JPH0569375B2 - - Google Patents
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- JPH0569375B2 JPH0569375B2 JP23277286A JP23277286A JPH0569375B2 JP H0569375 B2 JPH0569375 B2 JP H0569375B2 JP 23277286 A JP23277286 A JP 23277286A JP 23277286 A JP23277286 A JP 23277286A JP H0569375 B2 JPH0569375 B2 JP H0569375B2
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP23277286A JPS6385432A (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | 線状欠陥の検査方法 |
Publications (2)
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JPS6385432A JPS6385432A (ja) | 1988-04-15 |
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Family
ID=16944497
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP23277286A Granted JPS6385432A (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | 線状欠陥の検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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-
1986
- 1986-09-30 JP JP23277286A patent/JPS6385432A/ja active Granted
Also Published As
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