
図に示した２ゾーン装置に真空排気手段を採用し
た概略を表わすものであり、同じ番号は同じもの
を示す。第３図は本発明の収率と、米国特許第
4440548号に教示されている空気分離用の先行技
術である２ベツド圧力スイング吸着法および装置
ならびに米国特許第4376639号に記載されている
４ベツド圧力スイング吸着法および装置による収
率の比較グラフである。第４図は本発明の有効炭
素容量と、第３図に示し空気分離用の先行技術で
ある２ベツドおよび４ベツド圧力スイング吸着装
置の有効炭素量の比較グラフである。 〔主要部分の符号の説明〕、Ａ……第１吸着ゾ
ーン、A′……主吸着床、A″……補助吸着床、Ｂ
……第２吸着ゾーン、B′……主吸着床、B″……
補助吸着床、１１〜２６……バルブ、３０……製
品タンク、３３，３４……バルブ、３５……真空
ポンプ、４０，５０……ライン。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 夫々が、直列に連結された主吸着床と補助吸
   着床とを有し、かつ混合ガスの少なくとも１成分
   を選択的に吸着することができる吸着剤を含む、
   少なくとも第１吸着ゾーンと第２吸着ゾーンとか
   らなる吸着系によつて、ほゞ連続的に濃縮ガスの
   流れを生成する方法において、該方法が (a) 約1.01×10⁵〜200×10⁵Paの吸着圧で、濃縮
   すべきガスを含有する前記混合ガスを、主吸着
   床とこれに直列に連結された補助吸着床を有す
   る第１吸着ゾーンに順流方向に直列的に通過さ
   せて、濃縮ガスの流れを生成させ、 (b) 該第１吸着ゾーンの破過に先立つて、混合ガ
   スの流れを中断し、その直後に (i) 該第１吸着ゾーンの補助吸着床の出口と前
   記第２吸着ゾーンの主吸着床の出口の間を連
   通して等圧化し、かつ同時に第１吸着ゾーン
   の主吸着床の入口と第２吸着ゾーンの主吸着
   床の入口の間を連通して等圧化するとほゞ同
   時に； (ii) 前記濃縮ガスによつて前記第２吸着ゾーン
   の補助吸着床を加圧することによつてこれを
   前記第２吸着ゾーンの主吸着床とほゞ等しい
   圧力となし； かくして前記第１吸着ゾーン内の圧力と前記
   第２吸着ゾーン内の圧力とを等しくし、 (c) 第１吸着ゾーンを向流的に大気圧に開放し、 (d) 前記第１吸着ゾーンを工程(a)における混合ガ
   スの流れと反対方向の流れで再生し、 (e) 前記第１吸着ゾーンにおける前記の排気と再
   生を継続する一方、第２吸着ゾーンを前記混合
   ガスにより吸着圧まで加圧し、該第２吸着ゾー
   ンの出口から濃縮生成ガスを発生させ、 (f) 前記第２吸着ゾーンの破過に先立つて、混合
   ガスの流れを中断し、その直後に (i) 該第２吸着ゾーンの補助吸着床の出口と、
   前記第１吸着ゾーンの主吸着床の出口の間を
   連通して等圧化し、かつ同時に第２吸着ゾー
   ンの主吸着床の入口と第１吸着ゾーンの主吸
   着床の入口の間を連通して等圧化するとほゞ
   同時に； (ii) 前記の濃縮ガスによつて前記第１吸着ゾー
   ンの補助吸着床を加圧することによつてこれ
   を前記第１吸着ゾーンの主吸着床とほゞ等し
   い圧力となし； かくして前記第１吸着ゾーン内の圧力と前記
   第２吸着ゾーン内の圧力とを等しくし、 (g) 第２吸着ゾーンを向流的に大気圧に開放し、 (h) 前記第２吸着ゾーンを工程(e)における混合
   ガスの流れと反対の流れで再生し、 (i) 該第２吸着ゾーンにおける前記の排気と再生
   を継続する一方、第１吸着ゾーンを前記混合ガ
   スにより吸着圧まで加圧し、 (j) 工程(a)から工程（ｉ）までの連続的段階を繰
   り返す、 という相互に補足的な段階から成ることを特徴と
   する方法。 ２ 前記主吸着床と前記補助吸着床とがそれぞれ
   別のカラムに収容されている特許請求の範囲第１
   項記載の方法。 ３ 前記主吸着床と前記補助吸着床とが同一のカ
   ラムに収容され、それそれがガス分配マニホール
   ドによつて隔離されている特許請求の範囲第１項
   記載の方法。 ４ 少量の濃縮ガスで前記吸着ゾーンを再生する
   特許請求の範囲第１項記載の方法。 ５ 真空を適用して前記吸着ゾーンを再生する特
   許請求の範囲第１項記載の方法。 ６ 吸着ゾーンの前記吸着剤が炭素モレキユラー
   シーブを含む特許請求の範囲第１項記載の方法。 ７ 前記吸着剤が、炭素モレキユラーシーブ、天
   然および合成ゼオライトモレキユラーシーブ、シ
   リカゲル、アルミナおよびけいそう土からなる吸
   着剤の群から選ばれる特許請求の範囲第１項記載
   の方法。 ８ 再生する間、前記吸着ゾーンの主吸着床の入
   口に真空を適用して前記主吸着床と前記補助吸着
   床を減圧する特許請求の範囲第５項記載の方法。 ９ 前記吸着ゾーンの補助吸着床に真空を適用し
   て該補助吸着床を減圧する特許請求の範囲第５項
   記載の方法。 １０ 前記吸着ゾーンの補助吸着床と主吸着床と
   に真空を適用して該吸着ゾーン全体を減圧する特
   許請求の範囲第５項記載の方法。 １１ 前記混合ガスを1.10×10⁵〜20×10⁵Paの圧
   力で導入する特許請求の範囲第１項記載の方法。 １２ (a)(i) 吸着剤床及び制御可能な入口及び出
   口手段を有する主吸着カラムと、 (ii) 該主吸着カラムに対して直列的に接続さ
   れ、吸着剤床及び制御可能な入口及び出口手
   段を有する補助吸着カラム、 とから成る少なくとも２基の吸着手段； (b) 前記の主吸着カラムの入口手段に選択的に接
   続された分離すべき混合ガスの供給手段； (c) 分離されたガス製品貯蔵用の、入口、第１出
   口および第２出口を有する製品ガス貯蔵手段； (d) 前記の補助吸着カラムの出口手段と前記のガ
   ス貯蔵手段の入口とを選択的に接続する第１ガ
   ス移送手段； (e) 前記の主吸着カラムの出口手段と前記の補助
   吸着カラムの入口手段とを選択的に接続する第
   ２ガス移送手段； (f) 前記の補助吸着カラムの出口手段と前記の主
   吸着カラムの出口手段とを選択的に接続する第
   ３ガス移送手段； (g) 前記の製品ガス貯蔵手段の第１出口と前記
   の補助吸着カラムの出口手段とを選択的に接続
   する製品ガス導入手段； (h) 前記の主吸着カラムの入口手段に選択的に
   接続されたパージガス放出手段；および (i) 前記の少なくとも２基の吸着手段の主吸着カ
   ラムのそれぞれの入口の間を選択的に接続する
   等圧化手段； を有する圧力スイング吸着装置。 １３ 前記の各ガス移送手段がバルブを含む特許
   請求の範囲第１２項記載の装置。 １４ 前記のパージガス放出手段が真空手段を含
   む特許請求の範囲第１２項記載の装置。 １５ 前記の吸着剤が炭素モレキユラーシーブ、
   天然および合成ゼオライトモレキユラーシーブ、
   シリカゲル、アルミナおよびけいそう土からなる
   群から選ばれた特許請求の範囲第１２項記載の装
   置。