JPH0571931A - 立体形状測定装置 - Google Patents
立体形状測定装置Info
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- JPH0571931A JPH0571931A JP3235239A JP23523991A JPH0571931A JP H0571931 A JPH0571931 A JP H0571931A JP 3235239 A JP3235239 A JP 3235239A JP 23523991 A JP23523991 A JP 23523991A JP H0571931 A JPH0571931 A JP H0571931A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B3/00—Apparatus for testing the eyes; Instruments for examining the eyes
- A61B3/10—Objective types, i.e. instruments for examining the eyes independent of the patients' perceptions or reactions
- A61B3/1025—Objective types, i.e. instruments for examining the eyes independent of the patients' perceptions or reactions for confocal scanning
Abstract
(57)【要約】
【目的】 対象物の反射率や屈折状態、対象物に含まれ
る光学系の透明度などのバラツキがあっても、面倒かつ
難しい調節操作を必要とせず、正確な対象物の３次元情
報を取得可能な立体形状測定装置を提供する。 【構成】 対象物からの反射光強度を検出する２つの検
出器２７、２８の出力は増幅器３１、３２を介して加算
回路３３、減算回路３４に入力される。加算回路３３、
減算回路３４で算出された和、差は、割算回路３５に入
力され、対象物における光学的反射特性の影響が除去さ
れる。また、加算回路３３、３４で算出された和、差
は、判定回路４０に入力され、対象物に対する光ビーム
の焦点位置の状態を判定し、モータ１３を介して光学系
の合焦状態を制御する。さらに、加算回路３３、減算回
路３４で算出された和、差は、制御回路４３に入力さ
れ、増幅器３１、３２の増幅度が調節される。
る光学系の透明度などのバラツキがあっても、面倒かつ
難しい調節操作を必要とせず、正確な対象物の３次元情
報を取得可能な立体形状測定装置を提供する。 【構成】 対象物からの反射光強度を検出する２つの検
出器２７、２８の出力は増幅器３１、３２を介して加算
回路３３、減算回路３４に入力される。加算回路３３、
減算回路３４で算出された和、差は、割算回路３５に入
力され、対象物における光学的反射特性の影響が除去さ
れる。また、加算回路３３、３４で算出された和、差
は、判定回路４０に入力され、対象物に対する光ビーム
の焦点位置の状態を判定し、モータ１３を介して光学系
の合焦状態を制御する。さらに、加算回路３３、減算回
路３４で算出された和、差は、制御回路４３に入力さ
れ、増幅器３１、３２の増幅度が調節される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は立体形状測定装置、特に
対象物に光を照射し、その反射光を受光して光電変換し
た後信号処理を行うことにより対象物の３次元情報を得
る立体形状測定装置に関するものである。
対象物に光を照射し、その反射光を受光して光電変換し
た後信号処理を行うことにより対象物の３次元情報を得
る立体形状測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、対象物の立体的な形状を非接
触で測定するために光学的な測定方法が数多く存在す
る。そのような光学的３次元計測法の医療分野への応用
例として、最近特に注目されているものの一つは、人間
の眼底の３次元情報を取得するための測定装置である。
触で測定するために光学的な測定方法が数多く存在す
る。そのような光学的３次元計測法の医療分野への応用
例として、最近特に注目されているものの一つは、人間
の眼底の３次元情報を取得するための測定装置である。
【０００３】すなわち、眼底検査は眼科のみならず内科
においても高血圧症や糖尿病等の診断に重要とされ、従
来より眼底カメラ等を用いて眼底を撮影記録する方法が
広く普及している。しかし、眼底の凹凸状態を定量的に
把握することが緑内障や綱膜剥離その他各種の浮腫腫脹
の診断に有効であり失明予防に直結することから、通常
の２次元的な画像情報とは別に、３次元的な立体情報を
取得する試みがなされるようになった。
においても高血圧症や糖尿病等の診断に重要とされ、従
来より眼底カメラ等を用いて眼底を撮影記録する方法が
広く普及している。しかし、眼底の凹凸状態を定量的に
把握することが緑内障や綱膜剥離その他各種の浮腫腫脹
の診断に有効であり失明予防に直結することから、通常
の２次元的な画像情報とは別に、３次元的な立体情報を
取得する試みがなされるようになった。
【０００４】このような立体計測法の一つは、一定の格
子パターンを眼底に投影し、それを所定の角度離れた方
向から観測して格子像のずれを計測することにより、眼
底の陥没状態等を把握する（米国特許４４２３９３１号
等）。
子パターンを眼底に投影し、それを所定の角度離れた方
向から観測して格子像のずれを計測することにより、眼
底の陥没状態等を把握する（米国特許４４２３９３１号
等）。
【０００５】眼底立体計測のもう一つの手法は、立体写
真の原理に基づき、例えば眼底カメラにより異なる入射
瞳で角度を違えて２回写真撮影を行い、２枚の眼底写真
を画像解析することにより凹凸量を計測する。最近で
は、写真フィルムの代わりにＴＶカメラとコンピュータ
ーを連動して、自動的に立体情報を採取するような装置
も開発されている（米国特許４７１５７０３号等）。
真の原理に基づき、例えば眼底カメラにより異なる入射
瞳で角度を違えて２回写真撮影を行い、２枚の眼底写真
を画像解析することにより凹凸量を計測する。最近で
は、写真フィルムの代わりにＴＶカメラとコンピュータ
ーを連動して、自動的に立体情報を採取するような装置
も開発されている（米国特許４７１５７０３号等）。
【０００６】しかし、このような手法のいずれも、眼球
の結像光学系を非軸に使っていることから、３次元測定
における空間分解能や精度、再現性が悪く、また信号処
理も難しいために必ずしも実用性に優れるとはいえな
い。
の結像光学系を非軸に使っていることから、３次元測定
における空間分解能や精度、再現性が悪く、また信号処
理も難しいために必ずしも実用性に優れるとはいえな
い。
【０００７】一方、近年、生体眼底を観察するための装
置の一つとして、レーザー走査法の原理に基づくものが
注目される（特開昭６２−１１７５２４／米国特許４７
６４００５号／特開昭６４−５８２３７／米国特許４８
５４６９２号等）。この種の装置の応用として、光検出
器の前に置かれた共焦点開口をずらしながら眼底の断層
画像を複数枚採取し（例えば、３２枚）、それを再構成
する事によって立体形状を測定しようとする試みも行わ
れている（論文集 ＳＰＩＥ Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇ
ｓ、Ｖｏｌ．１１６１、Ｓｅｓｓｉｏｎ ７および８参
照）。このレーザー走査による手法では、眼球の結像光
学系を同軸状に利用していることから高い測定精度を期
待できる。
置の一つとして、レーザー走査法の原理に基づくものが
注目される（特開昭６２−１１７５２４／米国特許４７
６４００５号／特開昭６４−５８２３７／米国特許４８
５４６９２号等）。この種の装置の応用として、光検出
器の前に置かれた共焦点開口をずらしながら眼底の断層
画像を複数枚採取し（例えば、３２枚）、それを再構成
する事によって立体形状を測定しようとする試みも行わ
れている（論文集 ＳＰＩＥ Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇ
ｓ、Ｖｏｌ．１１６１、Ｓｅｓｓｉｏｎ ７および８参
照）。このレーザー走査による手法では、眼球の結像光
学系を同軸状に利用していることから高い測定精度を期
待できる。
【０００８】しかし、実際は、複数枚の画像を採取する
ことから大容量の記憶装置を必要とし、また測定にある
程度の時間を要するので眼球運動のために精度の高い測
定ができないという欠点があった。
ことから大容量の記憶装置を必要とし、また測定にある
程度の時間を要するので眼球運動のために精度の高い測
定ができないという欠点があった。
【０００９】そこで本出願人は、全く新しい原理に基づ
き対象物（生体眼底）の３次元測定を可能にする極めて
画期的な立体形状測定装置を提案した（特開平１−１１
３６０４号／米国特許４９００１４４号、及び論文 ０
ｐｔｉｃｓ Ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎｓ、Ｖｏｌ．
７４、１９８９年、ｐ．１６５〜１７０参照）。図４
は、この発明原理を簡単に説明したものである。
き対象物（生体眼底）の３次元測定を可能にする極めて
画期的な立体形状測定装置を提案した（特開平１−１１
３６０４号／米国特許４９００１４４号、及び論文 ０
ｐｔｉｃｓ Ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎｓ、Ｖｏｌ．
７４、１９８９年、ｐ．１６５〜１７０参照）。図４
は、この発明原理を簡単に説明したものである。
【００１０】図４において、レーザー光源６０からのレ
ーザービームはＸ−Ｙ走査ユニット６１内で２次元的に
走査され、被検眼６２の眼底上に投射される。眼底から
の反射拡散光は再び走査系６１を通過しハーフミラーＨ
Ｍで２分割された後、２つの共焦点開口Ａｌ、Ａ２の近
傍に焦点を結ぶ。
ーザービームはＸ−Ｙ走査ユニット６１内で２次元的に
走査され、被検眼６２の眼底上に投射される。眼底から
の反射拡散光は再び走査系６１を通過しハーフミラーＨ
Ｍで２分割された後、２つの共焦点開口Ａｌ、Ａ２の近
傍に焦点を結ぶ。
【００１１】２つの開口Ａ１、Ａ２は、光軸に沿って眼
底焦点面を挟み込むように配置されており、従って、そ
れら開口を通過した光の強度は対象物（眼底）の凹凸に
従って増加と減少が互いに逆方向に変化する。
底焦点面を挟み込むように配置されており、従って、そ
れら開口を通過した光の強度は対象物（眼底）の凹凸に
従って増加と減少が互いに逆方向に変化する。
【００１２】開口Ａ１、Ａ２の通過光強度を検出する検
出器Ｄｌ、Ｄ２からの出力信号は凹凸情報を含んでいる
が、信号強度は対象物の反射率にも完全に依存するの
で、信号処理部６３において出力信号の間で電気的に割
算処理を行うことによって反射率を打ち消し凹凸情報を
検出できる。測定結果、あるいは測定像はモニタＴＶ６
４に表示される。
出器Ｄｌ、Ｄ２からの出力信号は凹凸情報を含んでいる
が、信号強度は対象物の反射率にも完全に依存するの
で、信号処理部６３において出力信号の間で電気的に割
算処理を行うことによって反射率を打ち消し凹凸情報を
検出できる。測定結果、あるいは測定像はモニタＴＶ６
４に表示される。
【００１３】図５は、２つの検出器における光強度変化
を示しており、横軸ｚは光軸方向距離に対応し、ｚ軸上
の（Ａ１）（Ａ２）は２つの開口の位置に対応してい
る。開口による光強度変化の関数をｆ1（ｚ）、ｆ2
（ｚ）とすると、検出器Ｄｌ、Ｄ２からの信号強度Ｉ
1、Ｉ2は次のように表現される。
を示しており、横軸ｚは光軸方向距離に対応し、ｚ軸上
の（Ａ１）（Ａ２）は２つの開口の位置に対応してい
る。開口による光強度変化の関数をｆ1（ｚ）、ｆ2
（ｚ）とすると、検出器Ｄｌ、Ｄ２からの信号強度Ｉ
1、Ｉ2は次のように表現される。
【００１４】Ｉ1＝ｆ1（ｚ）＊Ｉo（ｘ，ｙ） …
（１） Ｉ2〓ｆ2（ｚ）＊Ｉo（ｘ，ｙ） …（２） ここで、Ｉo（ｘ，ｙ）は眼底からの光強度変化を示
し、位置（ｘ，ｙ）に依存するものである。
（１） Ｉ2〓ｆ2（ｚ）＊Ｉo（ｘ，ｙ） …（２） ここで、Ｉo（ｘ，ｙ）は眼底からの光強度変化を示
し、位置（ｘ，ｙ）に依存するものである。
【００１５】従って以下のように割算に関連した計算を
行えば位置（ｘ，ｙ）に依存した反射率の情報は消去さ
れ、高さまたは深さｚに関連した形の情報を検出でき
る。
行えば位置（ｘ，ｙ）に依存した反射率の情報は消去さ
れ、高さまたは深さｚに関連した形の情報を検出でき
る。
【００１６】 Ｉ1／Ｉ2＝ｆ1（ｚ）／ｆ2（ｚ） …（３） または、 （Ｉ1−Ｉ2）／（Ｉ1＋Ｉ2） ＝｛ｆ1（ｚ）‐ｆ2（ｚ）｝／｛ｆ1（ｚ）＋ｆ2 （ｚ）｝ …（４） この手法を眼底の立体形状計測に応用した場合、眼球の
結像光学系を同軸上に利用して精度の高い測定が可能で
あると共に、大容量のメモリーを必要とせず、信号処理
部６３における信号処理も容易で、極めて短時間に殆ど
リアルタイムで測定対象物の３次元形状観察が可能にな
る。
結像光学系を同軸上に利用して精度の高い測定が可能で
あると共に、大容量のメモリーを必要とせず、信号処理
部６３における信号処理も容易で、極めて短時間に殆ど
リアルタイムで測定対象物の３次元形状観察が可能にな
る。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、この手法を
立体形状測定装置で実際の３次元計測に応用した場合、
ｚ方向の有効な計測範囲は、図５において（Ａｌ）と
（Ａ２）の間に制限され、対象物の焦点面が測定範囲か
らはずれた時に、正碓な測定は困難になる。
立体形状測定装置で実際の３次元計測に応用した場合、
ｚ方向の有効な計測範囲は、図５において（Ａｌ）と
（Ａ２）の間に制限され、対象物の焦点面が測定範囲か
らはずれた時に、正碓な測定は困難になる。
【００１８】特に測定対象が生体眼底の場合、被検眼の
屈折状態によって焦点面は異なり近視や遠視等の被検者
では装置光学系の内部調整によって補正を行っていた
が、操作も煩わしく機械に慣れない人では測定誤差の原
因になるという欠点があった。
屈折状態によって焦点面は異なり近視や遠視等の被検者
では装置光学系の内部調整によって補正を行っていた
が、操作も煩わしく機械に慣れない人では測定誤差の原
因になるという欠点があった。
【００１９】さらに、この測定法では割算処理を行って
いるが、一般に高速広帯域の割算回路は入力のダイナミ
ックレンジが狭いため、検出信号の強度レベルがそのレ
ンジをはずれると演算精度が低下するという問題があっ
た。
いるが、一般に高速広帯域の割算回路は入力のダイナミ
ックレンジが狭いため、検出信号の強度レベルがそのレ
ンジをはずれると演算精度が低下するという問題があっ
た。
【００２０】この割算回路に入力する直前の検出信号の
強度レベルは、被検者の眼底反射率や屈折状態、眼球光
学系の透明度等に大きく依存している。検出信号レベル
は、検出器そのものの増倍率や、その後の電気系の増倍
率を変えることによって調整可能であったが、操作が煩
わしく、設定が適切でないと測定誤差の原因になるとい
う欠点があった。
強度レベルは、被検者の眼底反射率や屈折状態、眼球光
学系の透明度等に大きく依存している。検出信号レベル
は、検出器そのものの増倍率や、その後の電気系の増倍
率を変えることによって調整可能であったが、操作が煩
わしく、設定が適切でないと測定誤差の原因になるとい
う欠点があった。
【００２１】本発明の課題は、以上の問題を解決し、対
象物の反射率や屈折状態、眼球などの対象物の光学系の
透明度などのバラツキがあっても、光学系や、信号処理
系の面倒かつ難しい調節操作を必要とせず、正確な対象
物の３次元情報を取得可能な立体形状測定装置を提供す
ることにある。
象物の反射率や屈折状態、眼球などの対象物の光学系の
透明度などのバラツキがあっても、光学系や、信号処理
系の面倒かつ難しい調節操作を必要とせず、正確な対象
物の３次元情報を取得可能な立体形状測定装置を提供す
ることにある。
【００２２】
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
めに、本発明においては、対象物に光を照射し、その反
射光を受光して光電変換した後信号処理を行うことによ
り対象物の３次元情報を得る立体形状測定装置におい
て、光ビームを照射するレーザー光源と、前記光ビーム
を２次元的に走査するための光走査手段と、前記光ビー
ムを、前記光走査手段の走査方向と交差する光学系の光
軸方向に焦点移動する光束制御手段と、前記光束制御手
段を通過した光ビームを対象物に照射するための光学系
と、対象物からの反射光の焦点位置の変位に基づき、光
学系光軸方向に関する対象物における形状特性の情報を
取得する検出手段と、前記検出手段の出力信号から、対
象物における光学的反射特性の影響を除去する第１の信
号処理手段と、前記検出手段の出力信号から、前記光束
制御手段による対象物に対する光ビームの焦点位置の状
態を判定し、光束制御手段を駆動して合焦状態を生成す
る第２の信号処理手段と、あるいはさらに、前記検出手
段の出力信号強度を判定し前記検出手段の出力信号強度
を所定の状態に調節する第３の信号処理手段とを有する
構成を採用した。
めに、本発明においては、対象物に光を照射し、その反
射光を受光して光電変換した後信号処理を行うことによ
り対象物の３次元情報を得る立体形状測定装置におい
て、光ビームを照射するレーザー光源と、前記光ビーム
を２次元的に走査するための光走査手段と、前記光ビー
ムを、前記光走査手段の走査方向と交差する光学系の光
軸方向に焦点移動する光束制御手段と、前記光束制御手
段を通過した光ビームを対象物に照射するための光学系
と、対象物からの反射光の焦点位置の変位に基づき、光
学系光軸方向に関する対象物における形状特性の情報を
取得する検出手段と、前記検出手段の出力信号から、対
象物における光学的反射特性の影響を除去する第１の信
号処理手段と、前記検出手段の出力信号から、前記光束
制御手段による対象物に対する光ビームの焦点位置の状
態を判定し、光束制御手段を駆動して合焦状態を生成す
る第２の信号処理手段と、あるいはさらに、前記検出手
段の出力信号強度を判定し前記検出手段の出力信号強度
を所定の状態に調節する第３の信号処理手段とを有する
構成を採用した。
【００２３】
【作用】以上の構成によれば、第１の信号処理手段によ
り、光学的反射率の変化が著しい生体眼底などが対象物
である場合でも、その反射特性の影響を除去することに
よって、対象物の形の情報のみを抽出する。
り、光学的反射率の変化が著しい生体眼底などが対象物
である場合でも、その反射特性の影響を除去することに
よって、対象物の形の情報のみを抽出する。
【００２４】そして、第２の信号処理手段により、検出
器の出力信号から対象物に対する光学系の焦点状態を判
定し、光学系におけるレーザービームの焦点状態を常に
最適な状態に自動的に設定するので、光学系を測定に適
した合焦範囲内に追い込む制御を行うことができる。
器の出力信号から対象物に対する光学系の焦点状態を判
定し、光学系におけるレーザービームの焦点状態を常に
最適な状態に自動的に設定するので、光学系を測定に適
した合焦範囲内に追い込む制御を行うことができる。
【００２５】また、第３の信号処理手段により、検出信
号の電気的な信号レベルを判定し、常に一定の強度状態
に自動的に設定することができ、高速広帯域な割算処理
を行う場合の演算精度が向上する。
号の電気的な信号レベルを判定し、常に一定の強度状態
に自動的に設定することができ、高速広帯域な割算処理
を行う場合の演算精度が向上する。
【００２６】
【実施例】以下、図面に示す実施例に基づき、本発明を
詳細に説明する。
詳細に説明する。
【００２７】図１に本発明による立体形状測定装置の光
学系の全体的な概略構成を示す。図において符号１で示
すものは、へリウムネオン（Ｈｅ・Ｎｅ）または半導体
レーザー等のレーザー光源である。レーザー光源からの
レーザー光束２は、レンズ３を通してビーム形状を整形
した後、それに続く音響光学偏向素子（Ａｃｏｕｓｔｏ
−０ｐｔｉｃＤｅｆｌｅｃｔｏｒ；以下ＡＯＤという）
４に入射され、ＡＯＤ４によりレーザービームの走査が
行われる。
学系の全体的な概略構成を示す。図において符号１で示
すものは、へリウムネオン（Ｈｅ・Ｎｅ）または半導体
レーザー等のレーザー光源である。レーザー光源からの
レーザー光束２は、レンズ３を通してビーム形状を整形
した後、それに続く音響光学偏向素子（Ａｃｏｕｓｔｏ
−０ｐｔｉｃＤｅｆｌｅｃｔｏｒ；以下ＡＯＤという）
４に入射され、ＡＯＤ４によりレーザービームの走査が
行われる。
【００２８】ＡＯＤ４の前後にはレーザービームに対す
るＡＯＤの入射角および出射角の光波長依存性を補正す
るために、プリズム５、６が配置される。ただし、この
プリズムはレーザー光源として単色のみを利用するので
あれぱ、必ずしも必要ではない。
るＡＯＤの入射角および出射角の光波長依存性を補正す
るために、プリズム５、６が配置される。ただし、この
プリズムはレーザー光源として単色のみを利用するので
あれぱ、必ずしも必要ではない。
【００２９】ＡＯＤ４は例えぱ標準ＴＶの水平走査に対
応する１５．７５ｋＨｚの周波数でレーザー光を１次元
的に偏向走査する。ＡＯＤによって走査されたレーザー
光はレンズ７、８を通過し、続くビームスプリッター９
によってその一部が反射され一部は通過する。
応する１５．７５ｋＨｚの周波数でレーザー光を１次元
的に偏向走査する。ＡＯＤによって走査されたレーザー
光はレンズ７、８を通過し、続くビームスプリッター９
によってその一部が反射され一部は通過する。
【００３０】ビームスプリッター９の通過光はフォトダ
イオード等（図には示されていない）によって受光し、
レーザー光量のモニターとして利用される。
イオード等（図には示されていない）によって受光し、
レーザー光量のモニターとして利用される。
【００３１】ビームスプリッター９の反射光は、ミラー
１０、１１によって反射し折り返される。ミラー１０、
１１は移動機構１２に取り付けられ、モーター（ステッ
ピングモーター等）１３の作動によって、レーザービー
ムの焦点の調整を行うためのものである。ミラー１０、
１１によって反射されたビームはレンズ１４を通過し、
ガルバノメーター１５に装着されたミラー（ガルバノミ
ラー）１６に導かれる。
１０、１１によって反射し折り返される。ミラー１０、
１１は移動機構１２に取り付けられ、モーター（ステッ
ピングモーター等）１３の作動によって、レーザービー
ムの焦点の調整を行うためのものである。ミラー１０、
１１によって反射されたビームはレンズ１４を通過し、
ガルバノメーター１５に装着されたミラー（ガルバノミ
ラー）１６に導かれる。
【００３２】レンズ１４は、その表面反射光（迷光）に
よって画質が劣化するのを防ぐために、光学系の光軸に
沿って図示のように偏心させて配置することが望まし
い。
よって画質が劣化するのを防ぐために、光学系の光軸に
沿って図示のように偏心させて配置することが望まし
い。
【００３３】また、レンズ８とレンズ１４の間は走査さ
れたレーザービームが平行状態にあり、いわゆるテレセ
ントリック光学系として構成されており、この光学系光
路内にミラー１０、１１が配置されている。従って、ミ
ラー１０、１１の移動によってビーム自身の焦点位置は
変化しても、走査レーザービームがガルバノミラー１６
に結像する位置、すなわち走査ビームの旋回中心位置は
常に一定に保たれるという特徴がある。
れたレーザービームが平行状態にあり、いわゆるテレセ
ントリック光学系として構成されており、この光学系光
路内にミラー１０、１１が配置されている。従って、ミ
ラー１０、１１の移動によってビーム自身の焦点位置は
変化しても、走査レーザービームがガルバノミラー１６
に結像する位置、すなわち走査ビームの旋回中心位置は
常に一定に保たれるという特徴がある。
【００３４】ガルバノミラー１６は、例えば標準ＴＶの
垂直走査に対応する６０Ｈｚの周波数でレーザービーム
を偏向走査し、その走査方向はＡＯＤ４による走査方向
とは直交している。従ってテレビの走査線に対応する２
次元的なレーザーラスターが形成され、それはミラー１
７及び対物ミラー１８によって反射され、被検眼１９の
瞳孔中心部を通って眼底に投射される。
垂直走査に対応する６０Ｈｚの周波数でレーザービーム
を偏向走査し、その走査方向はＡＯＤ４による走査方向
とは直交している。従ってテレビの走査線に対応する２
次元的なレーザーラスターが形成され、それはミラー１
７及び対物ミラー１８によって反射され、被検眼１９の
瞳孔中心部を通って眼底に投射される。
【００３５】眼底からの反射拡散光は同一の光学系１
８、１７、１６、１４、１１、１０を通って導かれ、ビ
ームスプリッター９を通過した後、レンズ２０、ミラー
２１により導かれ、ガラス板２２を通過する。ガラス板
２２の中心部は黒く遮光されており、それによって被検
眼１９の角膜反射を遮断する。
８、１７、１６、１４、１１、１０を通って導かれ、ビ
ームスプリッター９を通過した後、レンズ２０、ミラー
２１により導かれ、ガラス板２２を通過する。ガラス板
２２の中心部は黒く遮光されており、それによって被検
眼１９の角膜反射を遮断する。
【００３６】ガラス板を通過した光束はレンズ２３によ
って集光され、ハーフミラー２４で２分割された後、共
焦点の開口２５、２６の近傍に結像し、その２つの開口
の通過光がそれぞれ検出器（光電子増倍管またはアバラ
ンシェフォトダイオード等の高感度検出器）２７、２８
で検出され光電変換される。
って集光され、ハーフミラー２４で２分割された後、共
焦点の開口２５、２６の近傍に結像し、その２つの開口
の通過光がそれぞれ検出器（光電子増倍管またはアバラ
ンシェフォトダイオード等の高感度検出器）２７、２８
で検出され光電変換される。
【００３７】２つの共焦点開口２５、２６は、既に説明
したように被検眼眼底の結像点に対して、それぞれ光軸
方向に沿って逆方向に僅かにずらして配置されている。
従ってこの構成により測定対象物の光軸方向の凹凸が検
出される。
したように被検眼眼底の結像点に対して、それぞれ光軸
方向に沿って逆方向に僅かにずらして配置されている。
従ってこの構成により測定対象物の光軸方向の凹凸が検
出される。
【００３８】なお、この図のように、３次元測定を行う
ために、２つの開口をずらして配置しているが、この状
態で２つの検出器の出力信号を加算して通常画像の観察
のために利用すると、画像のコントラストは２つの開口
が完全な焦点面にあった時に比ベてやや低下する。従っ
て、通常画像の観察のためにこの光学系を適用する場
合、２つの開口２５、２６の位置を、矢印２５ａ、２６
ａのように僅かにずらして完全な焦点面に移動するため
の微動調整機構を備えて置くことが理想的である。
ために、２つの開口をずらして配置しているが、この状
態で２つの検出器の出力信号を加算して通常画像の観察
のために利用すると、画像のコントラストは２つの開口
が完全な焦点面にあった時に比ベてやや低下する。従っ
て、通常画像の観察のためにこの光学系を適用する場
合、２つの開口２５、２６の位置を、矢印２５ａ、２６
ａのように僅かにずらして完全な焦点面に移動するため
の微動調整機構を備えて置くことが理想的である。
【００３９】なお、通常画像の観察時のコントラスト低
下を防ぐためには、別の方法として例えば、ハーフミラ
ー２４の代わりに全反射ミラーを挿入して同時に開口２
６を完全な焦点面に移動させ、検出器２８の出力信号だ
けを利用してもよい（この時検出器２７の出力信号は使
わない）。このように開口の微動調整を行うことによ
り、３次元測定のみならず、同一の光学系を用いても、
コントラストの低下の少ない通常画像（完全な共焦点画
像）の観察が可能になる。
下を防ぐためには、別の方法として例えば、ハーフミラ
ー２４の代わりに全反射ミラーを挿入して同時に開口２
６を完全な焦点面に移動させ、検出器２８の出力信号だ
けを利用してもよい（この時検出器２７の出力信号は使
わない）。このように開口の微動調整を行うことによ
り、３次元測定のみならず、同一の光学系を用いても、
コントラストの低下の少ない通常画像（完全な共焦点画
像）の観察が可能になる。
【００４０】図２は、本発明による立体形状測定装置の
受光信号処理を行う電気系のブロックダイヤグラムを示
している。検出器（光電子増倍管またはアバランシェフ
ォトダイオード等）２７、２８からの出力信号Ｉ1、Ｉ2
は増幅器３１、３２で増幅され、それぞれが加算回路３
３及び減算回路３４によって演算処理される。加算及び
滅算された信号は、割算回路３５によって割算処理され
る。
受光信号処理を行う電気系のブロックダイヤグラムを示
している。検出器（光電子増倍管またはアバランシェフ
ォトダイオード等）２７、２８からの出力信号Ｉ1、Ｉ2
は増幅器３１、３２で増幅され、それぞれが加算回路３
３及び減算回路３４によって演算処理される。加算及び
滅算された信号は、割算回路３５によって割算処理され
る。
【００４１】すなわち、ここでは既に説明したように、
（Ｉ1−Ｉ2）／（Ｉ1＋Ｉ2）という演算処理（式
（４））を行う例を示しており、割算回路の出力信号は
階調変換回路３６によって非線形性の補正を行い、選択
回路３７を経てＴＶモニター等の出力装置３８に出力さ
れる。
（Ｉ1−Ｉ2）／（Ｉ1＋Ｉ2）という演算処理（式
（４））を行う例を示しており、割算回路の出力信号は
階調変換回路３６によって非線形性の補正を行い、選択
回路３７を経てＴＶモニター等の出力装置３８に出力さ
れる。
【００４２】なお、この例では加算及び減算した信号を
ぞれぞれ割算しているが、３次元情報を得るためには既
に述べたように、Ｉ1／Ｉ2という形で直接割算を行って
も良いし、また、ｌｏｇＩ1−ｌｏｇＩ2＝ｌｏｇ（Ｉ1
／Ｉ2）を利用し、すなわち対数変換を利用して割算を
実行することもできる。
ぞれぞれ割算しているが、３次元情報を得るためには既
に述べたように、Ｉ1／Ｉ2という形で直接割算を行って
も良いし、また、ｌｏｇＩ1−ｌｏｇＩ2＝ｌｏｇ（Ｉ1
／Ｉ2）を利用し、すなわち対数変換を利用して割算を
実行することもできる。
【００４３】選択回路３７によって加算回路３３の出力
信号（Ｉ1＋Ｉ2）が選択された場合には、測定対象物の
通常観察画像（通常の眼底像）がＴＶモニター等に表示
され、一方割算処理された信号（Ｉ1−Ｉ2）／（Ｉ1＋
Ｉ2）が選択された場合には測定対象物の３次元観察画
像（眼底の凹凸検出画像）が表示される。
信号（Ｉ1＋Ｉ2）が選択された場合には、測定対象物の
通常観察画像（通常の眼底像）がＴＶモニター等に表示
され、一方割算処理された信号（Ｉ1−Ｉ2）／（Ｉ1＋
Ｉ2）が選択された場合には測定対象物の３次元観察画
像（眼底の凹凸検出画像）が表示される。
【００４４】それぞれの画像情報は必要に応じて、ビデ
オテープまたは磁気ディスク、光ディスク等の記憶装置
３９に記憶保存される。
オテープまたは磁気ディスク、光ディスク等の記憶装置
３９に記憶保存される。
【００４５】一方、加算回路３３、減算回路３４の出力
信号は、判定回路４０によって、信号強度レベル及び光
学系の焦点状態を判定チェックするために用いられる。
判定回路４０は、その内部に比較回路や論理回路を有
し、基準電圧発生器４１からの基準電圧を基に信号の有
効性を判定する。
信号は、判定回路４０によって、信号強度レベル及び光
学系の焦点状態を判定チェックするために用いられる。
判定回路４０は、その内部に比較回路や論理回路を有
し、基準電圧発生器４１からの基準電圧を基に信号の有
効性を判定する。
【００４６】図３は２つの検出器の出力信号及び演算処
理された信号の強度レベルを示したもので、前述のよう
に、検出器の出力信号は２つの開口（Ａｌ）（Ａ２）の
位置をピークとした２つの山形の強度曲線を示し、その
２つのピークの間がｚ方向の測定可能範囲になる。もし
仮に、測定対象物の焦点面がこの測定範囲からはずれる
と、それは誤差の原因になる。
理された信号の強度レベルを示したもので、前述のよう
に、検出器の出力信号は２つの開口（Ａｌ）（Ａ２）の
位置をピークとした２つの山形の強度曲線を示し、その
２つのピークの間がｚ方向の測定可能範囲になる。もし
仮に、測定対象物の焦点面がこの測定範囲からはずれる
と、それは誤差の原因になる。
【００４７】また、割算回路は一般にダイナミックレン
ジが狭いために、割算回路に入力する信号レベル、特に
割算の分母の入力レベルは適正な範囲内にあることが測
定精度向上の点からも重要である。
ジが狭いために、割算回路に入力する信号レベル、特に
割算の分母の入力レベルは適正な範囲内にあることが測
定精度向上の点からも重要である。
【００４８】具体的には、上記の適正範囲は、（Ｉ1−
Ｉ2）に対してＩMaxおよびＩMinを考慮して、ＩMax＞
０、ＩMin＜０で、かつＩMaxをＩMinとほぼ等しくと
る、及び、 基準電圧発生器４１が発生する基準電位Ｖ1及びＶ2に対
して、Ｖ1＜Ｉ1十Ｉ2＜Ｖ2 などの条件を満足しているかどうかを判定回路４０によ
り調べることにより検出できる。
Ｉ2）に対してＩMaxおよびＩMinを考慮して、ＩMax＞
０、ＩMin＜０で、かつＩMaxをＩMinとほぼ等しくと
る、及び、 基準電圧発生器４１が発生する基準電位Ｖ1及びＶ2に対
して、Ｖ1＜Ｉ1十Ｉ2＜Ｖ2 などの条件を満足しているかどうかを判定回路４０によ
り調べることにより検出できる。
【００４９】これらの判定条件を満たす場合、光学系の
焦点面はこの３次元計測原理の測定範囲内にあり、また
割算回路の分母の入力レベルも適正レベルにあると判定
できる。
焦点面はこの３次元計測原理の測定範囲内にあり、また
割算回路の分母の入力レベルも適正レベルにあると判定
できる。
【００５０】再び図２において、判定回路４０の判定結
果は、ＬＥＤディスプレイ等の表示装置４２に示される
と共に、信号強度レベルの判定信号は制御回路４３を駆
動して、２つの増幅器３１、３２の増幅率を制御して各
信号レベルが最適になるように帰還制御を行う。
果は、ＬＥＤディスプレイ等の表示装置４２に示される
と共に、信号強度レベルの判定信号は制御回路４３を駆
動して、２つの増幅器３１、３２の増幅率を制御して各
信号レベルが最適になるように帰還制御を行う。
【００５１】一方、判定回路４０から出力された焦点状
態判定信号は、制御回路４４及びモ一ター駆動回路４５
を経てモーター１３を制御し、光学系の焦点状態が常時
上記の適正範囲内になるように制御が行われる。
態判定信号は、制御回路４４及びモ一ター駆動回路４５
を経てモーター１３を制御し、光学系の焦点状態が常時
上記の適正範囲内になるように制御が行われる。
【００５２】上記実施例によれば、検出器の出力信号か
ら対象物に対する光学系の焦点状態を判定し、光学系に
おけるレーザービームの焦点状態を常に最適な状態に自
動的に設定し、光学系を測定に適した合焦範囲内に追い
込む制御を行う信号処理手段を備えているので、測定対
象によらず常に正確な３次元計測が可能である。
ら対象物に対する光学系の焦点状態を判定し、光学系に
おけるレーザービームの焦点状態を常に最適な状態に自
動的に設定し、光学系を測定に適した合焦範囲内に追い
込む制御を行う信号処理手段を備えているので、測定対
象によらず常に正確な３次元計測が可能である。
【００５３】また、検出信号の電気的な信号レベルを判
定し、常に一定の強度状態に自動的に設定するための信
号処理手段を有しているので、割算処理を行う場合の演
算精度が向上し、結果的に３次元測定の精度再現性の向
上を図ることができる。
定し、常に一定の強度状態に自動的に設定するための信
号処理手段を有しているので、割算処理を行う場合の演
算精度が向上し、結果的に３次元測定の精度再現性の向
上を図ることができる。
【００５４】なお、本実施例では、測定対象物を生体眼
底に特定して説明を行ったが、本発明の内容はそれだけ
に限定されるものではなく、例えぱ、走査形レーザー顕
微鏡等に応用して微生物や細胞あるいは集積回路内部の
微細な配線パターン等の３次元的な立体形状を捉えるた
めに利用することも当然可能である。
底に特定して説明を行ったが、本発明の内容はそれだけ
に限定されるものではなく、例えぱ、走査形レーザー顕
微鏡等に応用して微生物や細胞あるいは集積回路内部の
微細な配線パターン等の３次元的な立体形状を捉えるた
めに利用することも当然可能である。
【００５５】また、本実施例では光走査手段として、Ａ
ＯＤとガルバノミラーを利用しているが、光の走査方法
はそれだけに限定されるものではなく、共振型の振動ミ
ラーや回転多面鏡（ポリゴンミラー）等を利用すること
も当然可能である。
ＯＤとガルバノミラーを利用しているが、光の走査方法
はそれだけに限定されるものではなく、共振型の振動ミ
ラーや回転多面鏡（ポリゴンミラー）等を利用すること
も当然可能である。
【００５６】
【発明の効果】以上から明らかなように、本発明によれ
ば、対象物に光を照射し、その反射光を受光して光電変
換した後信号処理を行うことにより対象物の３次元情報
を得る立体形状測定装置において、光ビームを照射する
レーザー光源と、前記光ビームを２次元的に走査するた
めの光走査手段と、前記光ビームを、前記光走査手段の
走査方向と交差する光学系の光軸方向に焦点移動する光
束制御手段と、前記光束制御手段を通過した光ビームを
対象物に照射するための光学系と、対象物からの反射光
の焦点位置の変位に基づき、光学系光軸方向に関する対
象物における形状特性の情報を取得する検出手段と、前
記検出手段の出力信号から、対象物における光学的反射
特性の影響を除去する第１の信号処理手段と、前記検出
手段の出力信号から、前記光束制御手段による対象物に
対する光ビームの焦点位置の状態を判定し、光束制御手
段を駆動して合焦状態を生成する第２の信号処理手段
と、あるいはさらに、前記検出手段の出力信号強度を判
定し前記検出手段の出力信号強度を所定の状態に調節す
る第３の信号処理手段とを有する構成を採用している。
ば、対象物に光を照射し、その反射光を受光して光電変
換した後信号処理を行うことにより対象物の３次元情報
を得る立体形状測定装置において、光ビームを照射する
レーザー光源と、前記光ビームを２次元的に走査するた
めの光走査手段と、前記光ビームを、前記光走査手段の
走査方向と交差する光学系の光軸方向に焦点移動する光
束制御手段と、前記光束制御手段を通過した光ビームを
対象物に照射するための光学系と、対象物からの反射光
の焦点位置の変位に基づき、光学系光軸方向に関する対
象物における形状特性の情報を取得する検出手段と、前
記検出手段の出力信号から、対象物における光学的反射
特性の影響を除去する第１の信号処理手段と、前記検出
手段の出力信号から、前記光束制御手段による対象物に
対する光ビームの焦点位置の状態を判定し、光束制御手
段を駆動して合焦状態を生成する第２の信号処理手段
と、あるいはさらに、前記検出手段の出力信号強度を判
定し前記検出手段の出力信号強度を所定の状態に調節す
る第３の信号処理手段とを有する構成を採用している。
【００５７】したがって、第１の信号処理手段により、
光学的反射率の変化が著しい生体眼底などが対象物であ
る場合でも、その反射特性の影響を除去することによっ
て対象物の形の情報のみを抽出する。
光学的反射率の変化が著しい生体眼底などが対象物であ
る場合でも、その反射特性の影響を除去することによっ
て対象物の形の情報のみを抽出する。
【００５８】そして、第２の信号処理手段により、検出
器の出力信号から対象物に対する光学系の焦点状態を判
定し、光学系におけるレーザービームの焦点状態を常に
最適な状態に自動的に設定するので、光学系を測定に適
した合焦範囲内に追い込む制御を行うことができる。
器の出力信号から対象物に対する光学系の焦点状態を判
定し、光学系におけるレーザービームの焦点状態を常に
最適な状態に自動的に設定するので、光学系を測定に適
した合焦範囲内に追い込む制御を行うことができる。
【００５９】また、第３の信号処理手段により、検出信
号の電気的な信号レベルを判定し、常に一定の強度状態
に自動的に設定することができ、高速広帯域な割算処理
を行う場合の演算精度が向上する。
号の電気的な信号レベルを判定し、常に一定の強度状態
に自動的に設定することができ、高速広帯域な割算処理
を行う場合の演算精度が向上する。
【００６０】従って本発明によれば被検者によってその
反射率が異なり、近視、遠視等の屈折状態も著しく異な
るような生体眼底に応用した場合に、焦点状態と信号レ
ベルを自動的に追従設定できるので、３次元測定におけ
る精度再現性の向上が図れ、また実際の現場で使用する
場合の装置の操作性向上が保証され、極めて実用的な立
体形状測定装置を実現することができる。
反射率が異なり、近視、遠視等の屈折状態も著しく異な
るような生体眼底に応用した場合に、焦点状態と信号レ
ベルを自動的に追従設定できるので、３次元測定におけ
る精度再現性の向上が図れ、また実際の現場で使用する
場合の装置の操作性向上が保証され、極めて実用的な立
体形状測定装置を実現することができる。
【００６１】すなわち、本発明によれば、対象物の反射
率や屈折状態、あるいは眼球などの対象物の光学系の透
明度などのバラツキがあっても、光学系や、信号処理系
の面倒かつ難しい調節操作を必要とせず、正確な対象物
の３次元情報を取得可能な極めて優れた立体形状測定装
置を提供できる。
率や屈折状態、あるいは眼球などの対象物の光学系の透
明度などのバラツキがあっても、光学系や、信号処理系
の面倒かつ難しい調節操作を必要とせず、正確な対象物
の３次元情報を取得可能な極めて優れた立体形状測定装
置を提供できる。
【図１】本発明を採用した立体形状測定装置の光学系の
説明図である。
説明図である。
【図２】本発明を採用した立体形状測定装置の信号処理
系の説明図である。
系の説明図である。
【図３】本発明を採用した立体形状測定装置の測定処理
を説明する線図である。
を説明する線図である。
【図４】従来の立体形状測定装置の構成を示した説明図
である。
である。
【図５】従来の立体形状測定装置の測定処理を説明する
線図である。
線図である。
１ レーザー光源 ３、７、８、１４、２０、２３ レンズ ４ ＡＯＤ ５、６ プリズム ９ ビームスプリッタ １０、１１、１６、１７ ミラー １３ モーター １５ ガルバノメーター １８ 対物ミラー １９ 被検眼 ２２ ガラス板 ２４ ハーフミラー ２５、２６ 開口 ２７、２８ 検出器 ３１、３２ 増幅器 ３３ 加算回路 ３４ 減算回路 ３５ 割算回路 ３６ 階調変換回路 ３７ 選択回路 ３８ 出力装置 ３９ 記憶装置 ４０ 判定回路 ４１ 基準電圧発生器 ４２ 表示装置 ４３ 制御回路 ４４ 制御回路 ４５ モーター駆動回路
Claims (12)
- 【請求項１】 対象物に光を照射し、その反射光を受光
して光電変換した後信号処理を行うことにより対象物の
３次元情報を得る立体形状測定装置において、 光ビームを照射するレーザー光源と、 前記光ビームを２次元的に走査するための光走査手段
と、 前記光ビームを、前記光走査手段の走査方向と交差する
光学系の光軸方向に焦点移動する光束制御手段と、 前記光束制御手段を通過した光ビームを対象物に照射す
るための光学系と、 対象物からの反射光の焦点位置の変位に基づき、光学系
光軸方向に関する対象物における形状特性の情報を取得
する検出手段と、 前記検出手段の出力信号から、対象物における光学的反
射特性の影響を除去する第１の信号処理手段と、 前記検出手段の出力信号から、前記光束制御手段による
対象物に対する光ビームの焦点位置の状態を判定し、光
束制御手段を駆動して合焦状態を生成する第２の信号処
理手段とを有することを特徴とする立体形状測定装置。 - 【請求項２】 対象物に光を照射し、その反射光を受光
して光電変換した後信号処理を行うことにより対象物の
３次元情報を得る立体形状測定装置において、 光ビームを照射するレーザー光源と、 前記光ビームを２次元的に走査するための光走査手段
と、 前記光ビームを、前記光走査手段の走査方向と交差する
光学系の光軸方向に焦点移動する光束制御手段と、 前記光束制御手段を通過した光ビームを対象物に照射す
るための光学系と、 対象物からの反射光の焦点位置の変位に基づき、光学系
光軸方向に関する対象物における形状特性の情報を取得
する検出手段と、 前記検出手段の出力信号から、対象物における光学的反
射特性の影響を除去する第１の信号処理手段と、 前記検出手段の出力信号強度を判定し前記検出手段の出
力信号強度を所定の状態に調節する第３の信号処理手段
とを有することを特徴とする立体形状測定装置。 - 【請求項３】 前記対象物が生体眼底であり、この生体
眼底に光を照射し、その反射光を受光して光電変換した
後、前記信号処理を行うことにより眼底の３次元情報を
得ることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の
立体形状測定装置。 - 【請求項４】 前記光走査手段は、光ビームを１方向に
所定周波数で走査する第１の光偏向器と、光ビームを前
記第１の光偏向器の走査方向とは直行する方向に前記走
査周波数よりも低い所定周波数で走査する第２の光偏向
器から構成されることを特徴とする請求項１から請求項
３までのいずれか１項に記載の立体形状測定装置。 - 【請求項５】 前記第１の光偏向器は音響光学偏向素子
であることを特徴とする請求項４に記載の立体形状測定
装置。 - 【請求項６】 前記第２の光偏向器はガルバノメーター
ミラーであることを特徴とする請求項４に記載の立体形
状測定装置。 - 【請求項７】 前記光束制御手段は、テレセントリック
光学系における反射ミラーの移動によって行うことを特
徴とする請求項１から請求項６までのいずれか１項に記
載の立体形状測定装置。 - 【請求項８】 対象物からの反射光の焦点位置の変位に
基づき、光学系光軸方向に関する対象物における形状特
性の情報を取得する前記検出手段は、焦点距離を互いに
逆方向にずらして配置された２つの共焦点開口を有する
ことを特徴とする請求項１から請求項７までのいずれか
１項に記載の立体形状測定装置。 - 【請求項９】 前記共焦点開口は、通常画像の観察時
に、少なくとも一方の開口が測定対象物に対して光学的
合焦状態になるように調整可能としたことを特徴とする
請求項１から請求項８までのいずれか１項に記載の立体
形状測定装置。 - 【請求項１０】 前記第１の信号処理手段は、割算回路
を含み、この割算回路により前記検出手段の出力信号の
加算および減算結果の商を算出し、対象物における光学
的反射特性の影響を除去することを特徴とする請求項１
から請求項９までのいずれか１項に記載の立体形状測定
装置。 - 【請求項１１】 前記第２の信号処理手段は、検出手段
からの出力信号を加算ないし減算し、その強度状態を判
定する判定回路を含み、この判定回路により前記光束制
御手段による対象物に対する光ビームの焦点位置の状態
を判定し、光束制御手段を駆動して合焦状態を制御する
ことを特徴とする請求項１から請求項１０までのいずれ
か１項に記載の立体形状測定装置。 - 【請求項１２】 前記第３の信号処理手段は、検出手段
からの出力信号の強度状態を判定し信号の増幅率に帰還
する制御回路を含み、この制御回路により前記検出手段
の出力信号強度を所定の状態に調節することを特徴とす
る請求項１から請求項１１までのいずれか１項に記載の
立体形状測定装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23523991A JP3186799B2 (ja) | 1991-09-17 | 1991-09-17 | 立体形状測定装置 |
| US07/945,672 US5353073A (en) | 1991-09-17 | 1992-09-16 | Three-dimensional shape measurement system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23523991A JP3186799B2 (ja) | 1991-09-17 | 1991-09-17 | 立体形状測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0571931A true JPH0571931A (ja) | 1993-03-23 |
| JP3186799B2 JP3186799B2 (ja) | 2001-07-11 |
Family
ID=16983142
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23523991A Expired - Fee Related JP3186799B2 (ja) | 1991-09-17 | 1991-09-17 | 立体形状測定装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5353073A (ja) |
| JP (1) | JP3186799B2 (ja) |
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| CN103913601A (zh) * | 2014-03-25 | 2014-07-09 | 西安交通大学 | 一种水凝胶微孔阵列形貌表征的方法 |
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