JPH0581749U - Icハンドラーのテストヘッド構造 - Google Patents
Icハンドラーのテストヘッド構造Info
- Publication number
- JPH0581749U JPH0581749U JP3231392U JP3231392U JPH0581749U JP H0581749 U JPH0581749 U JP H0581749U JP 3231392 U JP3231392 U JP 3231392U JP 3231392 U JP3231392 U JP 3231392U JP H0581749 U JPH0581749 U JP H0581749U
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- block
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ICハンドラーにおけるテストヘッド1の部品
交換を楽な姿勢で行なえると共に交換時間を短縮化す
る。 【構成】ICを吸着加熱しなからソケット22内に押圧
するヘッド1aの支持板2に支軸14を設け、支軸14
に歯車機構15,16とハンドル17を連結して支持板
2をヘッド1aと共に回動可能としている。
交換を楽な姿勢で行なえると共に交換時間を短縮化す
る。 【構成】ICを吸着加熱しなからソケット22内に押圧
するヘッド1aの支持板2に支軸14を設け、支軸14
に歯車機構15,16とハンドル17を連結して支持板
2をヘッド1aと共に回動可能としている。
Description
【0001】
本考案は、特にメモリー型ICを測定するICハンドラーに適したテストヘッ ド構造に関する。
【0002】
ICハンドラーは、量産されたICを高温または低温状態で検査するもので、 この装置は、ICをトレイから供給するローダ部、ウォーキングビームでICを 測定部へ運ぶ搬送部、ICを検査ステージに送り込んでデータ測定する測定部、 測定後のICをウォーキングビームで送り返す搬送部、ICをデータ別にトレイ へ収納するアンローダ部から構成されている。
【0003】 このうち測定部の上方には、ウォーキングビームからのICを検査ステージの ソケットに送り込むテストヘッド(第1のハンド)と、測定後のICをソケット から取り出して帰りのウォーキングビームに載置する第2のハンドが設置されて いる。テストヘッドは、ICの吸着、加熱、押圧を行なうヒートブロックと、I Cの放熱を抑えるガイドブロックから成り、ガイドブロックは四隅がねじ止めさ れている。一方、メモリー型のICは、ロジック型IC等に比べると検査が簡単 であるため一度に多数のICを検査することができ、これに対応してハンドラー の各ハンドもヒートブロックや吸着パッドを16個備えたものが現れている。
【0004】
しかし、この種のハンドラーにあっては、測定すべきICの種別が変わるとヒ ートブロックやガイドブロックを別サイズのものに交換しなければならない。各 ブロックは下からねじ止めされており、しかもテストヘッドの下には検査ステー ジやウォーキングビームが設置されているので、作業員は横から無理な姿勢で上 方を見上げながら作業する必要がある。しかも16個のブロックにはねじが4つ あるから、まず64個のねじを外してガイドブロックとヒートブロックを交換し 、ねじとねじ穴が合うようにブロックを位置決めして再び64個のねじを締め付 けることになり、大変な手間となっている。
【0005】 本考案は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、楽な姿勢で ヒートブロックやガイドブロックを交換できるICハンドラーのテストヘッド構 造を提供することにある。
【0006】
上記目的を達成するため、本考案では、ICを吸着加熱しながらソケット内に 押圧するヘッドの支持板に支軸を設け、支軸に歯車機構とハンドルを連結して支 持板をヘッドと共に回動可能にしている。
【0007】
これらの構成により、作業員がハンドルを回すと歯車機構を通じてテストヘッ ド全体が手前に回動し、ヒートブロック及びガイドブロックのねじ止め箇所が正 面を向くことになる。
【0008】
図1及び図2は、各々本考案に係るテストヘッド構造の側面図及び端面図であ る。テストヘッド1は、8個2列のヘッド1aを支持板2に取り付けたもので、 ヘッド1aは、図3から分かるようにヒートブロック3、ガイドブロック4、支 持ブロック5、ピン6及びばね7から構成されている。ヒートブロック3は、熱 の伝わり易い金属製で、先端にICを吸引する吸着孔8が形成され、内部にIC 加熱用のヒータが埋め込まれている。ヒートブロック3の両側には、ピン6が2 本ずつ配置され、ピン6の一端は支持板2に固定されている。また、ピン6には 、2個の支持ブロック5とばね7が嵌め込まれ、ピン段部6aによって支持ブロ ック5が抜け出さないようになっている。ガイドブロック4は、熱の伝わりにく い樹脂製で中央にヒートブロック3の先端が通る角孔9、四隅にピン6と嵌合す る孔10、2箇所にねじの通る孔11を有し、2本のねじ12を支持ブロック5 のねじ穴13に螺合して固着される。従って、ヒートブロック3がICを吸着す るときは、ガイトブロック4は支持ブロック5と共にピン6に沿って引っ込み、 吸着後はばね7の作用で再び突出し、図2のようにICの周囲がガイドブロック 4で覆われるためICの放熱が防止される。
【0009】 支持板2の両端には、図1から分かるように支軸14が連結され、一方の支軸 14にギア15か固着され、他方の支軸14はハンドラー本体に軸支されている 。ギア15にはウォーム16が直角に咬合し、ウォーム16の端部にハンドル1 7が連結されている。この実施例では、ハンドル17を右回転させるとテストヘ ッド全体が手前に回動し、90°即ち真正面を向いた時点で停止するようになっ てる。
【0010】 ハンドラーのベース18上には、IC搬送用の2本のウォーキングビーム19 、ICをデータ測定する検査ステージ20、IC戻り用の2本のウォーキングビ ーム21が設置されている、ウォーキングビーム19は、図示しないローダ部か らのICをピッチ単位で測定部へと搬送し、ICは途中予熱ヒータで予熱される ようになっている。検査ステージ20の上面には、16個のソケット22が設置 され、ベース18の下面にはテスタ(図示せず)が配置されている。ウォーキン グビーム21は、測定後のICをアンローダ部へ搬送し、この後ICはデータ別 にトレイへ分類収納される。
【0011】 このハンドラーでは、テストヘッド1と並んでICの取り出しハンド23が設 置され、このハンド23は、下面に16個(2列8個)の吸着パッド24、側面 に16個のブラシ25とエア吹出し口26を備えている。また、ハンド23は、 図示しないパルスモータにより軸27を中心に回動可能で、時計方向に90°回 転するとブラシ25が下を向くようになっている。ブラシ25とエア吹出し口2 6は、図4に示すように各ソケット22に残ったIC端子のハンダ粉28等を定 期的に払うもので、ブラシ25が数回往復動すると共に吹出し口26からエアが 噴出する。ハンド23の上方は、アーム29でテストヘッド1と連結され、図2 から分かるように両者は一体に横移動可能である。従って、テストヘッド1によ るウォーキングビーム19からソケット22へのIC送り込みと、ハンド23に よるソケット22からウォーキングビーム21へのIC移送が同時に行なわれ、 ICの移送及び測定時間が短縮される。
【0012】 次にテストヘッド1の各ブロック3,4を交換する場合には、まずテストヘド 1をウォーキングビーム19側に移動させ、ハンドル17を右に回転させる。こ れでハンドル17の回転がウォーム16及びギア15を介して支軸14に伝わり 、図2に矢印で示すようにテストヘッド1が90°手前に回動して各ブロック3 ,4のねじ止め箇所が正面にくる。続いてガイドブロック4の2つのねじ12( 図3)を外せば、ガイドブロック4と中のヒートブロック3を簡単に抜き取るこ とができる。あとは別サイズのヒートブロック3を支持ブロック5の間に差し込 み、上から別のガイドブロック4を各ピン6に嵌込んでねじ止めすればよい。ガ イドブロック4はピン嵌合方式であるから、孔11を支持ブロック5のねじ穴1 3にいちいち合わせる必要かなく、ねじも32個で従来の半分で済む。16個の ブロック交換が終了したら、ハンドル17を左に回転させれば、テストヘッド1 は再び下方へ90°回動して元の状態に戻る。この間作業員は楽な姿勢で作業を 行なうことができ、また交換時間も半分以下に短縮される。
【0013】
以上詳述したように本考案のテストヘッド構造ではヘッド全体が手前に90° 回動するので、ブロックの交換を楽な姿勢でかつ短時間で行なうことができる。
【図1】テストヘッド構造の側面図である。
【図2】テストヘッド及びハンドの端面図である。
【図3】ヘッドの分解斜視図である。
【図4】ハンドに設けたブラシと吹出し口の動作状態図
である。
である。
1 テストヘッド 1a ヘッド 2 支持板 3 ヒートブロック 4 ガイドブロック 14 支軸 15 ギア 16 ウォーム 17 ハンドル
Claims (1)
- 【請求項1】ICを吸着加熱しながらソケット22内に
押圧するヘッド1aの支持板2に支軸14を設け、支軸
14に歯車機構15,16とハンドル17を連結して支
持板2をヘッド1aと共に回動可能にしたことを特徴と
するICハントラーのテストヘッド構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1992032313U JP2587280Y2 (ja) | 1992-04-01 | 1992-04-01 | Icハンドラーのテストヘッド構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1992032313U JP2587280Y2 (ja) | 1992-04-01 | 1992-04-01 | Icハンドラーのテストヘッド構造 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0581749U true JPH0581749U (ja) | 1993-11-05 |
JP2587280Y2 JP2587280Y2 (ja) | 1998-12-16 |
Family
ID=12355454
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1992032313U Expired - Lifetime JP2587280Y2 (ja) | 1992-04-01 | 1992-04-01 | Icハンドラーのテストヘッド構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2587280Y2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63318745A (ja) * | 1987-06-22 | 1988-12-27 | Tokyo Electron Ltd | プロ−ブ装置 |
JPH01132982U (ja) * | 1988-02-29 | 1989-09-11 | ||
JPH01136470U (ja) * | 1988-03-11 | 1989-09-19 |
-
1992
- 1992-04-01 JP JP1992032313U patent/JP2587280Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63318745A (ja) * | 1987-06-22 | 1988-12-27 | Tokyo Electron Ltd | プロ−ブ装置 |
JPH01132982U (ja) * | 1988-02-29 | 1989-09-11 | ||
JPH01136470U (ja) * | 1988-03-11 | 1989-09-19 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2587280Y2 (ja) | 1998-12-16 |
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