JPH05723U - 加圧熱盤 - Google Patents

加圧熱盤

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JPH05723U
JPH05723U JP5564991U JP5564991U JPH05723U JP H05723 U JPH05723 U JP H05723U JP 5564991 U JP5564991 U JP 5564991U JP 5564991 U JP5564991 U JP 5564991U JP H05723 U JPH05723 U JP H05723U
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ceramic
ceramic surface
heater
metal
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宏 鈴木
内村  勝次
茂之 高木
恭治 古川
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Sintokogio Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 金属製の加圧熱盤の代りにセラミック製の定
盤を使った加圧熱盤を実用化し得るようにする。 【構成】 金属製ヒータープレート4をセラミック製断
熱プレート2とセラミック製定盤6とにより挾みつけた
状態にして断面コ字形の押え部材8及び固定ねじにより
固定した加圧熱盤

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案は例えば液晶パネルを製造するためのガラス板2枚をシール樹脂を介 して接着させる工程に使用される加圧熱盤に関する。
【0002】
【従来技術と問題点】
上記のような液晶パネルを製造する際に使用される加圧熱盤は、金属製の加圧 熱盤が使用されているがこのような金属製の加圧熱盤は次のような問題があった 。すなわち、加圧熱盤が金属製であるため熱膨張係数が大きく熱によるひずみや 反りを発生したりあるいは異物を加圧した際にその部分が変形して平坦度を維持 できなかったり、さらには腐食が進行して平坦度を維持できなかったりして修理 メンテナンスが短時間のうちに必要になっていた。また剛性が不足するため加圧 面積が広くなればなるほど平面精度が低下するという問題があった。
【0003】 このような問題を解決するために加圧熱盤としてセラミックスの採用が望まれ ていたが、セラミックスは金属に比べて剛性硬度が高く、熱歪みをほとんど生じ ないといった優れた特性をもつものの反面熱伝導率が小さいことにより温度ムラ を生じやすいこと、熱衝撃に弱いことなとの問題があったことから現実には採用 されていなかった。 本考案は上記の問題に鑑みてなされたものでセラミックスの温度分布ムラによる 障害を排除すると共に熱衝撃を直接受けることがない構造のセラミック製の加圧 熱盤を提供することを目的とするものである。
【0004】
【問題解決のための手段】
上記の目的を達成するために本考案における加圧熱盤は、ベースプレートの上 部にセラミック製断熱プレートを載置すると共に該セラミック製断熱プレートの 上部に金属製ヒータープレートを載置し、該ベースプレートとヒータープレート 間を固定ねじにより螺着固定し、前記ヒータープレートの上部にセラミック製定 盤をキーを介して位置決めして載置すると共に該ヒータープレートとセラミッ製 定盤の周縁を断面コ字形の押え部材内に金属製スペーサーを介在させて嵌入し、 かつ該ヒータープレートと押え部材及びセラミック製定盤と押え部材とをそれぞ れねじ止め固定したことを特徴とするものである。
【0005】
【実施例】
以下本考案の実施例を図に基づいて詳しく説明すると、中心部に上下に貫通す る貫通孔を穿孔した金属製のベースプレート1の上部には同じく中心部に上下貫 通する貫通孔を有するセラミック製断熱プレート2が載置されていると共に該セ ラミック製断熱プレート2の上部には中心部にねじ孔を穿孔しかつ内部に多数の ヒーター3を埋設したヒータープレート4が載置されている。 前記各貫通孔及びねじ孔にはボルト状の固定ねじ5が挿通ねじ止めされてベース プレート1とヒータープレート4とによりセラミック製断熱プレート2を挾んで 締め付け固定されている。
【0006】 また前記ヒータープレート4の上部には、セラミック製定盤6が中心部にキー 7を介して位置決めされた状態で載置されており、該ヒータープレート4とセラ ミック製定盤6はその周縁を断面コ字形の押え部材8の内部に金属製スペーサー を介在させて嵌入され、ヒータープレート4と押え部材及び、セラミック製定盤 6とスペーサー9を介在させた押え部材8とはそれぞれねじ止め固定されている 。尚スペーサー9は押え部材8とセラミック製定盤6との間に介在されていてセ ラミック製定盤6への集中応力を暖和するようになっている。 さらに前記ボルト状の固定ねじ5及びキー7の中心部を上下に貫通してセラミッ ク製定盤6の上部位置に達する加圧面用熱電対10及び押え部材8を外部から貫 通し、ヒータープレート4の中心位置まで達する熱源用熱電対11がそれぞれ設 けられている。
【0007】 このように構成されたものは、図2の状態でヒーター3を加熱状態にして金属 製ヒータープレート4を加熱してセラミック製定盤6に熱を伝達してこの上面に 載置されるガラス板を加熱するが、定盤6がセラミック製であるため熱膨張率が 小さく熱によるひずみあるいは反りはほとんど発生しないと共に異物の加圧によ る変形及び腐食の進行による変形も起こらないようになると同時にセラミック製 定盤6は熱源の熱を直接伝達されることがないため熱衝撃が暖和され、さらにセ ラミック製定盤6は圧接状態で固定保持されていることから、熱膨張の差による 応力が逃されるようになりセラミック製定盤6を損傷させるようなこともない。
【0008】
【考案の効果】
本考案は上記の説明から明らかなように金属製ヒータープレートをセラミック 製断熱プレートとセラミック製定盤とにより挾みつけた状態にして固定した構成 にしたから、従来の金属でのみ作られた加圧熱盤の欠点をすべて排除できると共 にセラミックスの欠点である熱衝撃に弱い点及び温度分布ムラによる障害等を暖 和できるようになり、セラミックス利用の加圧熱盤の実用化が可能になった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の実施例を示す加圧熱盤の斜視図であ
る。
【図2】図1におけるAーA矢視縦断面図である。
【符号の説明】
1 ベースプレート 2 セラミック製断熱プレート 4 金属製ヒータープレート 5 固定ねじ 6 セラミック製定盤 7 キー 8 押え部材 9 金属製スペーサー

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 ベースプレートの上部にセラミック製断熱プレートを載
    置すると共に該セラミック製断熱プレートの上部に金属
    製ヒータープレートを載置し、該ベースプレートとヒー
    タープレート間を固定ねじにより螺着固定し、前記ヒー
    タープレートの上部にセラミック製定盤をキーを介して
    位置決めして載置すると共に該ヒータープレートとセラ
    ミック製定盤の周縁を断面コ字形の押え部材内に金属製
    スペーサーを介在させて嵌入しかつ該ヒータープレート
    と押え部材及びセラミック製定盤と押え部材とをそれぞ
    れねじ止め固定したことを特徴とする加圧熱盤
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JPH05723U true JPH05723U (ja) 1993-01-08
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