JPH0583062A - 超音波遅延線の製造方法 - Google Patents

超音波遅延線の製造方法

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Publication number
JPH0583062A
JPH0583062A JP24556891A JP24556891A JPH0583062A JP H0583062 A JPH0583062 A JP H0583062A JP 24556891 A JP24556891 A JP 24556891A JP 24556891 A JP24556891 A JP 24556891A JP H0583062 A JPH0583062 A JP H0583062A
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JP
Japan
Prior art keywords
glass
delay
delay line
ultrasonic wave
medium
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Pending
Application number
JP24556891A
Other languages
English (en)
Inventor
Masumi Kikuchi
真澄 菊地
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 各種映像機器の画質向上に使用される超音波
遅延線において、遅延時間の経時変化を抑えることがで
きる製造方法を提供する。 【構成】 ガラスブロックからガラス遅延媒体を切り出
して洗浄した後、プラズマ乾燥方法を用いて乾燥するこ
とにより、ガラス遅延媒体の表面に不純物が付着するの
を防ぐことができ、遅延時間の経時変化の小さい超音波
遅延線が得られる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電気信号を一定時間遅
延させる超音波遅延線の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、超音波遅延線はテレビジョン受像
機,ビデオレテープコーダ,ビデオカメラ等の各種映像
機器の画質向上のための部品として用いられている。そ
の機能は、入力側圧電素子によって電気信号を超音波信
号に変換し、その超音波信号を遅延媒体中に伝搬させ、
出力側圧電素子で再び電気信号に変換し、一定の遅延時
間を得るものである。
【0003】このような超音波遅延線は、所定の形状に
形成されている超音波遅延媒体に入力用および出力用圧
電素子を貼合せることで形成されており、このうち超音
波遅延媒体については、主に、石英ガラス等、所定の組
成からなるガラスブロックから切り出して形成されてい
るガラス遅延媒体が多く用いられている。ところが、こ
のようなガラス遅延媒体を用いて形成される超音波遅延
線は、映像機器の高画質化や高信頼性を確保するために
も、得られる遅延時間の経時変化を抑制する必要があ
る。この場合問題となる遅延時間の経時変化について
は、ガラス遅延媒体の表面に付着している無機質や有機
質の汚れや不純物と無関係であると言えない。したがっ
て、従来はガラス遅延媒体を切り出した後、切削油やガ
ラスブロック貼合せ用接着剤等を除去するために有機溶
剤等で湿式洗浄を行い、次に、ガラス遅延媒体は有機溶
剤等でぬれているので、これを自然放置や温度を上げて
有機溶剤等を蒸発させ、乾燥させていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の方法では、乾燥時の雰囲気によっては、折角洗浄し
てきれいにしたガラス遅延媒体表面が再び汚れてしまう
ことがあるといった問題を有していた。
【0005】本発明は、上記従来の問題を解決するもの
で、通常の洗浄をした後、高周波低温プラズマを利用プ
ラズマ乾燥方法を用いることにより、ガラス遅延媒体の
表面を有機質や無機質の汚れや不純物の付着のない状態
にし、遅延時間の経時変化の小さい超音波遅延線を提供
することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の超音波遅延線の製造方法は、ガラスブロック
からガラス遅延媒体を切り出し、さらにこの表面に付着
した切削油やガラスブロック貼合せ用接着剤を除去する
ために有機溶剤等で洗浄した後、高周波低温プラズマを
利用することによってすばやくガラス遅延媒体を乾燥さ
せる。
【0007】
【作用】この製造方法、すなわち、ガラス遅延媒体を洗
浄後、高周波低温プラズマ乾燥を行うことにより、雰囲
気中の汚れが付着する前にすばやく乾燥されるため、超
音波遅延線の遅延時間の経時変化を抑えることができ
る。
【0008】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図1の洗浄
乾燥工程図を用いて説明する。まずガラスブロックから
ガラス遅延媒体の切り出しを行い、次に、このガラス遅
延媒体の表面に付着したガラスブロック貼合せ用接着剤
や切削油を取り除くために図1に予備洗浄,本洗浄,仕
上げ洗浄の湿式洗浄を行う。次にこれをプラズマ乾燥ベ
ルジャーに移し、約3Torrまで減圧して大部分の水
や溶剤を蒸発させる。そして、高周波電界を印加するこ
とにより、ベルジャー内の残留空気や水蒸気をプラズマ
状態にして高周波エネルギーをガラス遅延媒体に伝え
る。これにより、溶剤や水分を乾燥させる。
【0009】図2はこのようにして作製した超音波遅延
媒体の遅延時間の経時変化を従来品と比較して示したグ
ラフである。これより、従来品と比較して、本実施例の
場合は遅延時間の経時変化が抑制できることが明らかで
ある。
【0010】
【発明の効果】以上のように本発明は、ガラス遅延媒体
を切り出して洗浄した後、高周波低温プラズマにてすば
やく乾燥させることにより、ガラス遅延媒体に有機質や
無機質の汚れや不純物が付着するのを防ぐことができ、
遅延時間の経時変化が小さい優れた超音波遅延線を実現
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例における超音波遅延線の製造
方法における洗浄乾燥の工程図
【図2】本発明の一実施例における超音波遅延線および
従来品の遅延時間の経時変化を示す特性図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ガラスブロックから切り出されたガラス
    遅延媒体を洗浄した後、高周波低温プラズマを利用して
    乾燥を行う超音波遅延線の製造方法。
JP24556891A 1991-09-25 1991-09-25 超音波遅延線の製造方法 Pending JPH0583062A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6375269B1 (en) 1997-11-25 2002-04-23 Ts Tech Co., Ltd. Seat having seating face made of sheet resilient material
JPWO2007072916A1 (ja) * 2005-12-22 2009-06-04 財団法人化学及血清療法研究所 卵内接種用ワクチン

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6375269B1 (en) 1997-11-25 2002-04-23 Ts Tech Co., Ltd. Seat having seating face made of sheet resilient material
JPWO2007072916A1 (ja) * 2005-12-22 2009-06-04 財団法人化学及血清療法研究所 卵内接種用ワクチン

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