JPH057871B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明はCCD（Charge Coupled Device）等の
固体撮像素子をパツケージに収納し透光性ガラス
板からなるガラスキヤツプでシーリングする方法
に関するものである。

＜従来の技術＞ 近年、カラービデオカメラ等の用途に固体撮像
装置の研究が盛んに行われている。固体撮像装置
はCCD、BBD等ので電荷転送素子をセラミツク
パツケージの底部に納め、パツケージ上部の開口
部を透光性ガラス板とシール材とからなるガラス
キヤツプによりシールするのが通例である。

第１図は従来の固体撮像装置の構成を示す断面
図である。セラミツクパツケージ１に接着剤２に
より固体撮像素子３を貼りつける。通常接着剤２
は固体撮像素子３の基板の電気的な接触をも必要
とするので、導電性の接着剤が使用される。さら
に固体撮像素子３の貼りつけまたはマウンドが終
了した時点で、固体撮像素子の電極とセラミツク
パツケージの電極がアルミニウムや金などのボン
デイングワイヤー４により電気的に結合される。
さらにシール材５を介して透光性ガラス板６を取
付けることにより、固体撮像装置となる。このよ
うな固体撮像装置の透光性ガラス板としては石英
板もしくはパイレツクスなどの硬質ガラスが使用
される。そのガラスの両面には無反射膜等の光学
材料をコーテイングして入射光を最大限利用する
ように工夫されており、一般に光学窓ガラスと呼
ばれている。そして無反射膜等のコーテイング膜
は耐熱温度が低いために、この種の固体撮像装置
のシール材としてはフリツトと呼ばれる低融点ガ
ラスやエポキシ樹脂を主成分とする有機接着剤が
用いられる。

ところで、このような固体撮像装置の製造工程
において問題となるのは、シール材を光学窓材に
塗布する時に生ずる光学窓材の汚れである。この
点につき、エポキシ系接着剤を用いる場合を例に
とつて以下に説明する。

固体撮像装置ではシーリング用のエポキシ系有
機接着剤は第２図に示す如くスクリーンにより印
刷される。すなわち固定台７上に透光性ガラス板
６を配置し金属メツシユのスクリーン８を透光性
ガラス板６に面接触させる。ここでスクリーン８
は印刷する部分のみ穴明けしてあり不必要部分は
レジストによりブロツクされている。

次にエポキシ系接着剤９をメツシユに滴下して
加圧体１０により印刷を行う。しかるのち仮硬化
して保管を容易にする。第３図は第２図のスクリ
ーン印刷で得られるエポキシ系接着剤のついた透
光性ガラス板を示す。

図に示すようにスクリーンと透光性ガラス板の
面接触時にスクリーンからのゴミ１１が透光性ガ
ラス板６に付着する。さらにスクリーンと光学窓
材６の接触時に摩擦が生じ透光性ガラス板にキズ
１２が生じる。また印刷終了後のスクリーンと透
光性ガラス板を引き離す際にスクリーン面からと
びはねたエポキシ系接着剤や、仮硬化の際の加熱
によつてエポキシ系接着剤が発泡し、これがとび
かす１３として透光性ガラス板６のいたる所に
点々と付着する。又、スクリーン印刷時のガラス
固定用治具からガラス面にゴミが付着する。この
ようにして生じたゴミ、キズ、接着剤のとびは接
着剤を仮硬化した後でも容易に除去できない。

通常ガラス板の洗浄には酸および有機溶剤等が
使用されるが、いずれの場合でもシール材５とし
てのエポキシ系接着剤を損なうことになるからで
ある。

＜発明が解決しようとする問題点＞ 本発明は上記欠点を除去し、透光性ガラス板を
汚すことなく固体撮像装置をシーリングする方法
を提供するものである。

＜問題点を解決するための手段＞ 本発明は離型性シートの表面に、エポキシ樹脂
を主成分とする接着剤を透光性ガラス板の接着シ
ール部に対応した形状に塗布乾燥してシール材を
形成し、しかるのち該シール材の表面に透光性ガ
ラス板を重ね合わせて密着せしめたのち前記離型
性シートを剥離することにより前記シール材を透
光性ガラス板に転写せしめてガラスキヤツプを作
製し、該ガラスキヤツプをパツケージ開口部に接
着することを特徴とする固体撮像装置のシーリン
グ方法を提供するものである。

本発明に適用するシール材は、エポキシ樹脂を
主体とするもので、これに硬化剤あるいは必要に
応じて充填剤を配合し溶剤に溶解もしくは分散し
て作製することができる。

前記エポキシ樹脂としてはビスフエノールＡ型
エポキシ樹脂、ビスフエノールＳ型エポキシ樹
脂、脂環式エポキシ樹脂、フエノールノボラツク
型エポキシ樹脂、クレゾールノボラツク型エポキ
シ樹脂等が挙げられ、これらの樹脂の単独又は混
合系で用いられる。

前記エポキシ樹脂を硬化せしめるための硬化剤
としてはイミダゾール、ジシアンジアミド等のア
ミン系化合物、芳香族系酸無水物、脂肪族系酸無
水物等が用いられる。

一方、本発明に必要に応じて用いられる充填剤
としては、シリカ、石英粉、アルミナ、炭酸カル
シウム、酸化マグネシウムの如き無機質粉末が好
適に用いられるが、充填機能を具備していれば有
機質粉末でも本発明に適用できる。

上記組成からなる接着剤を使用して実施する本
発明のシーリング方法を図面に基づいて詳細に説
明する。

まず、第４図に示すように固定台７の上にシリ
コーン等の離型層１４−１を基材１４−２に設け
た離型性シート１４を載置し、その上にスクリー
ン８を面接触させて接着シール部に対応した形状
に前記接着剤９をスクイージ１０により塗布し、
真空にて乾燥して第５図に示すように離型性シー
ト１４の上に半硬化状態のシール材５を形成す
る。ここでいう接着シール部に対応した形状と
は、セラミツクパツケージ上部の開口部と透光性
ガラス板との接着部分に相当するシール材の形状
および大きさをいうものであり、固体撮像装置を
構成する透光性ガラスの寸法によつて任意の形状
を認定することができる。この場合離型性シート
上にシール材を形成する手段はスクリーン印刷に
限定されることなく所定の塗布厚および形状に接
着剤を塗布もしくは印刷する手段であれば全て本
発明に適用できる。又、本発明でいう離型性シー
トは表面に離型性を有するフイルム、紙もしくは
板上のシート状物全てが適用可能であるが、取り
扱い性の点で20〜200μｍ位のプラスチツクフイ
ルムをベースとするものが好ましい。なお本発明
でいう離型性シートは第４図に示すようにかなら
ずしも離型層を有する二層構成である必要はな
く、ポリエチレンテレフタレートフイルム、ポリ
プロピレンフイルム等のプラスチツクフイルム自
体でも次工程での加熱処理や剥離のやり方によつ
はそのまま本発明に適用することができる。

次に第６図に示すように離型性シート１４の上
に形成されたシール材５の表面に透光性ガラス板
６を重ね合わせて密着せしめる。この際、必要に
応じて圧着するか、又は、加熱体１５により離型
性シート１４もしくはは透光性ガラス板の裏側よ
り加熱しながら、図７に示すように離型性シート
１４を剥離する。これによりシール材５は離型性
シートから透光性ガラス板上に転写されガラスキ
ヤツプを得ることができる。

以下実施例により本発明を詳細に説明する。な
お、配合部数は全て重量部で示す。

＜実施例＞ 実施例 １ エポキシ当量450ｇ／eqのビスフエノールＡ型
エポキシ樹脂（油化シエルエポキシ社製、エピコ
ート1001）100部と、硬化剤としての２−フエニ
ルイミダゾール（四国フアインケミカル社製、キ
ユアゾール2PZ）５部をメチルエチルケトン30部
に溶解し、さらに充填剤として酸化マグネシウム
を150部配合し三本ロールにて混練分散して接着
剤を作製した。

得られた接着剤をスクリーン印刷法にて、厚さ
75μｍのシリコーン離型処理を施したポリエチレ
ンテレフタレートフイルムのシリコーン面に次工
程の光学窓ガラスの接着シール部に対応した形状
に乾燥後の塗布厚が120μｍとなるよう塗布印刷
し、真空中にて50〜80℃で60分の加熱をおこない
溶剤を除去して半硬化状のシール材を作製した。

次に上記離型性フイルムに形成されたシール材
の表面に厚さ0.9mm、寸法10mm四方の透光性ガラ
ス板（ダウコーニング社製、パイレツクス）を重
ね合わせ、離型性フイルムの裏側から加熱して離
型性フイルムを剥離し、シール材を透光性ガラス
板に転写せしめてガラスキヤツプを作製した。

然るのち固体カラー撮像素子を収納したセラミ
ツクパツケージの開口部に該ガラスキヤツプの接
着剤面を載置し、接着面を押圧しながら真空中に
て150℃位の温度で加熱しN₂ガスを封入しながら
シール材を本硬化し装置の機密封止をおこなつ
た。得られた固体撮像装置の透光性ガラス板には
ゴミ、キズおよびエポキシ系接着材のとびちりに
よる付着は全くなく実用上すぐれた固体撮像装置
を得た。

実施例 ２ エポキシ当量470ｇ／eqのビスフエノールＡ型
エポキシ樹脂（油化シエルエポキシ社製、エピコ
ート1001）50部およびエポキシ当量220ｇ／eqの
クレゾールノボラツク型エポキシ樹脂（日本化薬
社製、EOCN−103）50部と硬化剤としてのフエ
ノール樹脂（荒川化学工業社製、タマノル752）
30部、または硬化促進剤としてジシアンジアミド
0.5部をメチルエチルケトン30部に溶解し、さら
に充填剤として酸化マグネシウム150部を配合し
三本ロールにて混練分散して接着剤を作製した。

得られた接着剤を用いて実施例１と同一手順に
て固体撮像装置のシーリングをおこなつたこと
ろ、該装置を構成する透光性ガラス板にはゴミ、
キズおよびエポキシ系接着剤のとび散りによる付
着は全くなく、実用上すぐれた固体撮像装置を得
た。

＜発明の効果＞ 本発明は上記の構成からなるので透光性ガラス
板に直接接着剤を塗布、印刷する従来法と異な
り、透光性ガラス板の表面に何ら汚れやキズをつ
けることなく固体撮像装置をシーリングすること
が可能となつた。

【図面の簡単な説明】

第１図は固体撮像装置の断面図、第２図は従来
技術における接着剤を塗布する際に用いるスクリ
ーン印刷の概略図、第３図は従来技術においてス
クリーン印刷で生じた透光性ガラス板の表面のト
ラブルを示す図、第４図は本発明における接着剤
を塗布する際に用いるスクリーン印刷の概略図、
第５図は離型性シート上にシール材が印刷塗布さ
れた状態を示す図、第６図はシール材の上に透光
性ガラス板を圧着加熱している状態を示す図、第
７図は離型性シートを剥離して透光性ガラス板に
シール材を形成する状態を示す図である。 １……セラミツクパツケージ、３……固体撮像
素子、５……シール材、６……透光性ガラス板、
７……固定台、８……スクリーン、９……エポキ
シ樹脂を主成分とする接着剤、１４……離型性シ
ート、１５……加熱体。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 離型性シートの表面に、エポキシ樹脂を主成
   分とする接着剤を透光性ガラス板の接着シール部
   に対応した形状に塗布乾燥してシール材を形成
   し、しかるのち該シール材の表面に透光性ガラス
   板を重ね合わせて密着せしめたのち前記離型性シ
   ートを剥離することにより前記シール材を透光性
   ガラス板に転写せしめてガラスキヤツプを作製
   し、該ガラスキヤツプをパツケージ開口部に接着
   することを特徴とする固体撮像装置のシーリング
   方法。