JPH0580251A - 色補正されたテレセントリツク走査レンズ - Google Patents

色補正されたテレセントリツク走査レンズ

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JPH0580251A
JPH0580251A JP4067016A JP6701692A JPH0580251A JP H0580251 A JPH0580251 A JP H0580251A JP 4067016 A JP4067016 A JP 4067016A JP 6701692 A JP6701692 A JP 6701692A JP H0580251 A JPH0580251 A JP H0580251A
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JP
Japan
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lens
incident light
lens element
light side
convex
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Pending
Application number
JP4067016A
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English (en)
Inventor
John J Simbal
ジヨン・ジヨゼフ・シンバル
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3M Co
Original Assignee
Minnesota Mining and Manufacturing Co
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Publication date
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    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00Optical objectives specially designed for the purposes specified below
    • G02B13/14Optical objectives specially designed for the purposes specified below for use with infrared or ultraviolet radiation
    • G02B13/146Optical objectives specially designed for the purposes specified below for use with infrared or ultraviolet radiation with corrections for use in multiple wavelength bands, such as infrared and visible light, e.g. FLIR systems
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00Optical objectives specially designed for the purposes specified below
    • G02B13/0005Optical objectives specially designed for the purposes specified below having F-Theta characteristic
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00Optical objectives specially designed for the purposes specified below
    • G02B13/22Telecentric objectives or lens systems

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
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  • Toxicology (AREA)
  • Lenses (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 低いf/ナンバを有する、丈夫で製造コスト
が低い、高性能の色補正されたテレセントリック走査レ
ンズを提供することである。 【構成】 入射光の側から引き続いて、入射光側が凹の
第1のメニスカスレンズエレメント1と、入射光側が凹
の第2のメニスカスレンズエレメント2と、入射光側と
は反対側が凸の第1の平凸レンズエレメント3と、入射
光側が凸の第2の平凸レンズエレメント4と、両凹レン
ズ5および平凸レンズエレメント6を含み、接合面が入
射光側に向かって凸の第1の接合された複合レンズと、
平凹レンズエレメント7および平凸レンズエレメント8
を含み、接合面が入射光側に向かって凸の第2の複合レ
ンズとを含む。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、一般にレンズに関す
る。特別には、本発明は、光走査システムに使用される
色補正されたテレセントリックレンズに関する。
【0002】
【発明の背景】走査レンズは、通常、光学走査システム
の画面上にレーザビームの焦点を合わせるために使用さ
れる。走査レンズは、通常、このタイプのシステムにお
いてひとみと画面との間に配置される。典型的には、ひ
とみに配置された回転ミラーが、レンズの入射側を横断
してレーザビームを走査する。テレセントリックな性質
のために、レンズから出射するレーザビームは、実質的
に光軸に平行であり、したがって、上記走査に沿う全て
の点で画面に対して垂直である。
【0003】色走査システムは、典型的に、3つの異な
る波長のレーザビームを発生させるための3つのレーザ
を含む。かかる色走査システムにおいて使用される走査
レンズは、3つのレーザビームの全てを画面上に焦点を
合わせることができなければならない。この設計上の制
約は、レンズの光学的な性質がレンズを透過して伝播す
る光の波長に機能的に関連しており、色収差として知ら
れている性質のために、レンズの設計者に苛酷な条件を
果す。シブヤ(Shibuya)にかかる米国特許第
4,396,254号に開示されているような周知の色
補正された走査レンズはしばしば、相対的に低い屈折率
及び高いアッベ(Abbe)数(80よりも大)を有す
る特別なガラスを使用する。このタイプのガラスは、そ
れらが相対的に価格が高く、脈理が発生しやすいうえ
に、しばしばひずみが生じる傾向を有しているので好ま
しくない。
【0004】したがって、改良され、色補正されたテレ
セントリック走査レンズに対する要求が絶えず存在す
る。屈折率が制限された光学的性質及び(小さいスポッ
トサイズを与えるために)低いf/ナンバを有する高性
能の走査レンズが要望されている。商業的に成り立つこ
とができるためには、レンズはまた丈夫なものであると
ともに、相対的に製造に費用がかからないものであるべ
きである。
【0005】
【発明の要約】本発明は、相対的に低いコストで製造す
ることができる、しっかりとした丈夫な色補正されたテ
レセントリック走査レンズである。このレンズは、入射
光側から引き続いて、次のレンズエレメントを含む。 1) 入射光側が凹の第1のメニスカスレンズエレメン
ト。 2) 入射光側が凹の第2のメニスカスレンズエレメン
ト。 3) 入射光側とは反対側が凸の第1の平凸レンズエレ
メント。 4) 入射光側が凸の第2の平凸レンズエレメント。及
び 5) 両凹レンズと平凸レンズエレメントとを含み、接
合面が入射光側に向かって凸の第1の接合された複合レ
ンズ。
【0006】他の実施例では、上記走査レンズはまた、
第1の接合された複合レンズに関して入射光側と反対側
に第2の接合された複合レンズを含む。第2の接合され
た複合レンズは、入射光側に向かって凸の接合面を有す
る平凹レンズエレメントと平凸レンズエレメントとを含
む。
【0007】上記レンズは、71.009mmの焦点距
離を有するf/6.0のレンズとして構成される。上記
レンズは、14度の走査角度に対して、屈折率が制限さ
れた「零口径」性能を提供する。上記レンズエレメント
は、低いアッベ数(53.0よりも小さい)を有する相
対的に安価なガラスにより構成されている。すべてのレ
ンズエレメントは、10パーセントよりも大きい軸方向
の厚みと径との比を取ることができるので、上記レンズ
はまた効率的に製造することができる。
【0008】
【好ましい実施例の詳細な説明】本発明の第1の実施例
にかかる、色補正されたテレセントリック走査レンズ1
0が図1に図示されている。レンズ10は、2つのグル
ープG1及びG2に配置されたレンズエレメント1−8か
らなる、f/6.0、焦点距離71.009mmのレン
ズである。開口もしくはひとみPと画面IPとの間で光
軸Aの周りに配置された走査レンズ10が示されてい
る。回転ミラーもしくは他の走査機構(図示せず。)
は、レーザ放射の入射ビームをひとみPを通過する方向
に向けて、入射光をレンズエレメント1に入射させる。
レンズエレメント1−8を透過して順次伝播した後、走
査レンズ10からの出射ビームは画面IPに焦点が合わ
される。
【0009】グループG1はレンズエレメント1−4を
含んでおり、その全ては間隙を有して配置された単レン
ズエレメントである。レンズエレメント1は、距離d1
だけひとみPから離れて配置され、入射光側に向かって
凹、すなわちひとみPに向かって凹となるように配置さ
れた半径がR1及びR2の面を有するメニスカスレンズエ
レメントである。好ましい実施例では、レンズエレメン
ト1は、負のメニスカスレンズエレメントである。レン
ズエレメント2はまた、メニスカスレンズであって、凹
側が入射光側に向かうとともに、距離d2だけレンズエ
レメント1から離れている。メニスカスレンズエレメン
ト2はR3及びR4の半径の面を有するとともに、好まし
くは、正のメニスカスレンズエレメントである。レンズ
エレメント3は、凸側が入射光側と反対側となった平凸
レンズエレメントであり、半径R5及びR6で表される面
を有する。距離d3は、レンズエレメント3をレンズエ
レメント2から隔てている。レンズエレメント4もま
た、平凸レンズエレメントであるが、しかし凸面が入射
光側に向いている。レンズエレメント4は半径R7及び
8の面を有するとともに、距離d4だけレンズエレメン
ト3から離れている。
【0010】レンズグループG2は、2つの間隔を有す
る接合された複合レンズを含み、第1のものはレンズエ
レメント5及び6からなり、第2のものはレンズエレメ
ント7及び8からなる。レンズエレメント5は、半径R
9及びR10の面を有する両凹レンズエレメントで、距離
5だけレンズエレメント4から離れている。レンズエ
レメント6は、半径R10及びR11の面を有する平凸レン
ズエレメントである。レンズエレメント6の凸面はレン
ズエレメント5の凹面に接合され、入射光側に向かって
凸の接合面を有する複合レンズを構成している。レンズ
エレメント7は、半径R12及びR13を有する平凹レンズ
エレメントである。レンズエレメント7は距離d6だけ
レンズエレメント6から離れている。レンズエレメント
7は、半径R13及びR14の面を有する平凸エレメントで
ある。レンズエレメント8の凸面は、レンズエレメント
7の凹面に接合され、入射光側に向かって凸の接合面を
有する複合レンズを構成している。レンズエレメント8
は、画面IPから距離d離れている。
【0011】上記したように、一つの実施例では、レン
ズ10はf/6.0,焦点距離71.009mm(すな
わち、71mm)のレンズとして構成される。走査レン
ズ10のこの実施例に対する数値的な特性は、表5に示
されている。表5において使用されている、レンズエレ
メント、間隔及び面の参照番号は、図1の参照番号に対
応する。距離d−d7は、引き続く、ひとみPとレン
ズエレメント1との間の距離、レンズエレメント1−5
と6と7との間の距離、及びレンズエレメント8と画面
IPとの間の距離に対応する。面の半径R1−R14は、
入射光側から引き続く、レンズエレメント1−8の面の
曲率半径であり、負(−)の曲率半径は、入射光側に向
かって凹もしくは入射光側と反対側に向かって凸である
面をあらわす。すべての距離、曲率半径及び厚みは、ミ
リメートル(mm)であらわされる。レンズエレメント
1−8の表示された厚さは、中心の光軸Aにおける厚さ
である。レンズエレメント1−8が構成されているガラ
スの屈折率Ndは、ナトリウムのd線に対して規定され
ている。Vdは、関連するレンズエレメントのアッベ数
もしくは分散係数である。
【0012】
【表5】
【0013】上記した走査レンズ10の好ましい実施例
はほとんどテレセントリックで、中心の光軸Aに平行で
ある3度内の全範囲に主光線を有する。走査レンズ10
はまた、780nm,830nm及び890nmの波長
に対して、色補正されている。f/6.0における、屈
折率変調伝達関数(MTF)の解析は、0.07の波よ
り下のRMSの波面エラーを有して、780nm,83
0nm及び890nmの波長の3つのビームの全てに対
するスポットサイズが、上記範囲を横断する屈折の限界
に近付くことを示している。中心の光軸Aにおける屈折
率MTF解析により計算された780,830及び89
0nmのビームの波長に対するレンズ10の正規化され
たピークのスポット強度が、径(Y−軸)方向と接線
(X−軸)方向との両方で、全範囲の0.707及び全
範囲について、図2及び図3にそれぞれ示されている。
走査レンズ10の高度に色補正された特性が、0.70
7と1.000の領域における3つの波長により形成さ
れるスポットの間での小さな分離(0.5ミクロンより
小)において特に明確である。
【0014】走査レンズ10は丈夫でしかも相対的に安
価に製造することができる。レンズエレメント1−8の
相対的に高い屈折率Nd及び相対的に低いアッベ数Vd
故に、これらのエレメントは、脈理やひずみに対して抵
抗力がある相対的に安価な光学材料により構成すること
ができる。±14度の走査角に構成されたとき、レンズ
エレメント1−8の自由開口は、「零口径」性能を決定
することができる。レンズエレメント1−8の自由開口
の径に4ミリメートルを加えても、各エレメントはまだ
2ミリメートルを越えるエッジの厚みを有している。こ
のことは、「ナイフエッジ」でレンズエレメントを製造
するときに、さもなければ発生する困難を軽減する。さ
らに、各レンズエレメント1−8の軸方向の厚みはその
径の10パーセントよりも大きく、それにより非常に薄
いレンズエレメントに関する数値を保持することに共通
に関連する問題を回避する。自由開口及びこの開口を取
り囲む2ミリメートルのエッジを含む、レンズエレメン
ト1−8の径が次の表6に与えられる。
【0015】
【表6】
【0016】上に与えられた走査レンズ10の好ましい
仕様からの外れ(たとえば、スケーリングもしくは平面
における僅かの量のパワーの導入)は、本発明の精神及
び範囲から逸脱することなくレンズに組み入れることが
できることが理解されるべきである。特別な例による、
本発明の第2の実施例である、色補正されたテレセント
リック走査レンズ100が図4に図示されている。走査
レンズ100は、レンズエレメント101−108から
なる、f/6.0,71.004(すなわち、71m
m)の走査レンズである。レンズエレメント101−1
08は、それらの数値的な特性は少しちがうが、走査レ
ンズ10においてそれらに対応するものに性質が同じで
ある。走査レンズ100の数値的な特性は、次の表7及
び表8に記載されている。Y−軸(径)及びX−軸(接
線)方向の周りのレンズ100の正規化されたピークス
ポット強度がそれぞれ図5及び図6に図示されている。
3つの範囲の点における780,830及び890nm
の波長のレーザビームに対するレンズ100の接線方向
及び径方向の光線の捕捉カーブのグラフが図7及び図8
にそれぞれ示されている。図9は、レンズ100の光軸
上の780,830及び890nmの波長のレーザビー
ムに対する光線の捕捉カーブのグラフである。走査レン
ズ20の性能は、走査レンズ10の性能と全く同じ程度
の最適な性能ではないが、その性能は多くの応用に適す
るとともに、それは上記したレンズ10のすべての利点
を提供する。
【0017】
【表7】
【0018】
【表8】
【0019】本発明のほかの実施例(図示せず。)は、
上記した走査レンズ10及び100と同様のものである
が、(レンズ10の)レンズエレメント7と8もしくは
(レンズ100の)レンズエレメント107と108に
より形成される複合レンズを含まない。レンズ10及び
100におけるこれらの複合レンズは、小さい光学的な
能力を有しているに過ぎないが、色収差に対してある程
度の修正、特に780nm及び890nmの波長のビー
ムに対してそれぞれ、ある程度の修正を与える。図10
−図12により明らかなように、特に、単色もしくは単
色に近い応用に対して、走査レンズ100の商業的に有
利な特徴がまだ、それぞれレンズエレメント107及び
108からなる第2の複合レンズを含まない実施例に存
在する。図10−図12はそれぞれ、レンズエレメント
107−108により形成される複合レンズがない走査
レンズ100に対する、接線方向、径方向及び軸方向の
光線の捕捉曲線である。レンズ100のこの実施例は、
70.4mm(すなわち、70mm)の焦点距離を有す
る。
【0020】好ましい実施例を参照して本発明を説明し
たが、当業者であれば、本発明の精神及び範囲から逸脱
することなく、形態及び変更において他の変形がなされ
ることを認めるであろう。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施例にかかる色補正された
テレセントリック走査レンズの構成の説明図である。
【図2】 図1に示されたレンズの径方向(Y−軸)に
沿う3つの点における780,830及び890nmの
波長のレーザビームの正規化された点拡散プロフィール
のグラフである。
【図3】 図1に示されたレンズの接線方向(X−軸)
に沿う3つの点における780,830及び890nm
の波長のレーザビームの正規化された点拡散プロフィー
ルのグラフである。
【図4】 本発明の第2の実施例にかかる色補正された
テレセントリック走査レンズの構成の説明図である。
【図5】 図4に示されたレンズの径方向(Y−軸)に
沿う3つの点における780,830及び890nmの
波長のレーザビームの正規化された点拡散プロフィール
のグラフである。
【図6】 図4に示されたレンズの接線方向(X−軸)
に沿う3つの点における780,830及び890nm
の波長のレーザビームの正規化された点拡散プロフィー
ルのグラフである。
【図7】 図4に示されたレンズの3つの領域の点にお
ける780,830及び890nmの波長のレーザビー
ムの接線方向の線の捕捉曲線のグラフである。
【図8】 図4に示されたレンズの3つの領域の点にお
ける780,830及び890nmの波長のレーザビー
ムの径方向の線の捕捉曲線のグラフである。
【図9】 図4に示されたレンズの軸上における78
0,830及び890nmの波長のレーザビームの線の
捕捉曲線のグラフである。
【図10】 レンズエレメント107及び108がない
図4に示されたレンズの3つの領域の点における78
0,830及び890nmの波長のレーザビームの接線
方向の線の捕捉曲線のグラフである。
【図11】 レンズエレメント107及び108がない
図4に示されたレンズの3つの領域の点における78
0,830及び890nmの波長のレーザビームの径方
向の線の捕捉曲線のグラフである。
【図12】 レンズエレメント107及び108がない
図4に示されたレンズの軸上における780,830及
び890nmの波長のレーザビームの線の捕捉曲線のグ
ラフである。
【符号の説明】
1 レンズエレメント 2 レンズエレメント 3 レンズエレメント 4 レンズエレメント 5 レンズエレメント 6 レンズエレメント 7 レンズエレメント 8 レンズエレメント 10 テレセントリック走査レンズ 100 テレセントリック走査レンズ 101 レンズエレメント 102 レンズエレメント 103 レンズエレメント 104 レンズエレメント 105 レンズエレメント 106 レンズエレメント 107 レンズエレメント 108 レンズエレメント A 光軸 IP 画面 P ひとみ

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 入射光側から引き続いて、 入射光側が凹の第1のメニスカスレンズエレメント、 入射光側が凹の第2のメニスカスレンズエレメント、 入射光側とは反対側が凸の第1の平凸レンズエレメン
    ト、 入射光側が凸の第2の平凸レンズエレメント、及び両凹
    レンズと平凸レンズエレメントとを含み、接合面が入射
    光側に向かって凸の第1の接合された複合レンズ、を含
    む色補正されたテレセントリック走査レンズ。
  2. 【請求項2】 上記レンズが実質的に次の表1に示す数
    値特性を有するf/6.0のレンズである請求項1記載
    の色補正されたテレセントリック走査レンズ。 【表1】 ここで、数字1−6は、入射光側から引き続くレンズエ
    レメントをあらわす、間隔d2−d5は、レンズエレメン
    ト1−5の間の距離をあらわす、面R1−R11は、入射
    光側から引き続くレンズエレメントの面をあらわす、N
    dは、ナトリウムのd線におけるレンズエレメントの屈
    折率をあらわす、そしてVdは、レンズエレメントの材
    料のアッベ数をあらわす。
  3. 【請求項3】 上記第1の接合された複合レンズに関し
    て上記入射光側と反対側の第2の接合された複合レンズ
    をさらに含み、この第2の接合された複合レンズが、上
    記入射光側に向かって凸の接合面を有する平凹及び平凸
    レンズエレメントを含む、実質的に次の表2に示す数値
    特性を有する請求項2記載の色補正されたテレセントリ
    ック走査レンズ。 【表2】 ここで、数字7及び8は、入射光側から引き続くレンズ
    エレメントをあらわす、間隔d6は、レンズエレメント
    6と7との間の距離である、そして面R12−R14は、入
    射光側から引き続くレンズエレメントの面をあらわす。
  4. 【請求項4】 上記第1の接合された複合レンズに関し
    て上記入射光側と反対側の第2の接合された複合レンズ
    をさらに含み、この第2の接合された複合レンズが上記
    入射光側に向かって凸の接合面を有する平凹及び平凸レ
    ンズエレメントを含む請求項1記載の色補正されたテレ
    セントリック走査レンズ。
  5. 【請求項5】 上記第1のメニスカスレンズエレメント
    が負のメニスカスレンズエレメントである請求項1記載
    の色補正されたテレセントリック走査レンズ。
  6. 【請求項6】 上記第2のメニスカスレンズエレメント
    が正のメニスカスレンズエレメントである請求項1記載
    の色補正されたテレセントリック走査レンズ。
  7. 【請求項7】 上記レンズが実質的に次の表3に示され
    る数値特性を有するf/6.0のレンズである請求項1
    記載の色補正されたテレセントリック走査レンズ。 【表3】 ここで、数字101−106は、入射光側から引き続く
    レンズエレメントをあらわす、間隔d102−d105は、レ
    ンズエレメント101−105の間の距離をあらわす、
    面R101−R111は、入射光側から引き続くレンズエレメ
    ントの面をあらわす、Ndは、ナトリウムのd線におけ
    るレンズエレメントの屈折率をあらわす、そしてV
    dは、レンズエレメントの材料のアッベ数をあらわす。
  8. 【請求項8】 上記第1の接合された複合レンズに関し
    て上記入射光側と反対側の第2の接合された複合レンズ
    をさらに含み、この第2の接合された複合レンズが、上
    記入射光側に向かって凸の接合面を有する平凹及び平凸
    レンズエレメントを含む、実質的に次の表4に示す数値
    特性を有する請求項7記載の色補正されたテレセントリ
    ック走査レンズ。 【表4】 ここで、数字107及び108は、入射光側から引き続
    くレンズエレメントをあらわす、間隔d106は、レンズ
    エレメント106と107との間の距離である、そして
    面R112−R114は、入射光側から引き続くレンズエレメ
    ントの面をあらわす。
JP4067016A 1991-03-28 1992-03-25 色補正されたテレセントリツク走査レンズ Pending JPH0580251A (ja)

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US07/676,817 US5087987A (en) 1991-03-28 1991-03-28 Color-corrected telecentric scan lens
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Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5386312A (en) * 1992-08-03 1995-01-31 Hughes Aircraft Company Collimating lens having doublet element between positive-power elements
DE69410659T2 (de) * 1993-02-26 1998-10-01 Fuji Photo Film Co Ltd F-theta Linse
DE4324849C2 (de) * 1993-07-23 1995-07-13 Schneider Rundfunkwerke Ag Videosystem zum Erzeugen eines Farbvideobilds auf einem Schirm
US5404247A (en) * 1993-08-02 1995-04-04 International Business Machines Corporation Telecentric and achromatic f-theta scan lens system and method of use
US5481405A (en) * 1993-11-30 1996-01-02 Minnesota Mining And Manufacturing Company Stepless micrographic zoom lens having large magnification ratio
US5512949A (en) * 1993-12-29 1996-04-30 Xerox Corporation Multiple beam raster output scanner optical system having telecentric chief exit rays
US5633736A (en) * 1995-03-28 1997-05-27 Eastman Kodak Company Scan lens and an optical scanner system incorporating two deflectors
JPH11258501A (ja) * 1998-01-09 1999-09-24 Fuji Photo Optical Co Ltd コリメータレンズおよびこれを用いた光走査装置
US6198577B1 (en) 1998-03-10 2001-03-06 Glaxo Wellcome, Inc. Doubly telecentric lens and imaging system for multiwell plates
US6515782B1 (en) 2002-02-04 2003-02-04 Eastman Kodak Company Telecentric F-theta lens for laser microfilm printer
US7563695B2 (en) * 2002-03-27 2009-07-21 Gsi Group Corporation Method and system for high-speed precise laser trimming and scan lens for use therein
US6951995B2 (en) * 2002-03-27 2005-10-04 Gsi Lumonics Corp. Method and system for high-speed, precise micromachining an array of devices
US20060199354A1 (en) * 2002-03-27 2006-09-07 Bo Gu Method and system for high-speed precise laser trimming and electrical device produced thereby
US7358157B2 (en) * 2002-03-27 2008-04-15 Gsi Group Corporation Method and system for high-speed precise laser trimming, scan lens system for use therein and electrical device produced thereby
JP4090291B2 (ja) * 2002-06-26 2008-05-28 大日本スクリーン製造株式会社 光走査装置
US20070215575A1 (en) * 2006-03-15 2007-09-20 Bo Gu Method and system for high-speed, precise, laser-based modification of one or more electrical elements
US7663814B2 (en) * 2007-12-20 2010-02-16 Fujinon Corporation Imaging lens system and imaging apparatus
RU2576347C1 (ru) * 2014-11-26 2016-02-27 Открытое акционерное общество "Красногорский завод им. С.А. Зверева" Светосильный объектив
TWI613482B (zh) 2017-01-25 2018-02-01 大立光電股份有限公司 光學影像鏡片系統組、取像裝置及電子裝置
WO2021246540A1 (ko) * 2020-06-01 2021-12-09 엘지전자 주식회사 박막 특성 측정장치

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2855824A (en) * 1957-02-18 1958-10-14 Eastman Kodak Co Large aperture lens for lenticular film photography
JPS56123509A (en) * 1980-03-04 1981-09-28 Nippon Kogaku Kk <Nikon> F theta lens
DE3202890A1 (de) * 1982-01-29 1983-08-18 Optische Werke G. Rodenstock, 8000 München Farbkorrigiertes abtastobjektiv
US4682863A (en) * 1985-08-26 1987-07-28 Minnesota Mining And Manufacturing Company Ultra-wide angle micrographic lens
JP2566405B2 (ja) * 1987-04-03 1996-12-25 旭光学工業株式会社 f・θレンズ
JPH07113706B2 (ja) * 1988-12-16 1995-12-06 大日本スクリーン製造株式会社 光ビーム走査用レンズ

Also Published As

Publication number Publication date
DE69202184T2 (de) 1995-11-30
DE69202184D1 (de) 1995-06-01
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EP0506338B1 (en) 1995-04-26

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