JPH01136470U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01136470U JPH01136470U JP3245888U JP3245888U JPH01136470U JP H01136470 U JPH01136470 U JP H01136470U JP 3245888 U JP3245888 U JP 3245888U JP 3245888 U JP3245888 U JP 3245888U JP H01136470 U JPH01136470 U JP H01136470U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction surface
- suction
- temperature
- suction device
- temperature sensor
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
第１図、第２図及び第３図は本考案のデバイス
吸着装置に関する図であり、第１図はデバイス吸
着装置の正面図（一部断面図）を第２図は底面の
断面図を示している。又第３図は本考案のデバイ
ス吸着装置がＸ―Ｙアームに取り付けられた状態
を示している。第４図と第５図は従来のデバイス
吸着装置の正面図と底面図であり、第６図及び第
７図は従来のデバイス吸着装置がＸ―Ｙアームに
取り付けられている状態を示している。 １ａ，１ｂ；ボデイ、２；吸着面、３；ラバー
ヒーター、４；温度センサ、５；空気吸入孔、６
；Ｘ―Ｙアーム、７；ＩＣ、８；コンタクト、９
；ホツトプレート、１０；恒温槽、１１；断熱材
。
吸着装置に関する図であり、第１図はデバイス吸
着装置の正面図（一部断面図）を第２図は底面の
断面図を示している。又第３図は本考案のデバイ
ス吸着装置がＸ―Ｙアームに取り付けられた状態
を示している。第４図と第５図は従来のデバイス
吸着装置の正面図と底面図であり、第６図及び第
７図は従来のデバイス吸着装置がＸ―Ｙアームに
取り付けられている状態を示している。 １ａ，１ｂ；ボデイ、２；吸着面、３；ラバー
ヒーター、４；温度センサ、５；空気吸入孔、６
；Ｘ―Ｙアーム、７；ＩＣ、８；コンタクト、９
；ホツトプレート、１０；恒温槽、１１；断熱材
。
Claims (1)
- 負圧によつてデバイスを吸着しこれを搬送する
装置に於いて、吸着面の近傍に装着された温度セ
ンサとヒーターとによつて吸着面の温度制御を行
うことを特徴とするデバイス吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3245888U JPH01136470U (ja) | 1988-03-11 | 1988-03-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3245888U JPH01136470U (ja) | 1988-03-11 | 1988-03-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01136470U true JPH01136470U (ja) | 1989-09-19 |
Family
ID=31258955
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3245888U Pending JPH01136470U (ja) | 1988-03-11 | 1988-03-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01136470U (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0428986U (ja) * | 1990-06-27 | 1992-03-09 | ||
| JPH0464781U (ja) * | 1990-10-15 | 1992-06-03 | ||
| JPH0581749U (ja) * | 1992-04-01 | 1993-11-05 | 株式会社ダイトー | Ｉｃハンドラーのテストヘッド構造 |
| JP2006337052A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Yamaha Motor Co Ltd | Ｉｃハンドラー |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6335972B2 (ja) * | 1982-06-04 | 1988-07-18 | Fuji Photo Film Co Ltd |
-
1988
- 1988-03-11 JP JP3245888U patent/JPH01136470U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6335972B2 (ja) * | 1982-06-04 | 1988-07-18 | Fuji Photo Film Co Ltd |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0428986U (ja) * | 1990-06-27 | 1992-03-09 | ||
| JPH0464781U (ja) * | 1990-10-15 | 1992-06-03 | ||
| JPH0581749U (ja) * | 1992-04-01 | 1993-11-05 | 株式会社ダイトー | Ｉｃハンドラーのテストヘッド構造 |
| JP2006337052A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Yamaha Motor Co Ltd | Ｉｃハンドラー |
| JP4490332B2 (ja) * | 2005-05-31 | 2010-06-23 | ヤマハ発動機株式会社 | Ｉｃハンドラー |