JPH0574155A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPH0574155A
JPH0574155A JP3261120A JP26112091A JPH0574155A JP H0574155 A JPH0574155 A JP H0574155A JP 3261120 A JP3261120 A JP 3261120A JP 26112091 A JP26112091 A JP 26112091A JP H0574155 A JPH0574155 A JP H0574155A
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JP
Japan
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transistor
input
word line
level
circuit
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JP3261120A
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Inventor
Atsushi Wada
淳 和田
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Sanyo Electric Co Ltd
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Sanyo Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ワードラインを選択していないアドレスデコ
ーダに、無駄な消費電流が流れないようにする。 【構成】 メモリセルアレイを選択する信号ASが入力さ
れ、相補動作するPチャネルトランジスタPT1 及びNチ
ャネルトランジスタNT7 と、これらの両トランジスタと
直列接続されており、アドレス論理信号が入力される直
列接続された複数のNチャネルトランジスタNT1 , N
T2 , NT3 とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、消費電流が少ない大容
量の半導体記憶装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、DRAMにおいては大容量化が進み、
そのアーキテクチャーは図1に示すようなアレイ分割方
式が一般的となっている。複数のメモリセルアレイ
1 ,A2 ,A3 …A8 には、夫々に対応してX(ロ
ウ)デコーダD1 ,D2 ,D3 …D8 が接続されてお
り、XデコーダD1 ,D2 ,D3 …D8 はXアドレスラ
インXLと接続されている。メモリセルはXアドレス信号
とY(カラム)アドレス信号とによる2つのアドレス信
号によりアクセスされるが、ここでは便宜上、Xアドレ
ス信号をデコードする場合について説明する。
【0003】16MDRAMの場合、Xアドレス信号及びYア
ドレス信号はいずれも12個であり、それによりX
(212)×Y(212)=16Mのメモリセルにアクセスで
きる。図2は16MDRAMの場合の前記デコーダD1
2 ,D3…D8 を構成しているそのデコーダをプリデ
コーダとともに示した概念図である。Xアドレス信号RA
0 及びRA1 は各別にAND 回路AN1 の一入力端子及び他側
入力端子に、Xアドレス信号RA2 及びRA3 は各別にAND
回路AN2 の一側入力端子及び他側入力端子に、Xアドレ
ス信号RA4 及びRA5 は各別にAND 回路AN3 の一側入力端
子及び他側入力端子に、Xアドレス信号RA6 及びRA7
各別にAND 回路AN4 の一側入力端子及び他側入力端子に
入力される。
【0004】Xアドレス信号RA8 , RA9 及びRA10は、各
別に3入力AND 回路AN5 の第1, 第2及び第3の入力端
子に入力される。Xアドレス信号RA11はYアドレス線の
選択に用いられる。AND 回路AN1 からのアドレス論理信
号RA0,1 は3入力AND 回路AN6 の第2入力端子に入力さ
れ、その第1入力端子には、前記3入力AND 回路AN5
らのアドレス論理信号たるアレイ選択信号ASが入力され
る。また第3入力端子にはタイミング信号φX が入力さ
れる。
【0005】3入力AND 回路AN6 からのアドレス論理信
号はAND 回路AN8 の一側入力端子に入力される。AND 回
路AN2 , AN3 及びAN4 からのアドレス論理信号RA2,3 ,
RA4,5 及びRA6,7 は各別に3入力AND 回路AN7 の第1,
第2及び第3入力端子に入力され、その3入力AND 回路
AN7 からのアドレス論理信号はAND 回路AN8 の他側入力
端子に入力される。AND 回路AN8 からのアドレス論理信
号はワードラインWLに与えられる。AND 回路AN1 , A
N2 , AN3 , AN4 , AN5 によりXプリデコーダPDを構成
しており、3入力AND 回路AN6 , AN7 及びAND 回路AN8
によりXデコーダDを構成している。
【0006】図3はXデコーダDの構成を示すブロック
図である。電源VCは、PチャネルトランジスタPT
1 と、NチャネルトランジスタNT1 , NT2 , NT3 との直
列回路を介して接地される。PチャネルトランジスタPT
1 は、プリチャージ用トランジスタとしてそのゲートに
はロウデコーダプリチャージ信号RDP が入力される。N
チャネルトランジスタNT1 のゲートにはプリXデコーダ
PDからのアドレス論理信号RA6,7 が入力され、Nチャネ
ルトランジスタNT2 のゲートは、同様のアドレス論理信
号RA4,5 が入力される。NチャネルトランジスタNT3
ゲートには、同様のアドレス論理信号RA2,3 が入力され
る。トランジスタPT1 とNT1 との共通接続部たるノード
N1はインバータIVの入力側及びNチャネルトランジスタ
NT6 のゲートと接続され、またプリチャージ用トランジ
スタたるPチャネルトランジスタPT2 を介して電源Vc
と接続される。
【0007】インバータIVの出力側は、トランジスタPT
2 のゲートと接続され、またNチャネルトランジスタNT
4 を介してNチャネルトランジスタNT5 のゲートと接続
される。トランジスタNT4 のゲートは電源Vc と接続さ
れる。ワードラインソース生成回路WLS を構成している
NOR 回路NRの第1入力端子には反転アレイ選択信号*AS
が入力され、第2入力端子には反転アドレス論理信号*
RA0,1 が入力され、第3入力端子は反転タイミング信号
*φX が入力される。NOR 回路NRの出力端子はトランジ
スタNT5 を介してワードラインWLと接続される。ワード
ラインWLはトランジスタNT6 を介して接地される。
【0008】次にこのデコーダの動作を説明する。先
ず、図1に示すようにデコーダD1 ,D2 ,D3 …D8
に、XアドレスラインXLを介して、Xアドレス信号R
A0 , RA1 , RA2 …RA10が与えられると、図2に示すよ
うにXアドレス信号RA0 , RA1 …RA10はプリデコーダPD
に入力されてデコードされる。そしてAND 回路AN1 , AN
2 ,AN3 , AN4 からのアドレス論理信号RA0,1 、R
A2,3 、RA4,5 、RA6,7 のうちアドレス論理信号RA0,1
がデコーダDの3入力AND 回路AN6 に、アドレス論理信
号RA2,3 、RA4,5 、RA6,7 がAND 回路AN7 に入力され、
それら夫々のアドレス論理信号がAND 回路AN8 の一、他
入力端子に入力されて、AND 回路AN8 からのアドレス論
理信号によりワードラインWLを選択する。
【0009】ところでデコーダは図3に示すように構成
されているから、メモリセルをアクセスする場合、それ
に先立ち「L」レベルの反転ロウデコーダプリチャージ
信号*RDP がトランジスタPT1 のゲートに与えられると
トランジスタPT1 がオンし、ノードN1は電源Vc により
「H」レベルにプリチャージされる。それによりインバ
ータIVの出力側は「L」レベルになりトランジスタPT2
がオンして反転ロウデコーダプリチャージ信号*RDP が
「H」レベルになってもノードN1は「H」レベルに保持
される。トランジスタNT4 は電源Vc の電圧によりオン
するが、インバータIVの出力側が「L」レベルのためト
ランジスタNT5 はオフする。一方、ノードN1が「H」レ
ベルのためトランジスタNT6 がオンしてワードラインWL
は「L」レベルに保持される。
【0010】ここで、アドレス論理信号RA6,7 、R
A4,5 、RA2,3 が「H」レベルになるとトランジスタNT
1 , NT2 , NT3 がともにオンしてノードN が「L」レベ
ルになり、インバータIVの出力側は「H」レベルに反転
してトランジスタPT2 はオフしてプリチャージ電圧が消
滅する。またノードN1が「L」レベルになったことによ
りトランジスタNT6 がオフする。またインバータIVの出
力側が「H」レベルになったためトランジスタNT5 がオ
ンする。ここでワードラインソース生成回路WLS のNOR
回路NRに、入力される反転アレイ選択信号*AS、反転ア
ドレス論理信号*RA0,1 及び反転タイミング信号*φX
がともに「L」レベルになると、NOR 回路NRの論理出力
が「H」レベルになる。
【0011】この論理出力がトランジスタNT5 を介して
ワードラインWLに与えられ、ワードラインWLが選択され
る。一方、アドレス論理信号RA6,7 、RA4,5 、RA2,3
ともに「H」レベルにならない場合はトランジスタN
T1 , NT2 , NT3 がともにオンせず、ノードN1は「H」
レベルにプリチャージされた状態を保持し、それによっ
てトランジスタNT5 がオフし、トランジスタNT6 がオン
してワードラインWLは「L」レベルになり、ワードライ
ンWLが選択されない。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】ところで、最近のDRAM
は低消費電力型のものに需要が多い。そのため、DRAMを
設計する場合は、無駄な貫通電流を生じないようにする
ことが要求されている。しかし乍ら、前述した従来のDR
AMでは、選択されていないメモリセルアレイに接続され
ているXデコーダも作動して無駄な消費電流が流れる。
そして、このように作動するXデコーダはメモリセルア
レイ1個について、1個であるが、16MDRAM程度になる
と、選択されていないメモリアレイの数が多くなり、例
えば8個のメモリセルアレイが選択され、56個のメモリ
セルアレイが非選択になる。
【0013】そのため選択されていないメモリセルアレ
イに接続されているXデコーダが作動することによって
流れる無駄な消費電流は記憶容量が大きい半導体記憶装
置ほど無視できない大きな値になり、記憶容量に応じて
半導体記憶装置の消費電力が増大するという問題があ
る。本発明は斯かる問題に鑑み、ワードラインを選択し
ていないアドレスデコーダには、無駄な消費電流が流れ
ることがない半導体記憶装置を提供することを目的とす
る。
【0014】
【課題を解決するための手段】第1発明に係る半導体記
憶装置は、複数のメモリセルアレイの夫々に対応して設
けているアドレスデコーダによりワードラインを選択
し、選択したワードラインと接続されているメモリセル
がアクセスされる半導体記憶装置において、前記アドレ
スデコーダは、前記メモリセルアレイを選択すべき信号
が入力され、相補動作する直列接続の第1トランジスタ
及び第2トランジスタと、夫々にアドレス論理信号が入
力される直列接続の複数の第3トランジスタとを備え、
第1トランジスタ及び第2トランジスタに、第3トラン
ジスタを直列接続した回路を備えていることを特徴とす
る。
【0015】第2発明に係る半導体記憶装置は、請求項
1に記載の半導体記憶装置において、所定ノードをプリ
チャージすべき指令をするプリチャージ信号及びメモリ
セルアレイを選択すべき信号が入力される第1論理回路
と、所定のアドレス論理信号及びメモリセルアレイを選
択すべき信号が入力される第2論理回路とを備え、第1
論理回路の出力信号を第1トランジスタに、第2論理回
路の出力信号を第3トランジスタに入力すべく構成して
あることを特徴とする。
【0016】
【作用】第1発明では、メモリセルアレイを選択すべき
信号が入力されると、第1トランジスタがオンし、第2
トランジスタがオフして、第1トランジスタと第2トラ
ンジスタとの共通接続部がプリチャージされる。第2ト
ランジスタがオフすると、共通接続部と第3トランジス
タとを接続する回路が遮断される。共通接続部をプリチ
ャージしているときはワードラインを選択しない。これ
により、ワードラインが選択されていない場合は第3ト
ランジスタを通って無駄な消費電流が流れない。
【0017】第2発明では、所定ノードをプリチャージ
すべき指令をするプリチャージ信号及びメモリセルアレ
イを選択すべき信号を第1論理回路に入力すると、第1
トランジスタがオンする。所定の論理信号及びメモリセ
ルアレイを選択すべき信号を第2の論理回路に入力する
と、第3トランジスタがオフする。第1トランジスタが
オンし、第3トランジスタがオフすると、第1トランジ
スタと第3トランジスタとの共通接続部がプリチャージ
される。第3トランジスタがオフすると、共通接続部と
他の第3トランジスタとを接続する回路が遮断される。
これにより、ワードラインが選択されていない場合は第
3トランジスタを通って無駄な消費電流が流れない。
【0018】
【実施例】以下本発明をその実施例を示す図面により詳
述する。図4は本発明に係る半導体記憶装置の構成を示
すブロック図である。電源Vc はPチャネルトランジス
タPT1 と、このトランジスタPT1 と相補動作するNチャ
ネルトランジスタNT7 と、3個のNチャネルトランジス
タNT1 , NT2 , NT3 との直列回路を介して接地される。
トランジスタPT1 及びNT7 のゲートにはアレイ選択信号
ASが入力される。トランジスタNT1 のゲートにはプリX
デコーダからのアドレス論理信号RA6,7 が、トランジス
タNT2 のゲートは同様のアドレス論理信号RA4,5 が、ト
ランジスタNT3 のゲートには同様のアドレス論理信号RA
2,3 が入力される。トランジスタPT1 とNT7 との共通接
続部たるノードN1は、インバータIV及びNチャネルトラ
ンジスタNT4 を介してNチャネルトランジスタNT5 のゲ
ートと接続され、またNチャネルトランジスタNT6 のゲ
ートと接続される。
【0019】ノードN1はPチャネルトランジスタPT2
介して電源Vc と接続される。インバータIVの出力側は
トランジスタPT2 のゲートと接続される。トランジスタ
NT4 のゲートは電源Vc と接続される。ワードラインソ
ース生成回路WLS は図3に示したワードラインソース生
成回路WLS と同様に構成されており、トランジスタNT5
を介してワードラインWLと接続される。ワードラインWL
はNチャネルトランジスタNT6 を介して接地される。
【0020】次にこのように構成した半導体記憶装置の
動作を説明する。いま、「L」レベルのアレイ選択信号
ASがトランジスタPT1 , NT7 のゲートに入力されると、
トランジスタPT1 がオンし、トランジスタNT7 がオフし
てノードN1は電源Vc によりプリチャージされ、インバ
ータIVの出力側は「L」レベルになってトランジスタPT
2 がオンする。
【0021】トランジスタPT2 のオンにより、ノードN1
がプリチャージ状態にされる。トランジスタNT4 のゲー
トには電源Vc の電圧が与えられていてトランジスタNT
4 はオンしており、インバータIVの出力側が「L」レベ
ルであることによりトランジスタNT5 がオフする。一
方、インバータIVの入力側が「H」レベルであることに
よりトランジスタNT6 がオンする。そのためワードライ
ンソース生成回路WLS が「H」レベルになっていてもワ
ードラインWLは「L」レベルに保持され、ワードライン
WLが選択されない。
【0022】そして、このようにワードラインWLが選択
されていない場合には、トランジスタNT7 によりノード
N1とトランジスタNT1 とを接続する回路が遮断され、ノ
ードN1からトランジスタNT1 , NT2 , NT3 を通って消費
電流が流れることがない。つまりトランジスタNT1 , NT
2 , NT3 を通る無駄な消費電流を抑制できる。また、プ
リチャージ電圧が低下することがなく、ワードラインWL
が選択されない状態に保持できる。
【0023】ところで、メモリセルアレイを選択するア
レイ信号ASが「H」レベルになるとトランジスタPT1
オフしNT7 がオンする。そしてアドレス論理信号P
A6,7 、RA4,5 、RA2,3 がともに「H」レベルになると
トランジスタNT1, NT2 , NT3 がともにオンし、ノードN
1は「L」レベルになり、インバータIVの出力側が
「H」レベルになってトランジスタPT2 がオフし、トラ
ンジスタNT5 がオンする。またトランジスタNT6 がオフ
して、ワードラインWLは「H」レベルであるワードライ
ンソース生成回路WLS によりワードラインWLは「H」レ
ベルになり、ワードラインWLが選択されて、所定のメモ
リセルアレイが選択される。
【0024】即ち、半導体記憶装置が例えば2Kリフレッ
シュの16MDRAMの場合には、メモリセルアレイは1/8 分
割動作をする。そのためn個のメモリセルアレイのうち
の1/8 ・n個のメモリセルアレイが動作する。このよう
な動作をする場合、従来の16MDRAMではワードラインが
選択されていない残りの7/8 ・n個のメモリセルアレイ
と接続されているXデコーダも動作する。しかし本発明
によれば、1/8 ・n個のメモリセルアレイに接続された
Xデコーダのみを動作させることになり、ワードライン
が選択されていない残りの7/8 ・n個のXデコーダに流
れる無駄な消費電流を抑制できる。したがってメモリセ
ルアレイの数が多い程、無駄な消費電流をより低減でき
ることになる。
【0025】図5は冗長Xデコーダを備えている半導体
記憶装置の構成を示すブロック図である。電源Vc はP
チャネルトランジスタPT1 と、これと相補動作するNチ
ャネルトランジスタNT7 との直列回路を介してNチャネ
ルトランジスタNT1 と接続される。トランジスタPT1 ,
NT7 のゲートには冗長選択信号RSが入力される。ワード
ラインソース生成回路WLS と同様に構成される冗長ワー
ドラインソース生成回路RWLSはNチャネルトランジスタ
NT5 を介して冗長ワードラインRWL と接続される。それ
以外の回路の構成は図4に示したXデコーダと同様に構
成されており、同一構成部分には同一符号を付してい
る。
【0026】このXデコーダも図4に示したXデコーダ
と同様の動作をする。つまり冗長アドレス選択信号RSが
「L」レベルになるとトランジスタPT1 がオンし、トラ
ンジスタNT7 がオフして、ノードN1が電源Vc によりプ
リチャージされ、インバータIVの出力側が「L」レベル
になってトランジスタPT2 がオンし、またトランジスタ
NT5 がオフする。トランジスタPT2 のオンによって、ノ
ードN1がプリチャージ状態に保持される。インバータIV
の入力側が「L」レベルのためトランジスタNT6 がオン
する。そのため冗長ワードラインソース生成回路RWLSが
「H」レベルになっていても冗長ワードラインRWL は
「L」レベルに保持され冗長ワードラインRWL が選択さ
れない。このように冗長ワードラインRWL が選択されて
いない場合には、トランジスタNT7 によりノードN1とト
ランジスタNT1 とを接続する回路が遮断されていて、ノ
ードN1からトランジスタNT1 , NT2 , NT3 を通って無駄
な消費電流が流れない。
【0027】またプリチャージ電圧が低下せず、冗長ワ
ードラインRWLが選択されない状態に保持できる。とこ
ろで冗長メモリセルアレイを選択する冗長アレイ選択信
号RSが「H」レベルになるとトランジスタPT1 がオフ
し、NT7 がオンする。そしてプリXデコーダからのアド
レス論理信号RA6,7 、RA4,5 、RA2,3 がともに「H」レ
ベルになるとトランジスタNT1 , NT2 , NT3 がともにオ
ンし、ノードN1は「L」レベルになり、インバータIVの
出力側が「H」レベルになってトランジスタPT2 がオフ
し、トランジスタNT5 がオンする。
【0028】またトランジスタNT6 がオフして、冗長ワ
ードラインRWL は冗長ワードラインソース生成回路RWLS
が「H」レベルであると、「H」レベルになって、冗長
ワードラインRWL が選択され、所定の冗長メモリセルア
レイを選択することになる。このように、冗長ワードラ
インRWL が選択されない限り、それと対応する冗長Xデ
コーダは作動せず、冗長Xデコーダの場合も、冗長ワー
ドラインが選択されていない場合は無用の消費電流を抑
制できる。
【0029】図6は反転ロウデコーダプリチャージ信号
*RDP 及びアレイ選択信号ASを用いる他のXデコーダの
構成を示すブロック図である。電源Vc はPチャネルト
ランジスタPT1 とNチャネルトランジスタNT1 , NT2 ,
NT3 との直列回路を介して接地される。反転ロウデコー
ダプリチャージ信号*RDP はAND 回路AN1 の一入力端子
に入力され、その他入力端子はアレイ選択信号ASが入力
される。AND 回路AN1 からの論理信号はトランジスタPT
1 のゲートへ入力される。プリXデコーダからのアドレ
ス論理信号AR6,7 はAND 回路AN2 の一入力端子へ入力さ
れ、その他入力端子はアレイ選択信号ASが入力される。
【0030】AND 回路AN2 からの論理信号はトランジス
タNT1 に入力される。それ以外の回路の構成は図4に示
したXデコーダと同様に構成される。そして、同一構成
部分には同一符号を付している。このXデコーダは
「L」レベルの反転ロウデコーダプリチャージ信号*RD
P 及び「H」レベルのアレイ選択信号ASがAND 回路AN1
に入力されるとトランジスタPT1 がオンし、アドレス論
理信号RA6,7 が「H」レベルにならない限りAND 回路AN
2のアドレス論理信号が「L」レベルになり、トランジ
スタNT1 はオフする。
【0031】そしてノードN1が「H」レベルにプリチャ
ージされる。それによりトランジスタNT5 はオフし、ト
ランジスタNT6 はオンしてワードラインWLは「L」レベ
ルになり、ワードラインソース生成回路WLS が「H」レ
ベルになっていてもワードラインWLは「H」レベルにな
らず、ワードラインWLが選択されない。そして、その状
態では、トランジスタNT2 , NT3 がオンした場合でもノ
ードN1からトランジスタNT2 , NT3 を通る電流がトラン
ジスタNT1 により遮断され、無駄な消費電流を抑制す
る。
【0032】ところで、アドレス論理信号RA6,7
「H」レベルになるとAND 回路AN2 からの論理信号が
「H」レベルになってトランジスタNT1 がオンする。そ
してアドレス論理信号RA4,5 、RA2,3 がいずれも「H」
レベルになるとトランジスタNT2 ,NT3 がともにオンし
てノードN1は「L」レベルになり、それによってトラン
ジスタNT5 がオンし、トランジスタNT6 がオフして、ワ
ードラインソース生成回路WLS が「H」レベルであると
ワードラインWLが「H」レベルになり、ワードラインWL
が選択される。このように、このXデコーダは図4に示
したXデコーダと同様の動作をする。そして、1個のメ
モリセルアレイに対してAND 回路AN1 及びAN2 を夫々1
個設ければよいので、Xデコーダの回路を簡素化でき、
Xデコーダの小型化を図り得る。
【0033】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、ワ
ードラインを選択していないXデコーダに流れる無駄な
消費電流を抑制できる。そして、多数のメモリセルアレ
イを備えている半導体記憶装置の消費電流を大幅に低減
できる。したがって、本発明は記憶容量が大きくても消
費電力が極めて少ない半導体記憶装置を提供できる優れ
た効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】多数のメモリセルアレイを備える半導体記憶装
置の構成を示すブロック図である。
【図2】従来の半導体記憶装置におけるXデコーダの概
念図である。
【図3】図2 に示すXデコーダの構成を示すブロック図
である。
【図4】本発明に係るXデコーダの構成を示すブロック
図である。
【図5】本発明に係るXデコーダの他の構成を示すブロ
ック図である。
【図6】本発明に係るXデコーダの更に他の構成を示す
ブロック図である。
【符号の説明】 A1 ,A2 …A8 メモリセルアレイ D1 ,D2 …D8 Xデコーダ PT1 ,PT2 Pチャネルトランジスタ NT1 , NT2 …NT7 Nチャネルトランジスタ IV インバータ XL Xアドレスライン WL ワードライン RWL 冗長ワードライン Vc 電源

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のメモリセルアレイの夫々に対応し
    て設けているアドレスデコーダによりワードラインを選
    択し、選択したワードラインと接続されているメモリセ
    ルがアクセスされる半導体記憶装置において、前記アド
    レスデコーダは、前記メモリセルアレイを選択すべき信
    号が入力され、相補動作する直列接続の第1トランジス
    タ及び第2トランジスタと、夫々にアドレス論理信号が
    入力される直列接続の複数の第3トランジスタとを備
    え、第1トランジスタ及び第2トランジスタに、第3ト
    ランジスタを直列接続した回路を備えていることを特徴
    とする半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の半導体記憶装置におい
    て、所定ノードをプリチャージすべき指令をするプリチ
    ャージ信号及びメモリセルアレイを選択すべき信号が入
    力される第1論理回路と、所定のアドレス論理信号及び
    メモリセルアレイを選択すべき信号が入力される第2論
    理回路とを備え、第1論理回路の出力信号を第1トラン
    ジスタに、第2論理回路の出力信号を第3トランジスタ
    に入力すべく構成してあることを特徴とする半導体記憶
    装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016197863A (ja) * 2011-05-19 2016-11-24 株式会社半導体エネルギー研究所 集積回路

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016197863A (ja) * 2011-05-19 2016-11-24 株式会社半導体エネルギー研究所 集積回路
JP2018107815A (ja) * 2011-05-19 2018-07-05 株式会社半導体エネルギー研究所 集積回路

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