JPH0579533A - 防振装置 - Google Patents

防振装置

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Publication number
JPH0579533A
JPH0579533A JP3239647A JP23964791A JPH0579533A JP H0579533 A JPH0579533 A JP H0579533A JP 3239647 A JP3239647 A JP 3239647A JP 23964791 A JP23964791 A JP 23964791A JP H0579533 A JPH0579533 A JP H0579533A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
vibration
magnet
coil
foundation
base
Prior art date
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Pending
Application number
JP3239647A
Other languages
English (en)
Inventor
Koji Fukutomi
康志 福冨
Masaya Miyazaki
将哉 宮崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
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Publication of JPH0579533A publication Critical patent/JPH0579533A/ja
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Abstract

(57)【要約】 【目的】防振対象物を支持する防振対象物基礎を、該防
振対象物基礎を支持する支持基礎に対して、磁石の反発
力により非接触で支持することで支持部材の高次共振の
影響をなくすと共に、一方で磁石に対向して配置したコ
イルによって優れた防振効果を付加することを目的にす
る。 【構成】防振対象物基礎1に磁石3及び磁石4を取付
け、磁石3に対しては磁石3´を対向させ、磁石4に対
してはコイル5を対向させる。防振対象物基礎1に振動
検出器8を取付け、振動検出器8と制御回路7とコイル
5を直列に結線する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、精密機器の防振装置に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の防振装置は図6に示す様
な構造であった。図6において防振対象物11が設置さ
れた防振対象物基礎1は支持基礎2から、弾性支持部材
9、粘性ダンパ10を介して支持されており、外部から
の振動は弾性支持部材9及び粘性ダンパ10により減衰
し、防振対象物基礎1に伝達される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記の如き従来技術に
おいては、原理的には防振系の共振点を越える様な高い
周波数領域において防振効果が期待できる。しかしなが
ら実際には弾性部材やダンパのサ−ジング等の影響を受
け、高い周波数でも共振が生じ防振効果が損なわれると
いう問題点があった。本発明は、この様な従来の問題点
に鑑みて成されたもので、防振対象物基礎を磁石の反発
力により非接触で支持することで支持部材の高次共振の
影響をなくすとともに、磁石に対向して配置したコイル
によって優れた防振効果を付加することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記目的のために、請求
項1記載の発明では、防振対象物を支持する防振対象物
基礎と、該防振対象物基礎を支持するための支持基礎
と、同じ磁極同士が対向するように該防振対象物基礎と
支持基礎とに各々設けられた一対の磁石からなる支持部
と、前記防振対象物基礎と支持基礎の一方に設けられた
磁石と該磁石に対向して他方に設けられたコイルからな
るダンパ部とを有する防振装置を提供する。また、請求
項2記載の発明では、請求項1記載の防振装置におい
て、前記コイルの端子に接続された可変抵抗器を有する
防振装置を提供する。さらに、請求項3記載の発明で
は、請求項1記載の防振装置において、前記防振対象物
基礎の振動を検出する検出手段と、前記検出された振動
を処理して前記コイルに流れる電流を制御する制御装置
とを有する防振装置を提供する。
【0005】
【作用】本発明においては、対向して配された磁石間に
生じる効力を反発力として利用することで防振対象物基
礎を非接触に支持している。そのため、従来の如く弾性
支持部材を介したサ−ジング等の高次共振の影響が生じ
ない。また一部の磁石にはコイルを対向させて配置して
あり、コイルの端子に接続した抵抗の値を調節すること
で適当なダンピングを与えることができる。さらに、防
振対象物基礎の振動を検出器によって検出し制御装置を
介して、コイルに流れる電流を適切に制御することで、
能動的な防振効果を付加することが可能となる。
【0006】
【実施例】図1、図2及び図3は本発明の実施例であっ
て図1において防振対象物11を設置するための台であ
る防振対象物基礎1は対向して配置された磁石3と磁石
3´の反発力により支持基礎2から非接触で支持されて
いる。図2は図1においてA−A面で切り取られた矢視
断面図であり、一部の磁石4にはコイル5が対向して配
置しており、コイル端子には可変抵抗器6が接続され
る。上述の如く構成された防振装置の動作について以下
説明する。防振対象物基礎1と支持基礎2の間には磁石
のギャップに依存した反発力が生じる。そのため防振対
象物基礎1は一種のばねによって支持された状態とな
り、そのばね特性に応じた防振作用が得られる。また非
接触支持の為、高次共振の影響を受けることはない。さ
らに磁石4に対向して置かれたコイル5にはギャップ変
動に対応した逆起電力が生じ、ダンピング力が発生す
る。コイル5の端子に接続された抵抗の値を調整するこ
とで適切なダンピングを与えることができる。図4に本
実施例による防振効果を示す。図3は図1において振動
検出器8を防振対象物基礎1に固着し、得られた振動の
情報を制御装置7によってコイル5に流れる電流を制御
することによって能動的な防振効果を付加した第2の実
施例である。図5に第2の実施例による防振効果を示
す。
【0007】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、防振対象
部基礎を非接触に支持し、適切なダンピングを与えるこ
とができる為、支持部材のサ−ジング等による高次共振
の影響が無くなり、防振対象物に対する防振効果が著し
く向上する。更に、本発明では、防止対象物を外来振動
から保護する場合のみならず防振対象物の引き起こす振
動を外部に伝えないようにする場合にも適用できる。
尚、図1による実施例によれば、コイルに接続した抵抗
値を変化させることで適切なダンピングを与えることが
できると言う利点がある。また、図3による実施例によ
れば、能動的な防振効果を付加することができ、更に優
れた防振効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による装置の第一の実施例の模式図
【図2】本発明による装置の第一の実施例の模式図の一
部の矢視断面図を示した図
【図3】本発明による装置の第二の実施例の模式図
【図4】本発明による第一の実施例における振動伝達率
と周波数の関係を示す図
【図5】本発明の第二の実施例における振動伝達率と周
波数の関係を示す図
【図6】従来の装置の模式図
【符号の説明】
1 防振対象物基礎 2 支持基礎 3 磁石 3´ 磁石 4 磁石 5 コイル 6 可変抵抗器 7 制御装置 8 振動検出器 9 弾性支持部材 10 粘性ダンパ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 防振対象物を支持する防振対象物基礎
    と、 該防振対象物基礎を支持するための支持基礎と、 同じ磁極同士が対向するように該防振対象物基礎と支持
    基礎とに各々設けられた一対の磁石からなる支持部と、 前記防振対象物基礎と支持基礎の一方に設けられた磁石
    と該磁石に対向して他方に設けられたコイルからなるダ
    ンパ部と、 を有することを特徴とする防振装置。
  2. 【請求項2】 上記コイルの端子に接続された可変抵抗
    器を有することを特徴とする請求項1に記載の防振装
    置。
  3. 【請求項3】 防振対象物基礎の振動を検出する検出手
    段と、前記検出された振動を処理してコイルに流れる電
    流を制御する制御装置とを有することを特徴とする請求
    項1に記載の防振装置。
JP3239647A 1991-09-19 1991-09-19 防振装置 Pending JPH0579533A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007205834A (ja) * 2006-02-01 2007-08-16 Denso Corp 角速度センサ装置
JP2012129575A (ja) * 2010-12-10 2012-07-05 Tokkyokiki Corp オーディオ用インシュレータ及びオーディオ・システム
JP2015516046A (ja) * 2012-05-03 2015-06-04 ボーグワーナー インコーポレーテッド 排気ガスターボチャージャ
JP2021081248A (ja) * 2019-11-15 2021-05-27 倉敷化工株式会社 センサシステム、および該センサシステムを備える除振装置

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Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 19981202