JPH0572411U - Dicing machine - Google Patents
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- JPH0572411U JPH0572411U JP1119292U JP1119292U JPH0572411U JP H0572411 U JPH0572411 U JP H0572411U JP 1119292 U JP1119292 U JP 1119292U JP 1119292 U JP1119292 U JP 1119292U JP H0572411 U JPH0572411 U JP H0572411U
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- JP
- Japan
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- blade
- tip
- injection
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- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 噴射ノズルの噴射口の位置決めが容易で、砥
石の破損を防止する。また、ブレードの外周面に効率よ
く研削水をのせる。
【構成】 調整ボルト６６を本体３８にねじ結合すると
共に調整ボルト６６の先端部をノズルホルダ６０に当接
し、スプリング６８でノズルホルダ６０が調整ボルト６
６の先端部に押し付けられる方向に付勢した。従って、
調整ボルト６６を時計回り、又は、反時計回り方向に回
動すると調整ボルト６６の先端部がノズルホルダ６０を
一方向に揺動し、又は、スプリング６８の付勢力で他方
向に揺動する。そして、ノズルホルダ６０が時計回り又
は反時計回り方向に回動した後、ノズルホルダ６０は調
整ボルト６６の先端部とスプリング６８とで回動位置に
保持される。また、ノズル７０を折り曲げた状態に形成
すると共にノズル７０の噴射口をブレード３８の回転中
心に向けて、研削水をブレード３８の外周面に効率よく
のせる。
(57) [Abstract] [Purpose] It is easy to position the injection port of the injection nozzle and prevent damage to the grindstone. Further, the grinding water is efficiently placed on the outer peripheral surface of the blade. The adjustment bolt 66 is screwed to the main body 38, the tip of the adjustment bolt 66 is brought into contact with the nozzle holder 60, and the spring 68 causes the nozzle holder 60 to move the adjustment bolt 6.
The tip of No. 6 was urged in the direction of being pressed. Therefore,
When the adjustment bolt 66 is rotated clockwise or counterclockwise, the tip end portion of the adjustment bolt 66 swings the nozzle holder 60 in one direction or the other direction by the biasing force of the spring 68. Then, after the nozzle holder 60 rotates clockwise or counterclockwise, the nozzle holder 60 is held at the rotating position by the tip portion of the adjusting bolt 66 and the spring 68. Further, the nozzle 70 is formed in a bent state, and the injection port of the nozzle 70 is directed to the rotation center of the blade 38, so that the grinding water is efficiently placed on the outer peripheral surface of the blade 38.
Description
【０００１】[0001]
この考案はダイシング装置に係り、特に研削刃（以下「ブレード」と称す。） で磁気ヘッド、ガラス等の溝入れや切断加工を行うダイシング装置に関する。 The present invention relates to a dicing device, and more particularly to a dicing device for grooving or cutting a magnetic head, glass or the like with a grinding blade (hereinafter referred to as “blade”).
【０００２】[0002]
ダイシング装置で磁気ヘッド、ガラス等（以下「ワーク」と称す。）の溝入れ や切断加工を行う場合、接着テープでカッティングテーブルに接着したワークを ブレードで適当な形状に溝入れや切断加工を行う。そして、溝入れや切断加工時 にはワークの加工精度を維持するために、ブレードに研削水を吹き付けてブレー ドを冷却する。 When grooving and cutting magnetic heads, glass, etc. (hereinafter referred to as "workpieces") with a dicing device, the work piece adhered to the cutting table with adhesive tape is grooved and cut into an appropriate shape with a blade. .. During grooving and cutting, grinding water is sprayed on the blade to cool the blade in order to maintain the machining accuracy of the workpiece.
【０００３】 また、ワークの加工面に研削水が供給されないと加工面のチッピングが発生す るので、チッピング防止用の研削水を、ブレードの両側の加工面に均等に供給す る必要がある。 さらに、ワークの加工面底部まで研削水が供給されないとワークに割れが発生 するので、加工時のワーク割れ防止用の研削水を、ワークの加工面底部まで供給 する必要がある。Further, if the grinding water is not supplied to the processed surface of the work, chipping of the processed surface occurs, so it is necessary to uniformly supply the grinding water for chipping prevention to the processed surfaces on both sides of the blade. Furthermore, if grinding water is not supplied to the bottom of the work surface of the work, cracks will occur in the work, so it is necessary to supply grinding water for preventing work cracking to the bottom of the work surface of the work.
【０００４】 従って、ブレードを冷却した研削水が、ブレードの両側のワーク加工面に均等 に供給されると共にワークの加工面底部まで供給される位置に噴射ノズルの噴射 口を位置決めする必要がある。 そして、図６に示すように噴射ノズル１０は回動軸１２を介してレバー１４に 揺動自在に支持されていて、また、レバー１４は回動軸１６を介して図示しない 本体に揺動自在に支持されている。Therefore, it is necessary to position the jet port of the jet nozzle at a position where the grinding water that has cooled the blade is evenly supplied to the work processing surfaces on both sides of the blade and to the bottom of the processing surface of the work. As shown in FIG. 6, the injection nozzle 10 is swingably supported by a lever 14 via a rotating shaft 12, and the lever 14 is swingable by a body (not shown) via a rotating shaft 16. Supported by.
【０００５】 これにより、噴射ノズル１０を回動軸１２を中心にして揺動し、又はレバー１ ４を回動軸１６を中心にして揺動して、噴射ノズル１０の噴射口１０Ａを所望の 位置に位置決めする。この噴射口１０Ａの位置決め位置は経験により微小範囲に 限定されることが知られていて、僅かのズレでも許容されない。 尚、噴射ノズル１０の噴射口１０Ａの位置決めは砥石１８が摩耗した場合にも 行われる。As a result, the injection nozzle 10 is swung about the rotary shaft 12 or the lever 14 is swung about the rotary shaft 16, so that the injection port 10 A of the injection nozzle 10 can be moved to a desired position. Position in position. It is known from experience that the positioning position of the injection port 10A is limited to a minute range, and even a slight deviation is not allowed. The positioning of the injection port 10A of the injection nozzle 10 is performed even when the grindstone 18 is worn.
【０００６】[0006]
一方、噴射ノズル１０と回動軸１２との回動面、及びレバー１４と回動軸１６ との回動面の各々には研削水の漏れを防止するためにシール部材（図示せず。） が設けられている。従って、作業者が手で噴射ノズル１０又はレバー１４を揺動 するとシール部材が弾性変形し、作業者が噴射ノズル１０又はレバー１４から手 を離すとシール部材が元の状態にもどる。従って、シール部材の復元と共に噴射 ノズル１０又はレバー１４が位置決め位置からズレる。 On the other hand, a seal member (not shown) is provided on each of the rotating surfaces of the injection nozzle 10 and the rotating shaft 12 and the rotating surfaces of the lever 14 and the rotating shaft 16 in order to prevent leakage of grinding water. Is provided. Therefore, when the operator swings the injection nozzle 10 or the lever 14 by hand, the seal member elastically deforms, and when the operator releases the injection nozzle 10 or the lever 14, the seal member returns to the original state. Therefore, the injection nozzle 10 or the lever 14 is displaced from the positioning position as the seal member is restored.
【０００７】 このため、シール部材によるズレ量を予め考慮して噴射ノズル１０又はレバー １４を調整する必要があるので調整が困難であり、また、予めズレ量を考慮する ため噴射ノズル１０又はレバー１４の調整量が大きくなり噴射ノズル１０を砥石 １８に干渉させて砥石１８を破損するという問題がある。 本考案はこのような事情に鑑みてなされたもので、噴射ノズルの噴射口の位置 決めが容易で、さらに砥石の破損を防止することができるダイシング装置を提供 することを目的とする。For this reason, it is necessary to adjust the injection nozzle 10 or the lever 14 in consideration of the deviation amount due to the seal member, which is difficult to adjust, and in order to consider the deviation amount in advance, the injection nozzle 10 or the lever 14 is required. However, there is a problem that the adjustment amount becomes large and the jet nozzle 10 interferes with the grindstone 18 to damage the grindstone 18. The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a dicing device in which the position of the injection port of the injection nozzle can be easily determined and the damage of the grindstone can be prevented.
【０００８】[0008]
本考案は、前記目的を達成する為に、揺動自在に設けられた噴射ノズルで研削 刃に研削水を吹き付けると共に研削刃を回転してワークを加工するダイシング装 置において、本体にねじ結合されると共に先端部が前記噴射ノズルに当接された 調整ボルトと、前記噴射ノズルを調整ボルトの先端部に押し付ける方向に付勢す る付勢部材と、を備え、調整ボルトを回動して前記噴射ノズルを揺動して前記噴 射ノズルの噴射口を所望位置に位置決めすることを特徴とする。 In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides a dicing device for spraying grinding water to a grinding blade with a swingable injection nozzle and rotating the grinding blade to machine a workpiece. And an adjusting bolt whose tip is in contact with the injection nozzle, and an urging member for urging the injection nozzle in a direction of pressing the injection nozzle against the tip of the adjustment bolt. It is characterized in that the jet nozzle is swung to position the jet port of the jet nozzle at a desired position.
【０００９】[0009]
本考案によれば、調整ボルトを本体にねじ結合すると共に調整ボルトの先端部 を噴射ノズルに当接し、付勢部材で噴射ノズルが調整ボルトの先端部に押し付け られる方向に付勢した。従って、調整ボルトを時計回り方向に回動すると調整ボ ルトの先端部が噴射ノズルを付勢部材の付勢力に抗して一方の方向に揺動する。 又は、調整ボルトを反時計回り方向に回動すると調整ボルトの先端部が退避して 噴射ノズルが付勢部材の付勢力で他方の方向に揺動する。そして、噴射ノズルが 時計回り方向又は反時計回り方向に回動した後、噴射ノズルは調整ボルトの先端 部と付勢部材とで、回動された位置に正確に位置決めされる。 According to the present invention, the adjusting bolt is screwed to the main body, the tip of the adjusting bolt is brought into contact with the jet nozzle, and the biasing member biases the jet nozzle in the direction in which it is pressed against the tip of the adjusting bolt. Therefore, when the adjustment bolt is rotated clockwise, the tip of the adjustment bolt swings the injection nozzle in one direction against the biasing force of the biasing member. Alternatively, when the adjustment bolt is rotated counterclockwise, the tip of the adjustment bolt retracts and the injection nozzle swings in the other direction by the biasing force of the biasing member. Then, after the injection nozzle has rotated clockwise or counterclockwise, the injection nozzle is accurately positioned at the rotated position by the tip portion of the adjustment bolt and the biasing member.
【００１０】 また、噴射ノズルを折り曲げた状態に形成すると共に噴射ノズルの噴射口を研 削刃の回転中心に向けたので、研削刃が高速回転している場合でも研削水を下方 向に撥ね飛ばさないで、研削刃の外周面にのせることができる。 さらに、噴射ノズルの噴射口に切込みを形成して、この切込みに研削刃を嵌入 したので、さらに効率よく研削水を研削刃の外周面にのせることができる。Further, since the injection nozzle is formed in a bent state and the injection port of the injection nozzle is directed toward the center of rotation of the grinding blade, the grinding water is splashed downward even when the grinding blade is rotating at high speed. Instead, it can be placed on the outer peripheral surface of the grinding blade. Furthermore, since a cut is formed in the injection port of the injection nozzle and the grinding blade is fitted into this cut, the grinding water can be more efficiently placed on the outer peripheral surface of the grinding blade.
【００１１】[0011]
以下添付図面に従って本考案に係るダイシング装置の好ましい実施例について 説明する。 図１及び図２はそれぞれ本発明に係るダイシング装置３０の斜視図及び要部拡 大図、また、図３は図２のＡ−Ａ矢視図である。図１に示すダイシング装置３０ はカッテイングテーブル（図示せず。）にローディングされたワーク３４をファ インアライメントし、その後時計回り方向に高速回転しているブレード３６でワ ーク３４を所要の形状に切断する。ブレード３６は本体３８に回動自在に支持さ れていて、モータ４０で時計回り方向に高速回転する。そしてブレード３６でワ ーク３４を切断する時にはワーク３４の加工精度を維持するために、噴射手段１ ８の噴射口からブレード１６に研削水を吹きつけてブレード３６の冷却等を行う 。 A preferred embodiment of a dicing apparatus according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. 1 and 2 are a perspective view and an enlarged view of an essential part of a dicing apparatus 30 according to the present invention, and FIG. 3 is a view taken along the line AA of FIG. The dicing device 30 shown in FIG. 1 fine-aligns a work 34 loaded on a cutting table (not shown), and then forms the work 34 into a desired shape by a blade 36 that rotates in a clockwise direction at a high speed. Disconnect. The blade 36 is rotatably supported by a main body 38, and is rotated at a high speed in a clockwise direction by a motor 40. Then, when the work 34 is cut by the blade 36, in order to maintain the processing accuracy of the work 34, grinding water is sprayed from the injection port of the injection means 18 to the blade 16 to cool the blade 36.
【００１２】 図２、図３に示すように噴射手段１８はアーム４４を備えていて、アーム４４ は本体３８の右端部にボルト４６を介して回動自在に支持されている。ボルト４ ６にはアーム４４の流路に研削水を案内するための開口部（いづれも図示せず。 ）が形成されていて、ボルト４６とアーム４４との摺動面には研削水の漏れを防 止するためのＯリング（図示せず。）が取り付けられている。アーム４４の上方 の本体３８にはビス４７、４７（図３参照）を介してブロック４８が固定されて いる。ブロック４８には調整ボルト５０がねじ結合されていて、調整ボルト５０ は軸線が垂直方向を向くように配設されている。そして、調整ボルト５０の先端 部はアーム４４の上端縁に当接されている。As shown in FIGS. 2 and 3, the injection means 18 includes an arm 44, and the arm 44 is rotatably supported by a right end portion of a main body 38 via a bolt 46. The bolt 46 has an opening (neither of which is shown) for guiding the grinding water to the flow path of the arm 44, and the sliding surface of the bolt 46 and the arm 44 leaks the grinding water. An O-ring (not shown) is attached to prevent this. A block 48 is fixed to the main body 38 above the arm 44 via screws 47, 47 (see FIG. 3). An adjusting bolt 50 is screwed to the block 48, and the adjusting bolt 50 is arranged so that its axis line is oriented in the vertical direction. The tip of the adjusting bolt 50 is in contact with the upper edge of the arm 44.
【００１３】 ブロック４８にはピン５２が植設されていて、アーム４４にはピン５４が植設 されている。ピン５２、５４にはコイル状の引張りスプリング５６が係止されて いる。従って、スプリング５６はアーム４４を図２上でボルト４６を中心にして 反時計回り方向に回動するように付勢する。 これにより、調整ボルト５０を時計回り方向に回動して調整ボルト５０の先端 部を下方に押し下げると、アーム４４はスプリング５６の付勢力に抗してボルト ４６を中心にして、図２上で時計回り方向に回動する。また、調整ボルト５０を 反時計回り方向に回動して調整ボルト５０の先端部を上方に移動すると、アーム ４４はスプリング５６の付勢力でボルト４６を中心にして、図２上で反時計回り 方向に回動する。A pin 52 is planted in the block 48, and a pin 54 is planted in the arm 44. A coil-shaped tension spring 56 is locked to the pins 52 and 54. Therefore, the spring 56 urges the arm 44 to rotate counterclockwise about the bolt 46 in FIG. As a result, when the adjusting bolt 50 is rotated clockwise and the tip of the adjusting bolt 50 is pushed downward, the arm 44 resists the urging force of the spring 56, and the arm 46 is centered around the bolt 46. Rotate clockwise. When the adjusting bolt 50 is rotated counterclockwise to move the tip of the adjusting bolt 50 upward, the arm 44 rotates counterclockwise in FIG. 2 about the bolt 46 by the urging force of the spring 56. Rotate in the direction.
【００１４】 アーム４４にはシャフト５７が植設されていて、シャフト５７には一対のスリ ーブベアリング５９を介してノズルホルダ６０が回動自在に支持されている。シ ャフト５７にはノズルホルダ６０の流路に研削水を案内するための開口部（いづ れも図示せず。）が形成されていて、一対のスリーブベアリング５９によって流 路と開口部間の研削水漏れが防止される。A shaft 57 is planted in the arm 44, and a nozzle holder 60 is rotatably supported on the shaft 57 via a pair of sleeve bearings 59. The shaft 57 has openings (neither shown) for guiding the grinding water to the flow path of the nozzle holder 60, and a pair of sleeve bearings 59 are used to grind between the flow path and the opening. Water leakage is prevented.
【００１５】 また、シャフト５７の端部にはナット５８が螺合されていて、ナット５８を締 め込むことによりノズルホルダ６０を図２上で矢印Ａ方向に微小量移動すること ができる。 ノズルホルダ６０の上方のアーム４４にはビス６２、６２（図３参照）を介し てブロック６４が固定されている。ブロック６４には調整ボルト６６がねじ結合 されていて、調整ボルト６６は軸線が垂直方向を向くように配設されている。そ して、調整ボルト６６の先端部はノズルホルダ６０の上端縁に当接されている。A nut 58 is screwed onto the end of the shaft 57, and by tightening the nut 58, the nozzle holder 60 can be moved by a small amount in the direction of arrow A in FIG. A block 64 is fixed to the arm 44 above the nozzle holder 60 via screws 62, 62 (see FIG. 3). An adjusting bolt 66 is screwed to the block 64, and the adjusting bolt 66 is arranged so that its axis line is oriented in the vertical direction. The tip of the adjusting bolt 66 is in contact with the upper edge of the nozzle holder 60.
【００１６】 また、ノズルホルダ６０とブロック６４とにはコイル状の引張りスプリング６ ８が係止されている。従って、スプリング６８はノズルホルダ６０を図２上でナ ット５８を中心にして反時計回り方向に回動するように付勢する。 これにより、調整ボルト６６を時計回り方向に回動して調整ボルト６６の先端 部を下方に押し下げると、ノズルホルダ６０はスプリング６８の付勢力に抗して シャフト５７を中心にして、図２上で時計回り方向に回動する。また、調整ボル ト６６を反時計回り方向に回動して調整ボルト６６の先端部を上方に移動すると 、ノズルホルダ６０はスプリング６８の付勢力でシャフト５７を中心にして、図 ２上で反時計回り方向に回動する。A coil-shaped tension spring 68 is locked to the nozzle holder 60 and the block 64. Therefore, the spring 68 urges the nozzle holder 60 to rotate counterclockwise around the nut 58 in FIG. As a result, when the adjustment bolt 66 is rotated clockwise and the tip of the adjustment bolt 66 is pushed downward, the nozzle holder 60 resists the urging force of the spring 68 and the shaft 57 as the center, as shown in FIG. To rotate clockwise. When the adjustment bolt 66 is rotated counterclockwise to move the tip end of the adjustment bolt 66 upward, the nozzle holder 60 is rotated about the shaft 57 by the urging force of the spring 68, and the nozzle holder 60 is rotated counterclockwise in FIG. Rotate clockwise.
【００１７】 ノズルホルダ６０の先端部にはノズル６０Ａの一方の端部が設けられていて、 ノズルホルダ６０の流路を経てノズル６０Ａに導かれた研削水はノズル６０Ａの 他方の端部に形成された噴射口からブレード３６に噴射される。 尚、図１上で６４はノズル６０Ａに連通されているホースであり、ホース６４ ０研削水を供給するポンプ（図示せず。）に連通されている。One end of the nozzle 60A is provided at the tip of the nozzle holder 60, and the grinding water guided to the nozzle 60A through the flow path of the nozzle holder 60 is formed at the other end of the nozzle 60A. The blade 36 is ejected from the ejected port. In FIG. 1, reference numeral 64 is a hose communicating with the nozzle 60A, which is communicated with a hose 640 that is a pump (not shown) that supplies grinding water.
【００１８】 このように構成された本考案に係るダイシング装置の作用について説明する。 先ず、アーム４４を回動する場合、調整ボルト５０を時計回り方向又は反 時計回り方向に回動して、調整ボルト５０の先端部を上下方向に移動する。そし て、調整ボルト５０の先端部が下方向に移動した場合、アーム４４はスプリング ５６の付勢力に抗してボルト４６を中心にして、図２上で時計回り方向に回動す る。The operation of the dicing apparatus according to the present invention thus constructed will be described. First, when the arm 44 is rotated, the adjustment bolt 50 is rotated clockwise or counterclockwise to move the tip end of the adjustment bolt 50 in the vertical direction. When the tip of the adjusting bolt 50 moves downward, the arm 44 rotates clockwise around the bolt 46 in FIG. 2 against the biasing force of the spring 56.
【００１９】 また、調整ボルト５０の先端部が上方に移動した場合、アーム４４はスプリン グ５６の付勢力でボルト４６を中心にして、図２上で反時計回り方向に回動する 。そして、アーム４４が時計回り方向又は反時計回り方向に回動した後、アーム ４４は調整ボルト５０の先端部とスプリング５６とで、回動された位置に正確に 位置決めされる。When the tip of the adjusting bolt 50 moves upward, the arm 44 rotates counterclockwise in FIG. 2 about the bolt 46 by the urging force of the spring 56. Then, after the arm 44 rotates clockwise or counterclockwise, the arm 44 is accurately positioned at the rotated position by the tip portion of the adjusting bolt 50 and the spring 56.
【００２０】 次に、ノズルホルダ６０を回動する場合、調整ボルト６６を時計回り方向又は 反時計回り方向に回動して、調整ボルト６６の先端部を上下方向に移動する。そ して、調整ボルト６６の先端部を下方に押し下げた場合、ノズルホルダ６０はス プリング６８の付勢力に抗してシャフト５７を中心にして、図２上で時計回り方 向に回動する。Next, when rotating the nozzle holder 60, the adjustment bolt 66 is rotated clockwise or counterclockwise to move the tip end portion of the adjustment bolt 66 in the vertical direction. When the tip of the adjusting bolt 66 is pushed downward, the nozzle holder 60 rotates in the clockwise direction in FIG. 2 about the shaft 57 against the biasing force of the spring 68. ..
【００２１】 また、調整ボルト６６の先端部が上方に移動した場合、ノズルホルダ６０はス プリング６８の付勢力でシャフト５７を中心にして、図２上で反時計回り方向に 回動する。そして、ノズルホルダ６０が時計回り方向又は反時計回り方向に回動 した後、ノズルホルダ６０は調整ボルト６６の先端部とスプリング６８とで、回 動された位置に正確に位置決めされる。When the tip of the adjustment bolt 66 moves upward, the nozzle holder 60 is rotated about the shaft 57 by the urging force of the spring 68 in the counterclockwise direction in FIG. Then, after the nozzle holder 60 rotates clockwise or counterclockwise, the nozzle holder 60 is accurately positioned at the rotated position by the tip portion of the adjusting bolt 66 and the spring 68.
【００２２】 これにより、ノズル６０Ａの微小調整が可能になり、ノズル６０Ａをブレード ３６に対する所望位置に容易に位置決めすることができる。 以下図４に基づいて本考案に係るダイシング装置の他の実施例について説明す る。尚、前記実施例と同一類似部材については同一符号を付し説明を省略する。 図４に示すようにノズルホルダ６０にはノズル７０が設けられていて、ノズル７ ０は先端部近傍が上方に折り曲げられている。この折曲げ部７０Ａはブレード３ ６の回転中心に向けて折り曲げられているので、研削水はノズル７０の噴射口か らブレード３６の回転中心に向けて噴射される。As a result, fine adjustment of the nozzle 60A is possible, and the nozzle 60A can be easily positioned at a desired position with respect to the blade 36. Another embodiment of the dicing apparatus according to the present invention will be described below with reference to FIG. The same members as those in the above embodiment are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted. As shown in FIG. 4, the nozzle holder 60 is provided with a nozzle 70, and the nozzle 70 is bent upward near the tip. Since the bent portion 70A is bent toward the rotation center of the blade 36, the grinding water is ejected from the ejection port of the nozzle 70 toward the rotation center of the blade 36.
【００２３】 従って、ブレード３６が高速回転している場合でも研削水を下方向に撥ね飛ば さないで、ブレード３６の外周面にのせることができる。これにより、研削水は ブレード３６を冷却し、さらにワーク加工面のチッピング及び割れの発生を防止 する。 図４の実施例ではノズル７０の噴射口を軸線に対して略直角な平坦面に形成し たが、これに限らず、図５（Ａ）に示すノズル７２の折曲げ部７２Ａの噴射口に 切込み７２Ｂ（図５（Ｂ）参照））を形成して、切込み７０Ｂ内にブレード３６ の外周を差し込んでもよい。これにより、図４の実施例よりさらに効率よく研削 水をブレード３６の外周面にのせることができる。Therefore, even when the blade 36 is rotating at a high speed, the grinding water can be placed on the outer peripheral surface of the blade 36 without splashing downward. As a result, the grinding water cools the blade 36 and prevents chipping and cracking of the work surface. In the embodiment of FIG. 4, the injection port of the nozzle 70 is formed on a flat surface that is substantially perpendicular to the axis, but the invention is not limited to this, and the injection port of the bent portion 72A of the nozzle 72 shown in FIG. A notch 72B (see FIG. 5B)) may be formed so that the outer periphery of the blade 36 is inserted into the notch 70B. As a result, the grinding water can be placed on the outer peripheral surface of the blade 36 more efficiently than in the embodiment of FIG.
【００２４】 前記図４、図５（Ａ）、（Ｂ）上ではノズル７０及びノズル７２を、噴射手段 １８が設けられた本考案に係るダイシング装置に使用した場合について説明した が、これに限らず、従来のダイシング装置に使用することも可能であるAlthough the nozzle 70 and the nozzle 72 are used in the dicing apparatus according to the present invention in which the jetting means 18 is provided in FIGS. 4, 5A, and 5B, the present invention is not limited to this. Instead, it can be used in conventional dicing equipment.
【００２５】[0025]
以上説明したように本考案に係るダイシング装置によれば、調整ボルトを時計 回り方向に回動すると調整ボルトの先端部が噴射ノズルを付勢部材の付勢力に抗 して一方の方向に揺動する。また、調整ボルトを反時計回り方向に回動すると調 整ボルトの先端部が退避して噴射ノズルが付勢部材の付勢力で他方の方向に揺動 する。そして、噴射ノズルが時計回り方向又は反時計回り方向に回動した後、噴 射ノズルは調整ボルトの先端部と付勢部材とで、回動された位置に正確に位置決 めされる。 As described above, according to the dicing apparatus of the present invention, when the adjusting bolt is rotated clockwise, the tip of the adjusting bolt swings the injection nozzle in one direction against the biasing force of the biasing member. To do. When the adjusting bolt is rotated counterclockwise, the tip of the adjusting bolt is retracted and the injection nozzle is swung in the other direction by the urging force of the urging member. Then, after the injection nozzle has rotated clockwise or counterclockwise, the injection nozzle is accurately positioned at the rotated position by the tip of the adjustment bolt and the biasing member.
【００２６】 従って、噴射ノズルの噴射口の位置決めが容易で、さらにシール部材の弾性変 形による復元量を考慮する必要がない。これにより、必要以上に噴射ノズルを揺 動する必要がないので、砥石との干渉による砥石の破損を防止することができる また、噴射ノズルを折り曲げた状態に形成すると共に噴射ノズルの噴射口を研 削刃の回転中心に向けたので、研削刃が高速回転している場合でも研削水を下方 向に撥ね飛ばさないで、研削刃の外周面にのせることができる。Therefore, the injection port of the injection nozzle can be easily positioned, and it is not necessary to consider the restoration amount due to the elastic deformation of the seal member. As a result, it is not necessary to shake the jet nozzle more than necessary, so it is possible to prevent the stone from being damaged due to interference with the stone. Since it is directed toward the center of rotation of the cutting blade, the grinding water can be placed on the outer peripheral surface of the grinding blade without splashing downward even when the grinding blade is rotating at high speed.
【００２７】 さらに、噴射ノズルの噴射口に切込みを形成して、この切込みに研削刃を嵌入 したので、さらに効率よく研削水を研削刃の外周面にのせることができる。Further, since the notch is formed in the injection port of the injection nozzle and the grinding blade is fitted into this notch, the grinding water can be more efficiently placed on the outer peripheral surface of the grinding blade.
【図１】本考案に係るダイシング装置の斜視図FIG. 1 is a perspective view of a dicing device according to the present invention.
【図２】本考案に係るダイシング装置の要部拡大図FIG. 2 is an enlarged view of a main part of a dicing device according to the present invention.
【図３】図２のＡ−Ａ矢視図FIG. 3 is a view on arrow AA of FIG.
【図４】本考案に係るダイシング装置の他の実施例の要
部拡大図FIG. 4 is an enlarged view of a main part of another embodiment of the dicing apparatus according to the present invention.
【図５】図５（Ａ）は本考案に係るダイシング装置のも
う一つの他の実施例の要部拡大図、図５（Ｂ）は図５
（Ａ）のＢ−Ｂ断面図5 (A) is an enlarged view of a main part of another embodiment of the dicing apparatus according to the present invention, and FIG. 5 (B) is FIG.
(A) BB sectional drawing
【図６】従来のダイシング装置の要部拡大図FIG. 6 is an enlarged view of a main part of a conventional dicing device.
３０…ダイシング装置 ３４…ワーク ３６…ブレード ３８…本体 ５０、６６…調整ボルト ５６、６８…スプリング ６０…ノズルホルダ ６０Ａ、７０…噴射ノズル ７０Ａ…切込み 30 ... Dicing device 34 ... Workpiece 36 ... Blade 38 ... Main body 50, 66 ... Adjusting bolt 56, 68 ... Spring 60 ... Nozzle holder 60A, 70 ... Injection nozzle 70A ... Notch
Claims (1)
刃に研削水を吹き付けると共に研削刃を回転してワーク
を加工するダイシング装置において、 本体にねじ結合されると共に先端部が前記噴射ノズルに
当接された調整ボルトと、 前記噴射ノズルを調整ボルトの先端部に押し付ける方向
に付勢する付勢部材と、 を備え、調整ボルトを回動して前記噴射ノズルを揺動し
て前記噴射ノズルの噴射口を所望位置に位置決めするこ
とを特徴とするダイシング装置。1. A dicing apparatus for processing a workpiece by spraying grinding water to a grinding blade and rotating the grinding blade with a jet nozzle provided to be swingable, and the tip is the jet nozzle. An adjusting bolt abutted against the adjusting bolt; and an urging member for urging the injection nozzle in a direction to press the injection nozzle against the tip of the adjusting bolt. The adjusting bolt is rotated to swing the injection nozzle to inject the injection. A dicing device, characterized in that an injection port of a nozzle is positioned at a desired position.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1119292U JP2519946Y2 (en) | 1992-03-05 | 1992-03-05 | Dicing machine |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1119292U JP2519946Y2 (en) | 1992-03-05 | 1992-03-05 | Dicing machine |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0572411U true JPH0572411U (en) | 1993-10-05 |
| JP2519946Y2 JP2519946Y2 (en) | 1996-12-11 |
Family
ID=11771201
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1119292U Expired - Lifetime JP2519946Y2 (en) | 1992-03-05 | 1992-03-05 | Dicing machine |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2519946Y2 (en) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4740488B2 (en) * | 2001-08-20 | 2011-08-03 | 株式会社ディスコ | Dicing machine |
| JP2012096334A (en) * | 2010-11-04 | 2012-05-24 | Disco Corp | Cutting device |
| JP2013091118A (en) * | 2011-10-24 | 2013-05-16 | Disco Corp | Blade cover device |
| EP2666589A3 (en) * | 2012-05-22 | 2018-04-18 | Satisloh AG | Centring machine for workpieces, in particular optical lenses |
| JP6351891B1 (en) * | 2017-09-08 | 2018-07-04 | 株式会社塩 | Nozzle, nozzle fixing structure, and nozzle assembly |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3744477A1 (en) * | 2019-05-29 | 2020-12-02 | Tur & Development SL | Device and method for removing a low emission layer from a glass panel |
-
1992
- 1992-03-05 JP JP1119292U patent/JP2519946Y2/en not_active Expired - Lifetime
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| EP2666589A3 (en) * | 2012-05-22 | 2018-04-18 | Satisloh AG | Centring machine for workpieces, in particular optical lenses |
| EP4190488A1 (en) * | 2012-05-22 | 2023-06-07 | Satisloh AG | Machining unit, in particular for a centering machine for workpieces such as optical lenses |
| JP6351891B1 (en) * | 2017-09-08 | 2018-07-04 | 株式会社塩 | Nozzle, nozzle fixing structure, and nozzle assembly |
| JP2019069503A (en) * | 2017-09-08 | 2019-05-09 | 株式会社塩 | Nozzle, nozzle fixation structure and nozzle assembly |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2519946Y2 (en) | 1996-12-11 |
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