JP2001229695A - 半導体メモリ装置並びにテスト回路及びテスト方法 - Google Patents

半導体メモリ装置並びにテスト回路及びテスト方法

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JP2001229695A JP2001021610A JP2001021610A JP2001229695A JP 2001229695 A JP2001229695 A JP 2001229695A JP 2001021610 A JP2001021610 A JP 2001021610A JP 2001021610 A JP2001021610 A JP 2001021610A JP 2001229695 A JP2001229695 A JP 2001229695A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】MRADテスト回路、これを具備する半導体メモリ
装置及びMRADテスト方法を提供する。 【解決手段】半導体メモリ装置は、ビットラインセンス
アンプ部を共有する多数のワードラインを含む少なくと
も1つのメモリアレーと、テストモードにおいて、前記
ビットラインセンスアンプ部を共有する多数本のワード
ラインのうち少なくとも2本のワードラインを同時に活
性化させるテスト回路14を具備する。前記テスト回路
14は、前記テストモードにおいて少なくとも1つの制
御信号を活性化する多数の制御信号を発生する制御信号
発生回路142と、前記活性化された制御信号及びロー
アドレス信号に応答して、少なくとも2本の前記ワード
ラインを活性化するローデコーダ124とを含む。これ
により、電流消耗量の増加無しに半導体メモリ装置のテ
スト時間を短縮しうる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体メモリ装置に
係り、特にテスト時間を短縮しうるテスト回路及びこれ
を備える半導体メモリ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体メモリ装置が開発されて以来、高
性能化及び高集積化の面で著しく発展してきた。さら
に、半導体メモリ装置の生産性の向上のためにテスト時
間を短縮するための様々な工夫がなされている。
【0003】一方、半導体メモリ装置の入出力の速度の
向上のために、1つの半導体メモリ装置内に多数のバン
クが備えられる。
【0004】一般に、半導体メモリ装置の正常動作モー
ドでは、1回のローアクティブ命令及びデータ入出力命
令が印加されると、外部から入力されるアドレスに対応
する1つのバンクから1本のワードラインのみが選択さ
れる。そして、ワードラインにより選択されたメモリセ
ルの情報はビットラインセンスアンプにより増幅されて
外部に入出力される。一回のローアクティブ命令によっ
て1つのバンクの1つのワードラインのみが選択される
場合、全てのワードラインを選択するためには(バンク
数×バンク内のワードライン数)だけのローアクティブ
命令が印加されなければならない。従って、半導体メモ
リ装置をテストするために長時間がかかる。
【0005】半導体メモリ装置のテスト時間を短縮する
ためのテストモードの1つとしてリフレッシュサイクル
短縮(RCR : Refresh Cycle Reduction)モードがある。R
CRモードでは、1回のローアクティブ命令により多数個
のバンクが選択される。従って、1回のローアクティブ
命令によって多数本のワードラインが同時に活性化さ
れ、これによってテスト時間が短縮される。しかし、RC
Rモードでは同時に多数のバンクに存するワードライン
が選択されるので、同時に動作するビットラインセンス
アンプの数も増加する。ビットラインセンスアンプは動
作時に多くの電流を消耗する。ところが、半導体メモリ
装置は消耗可能な電流量において限界を有する。
【0006】従って、消耗電流量の限界のために、RCR
モードで同時に活性化されるワードラインの数を増加さ
せる上で限界がある。従って、従来のテストモードでは
テスト時間の短縮に限界がある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する技術的課題は、半導体メモリ装置の消耗電流量の増
加を最小化してテスト時間を短縮しうる半導体メモリ装
置を提供することである。
【0008】本発明が解決しようとする他の技術的課題
は、半導体メモリ装置のテスト時間を短縮することがで
きるように所定のテストモード動作を制御するテスト制
御回路を提供することである。
【0009】本発明が解決しようとするさらに他の技術
的課題は、前記半導体メモリ装置のテスト時間を短縮す
るテスト方法を提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】前記技術的課題を達成す
るための本発明に係る半導体メモリ装置は、ビットライ
ンセンスアンプ部を共有する多数のワードラインを含む
少なくとも1つのメモリアレーを備え、テストモードに
おいて、前記ビットラインセンスアンプ部を共有する多
数本のワードラインのうち少なくとも2本のワードライ
ンが同時に活性化される。
【0011】前記他の技術的課題を達成するための本発
明に係るテスト回路は、ビットラインセンスアンプ部を
共有する多数のワードラインを含む少なくとも1つのメ
モリアレーを備える半導体メモリ装置のテスト回路にお
いて、前記テストモードにおいて少なくとも1つの制御
信号を活性化する多数の制御信号を発生する制御信号発
生回路と、前記活性化された制御信号及び多数のビット
からなる所定のローアドレス信号に応答して少なくとも
2本のワードラインを活性化するローデコーダを具備す
る。
【0012】前記さらに他の技術的課題を達成するため
の本発明に係るテスト方法は、ビットラインセンスアン
プ部を共有する多数のワードラインを含む少なくとも1
つのメモリアレーを具備する半導体メモリ装置のテスト
方法において、A)アドレスピンを通じて所定のマルチロ
ーアクティブディスターブテスト信号を入力する段階
と、B)前記マルチローアクティブディスターブテスト信
号に応じて少なくとも1つの制御信号が活性化される段
階と、C)前記制御信号及び所定のローアドレス信号に応
じて少なくとも2本の前記ワードラインが同時に選択さ
れる段階とを具備する。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、添付した図面に基づき本発
明の望ましい実施形態を詳しく説明する。本明細書で
は、説明の便宜上、各図面を通じて同じ役割を行う信号
及び構成要素には同じ名称及び参照番号を付する。
【0014】図1は本発明の一実施形態に係る半導体メ
モリ装置を示す図面である。これを参照すれば、望まし
い実施形態に係る半導体メモリ装置は1つ以上のメモリ
アレー122とビットラインセンスアンプ部128を具
備する。メモリアレー122は情報の貯蔵される多数の
メモリセルが行(row)と列(column)とをなして配列さて
いる部分である。ワードラインはメモリアレー122内
で行を構成するラインであって、データの入出力される
メモリセルを選択するためのラインである。ビットライ
ンはメモリアレー122内で列を構成するラインであっ
て、データの入出力されるラインである。一つのメモリ
アレー122は多数のワードラインを含み、多数のワー
ドラインは1つのビットラインセンスアンプ部128を
共有する。メモリアレー122内のメモリセルはワード
ライン単位で選択される。ワードラインにより選択され
たメモリセルのデータはビットラインに出力されてビッ
トラインセンスアンプ部128で感知、増幅される。感
知増幅されたデータのうちカラムデコーダ126により
選択されたカラムのデータのみが入出力回路18を通じ
て半導体メモリ装置の外部に出力される。
【0015】メモリアレー122は1つ以上のサブアレ
ーで構成される。そして、ビットラインセンスアンプ部
は各サブアレー別に存在しうる。
【0016】本発明の望ましい実施形態の半導体メモリ
装置はマルチローアクティブディスターブ(Multi Row A
ctive Disturb:以下MRADと称する)テスト回路14を含
む。MRADテスト回路14は制御信号発生回路142及び
ローデコーダ124を具備する。本発明の一実施形態に
係るMRADテスト回路が図2に示されている。MRADテスト
回路に関しては図2を参照しながら後に詳述するので、
ここでは簡略に記述する。
【0017】制御信号発生回路142は多数の制御信号
PMRADを発生する回路であって、MRADテストモードでは
少なくとも1つの制御信号を活性化させ、MRADテストモ
ード以外のモードでは制御信号PMRADを活性化させな
い。MRADテストモードとは、ビットラインセンスアンプ
部128を共有するメモリアレー122内の多数のワー
ドラインのうち少なくとも2本のワードラインを同時に
活性化して半導体メモリ装置をテストすることによって
テスト時間を短縮しうるテストモードである。
【0018】ローデコーダ124は制御信号PMRAD及び
ローアドレス信号に応答し、1本以上のワードラインを
選択して活性化する。MRADテストモードでは、ローデコ
ーダ124は活性化された制御信号PMRAD及びローアド
レス信号に応答して、ビットラインセンスアンプ部12
2を共有する多数のワードラインのうち少なくとも2つ
のワードラインを同時に活性化させる。
【0019】メモリアレー122、ビットラインセンス
アンプ部128、ローデコーダ124及びカラムデコー
ダ126は1つのバンクを形成しうる。そして、本発明
の半導体メモリ装置は前記のように各々構成される多数
のバンクで構成されうる。
【0020】図2は本発明の一実施形態に係るテスト回
路を示す図面である。本発明の一実施形態のテスト回路
は、前述したように、MRADテスト回路と称される。図2
を参照すれば、望ましい実施形態に係るMRADテスト回路
14は制御信号発生回路142及びローデコーダ124
を具備する。そして、MRADテスト回路14はローアドレ
スラッチ信号PDRAEを発生するローアドレスラッチ信号
発生回路24をさらに具備することもできる。ローアド
レスラッチ信号PDRAEはローデコーダ124にローアド
レス信号をラッチさせる。ローアドレス信号は半導体メ
モリ装置のアドレスピンを通じて入力されるアドレス信
号であって、多数のビットで構成される。
【0021】制御信号発生回路142はMRADテストモー
ド以外のモードでは、制御信号を活性化させない。ロー
デコーダ124はローアドレス信号を受信してデコーデ
ィングする。MRADテストモードでは、制御発生回路14
2は少なくとも1つの活性化された制御信号を発生す
る。そうすると、ローデコーダ124はローアドレス信
号のうち活性化された制御信号が指定するビットを無視
して、即ち、当該ビットによって制御される出力信号
(デコーディング結果)の全てを所定レベルとして、デ
コーディンする。ここでは、所定レベルを“ハイ”レベ
ルと仮定する。
【0022】望ましくは、ローデコーダ124はローア
ドレス信号を構成する多数のビットをnビット単位に分
けてプリデコーディングする多数のプリデコーダを具備
する。以下では、説明の便宜上、ローアドレス信号を2
ビット単位に分けてプリデコーディングするものと仮定
する。従って、制御信号も各プリデコーダを選択的に制
御するために、ローアドレス信号を2ビット単位に分け
て制御することが望ましい。従って、各プリデコーダも
各々ローアドレス信号の2ビットを受信してプリデコー
ディングすることが望ましい。しかし、プリデコーディ
ングするローアドレス信号のビット数は2ビット以外で
あってもよいし、プリデコーディングすることなくロー
アドレス信号をデコーディングしてもよい。
【0023】本発明の一実施形態のMRADテスト回路14
は多数のバンク及びサブアレーで構成される半導体メモ
リ装置に対するテスト回路である。従って、ローアドレ
ス信号は、バンクを選択するためのバンクアドレスBRA0
〜BRAj、バンク内のサブアレーを選択するためのサブア
レーアドレスSRA0〜SRAj及びサブアレー内のワードライ
ンを選択するためのワードラインアドレスRA0〜RAjに分
けて表現される。
【0024】そして、ローデコーダ124はバンクデコ
ーダ27、サブアレーデコーダ26、ワードラインデコ
ーダ25、サブアレー選択回路28及びワードライン駆
動回路29に大別される。バンクデコーダ27はバンク
アドレスBRA0〜BRAjをプリデコーディングする。サブア
レーデコーダ26はサブアレーアドレスSRA0〜SRAjをプ
リデコーディングする。ワードラインデコーダ25はワ
ードラインアドレスRA0〜RAjをプリデコーディングす
る。サブアレー選択回路28はバンクデコーダ27及び
サブアレーデコーダ26の出力信号を受信し、最終サブ
アレー選択信号SSUBを発生する。そして、ワードライン
駆動回路29はワードラインプリデコーダ25の出力信
号及びサブアレー選択信号SSUBにより最終的に選択され
たワードラインを活性化する。
【0025】制御信号発生回路142はローアドレス信
号を2ビット単位に分けて制御する多数の制御信号PMRA
D01、PMRAD23、...、PMRADijを発生する。本実
施例ではバンク及びサブアレーについては1つを選択
し、サブアレー内のワードラインについては同時に2つ
以上を選択するものと仮定する。従って、発生する制御
信号PMRAD01、PMRAD23、...、PMRADijはワード
ラインデコーダ25のプリデコーダDRA01〜DRAijを各
々制御する。ここでは、サブアレーデコーダ26及びバ
ンクデコーダ27には制御信号が入力されないものと仮
定するが、バンク及びサブアレーを同時に多数個選択す
るための制御信号を更に発生し、多数個のバンクまたは
多数個のサブアレー内で多数個のワードラインを同時に
選択することもできる。
【0026】ワードラインアドレスが“RA0”ビット乃
至“RAj”ビットなので、制御信号発生回路142が発
生する制御信号はワードラインアドレスの“RA0”及び
“RA1”ビットを制御する信号PMRAD01からワードラ
インアドレスの“RAi”及び“RAj”ビットを制御する信
号PMRADijまでである。発生した制御信号PMRAD01は該
当するプリデコーダDRA01に入力される。同様に、残
りの制御信号PMRAD23、...、PMRADijも各々該当す
るプリデコーダに入力される。それぞれのプリデコーダ
DRA01〜DRAijは入力された制御信号PMRAD01〜PMRAD
ijが活性化された状態ならば、入力されたローアドレス
信号の値を無視し、4ビットの出力信号の全てを活性化
させる。
【0027】例えば、半導体メモリ装置がローアドレス
信号の中から“RAi”、“RAj”ビットを無視するMRADテ
ストモードに進入すれば、制御信号発生回路142は制
御信号PMRADijを活性化させる。制御信号PMRADijはロー
デコーダ124の該当するプリデコーダDRAijに入力さ
れる。プリデコーダDRAijは入力された制御信号PMRADij
が活性化された状態なので、ローアドレス信号の該当ビ
ットの“RAi”及び“RAj”を無視し、4ビットの出力信
号DRAij[0]からDRAij[4]の全てを活性化する。このと
き、“RAi”及び“RAj”を除いたワードラインアドレス
は他のプリデコーダで正常にプリデコーディングされ
る。従って、選択されるワードラインは“RAi”及び“R
Aj”を除いた“RA0”〜“RA(i-1)”のローアドレス信
号によって決まるので、同時に4本のワードラインが選
択される。
【0028】MRADテストモードへの進入はアドレスピン
を通じてMRADテスト信号を入力することによってなされ
る。即ち、MRADテスト信号にはローアドレス信号のうち
あるビットを無視するMRADテストモードであることを示
す情報が含まれる。
【0029】図3は図2のテスト回路におけるプリデコ
ーダを詳しく示す図面である。図3を参照すれば、図2
のテスト回路におけるプリデコーダDRAijはプリデコー
ディング部34、ゲート信号部32、2n個のスイッチT
G1〜TG4及び2n個のラッチ部36a〜36dを具備す
る。ここで、nはプリデコーダDRAijが受信するローアド
レス信号のビット数である。本実施形態のプリデコーダ
DRAijはローアドレス信号RAのうち2つのビットを受信
し、プリデコーディングする。従って、図3のプリデコ
ーダは4(2)個のスイッチTG1〜TG4及び4(2)個
のラッチ部36a〜36dを備えている。
【0030】プリデコーディング部34はローアドレス
信号RAのうち該当する2つのビットRAi、RAjを受信し、
2つのビットの値に応じて4つの出力信号PO1〜PO4の
うち1つのみが活性化された出力信号を発生する。
【0031】ゲート信号部32はローアドレスラッチ信
号PDRAE及び制御信号PMRADijに応じてゲート信号SGを発
生する。
【0032】スイッチTG1〜TG4はゲート信号SGにより
ターンオンまたはターンオフされる。本実施形態ではス
イッチTG1〜TG4は伝送ゲートである。そして、伝送ゲ
ートはゲート信号が“ハイ”レベルの時にターンオンさ
れ、“ロー”レベルの時にターンオフされる。
【0033】ラッチ部36a〜36dはスイッチTG1〜TG
4がターンオンされると、プリデコーディング部34の
出力信号PO1〜PO4を各々取り込み、スイッチTG1〜TG
4がターンオフされると、ラッチ部36a〜36dは直前
のレベルをラッチする。各ラッチ部36a〜36dは各ラ
ッチ部と接地電圧GNDとの間に形成される1つのMOSトラ
ンジスタNM1〜NM4を有する。各MOSトランジスタNM1
〜NM4は制御信号PMRADijにより制御される。スイッチT
G1〜TG4がターンオフされ、制御信号PMRADijが“ハ
イ”レベルに活性化された状態ならば、各MOSトランジ
スタNM1〜NM4がターンオンされるので、各ラッチ部3
6a〜36dの出力信号DRAij[0]〜DRAij[3]は全て“ハ
イ”レベルになる。
【0034】そして、スイッチTG1〜TG4がターンオン
され、制御信号PMRADijが“ロー”レベルに非活性化さ
れた状態ならば、入力された2ビットのローアドレス信
号RAi、RAjの値に応じて、ラッチ部36a〜36dの出力
信号DRAij[0]〜DRAij[3]のうち1つの信号のみが“ハ
イ”レベルになる。本実施形態では、1つの制御信号PM
RADijのみが活性化されると述べたが、多数の制御信号
が活性化されてもよい。そうすると、さらに多くのワー
ドラインが同時に選択されうる。
【0035】前述したように活性化される制御信号を調
節することによって、同時に活性化されるワードライン
の数が調節されうる。
【0036】図4は本発明の一実施形態に係るテスト方
法を示すフローチャートである。これを参照すれば、本
発明の一実施形態のテスト方法は大きく3段階に分けら
れる。まず、半導体メモリ装置をMRADテストモードに進
入させるためにアドレスピンを通じてMRADテスト信号を
入力する(43)。そうすると、入力されたMRADテスト信
号に応じて、少なくとも1つの制御信号が制御信号発生
回路142によって活性化される(45)。次いで、活性
化された制御信号及び入力されるアドレス信号に応じて
少なくとも2本のワードラインが同時に選択される(4
7)。
【0037】本発明は図面に示された実施例に基づいて
説明したがこれは例示的なものに過ぎず、当業者ならば
これより多様な変形及び均等な他実施例が可能なのを理
解しうる。従って、本発明の真の技術的保護範囲は特許
請求の範囲の技術的思想によってのみ決まるべきであ
る。
【0038】
【発明の効果】本発明のテスト回路及びテスト方法によ
れば、例えば、電流消耗量の増加なしに半導体メモリ装
置のテスト時間を短縮しうる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は本発明の一実施形態に係る半導体メモリ
装置を示す図面である。
【図2】本発明の一実施形態に係るテスト回路を示す図
面である。
【図3】図2のテスト回路におけるプリデコーダを詳し
く示す図面である。
【図4】本発明の一実施形態に係るテスト方法を示すフ
ローチャートである。
【符号の説明】
14 MRADテスト回路 24 ローアドレスラッチ信号発生回路 124 ローデコーダ 142 制御信号発生回路

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 半導体メモリ装置において、 ビットラインセンスアンプ部を共有する多数のワードラ
    インを含む少なくとも1つのメモリアレーと、 テストモードにおいて、前記ビットラインセンスアンプ
    部を共有する多数本のワードラインのうち少なくとも2
    本のワードラインを同時に活性化させるテスト回路を具
    備し、 前記テスト回路は、 前記テストモードにおいて少なくとも1つの制御信号を
    活性化する、多数の制御信号を発生する制御信号発生回
    路と、 活性化された前記制御信号及びローアドレス信号に応じ
    て、少なくとも2本の前記ワードラインを活性化するロ
    ーデコーダとを含むことを特徴とする半導体メモリ装
    置。
  2. 【請求項2】 前記ローデコーダは、前記制御信号が活
    性化されていない場合は前記ローアドレス信号をデコー
    ディングし、前記制御信号が活性化されている場合は前
    記ローアドレス信号のビットのうち前記活性化された制
    御信号が指定するビットを無視して前記ローアドレス信
    号をデコーディングすることを特徴とする請求項1に記
    載の半導体メモリ装置。
  3. 【請求項3】 ビットラインセンスアンプ部を共有する
    多数のワードラインを含む少なくとも1つのメモリアレ
    ーを備える半導体メモリ装置のテスト回路において、 前記テストモードにおいて少なくとも1つの制御信号を
    活性化する多数の制御信号を発生する制御信号発生回路
    と、 活性化された前記制御信号及び多数のビットからなる所
    定のローアドレス信号に応答して少なくとも2本のワー
    ドラインを活性化するローデコーダを具備し、 前記ローデコーダは、前記制御信号が活性化されていな
    い場合は前記ローアドレス信号をデコーディングし、前
    記制御信号が活性化されている場合は前記ローアドレス
    信号のうち前記活性化された制御信号が指定するビット
    を無視して前記ローアドレス信号をデコーディングする
    ことを特徴とするテスト回路。
  4. 【請求項4】 前記ローデコーダは前記ローアドレス信
    号を構成する複数のビットをnビット単位に分けてプリ
    デコーディングする複数のプリデコーダを具備し、 前記制御信号は前記ローアドレス信号を前記nビット単
    位に分けて制御することを特徴とする請求項3に記載の
    テスト回路。
  5. 【請求項5】 前記複数のプリデコーダの各々は、 前記ローアドレス信号を構成する複数のビットのうちn
    ビットをデコーディングして、2n個の出力信号のうち
    1つのみが活性化される出力信号を発生するプリデコー
    ディング部と、 所定のローアドレスラッチ信号及び前記各プリデコーダ
    に入力される制御信号に応答してゲート信号を発生する
    ゲート信号部と、 前記ゲート信号によってターンオン/ターンオフされる
    n個のスイッチと、 前記スイッチのターンオン時に前記プリデコーディング
    部の出力信号をラッチし、前記スイッチのターンオフ時
    に所定レベルの信号をラッチする2n個のラッチ部とを
    具備することを特徴とする請求項4に記載のテスト回
    路。
  6. 【請求項6】 前記複数のラッチ部の各々は、前記ラッ
    チ部と接地電圧との間に形成されるMOSトランジスタを
    具備し、前記MOSトランジスタはそれが属するプリデコ
    ーダに入力される制御信号によって制御されることを特
    徴とする請求項5に記載のテスト回路。
  7. 【請求項7】 ビットラインセンスアンプ部を共有する
    多数のワードラインを含む少なくとも1つのメモリアレ
    ーを具備する半導体メモリ装置のテスト方法において、 A)アドレスピンを通じて所定のマルチローアクティブデ
    ィスターブテスト信号を入力する段階と、 B)前記マルチローアクティブディスターブテスト信号に
    応じて少なくとも1つの制御信号が活性化される段階
    と、 C)前記制御信号及び所定のローアドレス信号に応じて少
    なくとも2本の前記ワードラインが同時に選択される段
    階とを具備することを特徴とするテスト方法。
JP2001021610A 2000-02-11 2001-01-30 半導体メモリ装置並びにテスト回路及びテスト方法 Pending JP2001229695A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
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