JPH0579183U - 接続管 - Google Patents
接続管Info
- Publication number
- JPH0579183U JPH0579183U JP1882192U JP1882192U JPH0579183U JP H0579183 U JPH0579183 U JP H0579183U JP 1882192 U JP1882192 U JP 1882192U JP 1882192 U JP1882192 U JP 1882192U JP H0579183 U JPH0579183 U JP H0579183U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- connecting pipe
- tip
- mouthpiece
- packing
- container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Joints With Sleeves (AREA)
- Quick-Acting Or Multi-Walled Pipe Joints (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ガス容器を洗浄し真空引きする作業を自動化
するための残ガス放出・真空引き設備において、高圧ガ
ス容器の容器弁の口金部に接続される接続管として好適
に用いられる接続管を提供する。 【構成】 接続管1の、口金部の内部10aに挿入され
る先端部2を、先端に向かって縮径する円錐状に形成す
る。鍔部3の先端側側面に口金部の端面11が当接され
るようにパッキン4を設け、先端部2の外周面に口金部
10の内壁が当接されるようにOリング5を設ける。 【効果】 接続管の中心と口金部の中心とが多少ずれて
いても、これらをスムーズに接続できる。接続管と口金
部の接続を気密に保ち、ガス漏れを防止する。
するための残ガス放出・真空引き設備において、高圧ガ
ス容器の容器弁の口金部に接続される接続管として好適
に用いられる接続管を提供する。 【構成】 接続管1の、口金部の内部10aに挿入され
る先端部2を、先端に向かって縮径する円錐状に形成す
る。鍔部3の先端側側面に口金部の端面11が当接され
るようにパッキン4を設け、先端部2の外周面に口金部
10の内壁が当接されるようにOリング5を設ける。 【効果】 接続管の中心と口金部の中心とが多少ずれて
いても、これらをスムーズに接続できる。接続管と口金
部の接続を気密に保ち、ガス漏れを防止する。
Description
【0001】
本考案は、使用済み高圧ガス容器から残ガスを取り除き、容器内を真空にする 作業を行う残ガス放出・真空引き設備等の、高圧ガス容器の口金部に接続される 接続管等として適用される接続管に関する。
【0002】
シランガス等の各種のガスは高圧ガス容器(以下、ガス容器と略称する)に充 填されて顧客に供給されている。顧客はガス容器からガスを取り出して使用し、 使用済みのガス容器は製造元に回収され、再び使用に供される。そして、回収さ れた使用済のガス容器内には多少のガスが残留しているので、製造元では、この ガス容器内を清浄な状態にする必要がある。
【0003】 従来、このガス容器清浄のための作業は人手によって行われていた。すなわち 、ガス容器内の残ガスを放出させてガス容器内を真空に引くためのガス処理設備 の管路と、ガス容器の容器弁とを接続した後、前記設備を運転して、ガス容器内 から残ガスを排気し、次いで高純度窒素ガス等の清浄用ガスの注入、放出を繰り 返し、最後にガス容器内を真空引きして、これを清浄な状態としていた。 このように、従来はガス処理設備が設けられた位置にガス容器を運び、当該設 備の管路にガス容器の容器弁を接続するといった作業を、人手によって一本づつ 行わなければならず、作業に多くの手間がかかるという問題があった。
【0004】 そこで、このようなガス容器を洗浄し真空引きする作業を自動化するための残 ガス放出・真空引き設備が、既に本発明者らによって提案されている(特願平3 −357764号)。この設備は、ガス容器を支持してこれを所定の位置に移動 させる機構と、所定の位置に送られた容器の容器弁を開閉する機構と、容器弁の 口金部に接続管を接続する機構と、この接続管を介してガス容器内の洗浄および 真空引きを行う機構を有するものであり、これら一連の作業を自動的に、かつ連 続的に行うことができるようになっている。
【0005】 このような設備において、ガス容器の口金部に接続される接続管は図2にその 先端部分を示すように、外径が口金部10の内径より小さく形成された先端部2 と、口金部10の端面11に当接される鍔部3とを有し、この鍔部3の側面であ って、口金部10の端面11に当接される位置にパッキン4が設けらている。そ して使用に際しては、ガス容器が所定の位置に送られたてきた後に、この接続管 1を口金部10に向かって前進せしめることにより、その先端部2がガス容器の 口金部10の内部に挿入され、さらに強く押し付けられる。このとき、口金部1 0の端面11が鍔部3のパッキン4に強く押し付けられることにより、接続管1 と口金部10とが気密に接続されるようになっている。
【0006】
しかしながらこのような接続管の先端部は、外径が一定で先端が縮径されてい ないので、送られてきたガス容器の位置がずれて、この接続管の中心と口金部の 中心とが僅かでもずれていると、接続管を口金部の内部にスムーズに挿入できな いという不都合があった。 また、鍔部のパッキンと口金部の端面との当接によって、これらの接続が気密 状態に保たれるようになっているので、接続管をある程度以上の圧力で口金部に 向かって押し続けないと、この接続部分からガス漏れが発生する恐れがあった。
【0007】 本考案は前記事情に鑑みてなされたもので、ガス容器の容器弁の口金部に接続 される接続管であって、口金部にスムーズに接続することができ、また、その接 続を気密状態に保つのを容易にできるようにした接続管を提供することを目的と する。
【0008】
本考案の請求項1に記載した接続管は、口金部に挿入される先端部と、該口金 部の端面に当接される鍔部とを有し、該先端部の形状が、先端に向かって縮径し ていることを前記課題の解決手段とした。 本考案の請求項2に記載した接続管は、請求項1の接続管において、上記鍔部 の先端側側面に、上記口金部の端面が当接されるように第1のパッキンを設け、 かつ上記先端部の外周面に口金部内壁面が当接されるように第2のパッキンを設 けたことを前記課題の解決手段とした。
【0009】
本考案の接続管は、その先端部の形状が先端に向かって縮径しているので、ガ ス容器の口金部内にスムーズに挿入することができる。 また、この接続管の中心と口金部の中心とが多少ずれていても、接続管の先端 が口金部内に挿入できれば、接続管を前進せしめた際に、その前進に伴ってガス 容器がそのずれを修正する方向へ導かれて移動されるので、先端部と口金部を接 続することができる。 さらに本考案の接続管は、その鍔部の先端側側面に、口金部の端面が当接され るように第1のパッキンを設け、かつ先端部の外周面に口金部内壁面が当接され るように第2のパッキンを設けたものであるので、接続管と口金部とが接続され た状態で、口金部の端面が第1のパッキンに当接されるとともに、口金部の内壁 が第2のパッキンに当接されて、二重シールされた状態となる。したがって、接 続管を口金部に向かって押し続ける力は、容器および配管内にかかる圧力の反力 の範囲で気密状態に保つことができる。
【0010】
以下、本考案を詳しく説明する。図1は本考案の接続管の例を示した断面図で ある。 この例の接続管1は、その先端から、口金部内部10aの深さよりも若干短く 形成された先端部2を介して、鍔部3が設けられたものである。 先端部2は、鍔部3に続く部分を最大径として先端に向かって縮径し、先端が 最小径となる円錐状に形成されている。そして、最大径は口金部10の内径より も僅かに小さく形成され、最小径は接続管の管路の直径と等しいか、それ以上と なるように形成されている。 また先端部2の、鍔部3に続く部分の外周面上にはOリング用の溝部2aが設 けられ、この溝部2aにOリング5が取り付けられている。この溝部2aの深さ は、Oリング5の厚さと、口金部10の内径とによって適宜設定され、Oリング 5を溝部2aに取り付けたときに、Oリング5が先端部2の側面から僅かに突出 し、この先端部2を口金部内部10aに挿入したときに、Oリング5が口金部1 0の内壁面に当接されるように構成されている。 さらにこの円錐状の先端部2は、その軸線を含む断面における母線2bが直線 あるいは曲線となるように形成することができる。そして曲線の場合は、Oリン グ5を取り付けるために必要な溝部2aの深さを確保するために湾曲面に形成さ れることが好ましい。
【0011】 鍔部3は、その外径が口金部10の外径よりも大きくなるように形成されてい る。また鍔部3の側面上であって、先端部2の周囲にパッキン用の溝部3aが設 けられ、この溝部3aにパッキン4が取り付けられている。そして、この溝部3 aは、その外周における深さが、内周における深さよりも若干浅くなるように形 成され、パッキン4をこの溝部3aに取り付けたときに、パッキン4が鍔部3か ら僅かに突出した状態となるように構成されている。また、この鍔部3の幅は任 意とすることができる。
【0012】 このような接続管1をガス容器の容器弁の口金部内部10aに挿入すると、パ ッキン4が口金部10の端面11に当接されるとともに、Oリング5が口金部1 0の内壁に当接される。また、接続管1の先端は口金部内部10aの底面よりも 僅かに離れた状態となる。このようにして、口金部内部10aがパッキンとOリ ングによって二重シールされた状態で、接続管1と口金部10とが接続される。
【0013】 (実施例) 本考案の接続管の実施例として、以下のような接続管を作製した。 外径が20mmで、中心に直径が6mmの管路を有する接続管の先端部を、先端に 向かって縮径した円錐状に形成した。この円錐状の先端部は、接続管長手方向の 長さが9mm、先端の最小径が6mm、最大径が12mmであり、母線が100Rの丸 みを有する形状とした。また、先端を1Rの丸みを有するように加工した。さら に先端部の最大径部分の外周面上に、幅2.5mm、深さ1mmのOリング用溝部を 周設し、ここにOリングを取り付けた。また、この溝部の角は0.1〜0.2R の丸みを有するように加工した。 さらに先端部の内方には外径が28mmの鍔部を形成した。また鍔部の側面上で あって、先端部の周囲に幅4mmのパッキン用溝部を設けた。この溝部は、外周に おける深さが1.5mmで、内周における深さが2mmとなるように形成し、ここに 厚さが2mmのパッキンを取り付けた。また、鍔部の幅は、その外周において9. 5mmとなるように形成した。
【0014】 このような接続管を一般のガス容器の容器弁の口金部に接続させたところ、ス ムーズに挿入することができ、また、口金部の中心と接続管の中心に多少のずれ があっても、接続管の先端が、口金部の内部に挿入されれば、容易に接続を行う ことができた。 また口金部端面をパッキンに当接させた後は、接続管を口金部に対して押し付 けなくても、口金部内部を気密状態に保つことができた。
【0015】
以上説明したように本考案の接続管は、高圧ガス容器の容器弁の口金部に接続 される接続管であって、該口金部に挿入される先端部と、該口金部の端面に当接 される鍔部とを有し、該先端部の形状が、先端に向かって縮径しているものであ る。 よってガス容器の口金部内にスムーズに挿入することができる。また、接続管 の中心と口金部の中心との間に多少ずれがあっても、これらを容易に接続するこ とができる。 また本考案の接続管は、さらに、鍔部の先端側側面に、上記口金部の端面が当 接されるように第1のパッキンを設け、かつ上記先端部の外周面に口金部内壁面 が当接されるように第2のパッキンを設けたものである。 よって、接続管と口金部を接続させた状態で、第1のパッキンと第2のパッキ ンによって二重シールされた状態となるので、容易にこれらの接続を気密状態に 保つことができる。 従って本考案の接続管は、これをガス容器を洗浄し真空引きする作業を自動化 するための残ガス放出・真空引き設備に用いることによって、容器弁の口金部に 接続管を接続する工程をスムーズにするとともに、その後のガス処理工程におけ るガス漏れを防止することができるので、この作業を自動化する場合、特に有用 である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の接続管の一実施例を示す断面図であ
る。
る。
【図2】従来の接続管の一実施例を示す断面図である。
1 接続管 2 先端部 3 鍔部 4 パッキン(第1のパッキン) 5 Oリング(第2のパッキン) 10 口金部 11 端面
Claims (2)
- 【請求項1】 高圧ガス容器の容器弁の口金部に接続さ
れる接続管であって、該口金部に挿入される先端部と、
該口金部の端面に当接される鍔部とを有し、該先端部の
形状が、先端に向かって縮径していることを特徴とする
接続管。 - 【請求項2】 上記請求項1の接続管において、上記鍔
部の先端側側面に、上記口金部の端面が当接されるよう
に第1のパッキンを設け、かつ上記先端部の外周面に口
金部内壁面が当接されるように第2のパッキンを設けて
なることを特徴とする接続管。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1992018821U JP2602046Y2 (ja) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | 接続管 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1992018821U JP2602046Y2 (ja) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | 接続管 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0579183U true JPH0579183U (ja) | 1993-10-26 |
JP2602046Y2 JP2602046Y2 (ja) | 1999-12-20 |
Family
ID=11982234
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1992018821U Expired - Fee Related JP2602046Y2 (ja) | 1992-03-31 | 1992-03-31 | 接続管 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2602046Y2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004061353A1 (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-22 | Nok Corporation | 接続装置 |
JP2006125708A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | T Rad Co Ltd | 熱交換器の連結構造 |
JP2008530476A (ja) * | 2005-02-15 | 2008-08-07 | レキット ベンキサー (ユーケイ) リミテッド | 圧力容器用のシール組立体 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01108500U (ja) * | 1988-01-16 | 1989-07-21 |
-
1992
- 1992-03-31 JP JP1992018821U patent/JP2602046Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01108500U (ja) * | 1988-01-16 | 1989-07-21 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004061353A1 (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-22 | Nok Corporation | 接続装置 |
JP2006125708A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | T Rad Co Ltd | 熱交換器の連結構造 |
JP2008530476A (ja) * | 2005-02-15 | 2008-08-07 | レキット ベンキサー (ユーケイ) リミテッド | 圧力容器用のシール組立体 |
KR101225001B1 (ko) * | 2005-02-15 | 2013-01-23 | 레킷트 뱅키저 (유케이) 리미티드 | 압력 용기용 실 조립체 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2602046Y2 (ja) | 1999-12-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0688888A3 (en) | Apparatus and method for substrate processing | |
JPH04269822A (ja) | 熱処理装置の封止構造 | |
EP1081380A4 (en) | APPARATUS AND METHOD FOR PUMPING | |
EP1017091A3 (en) | A processing method of silicon wafer and a processing apparatus | |
JPH0579183U (ja) | 接続管 | |
EP0660377B1 (en) | Method for applying a wafer to a mount plate | |
EP0814202A3 (en) | Drainage system | |
EP0382985A1 (en) | Gas purge system | |
JP2001173632A (ja) | 吸 盤 | |
EP0939266A3 (en) | Method for joining braided flexible metal hoses to endpieces | |
US5228274A (en) | Sealing apparatus for metal lid canning jars | |
JP2893588B2 (ja) | 真空炉の蓋の固定方法 | |
JP3062536U (ja) | 吸 盤 | |
JP2006071052A (ja) | プロセスガス用配管の連結部構造 | |
JPH0534373Y2 (ja) | ||
JPH01189114A (ja) | 気相成長装置 | |
JPS61500259A (ja) | 物体を比較的厚肉弾性披覆物で囲う方法及び装置 | |
JPH0714642U (ja) | 減圧cvd装置 | |
EP0770703A3 (en) | A seal and a chamber having a seal | |
US20040211447A1 (en) | Apparatus and method of securing a workpiece during high-pressure processing | |
CN217919261U (zh) | 一种抽水管结构 | |
JPH057239Y2 (ja) | ||
JPH075351Y2 (ja) | 内張りされた管路における分岐口の処理装置 | |
JPH0319938Y2 (ja) | ||
JP3199436B2 (ja) | 高圧ガス容器の垂直位置決め機構 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990907 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |