JP2001264257A - 画像欠陥検出装置、画像欠陥検出方法、及び画像欠陥検出方法の手順を記憶した記憶媒体 - Google Patents
画像欠陥検出装置、画像欠陥検出方法、及び画像欠陥検出方法の手順を記憶した記憶媒体Info
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- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
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- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
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- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
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- Image Analysis (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 検査員の熟練度や体調に関係なく、正確に欠
陥を検出することができる。 【解決手段】 カメラによってアナログデータとして取
り出された画像のアナログデータの画像がＡ／Ｄ変換器
によってデジタルデータに変換されると、マトリクス設
定手段１８によって、画像上にて、欠陥の種類に応じて
異なった検査基準領域および検査対象領域がそれぞれ設
定される。そして、比較値抽出手段１９によって検査基
準領域内および検査対象領域内におけるデジタルデータ
から比較値が抽出されると、比較手段２０によって、そ
の比較値と所定の閾値とに基づいて、欠陥の有無が検出
される。
陥を検出することができる。 【解決手段】 カメラによってアナログデータとして取
り出された画像のアナログデータの画像がＡ／Ｄ変換器
によってデジタルデータに変換されると、マトリクス設
定手段１８によって、画像上にて、欠陥の種類に応じて
異なった検査基準領域および検査対象領域がそれぞれ設
定される。そして、比較値抽出手段１９によって検査基
準領域内および検査対象領域内におけるデジタルデータ
から比較値が抽出されると、比較手段２０によって、そ
の比較値と所定の閾値とに基づいて、欠陥の有無が検出
される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネル等の表
示装置における画像の欠陥を検出する装置および方法に
関し、特に、表示装置の画像を撮像等によって取り込ん
で、取り込まれた画像に基づいて、画像の欠陥を検出す
る画像欠陥検出装置および画像欠陥検出方法に関する。
また、本発明は、このような画像欠陥検出方法の手順を
記憶した記憶媒体に関する。
示装置における画像の欠陥を検出する装置および方法に
関し、特に、表示装置の画像を撮像等によって取り込ん
で、取り込まれた画像に基づいて、画像の欠陥を検出す
る画像欠陥検出装置および画像欠陥検出方法に関する。
また、本発明は、このような画像欠陥検出方法の手順を
記憶した記憶媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】表示パネル等の表示画面においては、全
体にわたって均一な画質が要求されるために、表示パネ
ルを生産する工程においては、表示画面にて表示された
画像を、目視検査することによって、表示画面における
欠陥の検出が行われている。
体にわたって均一な画質が要求されるために、表示パネ
ルを生産する工程においては、表示画面にて表示された
画像を、目視検査することによって、表示画面における
欠陥の検出が行われている。
【０００３】表示画面における欠陥には多くの種類が存
在し、例えば微小な欠陥である点欠陥、適当な領域にわ
たるシミ欠陥およびムラ欠陥、線状の線欠陥等がある。
このような多種多様の欠陥の検出は、通常、検査員によ
る目視検査によって行われている。しかしながら、同一
の画像の欠陥検査を行っても、検査員の熟練度や体調な
どにより、検査結果、すなわち良品／不良品の判定が変
わってしまうおそれがあり、毎回の検査結果を、同一の
精度によって出すことは容易でないという問題がある。
在し、例えば微小な欠陥である点欠陥、適当な領域にわ
たるシミ欠陥およびムラ欠陥、線状の線欠陥等がある。
このような多種多様の欠陥の検出は、通常、検査員によ
る目視検査によって行われている。しかしながら、同一
の画像の欠陥検査を行っても、検査員の熟練度や体調な
どにより、検査結果、すなわち良品／不良品の判定が変
わってしまうおそれがあり、毎回の検査結果を、同一の
精度によって出すことは容易でないという問題がある。
【０００４】そこで、検査員による目視検査に替わっ
て、個人差のない検査装置による検査が望まれている。
しかしながら、前述したように、欠陥には多くの種類が
存在するために、各種類の結果を検査するためには、多
くの項目をチェックする必要があるという問題がある。
て、個人差のない検査装置による検査が望まれている。
しかしながら、前述したように、欠陥には多くの種類が
存在するために、各種類の結果を検査するためには、多
くの項目をチェックする必要があるという問題がある。
【０００５】特開平９−９３０３号公報には、表示パネ
ルの画質検査を、表示パネルにて表示された画像を撮像
して、撮像した画像のデータを、検査項目に応じて処理
することによって実施する構成が開示されている。
ルの画質検査を、表示パネルにて表示された画像を撮像
して、撮像した画像のデータを、検査項目に応じて処理
することによって実施する構成が開示されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに、１つの画素毎に画像データを検査する構成では、
１つの画素の欠陥である微小な点欠陥であって、しか
も、その点欠陥が、周囲の画素の欠陥よりも極端に出力
が低下した状態になっている場合にしか検出することが
できないという問題がある。
うに、１つの画素毎に画像データを検査する構成では、
１つの画素の欠陥である微小な点欠陥であって、しか
も、その点欠陥が、周囲の画素の欠陥よりも極端に出力
が低下した状態になっている場合にしか検出することが
できないという問題がある。
【０００７】すなわち、１つの画素の欠陥である点欠陥
では、画像データをＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器の性
能、配線における電圧の降下（配線鈍り）などにより、
図１５に示すように、欠陥が発生している画素に対して
上下左右の周囲の画素についても、若干出力が落ちてい
ることが多く、１画素のみの画像データに基づいて検査
した場合には、欠陥を見つけることが容易でないという
問題がある。
では、画像データをＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換器の性
能、配線における電圧の降下（配線鈍り）などにより、
図１５に示すように、欠陥が発生している画素に対して
上下左右の周囲の画素についても、若干出力が落ちてい
ることが多く、１画素のみの画像データに基づいて検査
した場合には、欠陥を見つけることが容易でないという
問題がある。
【０００８】また、ムラ欠陥等は、１画素における出力
の低下が小さく、各画素毎における画像データはほとん
ど変化していない状態になっている。従って、画像デー
タを比較する画素の距離を離したとしても、ムラ欠陥等
の欠陥を正確に検出することができないおそれがある。
の低下が小さく、各画素毎における画像データはほとん
ど変化していない状態になっている。従って、画像デー
タを比較する画素の距離を離したとしても、ムラ欠陥等
の欠陥を正確に検出することができないおそれがある。
【０００９】また、各欠陥は、ＲＧＢなどの表色系の各
成分のうちの１種類または２種類以上が異常となったと
きに発生するものであり、いずれの色成分が異常になっ
ているかを検出することができないという問題もある。
成分のうちの１種類または２種類以上が異常となったと
きに発生するものであり、いずれの色成分が異常になっ
ているかを検出することができないという問題もある。
【００１０】このため、人間による目視検査と同等の検
査機能を有し、複数の画素同士の比較を高速で行うこと
が可能な画像欠陥検出装置が必要とされている。
査機能を有し、複数の画素同士の比較を高速で行うこと
が可能な画像欠陥検出装置が必要とされている。
【００１１】このような問題は、液晶パネル等の表示画
面における欠陥を検出する場合のみならず、塗装表面に
おいて表面の塗装が均一になっていることを、その表面
を撮像して検査する等の場合にも発生する。
面における欠陥を検出する場合のみならず、塗装表面に
おいて表面の塗装が均一になっていることを、その表面
を撮像して検査する等の場合にも発生する。
【００１２】本発明は、このような問題を解決するもの
であり、その目的は、検査員の熟練度や体調に関係な
く、各種欠陥を、正確に、高速に、しかも、精度よく検
出することができる画像欠陥検出装置および画像欠陥検
出方法を提供することにある。本発明の他の目的は、そ
の画像欠陥検出方法の手順を記憶した記憶媒体を提供す
ることにある。
であり、その目的は、検査員の熟練度や体調に関係な
く、各種欠陥を、正確に、高速に、しかも、精度よく検
出することができる画像欠陥検出装置および画像欠陥検
出方法を提供することにある。本発明の他の目的は、そ
の画像欠陥検出方法の手順を記憶した記憶媒体を提供す
ることにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明の画像欠陥検出装
置は、画像をアナログデータとして取り出す画像取り出
し手段と、この画像取り出し手段によって取り出された
アナログデータの画像をデジタルデータに変換するＡ／
Ｄ変換手段と、前記画像上にて、欠陥の種類に応じて異
なった検査基準領域および検査対象領域をそれぞれ設定
する設定手段と、この設定手段にて設定された検査基準
領域内および検査対象領域内におけるデジタルデータか
ら比較値を抽出する比較値抽出手段と、前記比較値抽出
手段にて抽出された比較値と所定の閾値とに基づいて、
欠陥の有無を検出する比較手段と、を具備することを特
徴とする。
置は、画像をアナログデータとして取り出す画像取り出
し手段と、この画像取り出し手段によって取り出された
アナログデータの画像をデジタルデータに変換するＡ／
Ｄ変換手段と、前記画像上にて、欠陥の種類に応じて異
なった検査基準領域および検査対象領域をそれぞれ設定
する設定手段と、この設定手段にて設定された検査基準
領域内および検査対象領域内におけるデジタルデータか
ら比較値を抽出する比較値抽出手段と、前記比較値抽出
手段にて抽出された比較値と所定の閾値とに基づいて、
欠陥の有無を検出する比較手段と、を具備することを特
徴とする。
【００１４】本発明の画像欠陥検出装置は、画像をアナ
ログデータとして取り出す画像取り出し手段と、この画
像取り出し手段によって取り出されたアナログデータの
画像をデジタルデータに変換するＡ／Ｄ変換手段と、複
数の異なった欠陥の有無を並行して検査する複数の検査
手段とを備え、各検査手段は、該画像上にて、欠陥の種
類に応じて異なった検査基準領域および検査対象領域を
それぞれ設定する設定手段と、この設定手段にて設定さ
れた検査基準領域内および検査対象領域内におけるデジ
タルデータから比較値を抽出する比較値抽出手段と、該
比較値抽出手段にて抽出された比較値と所定の閾値とに
基づいて、欠陥の有無を検出する比較手段と、を具備す
ることを特徴とする。
ログデータとして取り出す画像取り出し手段と、この画
像取り出し手段によって取り出されたアナログデータの
画像をデジタルデータに変換するＡ／Ｄ変換手段と、複
数の異なった欠陥の有無を並行して検査する複数の検査
手段とを備え、各検査手段は、該画像上にて、欠陥の種
類に応じて異なった検査基準領域および検査対象領域を
それぞれ設定する設定手段と、この設定手段にて設定さ
れた検査基準領域内および検査対象領域内におけるデジ
タルデータから比較値を抽出する比較値抽出手段と、該
比較値抽出手段にて抽出された比較値と所定の閾値とに
基づいて、欠陥の有無を検出する比較手段と、を具備す
ることを特徴とする。
【００１５】前記各検査手段は、少なくとも１つのプロ
セッサ手段を含んでいる。
セッサ手段を含んでいる。
【００１６】前記各検査手段は、前記欠陥の種類がシミ
欠陥、ムラ欠陥および線欠陥の場合には、少なくとも２
つのプロセッサ手段を含んでいる。
欠陥、ムラ欠陥および線欠陥の場合には、少なくとも２
つのプロセッサ手段を含んでいる。
【００１７】前記設定手段は、前記検査基準領域および
前記検査対象領域のそれぞれの位置、それぞれのサイ
ズ、両者の距離をそれぞれ設定する。
前記検査対象領域のそれぞれの位置、それぞれのサイ
ズ、両者の距離をそれぞれ設定する。
【００１８】前記設定手段は、前記欠陥の種類が、点欠
陥、シミ欠陥および線欠陥の場合に、前記検査基準領域
および前記検査対象領域を、それぞれ隣接する第１の距
離を設定する。
陥、シミ欠陥および線欠陥の場合に、前記検査基準領域
および前記検査対象領域を、それぞれ隣接する第１の距
離を設定する。
【００１９】前記設定手段は、前記欠陥の種類がムラ欠
陥の場合に、前記検査基準領域と前記検査対象領域との
間に、第１の距離よりも長い第２の距離を設定する。
陥の場合に、前記検査基準領域と前記検査対象領域との
間に、第１の距離よりも長い第２の距離を設定する。
【００２０】前記設定手段は、前記欠陥の種類が、シミ
欠陥、ムラ欠陥、および線欠陥の場合に、前記欠陥の種
類が、点欠陥の場合よりも、前記検査基準領域と前記検
査対象領域とのサイズをそれぞれ大きく設定する。
欠陥、ムラ欠陥、および線欠陥の場合に、前記欠陥の種
類が、点欠陥の場合よりも、前記検査基準領域と前記検
査対象領域とのサイズをそれぞれ大きく設定する。
【００２１】前記検査基準領域および前記検査対象領域
は、Ｍ個の画素（横方向）×Ｎ個の画素（縦方向）のブ
ロック（但し、ＭおよびＮは、Ｍ＝Ｎ＝１を除く、自然
数）に設定される。
は、Ｍ個の画素（横方向）×Ｎ個の画素（縦方向）のブ
ロック（但し、ＭおよびＮは、Ｍ＝Ｎ＝１を除く、自然
数）に設定される。
【００２２】前記Ａ／Ｄ変換手段の出力特性に応じて、
少なくともＮまたはＭの値が設定される。
少なくともＮまたはＭの値が設定される。
【００２３】前記検査基準領域および前記検査対象領域
としてそれぞれ設定されるブロックは、前記欠陥の種類
が点欠陥の場合に、Ｍ＝Ｎとされる。
としてそれぞれ設定されるブロックは、前記欠陥の種類
が点欠陥の場合に、Ｍ＝Ｎとされる。
【００２４】前記検査基準領域および前記検査対象領域
としてそれぞれ設定されるブロックは、前記欠陥の種類
が縦方向に沿った線欠陥の場合に、Ｍ＜Ｎに設定され
る。
としてそれぞれ設定されるブロックは、前記欠陥の種類
が縦方向に沿った線欠陥の場合に、Ｍ＜Ｎに設定され
る。
【００２５】前記検査基準領域および前記検査対象領域
としてそれぞれ設定されるブロックは、前記欠陥の種類
が横方向に沿った線欠陥の場合に、Ｍ＞Ｎに設定され
る。
としてそれぞれ設定されるブロックは、前記欠陥の種類
が横方向に沿った線欠陥の場合に、Ｍ＞Ｎに設定され
る。
【００２６】前記画像のデジタルデータを表色系に分解
する表色分解手段をさらに有する。
する表色分解手段をさらに有する。
【００２７】前記画像のアナログデータを表色系に分解
する表色分解手段を有する。
する表色分解手段を有する。
【００２８】前記表色分解手段は、表色系の各成分に分
解し、分解された各成分毎に並行して検査を行う。
解し、分解された各成分毎に並行して検査を行う。
【００２９】前記表色分解手段は、表色系の各成分に分
解し、前記検出手段のそれぞれの閾値は、表色系の各成
分に応じてそれぞれ設定される。
解し、前記検出手段のそれぞれの閾値は、表色系の各成
分に応じてそれぞれ設定される。
【００３０】前記検査基準領域および前記検査対象領域
の位置を、１画素ずつずらせて、前記画像取り出し手段
によって取り出された画像の各画素における欠陥を、順
次、検査するようになっている。
の位置を、１画素ずつずらせて、前記画像取り出し手段
によって取り出された画像の各画素における欠陥を、順
次、検査するようになっている。
【００３１】本発明の画像欠陥検出方法は、アナログデ
ータの画像を取り出す画像取り出し工程と、取り出され
たアナログデータをデジタルデータに変換するＡＤ変換
工程と、取り出された画像上に、欠陥の種類に応じた前
記検査基準領域および前記検査対象領域を設定する設定
工程と、設定された検査基準領域および検査対象領域の
デジタルデータから比較値を抽出する比較値抽出工程
と、抽出された比較値と所定の閾値とに基づいて、欠陥
の有無を検出する比較工程と、を包含することを特徴と
する。
ータの画像を取り出す画像取り出し工程と、取り出され
たアナログデータをデジタルデータに変換するＡＤ変換
工程と、取り出された画像上に、欠陥の種類に応じた前
記検査基準領域および前記検査対象領域を設定する設定
工程と、設定された検査基準領域および検査対象領域の
デジタルデータから比較値を抽出する比較値抽出工程
と、抽出された比較値と所定の閾値とに基づいて、欠陥
の有無を検出する比較工程と、を包含することを特徴と
する。
【００３２】本発明の画像欠陥検出方法は、アナログデ
ータの画像を取り出す画像取り出し工程と、取り出され
たアナログデータをデジタルデータに変換するＡＤ変換
工程と、複数の異なった欠陥の有無を並行して検査する
検査工程とを含み、該検査工程は、取り出された画像上
に、欠陥の種類に応じた検査基準領域および検査対象領
域を設定する設定工程と、設定された検査基準領域およ
び検査対象領域のデジタルデータから比較値を抽出する
比較値抽出工程と、抽出された比較値と所定の閾値とに
基づいて、欠陥の有無を検出する比較工程と、を包含す
ることを特徴とする。
ータの画像を取り出す画像取り出し工程と、取り出され
たアナログデータをデジタルデータに変換するＡＤ変換
工程と、複数の異なった欠陥の有無を並行して検査する
検査工程とを含み、該検査工程は、取り出された画像上
に、欠陥の種類に応じた検査基準領域および検査対象領
域を設定する設定工程と、設定された検査基準領域およ
び検査対象領域のデジタルデータから比較値を抽出する
比較値抽出工程と、抽出された比較値と所定の閾値とに
基づいて、欠陥の有無を検出する比較工程と、を包含す
ることを特徴とする。
【００３３】前記検査工程は、前記欠陥の種類がシミ欠
陥、ムラ欠陥および線欠陥の場合には、少なくとも２つ
の処理に分けて検査を行う。
陥、ムラ欠陥および線欠陥の場合には、少なくとも２つ
の処理に分けて検査を行う。
【００３４】前記設定工程において、前記検査基準領域
および前記検査対象領域のそれぞれの位置、それぞれの
サイズ、両者の距離をそれぞれ設定する。
および前記検査対象領域のそれぞれの位置、それぞれの
サイズ、両者の距離をそれぞれ設定する。
【００３５】前記ＡＤ変換工程の後で、前記設定工程の
前に、前記デジタルデータを表色系に分解する表色分解
工程が設けられている。
前に、前記デジタルデータを表色系に分解する表色分解
工程が設けられている。
【００３６】前記画像取り出し工程の後で、前記ＡＤ変
換工程の前に、前記アナログデータの画像を表色系に分
解する表色分解工程が設けられている。
換工程の前に、前記アナログデータの画像を表色系に分
解する表色分解工程が設けられている。
【００３７】前記表色分解工程で分解された各成分毎
に、並行して検査を行う。
に、並行して検査を行う。
【００３８】前記検査基準領域および前記検査対象領域
の位置を、１画素ずつずらせて、前記画像取り出し手段
によって取り出された画像の各画素における欠陥を、順
次、検査するようになっている。
の位置を、１画素ずつずらせて、前記画像取り出し手段
によって取り出された画像の各画素における欠陥を、順
次、検査するようになっている。
【００３９】本発明の記憶媒体は、このような画像欠陥
検出方法の手順が記憶されていることを特徴とする。
検出方法の手順が記憶されていることを特徴とする。
【００４０】上記構成により、点欠陥検査、シミ欠陥検
査、ムラ欠陥検査、線欠陥検査等、検査員が行う数々の
チェック項目と同等の検査機能を実現することが可能と
なる。また、撮像された画像をＲＧＢ等の表色系に分解
して、各成分のうちのどの成分が異常となったかを検出
可能である。また、各々の欠陥検査に合わせた検査基準
領域および検査対象領域の大きさ／形によって画面全体
を評価することが可能である。さらに、各色成分で各検
査項目を並行して高速に処理することが可能である。従
って、検査員の熟練度や体調に関係なく、高速で正確な
欠陥検出を行うことが可能となり、表示装置の生産能力
の向上および品質の向上に役立つ。
査、ムラ欠陥検査、線欠陥検査等、検査員が行う数々の
チェック項目と同等の検査機能を実現することが可能と
なる。また、撮像された画像をＲＧＢ等の表色系に分解
して、各成分のうちのどの成分が異常となったかを検出
可能である。また、各々の欠陥検査に合わせた検査基準
領域および検査対象領域の大きさ／形によって画面全体
を評価することが可能である。さらに、各色成分で各検
査項目を並行して高速に処理することが可能である。従
って、検査員の熟練度や体調に関係なく、高速で正確な
欠陥検出を行うことが可能となり、表示装置の生産能力
の向上および品質の向上に役立つ。
【００４１】
【発明の実施の形態】以下、本実施の形態について、図
面に基づいて詳細に説明する。
面に基づいて詳細に説明する。
【００４２】（実施形態１）図１は、本発明の実施形態
１の画像欠陥検出装置を示すブロック図である。この画
像欠陥検出装置は、例えば、画像表示装置である液晶パ
ネル１における表示画像の欠陥を検出するために使用さ
れ、液晶パネル１をレンズ２を通して撮像するカメラ３
を有している。カメラ３にて撮像された画像は、ＮＴＳ
Ｃ方式によって出力される。
１の画像欠陥検出装置を示すブロック図である。この画
像欠陥検出装置は、例えば、画像表示装置である液晶パ
ネル１における表示画像の欠陥を検出するために使用さ
れ、液晶パネル１をレンズ２を通して撮像するカメラ３
を有している。カメラ３にて撮像された画像は、ＮＴＳ
Ｃ方式によって出力される。
【００４３】カメラ３の出力は、ＡＤ変換器４によって
デジタル信号に変換され、メモリ５に格納される。な
お、カメラ３の出力をＡＤ変換器４によって出力する構
成に替えて、カメラ３内にＡＤ変換器４が内蔵されてい
ても良い。
デジタル信号に変換され、メモリ５に格納される。な
お、カメラ３の出力をＡＤ変換器４によって出力する構
成に替えて、カメラ３内にＡＤ変換器４が内蔵されてい
ても良い。
【００４４】メモリ５に格納された画像のデジタル信号
は、ＣＰＵ６によって制御されるＲＧＢ分離部７によっ
て、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）Ｂ（青色）の色成分毎に分
解されて、メモリ８に、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色成分毎に格納
される。ＲＧＢ分離部７としては、一般的に使用される
コンポジットなどで構成されている。なお、ＡＤ変換に
よって変換されたデジタル信号をＲ、Ｇ、Ｂの各色成分
に分離する構成に替えて、カメラ３から出力されるアナ
ログ信号を、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色成分毎に分離した後に、
ＡＤ変換するようにしてもよい。
は、ＣＰＵ６によって制御されるＲＧＢ分離部７によっ
て、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）Ｂ（青色）の色成分毎に分
解されて、メモリ８に、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色成分毎に格納
される。ＲＧＢ分離部７としては、一般的に使用される
コンポジットなどで構成されている。なお、ＡＤ変換に
よって変換されたデジタル信号をＲ、Ｇ、Ｂの各色成分
に分離する構成に替えて、カメラ３から出力されるアナ
ログ信号を、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色成分毎に分離した後に、
ＡＤ変換するようにしてもよい。
【００４５】各色成分毎に分離されてメモリ８に格納さ
れた色成分は、分離された色成分毎に、ＣＰＵ６にて制
御される各色成分検査部９によって、後述する検査方法
にて検査されて、検査結果がメモリ１２に格納される。
そして、このメモリ１２に格納された内容に基づいて、
ＣＰＵ６は、結果出力部１３に検査結果を出力する。結
果出力部１３は、モニタ等の表示装置にて表示する構
成、あるいは、ブザー等の警報機等によって警報音を出
力する構成、通信手段によって欠陥の有無判定後の処理
を行う装置へ通知する構成等とされる。また、検査結果
の判定を、検査項目終了毎に行うか、すべての検査項目
終了後に検査結果の判定を行うかは、適宜、ＣＰＵ６に
て選択される。
れた色成分は、分離された色成分毎に、ＣＰＵ６にて制
御される各色成分検査部９によって、後述する検査方法
にて検査されて、検査結果がメモリ１２に格納される。
そして、このメモリ１２に格納された内容に基づいて、
ＣＰＵ６は、結果出力部１３に検査結果を出力する。結
果出力部１３は、モニタ等の表示装置にて表示する構
成、あるいは、ブザー等の警報機等によって警報音を出
力する構成、通信手段によって欠陥の有無判定後の処理
を行う装置へ通知する構成等とされる。また、検査結果
の判定を、検査項目終了毎に行うか、すべての検査項目
終了後に検査結果の判定を行うかは、適宜、ＣＰＵ６に
て選択される。
【００４６】図２は、画像欠陥の欠陥の代表的な例を示
す模式図である。図２には、点欠陥１４、シミ欠陥１
５、線欠陥１６、ムラ欠陥１７が示されている。点欠陥
１４は、液晶パネル１における１つの画素のデジタルデ
ータが、その周囲の画素のデジタルデータに比べて、著
しく大きな差（大または小）がある状態である。シミ欠
陥１５は、適当な領域の複数の画素のデジタルデータそ
れぞれが、周囲の画素のデジタルデータに対して、点欠
陥１４における差分よりも小さな差がある状態である。
す模式図である。図２には、点欠陥１４、シミ欠陥１
５、線欠陥１６、ムラ欠陥１７が示されている。点欠陥
１４は、液晶パネル１における１つの画素のデジタルデ
ータが、その周囲の画素のデジタルデータに比べて、著
しく大きな差（大または小）がある状態である。シミ欠
陥１５は、適当な領域の複数の画素のデジタルデータそ
れぞれが、周囲の画素のデジタルデータに対して、点欠
陥１４における差分よりも小さな差がある状態である。
【００４７】線欠陥１６は、シミ欠陥１５と同様に、点
欠陥１４の画素に比べて周りの画素とのデジタルデータ
差が小さい複数の画素が、線状に集まったものである。
ムラ欠陥１７は、シミ欠陥１５の画素よりもさらにデジ
タルデータ差が小さい複数の画素が、シミ欠陥１５より
も広い領域に集まったものである。
欠陥１４の画素に比べて周りの画素とのデジタルデータ
差が小さい複数の画素が、線状に集まったものである。
ムラ欠陥１７は、シミ欠陥１５の画素よりもさらにデジ
タルデータ差が小さい複数の画素が、シミ欠陥１５より
も広い領域に集まったものである。
【００４８】図３は、各色成分検査部９の動作を説明す
るためのブロック図である。各色成分検査部９は、検査
基準領域および検査対象領域の比較対象位置を設定する
マトリクス設定手段１８を有しており、マトリクス設定
手段１８は、検査対象領域および検査基準領域のそれぞ
れのマトリクスの位置、それぞれのマトリクスサイズ、
それぞれのマトリクスの両者の距離を設定する。
るためのブロック図である。各色成分検査部９は、検査
基準領域および検査対象領域の比較対象位置を設定する
マトリクス設定手段１８を有しており、マトリクス設定
手段１８は、検査対象領域および検査基準領域のそれぞ
れのマトリクスの位置、それぞれのマトリクスサイズ、
それぞれのマトリクスの両者の距離を設定する。
【００４９】比較値抽出手段１９では、マトリクス設定
手段１８にて設定された検査基準領域のマトリクスサイ
ズ内の画素のデジタルデータと、比較対象とされる検査
対象領域のマトリクスサイズ内の画素のデジタルデータ
（比較値）とを抽出する。
手段１８にて設定された検査基準領域のマトリクスサイ
ズ内の画素のデジタルデータと、比較対象とされる検査
対象領域のマトリクスサイズ内の画素のデジタルデータ
（比較値）とを抽出する。
【００５０】比較値抽出手段１９によって抽出された比
較値は、比較手段２０によって、設定された閾値と比較
される。そして、比較手段２０にて比較されたデータに
よって欠陥が検出された場合には、欠陥記憶メモリ２１
に格納される。
較値は、比較手段２０によって、設定された閾値と比較
される。そして、比較手段２０にて比較されたデータに
よって欠陥が検出された場合には、欠陥記憶メモリ２１
に格納される。
【００５１】さらに、各色成分検査部９には、液晶パネ
ル１における全ての画素の検査が終了したか否かを判断
する全画素検査終了判定手段２２が設けられている。そ
して、全画素検査終了判定手段２２によって、全画素の
検査が終了していないと判定された場合には、次アドレ
ス生成手段２３によって、次アドレスの位置を設定し、
比較値抽出手段１９により検査位置を変えて各検査を行
う。
ル１における全ての画素の検査が終了したか否かを判断
する全画素検査終了判定手段２２が設けられている。そ
して、全画素検査終了判定手段２２によって、全画素の
検査が終了していないと判定された場合には、次アドレ
ス生成手段２３によって、次アドレスの位置を設定し、
比較値抽出手段１９により検査位置を変えて各検査を行
う。
【００５２】全画素検査終了判定手段２２によって、全
画素検査が終了したことが判定された場合には、図１の
メモリ１２へ欠陥記憶メモリ２１のデータが出力され
る。そして、ＣＰＵ６にて設けられたＲＧＢ終了確認手
段２４ａにて、Ｒ，Ｇ，Ｂすべての色成分の検査が終了
していることが確認され、終了していない場合は、比較
値抽出手段１９によって、検査が終了していない色成分
の検査が行われる。
画素検査が終了したことが判定された場合には、図１の
メモリ１２へ欠陥記憶メモリ２１のデータが出力され
る。そして、ＣＰＵ６にて設けられたＲＧＢ終了確認手
段２４ａにて、Ｒ，Ｇ，Ｂすべての色成分の検査が終了
していることが確認され、終了していない場合は、比較
値抽出手段１９によって、検査が終了していない色成分
の検査が行われる。
【００５３】すべての色成分の検査が終了している場合
は、ＣＰＵ６に設けられた次検査有無確認手段２４ｂに
て次の検査項目の有無を判断する。検査項目としては、
図２に示すような、点欠陥１４、シミ欠陥１５、縦方向
および横方向の線欠陥１６、ムラ欠陥１７の検査等であ
る。実施すべき検査項目がある場合は、再度、マトリク
ス設定手段１８に戻り次の検査項目に関する検査を行
う。
は、ＣＰＵ６に設けられた次検査有無確認手段２４ｂに
て次の検査項目の有無を判断する。検査項目としては、
図２に示すような、点欠陥１４、シミ欠陥１５、縦方向
および横方向の線欠陥１６、ムラ欠陥１７の検査等であ
る。実施すべき検査項目がある場合は、再度、マトリク
ス設定手段１８に戻り次の検査項目に関する検査を行
う。
【００５４】図４は、本実施形態の画像欠陥検出装置に
て実施される欠陥検出方法を説明するためのフローチャ
ートである。まず、カメラ３によって撮像された表示パ
ネル１の画像を、ＲＧＢ分離部７によって、各画素毎
に、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色成分毎にそれぞれ分解する（図４
のステップＳ１参照、以下同様）。この場合、例えば点
欠陥１４のような微小な欠陥を検出する場合には、マト
リクスサイズ設定手段１８によって、図５に示すよう
に、検査基準領域３８および検査対象領域３９を、それ
ぞれ、例えば３画素×３画素等の比較的小さなマトリク
スサイズに設定する（ステップＳ２）。
て実施される欠陥検出方法を説明するためのフローチャ
ートである。まず、カメラ３によって撮像された表示パ
ネル１の画像を、ＲＧＢ分離部７によって、各画素毎
に、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色成分毎にそれぞれ分解する（図４
のステップＳ１参照、以下同様）。この場合、例えば点
欠陥１４のような微小な欠陥を検出する場合には、マト
リクスサイズ設定手段１８によって、図５に示すよう
に、検査基準領域３８および検査対象領域３９を、それ
ぞれ、例えば３画素×３画素等の比較的小さなマトリク
スサイズに設定する（ステップＳ２）。
【００５５】検査基準領域３８および検査対象領域３９
のマトリクスサイズは、３画素×３画素の矩形形状に限
らず、円や楕円でも良い。また、点欠陥１４は、通常、
１画素の欠陥であるが、図１５に示すように、Ａ／Ｄ変
換での信号の鈍り、配線内を通過する際の信号の鈍り等
により、複数の画素に影響する場合がある。従って、点
欠陥１４を検出するためのマトリクスサイズは、このよ
うな信号の鈍りの影響を考慮した大きさにすることが効
果的である。
のマトリクスサイズは、３画素×３画素の矩形形状に限
らず、円や楕円でも良い。また、点欠陥１４は、通常、
１画素の欠陥であるが、図１５に示すように、Ａ／Ｄ変
換での信号の鈍り、配線内を通過する際の信号の鈍り等
により、複数の画素に影響する場合がある。従って、点
欠陥１４を検出するためのマトリクスサイズは、このよ
うな信号の鈍りの影響を考慮した大きさにすることが効
果的である。
【００５６】次に、例えば、図５に示したように、検査
対象領域３９を、検査基準領域３８のすぐ右横に設定す
る（ステップＳ３）。通常、点欠陥１４のような欠陥を
検出する場合は、画面全体にわたる各画素のデジタルデ
ータの変化による影響を極力排除するために、検査基準
領域３８および検査対象領域３９を、上下左右のいずれ
かに隣接して設定することが好ましい。ただし、前述し
たような信号の鈍りの影響を考慮して、検査対象領域３
９を検査基準領域３８から数画素離れて設定して、検査
対象領域３９の画素のデジタルデータを検査基準領域３
８の画素のデータと比較するようにしても良い。
対象領域３９を、検査基準領域３８のすぐ右横に設定す
る（ステップＳ３）。通常、点欠陥１４のような欠陥を
検出する場合は、画面全体にわたる各画素のデジタルデ
ータの変化による影響を極力排除するために、検査基準
領域３８および検査対象領域３９を、上下左右のいずれ
かに隣接して設定することが好ましい。ただし、前述し
たような信号の鈍りの影響を考慮して、検査対象領域３
９を検査基準領域３８から数画素離れて設定して、検査
対象領域３９の画素のデジタルデータを検査基準領域３
８の画素のデータと比較するようにしても良い。
【００５７】検査対象領域および検査基準領域の比較対
象位置が設定されると、欠陥の有無を判定する閾値を比
較手段２０に設定する（ステップＳ４）。閾値は、撮像
された液晶パネル１の画面の画像の色成分に応じて、
Ｒ，Ｇ，Ｂの各色成分毎にそれぞれ設定される。
象位置が設定されると、欠陥の有無を判定する閾値を比
較手段２０に設定する（ステップＳ４）。閾値は、撮像
された液晶パネル１の画面の画像の色成分に応じて、
Ｒ，Ｇ，Ｂの各色成分毎にそれぞれ設定される。
【００５８】閾値が設定されると、比較値抽出手段２０
によって比較値が抽出される（ステップＳ５）。比較値
としては、ステップＳ２およびＳ３によって設定された
検出基準領域３８における３画素×３画素のマトリクス
内の全ての画素のデジタルデータの合計値と、検出対象
領域３９における３画素×３画素のマトリクス内の全て
の画素のデジタルデータの合計値との差分値が抽出され
る。
によって比較値が抽出される（ステップＳ５）。比較値
としては、ステップＳ２およびＳ３によって設定された
検出基準領域３８における３画素×３画素のマトリクス
内の全ての画素のデジタルデータの合計値と、検出対象
領域３９における３画素×３画素のマトリクス内の全て
の画素のデジタルデータの合計値との差分値が抽出され
る。
【００５９】このようにして抽出された比較値と、ステ
ップＳ４にて設定された閾値とが、比較手段２０にて比
較され（ステップＳ６）、液晶表示パネル１における画
面の欠陥の有無が判断される。通常、微小な点欠陥１４
の検出には、設定された閾値に対して、比較値が大きい
場合に点欠陥１４が存在していると判定される。
ップＳ４にて設定された閾値とが、比較手段２０にて比
較され（ステップＳ６）、液晶表示パネル１における画
面の欠陥の有無が判断される。通常、微小な点欠陥１４
の検出には、設定された閾値に対して、比較値が大きい
場合に点欠陥１４が存在していると判定される。
【００６０】例えば、１画素のデジタルデータとして、
０〜２５５の８ビットの場合に、カメラ３で撮像した画
像における理想のデジタルデータを値を１２８とする
と、図５に示すマトリクスサイズの検査基準領域３８に
おける全ての画素のデジタルデータの合計値が１１０
０、検査対象領域３９における全ての画素のデジタルデ
ータの合計値が１１５０であれば、ステップＳ５におけ
る比較値抽出によって、１１５０−１１００＝５０とし
て、比較値５０が算出される。そして、ステップＳ４に
て閾値として４０が設定されていると、ステップＳ６に
おける比較値≧閾値の判定で、５０（比較値）≧４０
（閾値）になっているために、この比較対象位置におい
て欠陥が存在すると判断する。この場合、閾値が６０に
設定されていると、この比較対象位置では、欠陥なしと
判断されることになる。
０〜２５５の８ビットの場合に、カメラ３で撮像した画
像における理想のデジタルデータを値を１２８とする
と、図５に示すマトリクスサイズの検査基準領域３８に
おける全ての画素のデジタルデータの合計値が１１０
０、検査対象領域３９における全ての画素のデジタルデ
ータの合計値が１１５０であれば、ステップＳ５におけ
る比較値抽出によって、１１５０−１１００＝５０とし
て、比較値５０が算出される。そして、ステップＳ４に
て閾値として４０が設定されていると、ステップＳ６に
おける比較値≧閾値の判定で、５０（比較値）≧４０
（閾値）になっているために、この比較対象位置におい
て欠陥が存在すると判断する。この場合、閾値が６０に
設定されていると、この比較対象位置では、欠陥なしと
判断されることになる。
【００６１】なお、デジタルデータの比較は、各検査基
準領域３８および３９における全ての画素のデジタルデ
ータの合計値を比較値として、閾値と比較するようにし
ているが、各検査基準領域３８および３９における全て
の画素のデジタルデータの平均値、あるいは、変化率を
比較値として、閾値と比較するようにしてもよい。
準領域３８および３９における全ての画素のデジタルデ
ータの合計値を比較値として、閾値と比較するようにし
ているが、各検査基準領域３８および３９における全て
の画素のデジタルデータの平均値、あるいは、変化率を
比較値として、閾値と比較するようにしてもよい。
【００６２】また、ここでは検査基準領域および検査対
象領域は同一サイズとしているが、平均値などで比較す
る場合では、異なったサイズでも良い。ただ、点欠陥の
ような微小な欠陥の原因は１画素分の出力が欠けたもの
であるが、Ａ／Ｄ変換器の性能や配線鈍り等により、図
１５に示すように鈍った状態となることが多い。従っ
て、１画素毎に比較を行うよりも、複数画素分のデータ
で比較する方が有効である。
象領域は同一サイズとしているが、平均値などで比較す
る場合では、異なったサイズでも良い。ただ、点欠陥の
ような微小な欠陥の原因は１画素分の出力が欠けたもの
であるが、Ａ／Ｄ変換器の性能や配線鈍り等により、図
１５に示すように鈍った状態となることが多い。従っ
て、１画素毎に比較を行うよりも、複数画素分のデータ
で比較する方が有効である。
【００６３】また、この例では、Ｘ方向の横との比較と
しているが、Ｙ方向の縦との比較を行うことにより、さ
らに検出精度を高めることが出来る。
しているが、Ｙ方向の縦との比較を行うことにより、さ
らに検出精度を高めることが出来る。
【００６４】このようにして、欠陥の存在が確認される
と、欠陥記憶メモリ２１に、この欠陥の位置情報等が記
憶される（ステップＳ７）。
と、欠陥記憶メモリ２１に、この欠陥の位置情報等が記
憶される（ステップＳ７）。
【００６５】所定の比較対象位置における検査が終了す
ると、１行におけるＸ方向に沿った全ての画素の検査が
終了していないことが確認されて（ステップＳ８）、比
較対象位置がＸ方向に１画素分だけ移動され（ステップ
Ｓ９）、同様の検査が実施される。そして、１行におけ
る全ての画素の検査が終了したことが確認されると、Ｙ
方向の全ての行の検査が終了していないことが確認され
て（ステップＳ１０）、比較対象位置が次の行の先頭に
移動され（ステップＳ１１）、同様の検査が実施され
る。
ると、１行におけるＸ方向に沿った全ての画素の検査が
終了していないことが確認されて（ステップＳ８）、比
較対象位置がＸ方向に１画素分だけ移動され（ステップ
Ｓ９）、同様の検査が実施される。そして、１行におけ
る全ての画素の検査が終了したことが確認されると、Ｙ
方向の全ての行の検査が終了していないことが確認され
て（ステップＳ１０）、比較対象位置が次の行の先頭に
移動され（ステップＳ１１）、同様の検査が実施され
る。
【００６６】比較対象位置の移動は、比較対象位置の設
定において、検査対象領域３９が検査基準領域３８に対
してＸ方向の右横に指定されているために、Ｘ方向の右
に１画素分ずつであり、１行分の画素全てに関して検査
が終了することによって、その下側（Ｙ方向）の行の先
頭から検査を開始するようになっているが、比較対象位
置の設定において、検査対象領域３９が検査基準領域３
８に対してＸ方向の左横に指定されていれば、左に１画
素分だけ移動され、また、下側に指定されていれば、下
に１画素分だけ移動される。
定において、検査対象領域３９が検査基準領域３８に対
してＸ方向の右横に指定されているために、Ｘ方向の右
に１画素分ずつであり、１行分の画素全てに関して検査
が終了することによって、その下側（Ｙ方向）の行の先
頭から検査を開始するようになっているが、比較対象位
置の設定において、検査対象領域３９が検査基準領域３
８に対してＸ方向の左横に指定されていれば、左に１画
素分だけ移動され、また、下側に指定されていれば、下
に１画素分だけ移動される。
【００６７】このようにして、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色成分毎
に、全画像にわたる点欠陥１４の検査が実施される（ス
テップＳ１３）。そして、Ｒ、Ｇ、Ｂの全ての色成分に
関して、全画像にわたる点欠陥１４の検査が終了する
と、検査が終了していない検査項目の有無が確認される
（ステップＳ１４）。そして、例えば、検査項目とし
て、シミ欠陥１５の検査があれば、同様にして、シミ欠
陥の検査が実施される。通常、前述したように、点欠陥
１４、シミ欠陥１５、縦方向および横方向の線欠陥１
６、ムラ欠陥１７の検査が実施される。そして、全ての
検査項目の検査が終了すると、画像欠陥検査が終了す
る。
に、全画像にわたる点欠陥１４の検査が実施される（ス
テップＳ１３）。そして、Ｒ、Ｇ、Ｂの全ての色成分に
関して、全画像にわたる点欠陥１４の検査が終了する
と、検査が終了していない検査項目の有無が確認される
（ステップＳ１４）。そして、例えば、検査項目とし
て、シミ欠陥１５の検査があれば、同様にして、シミ欠
陥の検査が実施される。通常、前述したように、点欠陥
１４、シミ欠陥１５、縦方向および横方向の線欠陥１
６、ムラ欠陥１７の検査が実施される。そして、全ての
検査項目の検査が終了すると、画像欠陥検査が終了す
る。
【００６８】シミ欠陥１５を検出する場合には、検査基
準領域３８および検査対象領域３９のマトリクスサイズ
を、点欠陥１４を検出する場合における検査基準領域お
よび検査対象領域のマトリクスサイズより大きく設定さ
れる。また、シミ欠陥１５の検出は、比較対象である閾
値に対して比較値が大きくなっている場合に、シミ欠陥
１５が存在するものと判定される。その他は、点欠陥１
４の検査と同様に実施される。
準領域３８および検査対象領域３９のマトリクスサイズ
を、点欠陥１４を検出する場合における検査基準領域お
よび検査対象領域のマトリクスサイズより大きく設定さ
れる。また、シミ欠陥１５の検出は、比較対象である閾
値に対して比較値が大きくなっている場合に、シミ欠陥
１５が存在するものと判定される。その他は、点欠陥１
４の検査と同様に実施される。
【００６９】ムラ欠陥１７を検出する場合には、図６に
示すように、検査基準領域３８および検査対象領域３９
のマトリクスサイズは、点欠陥１４を検出する場合にお
ける検査基準領域３８および検査対象領域３９のマトリ
クスサイズよりも大きく設定され、例えば３０画素×３
０画素のような比較的大きな同一のマトリクスサイズに
設定される。また、ムラ欠陥１７は、複数の画素にわた
って、デジタルデータ値が徐々に変化しているために、
図６に示すように、検査基準領域３８に対して適当な距
離をあけて検査対象領域３９を設定することが好まし
い。
示すように、検査基準領域３８および検査対象領域３９
のマトリクスサイズは、点欠陥１４を検出する場合にお
ける検査基準領域３８および検査対象領域３９のマトリ
クスサイズよりも大きく設定され、例えば３０画素×３
０画素のような比較的大きな同一のマトリクスサイズに
設定される。また、ムラ欠陥１７は、複数の画素にわた
って、デジタルデータ値が徐々に変化しているために、
図６に示すように、検査基準領域３８に対して適当な距
離をあけて検査対象領域３９を設定することが好まし
い。
【００７０】さらに、カメラ３にて撮像される画像は、
レンズ２によって中心部分における画素のデジタルデー
タの出力が大きくなるために、検査基準領域３８および
検査対象領域３９をＸ方向（横方向）に設定する場合に
は、画像の横方向の寸法の半分程度だけ離れて設定する
ことが効果的である。そして、検査基準領域３８および
検査対象領域３９における各画素のデジタルデータが比
較値とされて、比較値に基づいて、ムラ欠陥１７が検出
される。ムラ欠陥１７が存在すると判断する比較値は、
比較的小さな値となる。
レンズ２によって中心部分における画素のデジタルデー
タの出力が大きくなるために、検査基準領域３８および
検査対象領域３９をＸ方向（横方向）に設定する場合に
は、画像の横方向の寸法の半分程度だけ離れて設定する
ことが効果的である。そして、検査基準領域３８および
検査対象領域３９における各画素のデジタルデータが比
較値とされて、比較値に基づいて、ムラ欠陥１７が検出
される。ムラ欠陥１７が存在すると判断する比較値は、
比較的小さな値となる。
【００７１】また、縦方向（Ｙ方向）に沿った線欠陥１
６を検出する場合には、図７に示すように、検査基準領
域３８および検査対象領域３９のマトリクスサイズを、
点欠陥１４の検出に際して設定される検査基準領域３８
および検査対象領域３９のマトリクスサイズよりも大き
く、しかも、Ｙ方向に沿って長くなるように、例えば２
画素（Ｘ方向）×５０画素（Ｙ方向）と設定される。ま
た、点欠陥１４を検出する場合と同様に、画面全体にわ
たる各画素のデジタルデータの変化による影響を極力排
除するため、検査基準領域３８および検査対象領域３９
を隣接して設定することが好ましい。縦方向の線欠陥１
６を検出する場合は、左右方向に隣接する検査基準領域
３８および検査対象領域３９における各画素のデジタル
データを比較するだけでも十分である。
６を検出する場合には、図７に示すように、検査基準領
域３８および検査対象領域３９のマトリクスサイズを、
点欠陥１４の検出に際して設定される検査基準領域３８
および検査対象領域３９のマトリクスサイズよりも大き
く、しかも、Ｙ方向に沿って長くなるように、例えば２
画素（Ｘ方向）×５０画素（Ｙ方向）と設定される。ま
た、点欠陥１４を検出する場合と同様に、画面全体にわ
たる各画素のデジタルデータの変化による影響を極力排
除するため、検査基準領域３８および検査対象領域３９
を隣接して設定することが好ましい。縦方向の線欠陥１
６を検出する場合は、左右方向に隣接する検査基準領域
３８および検査対象領域３９における各画素のデジタル
データを比較するだけでも十分である。
【００７２】横方向（Ｘ方向）に沿った線欠陥１６を検
出する場合には、検査基準領域３８および検査対象領域
３９のマトリクスサイズは、Ｘ方向に沿って長くなるよ
うに、例えば５０画素（Ｘ方向）×２画素（Ｙ方向）と
設定される。この場合、検査基準領域３８および検査対
象領域３９を上下方向に隣接して設定して、上下方向に
隣接する検査基準領域３８および検査対象領域３９にお
ける各画素のデジタルデータを比較するだけでも十分で
ある。
出する場合には、検査基準領域３８および検査対象領域
３９のマトリクスサイズは、Ｘ方向に沿って長くなるよ
うに、例えば５０画素（Ｘ方向）×２画素（Ｙ方向）と
設定される。この場合、検査基準領域３８および検査対
象領域３９を上下方向に隣接して設定して、上下方向に
隣接する検査基準領域３８および検査対象領域３９にお
ける各画素のデジタルデータを比較するだけでも十分で
ある。
【００７３】このように、欠陥の種類に対応させて、検
査基準領域３８および検査対象領域３９のマトリクスサ
イズを変更し、また、両者の位置関係も変更し、さらに
は、欠陥の有無を判断する閾値の値も変更することによ
り、多種類の欠陥を、それぞれ確実に検出することがで
きる。従って、検査対象の良品の品位をさらに向上させ
ることも容易である。
査基準領域３８および検査対象領域３９のマトリクスサ
イズを変更し、また、両者の位置関係も変更し、さらに
は、欠陥の有無を判断する閾値の値も変更することによ
り、多種類の欠陥を、それぞれ確実に検出することがで
きる。従って、検査対象の良品の品位をさらに向上させ
ることも容易である。
【００７４】通常、１画素当たりの閾値（閾値／マトリ
クス）は、点欠陥１４を検出する場合に、最も大きな値
に設定され、続いて、シミ欠陥１５および線欠陥１６を
検出する場合に、大きな値に設定され、ムラ欠陥１７を
検出する場合に最も小さな値に設定される。同様に、検
査基準領域３８および検査対象領域３９のマトリクスサ
イズは、点欠陥１４を検出する場合に、最も小さな面積
に設定され、続いて、シミ欠陥１５および線欠陥１６を
検出する場合に、大きな面積に設定され、ムラ欠陥１７
を検出する場合に最も大きな面積に設定される。
クス）は、点欠陥１４を検出する場合に、最も大きな値
に設定され、続いて、シミ欠陥１５および線欠陥１６を
検出する場合に、大きな値に設定され、ムラ欠陥１７を
検出する場合に最も小さな値に設定される。同様に、検
査基準領域３８および検査対象領域３９のマトリクスサ
イズは、点欠陥１４を検出する場合に、最も小さな面積
に設定され、続いて、シミ欠陥１５および線欠陥１６を
検出する場合に、大きな面積に設定され、ムラ欠陥１７
を検出する場合に最も大きな面積に設定される。
【００７５】閾値は、１つの値を設定する構成に限ら
ず、２つの値を設定して、検査対象物品の品位をランク
分けするようにしてもよい。
ず、２つの値を設定して、検査対象物品の品位をランク
分けするようにしてもよい。
【００７６】なお、上記実施形態１では、各色成分毎に
各欠陥を順次検査したが、以下の実施形態２に示すよう
に、各検査工程を並行して行う（並列処理する）ことも
可能である。
各欠陥を順次検査したが、以下の実施形態２に示すよう
に、各検査工程を並行して行う（並列処理する）ことも
可能である。
【００７７】（実施形態２）図８は、本発明の実施形態
２の画像欠陥検出装置を示すブロック図である。なお、
この図では、実施形態１と同様の機能を有する部分に同
じ番号を付している。この画像欠陥検出装置は、実施形
態１と同様に、例えば、画像表示装置である液晶パネル
１における表示画像の欠陥を検出するために使用され、
液晶パネル１をレンズ２を通して撮像するカメラ３を有
している。カメラ３にて撮像された画像は、ＮＴＳＣ方
式によって出力される。
２の画像欠陥検出装置を示すブロック図である。なお、
この図では、実施形態１と同様の機能を有する部分に同
じ番号を付している。この画像欠陥検出装置は、実施形
態１と同様に、例えば、画像表示装置である液晶パネル
１における表示画像の欠陥を検出するために使用され、
液晶パネル１をレンズ２を通して撮像するカメラ３を有
している。カメラ３にて撮像された画像は、ＮＴＳＣ方
式によって出力される。
【００７８】カメラ３の出力は、ＡＤ変換器４によって
デジタル信号に変換され、メモリ５に格納される。な
お、本実施形態でも、カメラ３の出力をＡＤ変換器４に
よって出力する構成に替えて、カメラ３内にＡＤ変換器
４が内蔵されていても良い。
デジタル信号に変換され、メモリ５に格納される。な
お、本実施形態でも、カメラ３の出力をＡＤ変換器４に
よって出力する構成に替えて、カメラ３内にＡＤ変換器
４が内蔵されていても良い。
【００７９】メモリ５に格納された画像のデジタル信号
は、ＣＰＵ６によって制御されるＲＧＢ分離部７によっ
て、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）Ｂ（青色）の色成分毎に分
解される。各成分毎にメモリ８ａ〜８ｃが用意され、例
えばＲ成分はメモリ８ａ、Ｇ成分はメモリ８ｂ、Ｂ色成
はメモリ８ｃに格納される。ＲＧＢ分離部７は、実施形
態１と同様に、一般的に使用されるコンポジットなどで
構成されている。なお、本実施形態でも、ＡＤ変換によ
って変換されたデジタル信号をＲ、Ｇ、Ｂの各色成分に
分離する構成に替えて、カメラ３から出力されるアナロ
グ信号を、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色成分毎に分離した後に、Ａ
Ｄ変換するようにしてもよい。
は、ＣＰＵ６によって制御されるＲＧＢ分離部７によっ
て、Ｒ（赤色）、Ｇ（緑色）Ｂ（青色）の色成分毎に分
解される。各成分毎にメモリ８ａ〜８ｃが用意され、例
えばＲ成分はメモリ８ａ、Ｇ成分はメモリ８ｂ、Ｂ色成
はメモリ８ｃに格納される。ＲＧＢ分離部７は、実施形
態１と同様に、一般的に使用されるコンポジットなどで
構成されている。なお、本実施形態でも、ＡＤ変換によ
って変換されたデジタル信号をＲ、Ｇ、Ｂの各色成分に
分離する構成に替えて、カメラ３から出力されるアナロ
グ信号を、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色成分毎に分離した後に、Ａ
Ｄ変換するようにしてもよい。
【００８０】各色成分毎に分離されてメモリ８ａ〜８ｃ
に格納された色成分は、分離された色成分毎に、ＣＰＵ
６にて制御される各色成分検査部９によって、後述する
検査方法にて検査される。各色成分検査部９は、実施形
態１で図２に示したような点欠陥１４を検査する点欠陥
検出部、シミ欠陥１５を検査するシミ欠陥検出部、線欠
陥１６を検査する線欠陥検出部、ムラ欠陥１７を検査す
るムラ欠陥検査部を有している。そして、検査結果はメ
モリ１２に格納され、このメモリ１２に格納された内容
に基づいて、ＣＰＵ６は、結果出力部１３に検査結果を
出力する。結果出力部１３は、実施形態１と同様に、モ
ニタ等の表示装置にて表示する構成、あるいは、ブザー
等の警報機等によって警報音を出力する構成、通信手段
によって欠陥の有無判定後の処理を行う装置へ通知する
構成等とされる。また、検査結果の判定を、検査項目終
了毎に行うか、すべての検査項目終了後に検査結果の判
定を行うかは、適宜、ＣＰＵ６にて選択される。
に格納された色成分は、分離された色成分毎に、ＣＰＵ
６にて制御される各色成分検査部９によって、後述する
検査方法にて検査される。各色成分検査部９は、実施形
態１で図２に示したような点欠陥１４を検査する点欠陥
検出部、シミ欠陥１５を検査するシミ欠陥検出部、線欠
陥１６を検査する線欠陥検出部、ムラ欠陥１７を検査す
るムラ欠陥検査部を有している。そして、検査結果はメ
モリ１２に格納され、このメモリ１２に格納された内容
に基づいて、ＣＰＵ６は、結果出力部１３に検査結果を
出力する。結果出力部１３は、実施形態１と同様に、モ
ニタ等の表示装置にて表示する構成、あるいは、ブザー
等の警報機等によって警報音を出力する構成、通信手段
によって欠陥の有無判定後の処理を行う装置へ通知する
構成等とされる。また、検査結果の判定を、検査項目終
了毎に行うか、すべての検査項目終了後に検査結果の判
定を行うかは、適宜、ＣＰＵ６にて選択される。
【００８１】図９は、各色成分検査部９の概略構成を説
明するためのブロック図である。ここでは、Ｒ成分を例
として、点欠陥、シミ欠陥、ムラ欠陥および線欠陥の４
つの欠陥検出処理を並列処理する場合について説明す
る。
明するためのブロック図である。ここでは、Ｒ成分を例
として、点欠陥、シミ欠陥、ムラ欠陥および線欠陥の４
つの欠陥検出処理を並列処理する場合について説明す
る。
【００８２】点欠陥検出処理部１１ａは点欠陥検査を行
うプロセッサであり、第１のシミ欠陥検出処理部１１ｂ
および第２のシミ欠陥検出処理部１１ｅはシミ欠陥検査
を行うプロセッサであり、第１のムラ欠陥検出処理部１
１ｃおよび第２のムラ欠陥検出処理部１１ｆはムラ欠陥
検査を行うプロセッサであり、第１の線欠陥検出処理部
１１ｄおよび第２の線欠陥検出処理部１１ｇは線欠陥検
査を行うプロセッサである。１１ａ〜１１ｄの各欠陥検
出処理部は、Ｒ成分用メモリ８ａから、図８で説明した
ＲＧＢ分離後のＲ成分のみを抽出したデータを読み出し
て処理を行う。このように、４つの欠陥検査を並列処理
することにより、全ての欠陥検査を高速に行うことがで
きる。また、検査項目をさらに多くして、並列処理を行
うことも可能である。さらに、各欠陥の検査をＲ、Ｇ、
Ｂの各色成分毎に並列処理することができるので、さら
に高速に処理することができる。
うプロセッサであり、第１のシミ欠陥検出処理部１１ｂ
および第２のシミ欠陥検出処理部１１ｅはシミ欠陥検査
を行うプロセッサであり、第１のムラ欠陥検出処理部１
１ｃおよび第２のムラ欠陥検出処理部１１ｆはムラ欠陥
検査を行うプロセッサであり、第１の線欠陥検出処理部
１１ｄおよび第２の線欠陥検出処理部１１ｇは線欠陥検
査を行うプロセッサである。１１ａ〜１１ｄの各欠陥検
出処理部は、Ｒ成分用メモリ８ａから、図８で説明した
ＲＧＢ分離後のＲ成分のみを抽出したデータを読み出し
て処理を行う。このように、４つの欠陥検査を並列処理
することにより、全ての欠陥検査を高速に行うことがで
きる。また、検査項目をさらに多くして、並列処理を行
うことも可能である。さらに、各欠陥の検査をＲ、Ｇ、
Ｂの各色成分毎に並列処理することができるので、さら
に高速に処理することができる。
【００８３】また、各欠陥の検査は、後述するように、
欠陥の種類に応じて処理されるマトリクスの大きさが変
化するため、各欠陥を検査するために必要とされる各プ
ロセッサの処理量も欠陥の種類によって異なる。そこ
で、処理量が多く、処理時間がかかる検査項目について
は、その欠陥検出処理を複数のプロセッサに分散して行
うことにより、さらに高速処理が可能となる。
欠陥の種類に応じて処理されるマトリクスの大きさが変
化するため、各欠陥を検査するために必要とされる各プ
ロセッサの処理量も欠陥の種類によって異なる。そこ
で、処理量が多く、処理時間がかかる検査項目について
は、その欠陥検出処理を複数のプロセッサに分散して行
うことにより、さらに高速処理が可能となる。
【００８４】例えば、後述するムラ欠陥の検査を行う場
合、マトリクスの大きさが３０×３０である場合につい
て考えると、まず、図９に示す第１のムラ欠陥検出処理
部１１ｃを用いて横方向１×３０の大きさ（検査基準領
域と検査対象領域の１行分）の差分値を各々算出し、そ
の算出したデータ値を第２のムラ欠陥検出処理部１１ｆ
に渡す。そして、第２のムラ欠陥検出検出処理部１１ｆ
で、データ値を縦３０行分合計することにより、３０×
３０のマトリクスの差分値を計算することができる。
合、マトリクスの大きさが３０×３０である場合につい
て考えると、まず、図９に示す第１のムラ欠陥検出処理
部１１ｃを用いて横方向１×３０の大きさ（検査基準領
域と検査対象領域の１行分）の差分値を各々算出し、そ
の算出したデータ値を第２のムラ欠陥検出処理部１１ｆ
に渡す。そして、第２のムラ欠陥検出検出処理部１１ｆ
で、データ値を縦３０行分合計することにより、３０×
３０のマトリクスの差分値を計算することができる。
【００８５】なお、この図９ではシミ欠陥検査、ムラ欠
陥検査および線欠陥検査を２つのプロセッサを用いて行
うようにしているが、プロセッサの数はいくつでもよ
い。但し、各プロセッサに処理させる内容は処理時間や
処理内容が同じ程度で平均化されるものが好ましい。さ
らに、各検査項目毎に処理を分割しているが、特定の欠
陥検査の処理に極端に時間がかかるような場合には、検
査項目以外で分割してもよく、例えば撮像された画像の
上部、中心部、下部等に分割してもよい。
陥検査および線欠陥検査を２つのプロセッサを用いて行
うようにしているが、プロセッサの数はいくつでもよ
い。但し、各プロセッサに処理させる内容は処理時間や
処理内容が同じ程度で平均化されるものが好ましい。さ
らに、各検査項目毎に処理を分割しているが、特定の欠
陥検査の処理に極端に時間がかかるような場合には、検
査項目以外で分割してもよく、例えば撮像された画像の
上部、中心部、下部等に分割してもよい。
【００８６】なお、上記プロセッサとしてはノイマン型
のプロセッサを用いても良く、非ノイマン型のものを用
いてもよい。非ノイマン型のプロセッサを用いた場合に
は、パイプライン処理が可能となるため、さらに高速処
理が可能となる。
のプロセッサを用いても良く、非ノイマン型のものを用
いてもよい。非ノイマン型のプロセッサを用いた場合に
は、パイプライン処理が可能となるため、さらに高速処
理が可能となる。
【００８７】図１０は、点欠陥検出部１１ａの動作を説
明するためのブロック図である。この点欠陥検出部１１
ａは、検査基準領域および検査対象領域の比較対象位置
を設定するマトリクス設定手段１８を有しており、マト
リクス設定手段１８は、検査対象領域および検査基準領
域のそれぞれのマトリクスの位置、それぞれのマトリク
スサイズ、それぞれのマトリクスの両者の距離を設定す
る。
明するためのブロック図である。この点欠陥検出部１１
ａは、検査基準領域および検査対象領域の比較対象位置
を設定するマトリクス設定手段１８を有しており、マト
リクス設定手段１８は、検査対象領域および検査基準領
域のそれぞれのマトリクスの位置、それぞれのマトリク
スサイズ、それぞれのマトリクスの両者の距離を設定す
る。
【００８８】比較値抽出手段１９では、マトリクス設定
手段１８にて設定された検査基準領域のマトリクスサイ
ズ内の画素のデータと、比較対象とされる検査対象領域
のマトリクスサイズ内の画素のデータ（比較値）とを抽
出する。
手段１８にて設定された検査基準領域のマトリクスサイ
ズ内の画素のデータと、比較対象とされる検査対象領域
のマトリクスサイズ内の画素のデータ（比較値）とを抽
出する。
【００８９】比較値抽出手段１９によって抽出された比
較値は、比較手段２０によって、設定された閾値と比較
される。そして、比較手段２０にて比較されたデータに
よって欠陥が検出された場合には、欠陥記憶メモリ２１
に格納される。
較値は、比較手段２０によって、設定された閾値と比較
される。そして、比較手段２０にて比較されたデータに
よって欠陥が検出された場合には、欠陥記憶メモリ２１
に格納される。
【００９０】さらに、点欠陥検出部１１ａは、液晶パネ
ル１における全ての画素の検査が終了したか否かを判断
する全画素検査終了判定手段２２を有している。そし
て、全画素検査終了判定手段２２によって、全画素の検
査が終了していないと判定された場合には、次アドレス
生成手段２３によって、次アドレスの位置を設定し、比
較値抽出手段１９により検査位置を変えて各検査を行
う。
ル１における全ての画素の検査が終了したか否かを判断
する全画素検査終了判定手段２２を有している。そし
て、全画素検査終了判定手段２２によって、全画素の検
査が終了していないと判定された場合には、次アドレス
生成手段２３によって、次アドレスの位置を設定し、比
較値抽出手段１９により検査位置を変えて各検査を行
う。
【００９１】全画素検査終了判定手段２２によって、全
画素検査が終了したことが判定された場合には、図８の
メモリ１２へ欠陥記憶メモリ２１のデータが出力され
る。そして、ＣＰＵ６に設けられた全検査終了確認手段
２４にて、Ｒ，Ｇ，Ｂすべての色成分の検査および全て
の欠陥項目の検査が終了していることが確認され、検査
が終了する。
画素検査が終了したことが判定された場合には、図８の
メモリ１２へ欠陥記憶メモリ２１のデータが出力され
る。そして、ＣＰＵ６に設けられた全検査終了確認手段
２４にて、Ｒ，Ｇ，Ｂすべての色成分の検査および全て
の欠陥項目の検査が終了していることが確認され、検査
が終了する。
【００９２】図１１は、２つのムラ欠陥検出部１１ｃ、
１１ｆの動作を説明するためのブロック図である。マト
リクス設定手段１８ａ、１８ｂは上記点欠陥検出部１１
ａで説明したマトリクス設定手段１８と同様である。
１１ｆの動作を説明するためのブロック図である。マト
リクス設定手段１８ａ、１８ｂは上記点欠陥検出部１１
ａで説明したマトリクス設定手段１８と同様である。
【００９３】１行差分値抽出手段１９ａでは、マトリク
ス設定手段１８ａにて設定された検査基準領域のマトリ
クスのうちの１行分の画素のデータと、比較対象とされ
る検査対象領域のマトリクスのうちの１行分の画素のデ
ータ（比較値）との差分値を抽出する。
ス設定手段１８ａにて設定された検査基準領域のマトリ
クスのうちの１行分の画素のデータと、比較対象とされ
る検査対象領域のマトリクスのうちの１行分の画素のデ
ータ（比較値）との差分値を抽出する。
【００９４】１行差分値抽出手段１９ａによって抽出さ
れた差分は、第２のムラ欠陥検出部１１ｆに渡され、比
較値抽出手段１９で、マトリクス設定手段１８ｂにて設
定されたマトリクスサイズの行数分を加算することによ
り、比較値を抽出する。
れた差分は、第２のムラ欠陥検出部１１ｆに渡され、比
較値抽出手段１９で、マトリクス設定手段１８ｂにて設
定されたマトリクスサイズの行数分を加算することによ
り、比較値を抽出する。
【００９５】比較手段２０ｂ、欠陥記憶メモリ２１ｂ、
全画素検査終了判定手段２２ａ、２２ｂ、次アドレス生
成手段２３ａ、２３ｂは、上記点欠陥検出部１１ａで説
明した比較手段２０、欠陥記憶メモリ２１、全画素検査
終了判定手段２２、次アドレス生成手段２３と同様であ
る。
全画素検査終了判定手段２２ａ、２２ｂ、次アドレス生
成手段２３ａ、２３ｂは、上記点欠陥検出部１１ａで説
明した比較手段２０、欠陥記憶メモリ２１、全画素検査
終了判定手段２２、次アドレス生成手段２３と同様であ
る。
【００９６】なお、ここでは１つ目のプロセッサで１行
の差分値を求めて２つ目のプロセッサで縦の行数分の和
を求めているが、１つ目のプロセッサで縦の行数分の和
を求めて２つ目のプロセッサで１行の差分値を求めても
よく、所定サイズのマトリクスの差分値を求めてもよ
い。さらに、ここでは２つのプロセッサを用いている
が、さらに多くのプロセッサを用いてもよい。シミ欠陥
および線欠陥の検査についても、ムラ欠陥の場合と同様
に行うことができる。
の差分値を求めて２つ目のプロセッサで縦の行数分の和
を求めているが、１つ目のプロセッサで縦の行数分の和
を求めて２つ目のプロセッサで１行の差分値を求めても
よく、所定サイズのマトリクスの差分値を求めてもよ
い。さらに、ここでは２つのプロセッサを用いている
が、さらに多くのプロセッサを用いてもよい。シミ欠陥
および線欠陥の検査についても、ムラ欠陥の場合と同様
に行うことができる。
【００９７】図１２は、本実施形態の画像欠陥検出装置
にて実施される欠陥検出方法を説明するためのフローチ
ャートである。ここでは、図２に示した点欠陥１４のよ
うな微小な欠陥を検出する場合について、点欠陥検出処
理部１１ａでの検出処理動作を説明する。
にて実施される欠陥検出方法を説明するためのフローチ
ャートである。ここでは、図２に示した点欠陥１４のよ
うな微小な欠陥を検出する場合について、点欠陥検出処
理部１１ａでの検出処理動作を説明する。
【００９８】まず、カメラ３によって撮像された表示パ
ネル１の画像を、ＲＧＢ分離部７によって、各画素毎
に、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色成分毎にそれぞれ分解する（図１
２のステップＳ１参照、以下同様）。この場合、点欠陥
１４のような微小な欠陥を検出する場合には、実施形態
１において図５に示したように、マトリクスサイズ設定
手段１８によって、検査基準領域３８および検査対象領
域３９を、それぞれ、例えば３画素×３画素等の比較的
小さなマトリクスサイズに設定する（ステップＳ２）。
ネル１の画像を、ＲＧＢ分離部７によって、各画素毎
に、Ｒ，Ｇ，Ｂの各色成分毎にそれぞれ分解する（図１
２のステップＳ１参照、以下同様）。この場合、点欠陥
１４のような微小な欠陥を検出する場合には、実施形態
１において図５に示したように、マトリクスサイズ設定
手段１８によって、検査基準領域３８および検査対象領
域３９を、それぞれ、例えば３画素×３画素等の比較的
小さなマトリクスサイズに設定する（ステップＳ２）。
【００９９】ここで、検査基準領域３８および検査対象
領域３９のマトリクスサイズは、実施形態１と同様に、
３画素×３画素の矩形形状に限らず、円や楕円でも良
い。また、点欠陥１４は、通常、１画素の欠陥である
が、図１５に示すように、Ａ／Ｄ変換での信号の鈍り、
配線内を通過する際の信号の鈍り等により、複数の画素
に影響する場合がある。従って、点欠陥１４を検出する
ためのマトリクスサイズは、このような信号の鈍りの影
響を考慮した大きさにすることが効果的である。
領域３９のマトリクスサイズは、実施形態１と同様に、
３画素×３画素の矩形形状に限らず、円や楕円でも良
い。また、点欠陥１４は、通常、１画素の欠陥である
が、図１５に示すように、Ａ／Ｄ変換での信号の鈍り、
配線内を通過する際の信号の鈍り等により、複数の画素
に影響する場合がある。従って、点欠陥１４を検出する
ためのマトリクスサイズは、このような信号の鈍りの影
響を考慮した大きさにすることが効果的である。
【０１００】次に、例えば、実施形態１において図５に
示したように、検査対象領域３９を、検査基準領域３８
のすぐ右横に設定する（ステップＳ３）。通常、点欠陥
１４のような欠陥を検出する場合は、画面全体にわたる
各画素のデジタルデータの変化による影響を極力排除す
るために、検査基準領域３８および検査対象領域３９
を、上下左右のいずれかに隣接して設定することが好ま
しい。ただし、前述したような信号の鈍りの影響を考慮
して、検査対象領域３９を検査基準領域３８から数画素
離れて設定して、検査対象領域３９の画素のデジタルデ
ータを検査基準領域３８の画素のデータと比較するよう
にしても良い。
示したように、検査対象領域３９を、検査基準領域３８
のすぐ右横に設定する（ステップＳ３）。通常、点欠陥
１４のような欠陥を検出する場合は、画面全体にわたる
各画素のデジタルデータの変化による影響を極力排除す
るために、検査基準領域３８および検査対象領域３９
を、上下左右のいずれかに隣接して設定することが好ま
しい。ただし、前述したような信号の鈍りの影響を考慮
して、検査対象領域３９を検査基準領域３８から数画素
離れて設定して、検査対象領域３９の画素のデジタルデ
ータを検査基準領域３８の画素のデータと比較するよう
にしても良い。
【０１０１】検査対象領域および検査基準領域の比較対
象位置が設定されると、欠陥の有無を判定する閾値を比
較手段２０に設定する（ステップＳ４）。閾値は、撮像
された液晶パネル１の画面の画像の色成分に応じて、
Ｒ，Ｇ，Ｂの各色成分毎にそれぞれ設定される。
象位置が設定されると、欠陥の有無を判定する閾値を比
較手段２０に設定する（ステップＳ４）。閾値は、撮像
された液晶パネル１の画面の画像の色成分に応じて、
Ｒ，Ｇ，Ｂの各色成分毎にそれぞれ設定される。
【０１０２】閾値が設定されると、比較値抽出手段２０
によって比較値が抽出される（ステップＳ５）。比較値
としては、ステップＳ２およびＳ３によって設定された
検出基準領域３８における３画素×３画素のマトリクス
内の全ての画素のデジタルデータの合計値と、検出対象
領域３９における３画素×３画素のマトリクス内の全て
の画素のデジタルデータの合計値との差分値が抽出され
る。
によって比較値が抽出される（ステップＳ５）。比較値
としては、ステップＳ２およびＳ３によって設定された
検出基準領域３８における３画素×３画素のマトリクス
内の全ての画素のデジタルデータの合計値と、検出対象
領域３９における３画素×３画素のマトリクス内の全て
の画素のデジタルデータの合計値との差分値が抽出され
る。
【０１０３】このようにして抽出された比較値と、ステ
ップＳ４にて設定された閾値とが、比較手段２０にて比
較され（ステップＳ６）、液晶表示パネル１における画
面の欠陥の有無が判断される。
ップＳ４にて設定された閾値とが、比較手段２０にて比
較され（ステップＳ６）、液晶表示パネル１における画
面の欠陥の有無が判断される。
【０１０４】上記マトリクスサイズおよび欠陥検出判定
のためのデータ値は、図１０に１８〜２３で示した各手
段に設定されている。例えば、１画素のデジタルデータ
として、０〜２５５の８ビットの場合に、カメラ３で撮
像した画像における理想のデジタルデータを値を１２８
とすると、図５に示すマトリクスサイズの検査基準領域
３８における全ての画素のデジタルデータの合計値が１
１００であり、検査対象領域３９における全ての画素の
デジタルデータの合計値が１１５０であれば、ステップ
Ｓ５における比較値抽出によって、１１５０−１１００
＝５０として、比較値５０が算出される。そして、ステ
ップＳ４にて閾値として４０が設定されていると、ステ
ップＳ６における比較値≧閾値の判定で、５０（比較
値）≧４０（閾値）になっているために、この比較対象
位置において欠陥が存在すると判断する。この場合、閾
値が６０に設定されていると、この比較対象位置では、
欠陥なしと判断されることになる。通常、点欠陥１４の
ような微小な欠陥は、比較値が大きい場合に欠陥として
判定される。
のためのデータ値は、図１０に１８〜２３で示した各手
段に設定されている。例えば、１画素のデジタルデータ
として、０〜２５５の８ビットの場合に、カメラ３で撮
像した画像における理想のデジタルデータを値を１２８
とすると、図５に示すマトリクスサイズの検査基準領域
３８における全ての画素のデジタルデータの合計値が１
１００であり、検査対象領域３９における全ての画素の
デジタルデータの合計値が１１５０であれば、ステップ
Ｓ５における比較値抽出によって、１１５０−１１００
＝５０として、比較値５０が算出される。そして、ステ
ップＳ４にて閾値として４０が設定されていると、ステ
ップＳ６における比較値≧閾値の判定で、５０（比較
値）≧４０（閾値）になっているために、この比較対象
位置において欠陥が存在すると判断する。この場合、閾
値が６０に設定されていると、この比較対象位置では、
欠陥なしと判断されることになる。通常、点欠陥１４の
ような微小な欠陥は、比較値が大きい場合に欠陥として
判定される。
【０１０５】このようにして、欠陥の存在が確認される
と、欠陥記憶メモリ２１に、この欠陥の位置情報等が記
憶される（ステップＳ７）。
と、欠陥記憶メモリ２１に、この欠陥の位置情報等が記
憶される（ステップＳ７）。
【０１０６】所定の比較対象位置における検査が終了す
ると、１行におけるＸ方向に沿った全ての画素の検査が
終了していない（Ｘ方向が最大であれば終了）ことが確
認されて（ステップＳ８）、比較対象位置がＸ方向に
（ここでは右へ）１画素分だけ移動され（ステップＳ
９）、同様の検査が実施される。そして、１行における
全ての画素の検査が終了したことが確認されると、Ｙ方
向の全ての行の検査が終了していない（Ｙ方向が最大で
あれば終了）ことが確認されて（ステップＳ１０）、比
較対象位置が次の行の先頭に移動され（ステップＳ１
１）、同様の検査が繰り返して実施される。
ると、１行におけるＸ方向に沿った全ての画素の検査が
終了していない（Ｘ方向が最大であれば終了）ことが確
認されて（ステップＳ８）、比較対象位置がＸ方向に
（ここでは右へ）１画素分だけ移動され（ステップＳ
９）、同様の検査が実施される。そして、１行における
全ての画素の検査が終了したことが確認されると、Ｙ方
向の全ての行の検査が終了していない（Ｙ方向が最大で
あれば終了）ことが確認されて（ステップＳ１０）、比
較対象位置が次の行の先頭に移動され（ステップＳ１
１）、同様の検査が繰り返して実施される。
【０１０７】なお、デジタルデータの比較は、各検査基
準領域３８および３９における全ての画素のデジタルデ
ータの合計値を比較値として、閾値と比較するようにし
ているが、各検査基準領域３８および３９における全て
の画素のデジタルデータの平均値、あるいは、変化率を
比較値として、閾値と比較するようにしてもよい。
準領域３８および３９における全ての画素のデジタルデ
ータの合計値を比較値として、閾値と比較するようにし
ているが、各検査基準領域３８および３９における全て
の画素のデジタルデータの平均値、あるいは、変化率を
比較値として、閾値と比較するようにしてもよい。
【０１０８】また、ここでは検査基準領域および検査対
象領域は同一サイズとしているが、平均値などで比較す
る場合では、異なったサイズでも良い。ただ、点欠陥の
ような微小な欠陥の原因は１画素分の出力が欠けたもの
であるが、Ａ／Ｄ変換器の性能や配線鈍り等により、図
１５に示すように鈍った状態となることが多い。従っ
て、１画素ごとに比較を行うよりも、複数画素分のデー
タで比較する方が有効である。
象領域は同一サイズとしているが、平均値などで比較す
る場合では、異なったサイズでも良い。ただ、点欠陥の
ような微小な欠陥の原因は１画素分の出力が欠けたもの
であるが、Ａ／Ｄ変換器の性能や配線鈍り等により、図
１５に示すように鈍った状態となることが多い。従っ
て、１画素ごとに比較を行うよりも、複数画素分のデー
タで比較する方が有効である。
【０１０９】また、この例では、Ｘ方向の横との比較と
しているが、Ｙ方向の縦との比較を行うことにより、さ
らに検出精度を高めることができる。
しているが、Ｙ方向の縦との比較を行うことにより、さ
らに検出精度を高めることができる。
【０１１０】比較対象位置の移動は、ステップＳ３の比
較対象位置の設定において、検査対象領域３９が検査基
準領域３８に対してＸ方向の右横に指定されているため
に、Ｘ方向の右に１画素分ずつであり、１行分の画素全
てに関して検査が終了することによって、その下側（Ｙ
方向）の行の先頭から検査を開始するようになっている
が、比較対象位置の設定において、検査対象領域３９が
検査基準領域３８に対してＸ方向の左横に指定されてい
れば、左に１画素分だけ移動され、また、下側に指定さ
れていれば、下に１画素分だけ移動される。
較対象位置の設定において、検査対象領域３９が検査基
準領域３８に対してＸ方向の右横に指定されているため
に、Ｘ方向の右に１画素分ずつであり、１行分の画素全
てに関して検査が終了することによって、その下側（Ｙ
方向）の行の先頭から検査を開始するようになっている
が、比較対象位置の設定において、検査対象領域３９が
検査基準領域３８に対してＸ方向の左横に指定されてい
れば、左に１画素分だけ移動され、また、下側に指定さ
れていれば、下に１画素分だけ移動される。
【０１１１】このようにして、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色成分毎
に、全画像にわたる点欠陥１４の検査が並行して実施さ
れる。それと共に、シミ欠陥検出処理部１１ｂ、１１ｅ
ではシミ欠陥１５の検査が、ムラ欠陥検出処理部１１
ｃ、１１ｆではムラ欠陥１７の検査が、線欠陥検出処理
部１１ｄ、１１ｇでは線欠陥１６の検査が並行して実施
され、全ての検査項目の検査が終了すると、画像欠陥検
査が終了する。
に、全画像にわたる点欠陥１４の検査が並行して実施さ
れる。それと共に、シミ欠陥検出処理部１１ｂ、１１ｅ
ではシミ欠陥１５の検査が、ムラ欠陥検出処理部１１
ｃ、１１ｆではムラ欠陥１７の検査が、線欠陥検出処理
部１１ｄ、１１ｇでは線欠陥１６の検査が並行して実施
され、全ての検査項目の検査が終了すると、画像欠陥検
査が終了する。
【０１１２】シミ欠陥１５を検出する場合には、実施形
態１と同様に、検査基準領域３８および検査対象領域３
９のマトリクスサイズを、点欠陥１４を検出する場合に
おける検査基準領域および検査対象領域のマトリクスサ
イズより大きく設定する。また、シミ欠陥１５の検出
は、比較対象である閾値に対して比較値が大きくなって
いる場合に、シミ欠陥１５が存在するものと判定する。
ここで、マトリクスの大きさが大きくなって処理に時間
がかかる場合には、図９に示したように、複数のプロセ
ッサを使用する。
態１と同様に、検査基準領域３８および検査対象領域３
９のマトリクスサイズを、点欠陥１４を検出する場合に
おける検査基準領域および検査対象領域のマトリクスサ
イズより大きく設定する。また、シミ欠陥１５の検出
は、比較対象である閾値に対して比較値が大きくなって
いる場合に、シミ欠陥１５が存在するものと判定する。
ここで、マトリクスの大きさが大きくなって処理に時間
がかかる場合には、図９に示したように、複数のプロセ
ッサを使用する。
【０１１３】図１３および図１４は、複数のプロセッサ
を使用する場合について、欠陥検出処理動作を説明する
ためのフローチャートである。ここでは、図２に示した
シミ欠陥１５を検出する場合について、シミ欠陥検出処
理部１１ｂ、１１ｅでの検出処理動作を説明する。
を使用する場合について、欠陥検出処理動作を説明する
ためのフローチャートである。ここでは、図２に示した
シミ欠陥１５を検出する場合について、シミ欠陥検出処
理部１１ｂ、１１ｅでの検出処理動作を説明する。
【０１１４】Ｒ，Ｇ，Ｂの各色成分毎に分解された画像
データを第１のシミ欠陥処理部１１ｂおよび第２のシミ
欠陥処理部１１ｅが受け取る（図１３および図１４の
）と、まず、第１のシミ欠陥処理部１１ｂでは、マト
リクスサイズ設定手段１８ａによって、マトリクスサイ
ズを例えば６画素×４画素等に設定し（図１３のステッ
プＳ２１）、比較対象位置（検査基準領域３８および検
査対象領域３９）を設定する（図１３のステップＳ２
２）。このとき、第２のシミ欠陥処理部１１ｅでは、マ
トリクスサイズ設定手段１８ｂによって、マトリクスサ
イズを例えば６画素×４画素等に設定し（図１４のステ
ップＳ３１）、比較対象位置（検査基準領域３８および
検査対象領域３９）を設定する（図１４のステップＳ３
２）。さらに、第２のシミ欠陥処理部１１ｅでは、欠陥
の有無を判定する閾値を比較手段２０ｂに設定する（図
１４のステップＳ３４）。
データを第１のシミ欠陥処理部１１ｂおよび第２のシミ
欠陥処理部１１ｅが受け取る（図１３および図１４の
）と、まず、第１のシミ欠陥処理部１１ｂでは、マト
リクスサイズ設定手段１８ａによって、マトリクスサイ
ズを例えば６画素×４画素等に設定し（図１３のステッ
プＳ２１）、比較対象位置（検査基準領域３８および検
査対象領域３９）を設定する（図１３のステップＳ２
２）。このとき、第２のシミ欠陥処理部１１ｅでは、マ
トリクスサイズ設定手段１８ｂによって、マトリクスサ
イズを例えば６画素×４画素等に設定し（図１４のステ
ップＳ３１）、比較対象位置（検査基準領域３８および
検査対象領域３９）を設定する（図１４のステップＳ３
２）。さらに、第２のシミ欠陥処理部１１ｅでは、欠陥
の有無を判定する閾値を比較手段２０ｂに設定する（図
１４のステップＳ３４）。
【０１１５】この後、第１のシミ欠陥処理部１１ｂで
は、１行差分値抽出手段１９ａによって、横１行分の検
査基準領域と検査対象領域の差分値の和を抽出する。例
えばマトリクスが６画素×４画素の場合には、６画素分
の検査基準領域と検査対象領域の差分値の和を抽出する
（図１３のステップＳ２３）。この差分値データは、第
２のシミ欠陥処理部１１ｅに送られる（図１３および図
１４の）。
は、１行差分値抽出手段１９ａによって、横１行分の検
査基準領域と検査対象領域の差分値の和を抽出する。例
えばマトリクスが６画素×４画素の場合には、６画素分
の検査基準領域と検査対象領域の差分値の和を抽出する
（図１３のステップＳ２３）。この差分値データは、第
２のシミ欠陥処理部１１ｅに送られる（図１３および図
１４の）。
【０１１６】所定の比較対象位置における検査が終了す
ると、１行におけるＸ方向に沿った全ての画素の検査が
終了していない（Ｘ方向が最大であれば終了）ことが確
認されて（図１３のステップＳ２４）、比較対象位置を
Ｘ方向に（ここでは右へ）１画素分だけ移動して（図１
３のステップＳ２５）、同様の検査が実施される。そし
て、１行における全ての画素の検査が終了したことが確
認されると、Ｙ方向に全ての行の検査が終了していない
（Ｙ方向が最大であれば終了）ことが確認され（図１３
のステップＳ２６）、比較対象位置を次の行の先頭に移
動して（図１３のステップＳ２７）、同様の検査が繰り
返して実施される。このような１行分の差分値の和の抽
出を全画素分について行う。
ると、１行におけるＸ方向に沿った全ての画素の検査が
終了していない（Ｘ方向が最大であれば終了）ことが確
認されて（図１３のステップＳ２４）、比較対象位置を
Ｘ方向に（ここでは右へ）１画素分だけ移動して（図１
３のステップＳ２５）、同様の検査が実施される。そし
て、１行における全ての画素の検査が終了したことが確
認されると、Ｙ方向に全ての行の検査が終了していない
（Ｙ方向が最大であれば終了）ことが確認され（図１３
のステップＳ２６）、比較対象位置を次の行の先頭に移
動して（図１３のステップＳ２７）、同様の検査が繰り
返して実施される。このような１行分の差分値の和の抽
出を全画素分について行う。
【０１１７】第２のシミ欠陥処理部１１ｅでは、第２の
シミ欠陥検出処理部１１ｂから受け取ったデータを基に
（図１４の）、比較値抽出手段２０によって、行数分
のデータを加算して比較値を抽出する（ステップＳ３
４）。例えばマトリクスが６画素×４画素の場合には、
４行分のデータを加算して比較値を抽出する。
シミ欠陥検出処理部１１ｂから受け取ったデータを基に
（図１４の）、比較値抽出手段２０によって、行数分
のデータを加算して比較値を抽出する（ステップＳ３
４）。例えばマトリクスが６画素×４画素の場合には、
４行分のデータを加算して比較値を抽出する。
【０１１８】抽出された比較値とステップＳ３３にて設
定された閾値とは比較手段２０にて比較され（ステップ
Ｓ３５）、液晶表示パネル１における画面の欠陥の有無
が判断される。この欠陥の位置情報等は、欠陥記憶メモ
リ２１に記憶される（ステップＳ３６）。
定された閾値とは比較手段２０にて比較され（ステップ
Ｓ３５）、液晶表示パネル１における画面の欠陥の有無
が判断される。この欠陥の位置情報等は、欠陥記憶メモ
リ２１に記憶される（ステップＳ３６）。
【０１１９】所定の比較対象位置における検査が終了す
ると、１行におけるＸ方向に沿った全ての画素の検査が
終了していない（Ｘ方向が最大であれば終了）ことが確
認され（ステップＳ３７）、比較対象位置がＸ方向に
（ここでは右へ）１画素分だけ移動され（ステップＳ３
８）、同様の検査が実施される。そして、１行における
全ての画素の検査が終了したことが確認されると、Ｙ方
向の全ての行の検査が終了していない（Ｙ方向が最大で
あれば終了）ことが確認されて（ステップＳ３９）、比
較対象位置が次の行の先頭に移動され（ステップＳ４
０）、同様の検査が繰り返して実施される。
ると、１行におけるＸ方向に沿った全ての画素の検査が
終了していない（Ｘ方向が最大であれば終了）ことが確
認され（ステップＳ３７）、比較対象位置がＸ方向に
（ここでは右へ）１画素分だけ移動され（ステップＳ３
８）、同様の検査が実施される。そして、１行における
全ての画素の検査が終了したことが確認されると、Ｙ方
向の全ての行の検査が終了していない（Ｙ方向が最大で
あれば終了）ことが確認されて（ステップＳ３９）、比
較対象位置が次の行の先頭に移動され（ステップＳ４
０）、同様の検査が繰り返して実施される。
【０１２０】なお、ここでは、第１のシミ欠陥処理部１
１ｂで１行分の差分値を求め、第２のシミ欠陥処理部１
１ｅで差分値を行数分だけ加算することにより設定され
たマトリクス全体の比較値を求めているが、各処理部で
の処理内容が平均化されている方が効率が良い。さら
に、２つの処理部に分けているが、２つ以上の複数に分
けてもよい。
１ｂで１行分の差分値を求め、第２のシミ欠陥処理部１
１ｅで差分値を行数分だけ加算することにより設定され
たマトリクス全体の比較値を求めているが、各処理部で
の処理内容が平均化されている方が効率が良い。さら
に、２つの処理部に分けているが、２つ以上の複数に分
けてもよい。
【０１２１】ムラ欠陥１７および線欠陥１６の検査につ
いても、上記シミ欠陥の検査と同様にして、複数のプロ
セッサにより処理を行うことができる。
いても、上記シミ欠陥の検査と同様にして、複数のプロ
セッサにより処理を行うことができる。
【０１２２】ムラ欠陥１７を検出する場合には、図６に
示すように、検査基準領域３８および検査対象領域３９
のマトリクスサイズを、点欠陥１４を検出する場合にお
ける検査基準領域３８および検査対象領域３９のマトリ
クスサイズよりも大きく設定し、例えば３０画素×３０
画素のような比較的大きな同一のマトリクスサイズに設
定する。また、ムラ欠陥１７は、複数の画素にわたって
デジタルデータ値が徐々に変化しているために、図６に
示すように、検査基準領域３８に対して適当な距離をあ
けて検査対象領域３９を設定することが好ましい。
示すように、検査基準領域３８および検査対象領域３９
のマトリクスサイズを、点欠陥１４を検出する場合にお
ける検査基準領域３８および検査対象領域３９のマトリ
クスサイズよりも大きく設定し、例えば３０画素×３０
画素のような比較的大きな同一のマトリクスサイズに設
定する。また、ムラ欠陥１７は、複数の画素にわたって
デジタルデータ値が徐々に変化しているために、図６に
示すように、検査基準領域３８に対して適当な距離をあ
けて検査対象領域３９を設定することが好ましい。
【０１２３】さらに、カメラ３にて撮像される画像は、
レンズ２によって中心部分における画素のデジタルデー
タの出力が大きくなるために、検査基準領域３８および
検査対象領域３９をＸ方向（横方向）に設定する場合に
は、画像の横方向の寸法の半分程度だけ離れて設定する
ことが効果的である。そして、検査基準領域３８および
検査対象領域３９における各画素のデジタルデータが比
較値とされて、比較値に基づいて、ムラ欠陥１７が検出
される。ムラ欠陥１７が存在すると判断する比較値は、
比較的小さな値となる。
レンズ２によって中心部分における画素のデジタルデー
タの出力が大きくなるために、検査基準領域３８および
検査対象領域３９をＸ方向（横方向）に設定する場合に
は、画像の横方向の寸法の半分程度だけ離れて設定する
ことが効果的である。そして、検査基準領域３８および
検査対象領域３９における各画素のデジタルデータが比
較値とされて、比較値に基づいて、ムラ欠陥１７が検出
される。ムラ欠陥１７が存在すると判断する比較値は、
比較的小さな値となる。
【０１２４】さらに、縦方向（Ｙ方向）に沿った線欠陥
１６を検出する場合には、図７に示すように、検査基準
領域３８および検査対象領域３９のマトリクスサイズ
を、点欠陥１４の検出に際して設定される検査基準領域
３８および検査対象領域３９のマトリクスサイズよりも
大きく、しかも、Ｙ方向に沿って長くなるように、例え
ば２画素（Ｘ方向）×５０画素（Ｙ方向）と設定する。
また、点欠陥１４を検出する場合と同様に、画面全体に
わたる各画素のデジタルデータの変化による影響を極力
排除するため、検査基準領域３８および検査対象領域３
９を隣接して設定することが好ましい。縦方向の線欠陥
１６を検出する場合は、左右方向に隣接する検査基準領
域３８および検査対象領域３９における各画素のデジタ
ルデータを比較するだけでも十分である。
１６を検出する場合には、図７に示すように、検査基準
領域３８および検査対象領域３９のマトリクスサイズ
を、点欠陥１４の検出に際して設定される検査基準領域
３８および検査対象領域３９のマトリクスサイズよりも
大きく、しかも、Ｙ方向に沿って長くなるように、例え
ば２画素（Ｘ方向）×５０画素（Ｙ方向）と設定する。
また、点欠陥１４を検出する場合と同様に、画面全体に
わたる各画素のデジタルデータの変化による影響を極力
排除するため、検査基準領域３８および検査対象領域３
９を隣接して設定することが好ましい。縦方向の線欠陥
１６を検出する場合は、左右方向に隣接する検査基準領
域３８および検査対象領域３９における各画素のデジタ
ルデータを比較するだけでも十分である。
【０１２５】横方向（Ｘ方向）に沿った線欠陥１６を検
出する場合には、検査基準領域３８および検査対象領域
３９のマトリクスサイズは、Ｘ方向に沿って長くなるよ
うに、例えば５０画素（Ｘ方向）×２画素（Ｙ方向）と
設定する。この場合、検査基準領域３８および検査対象
領域３９を上下方向に隣接して設定して、上下方向に隣
接する検査基準領域３８および検査対象領域３９におけ
る各画素のデジタルデータを比較するだけでも十分であ
る。
出する場合には、検査基準領域３８および検査対象領域
３９のマトリクスサイズは、Ｘ方向に沿って長くなるよ
うに、例えば５０画素（Ｘ方向）×２画素（Ｙ方向）と
設定する。この場合、検査基準領域３８および検査対象
領域３９を上下方向に隣接して設定して、上下方向に隣
接する検査基準領域３８および検査対象領域３９におけ
る各画素のデジタルデータを比較するだけでも十分であ
る。
【０１２６】本実施形態２の場合には、点欠陥、シミ欠
陥、ムラ欠陥および線欠陥の検査を、複数のプロセッサ
で並列処理することにより、実施形態１に比べてより高
速に欠陥の有無を検出することができる。また、シミ欠
陥、ムラ欠陥および線欠陥の検出処理を、２つ以上のプ
ロセッサを用いて行うことにより、さらに高速に欠陥の
有無を検出することができる。
陥、ムラ欠陥および線欠陥の検査を、複数のプロセッサ
で並列処理することにより、実施形態１に比べてより高
速に欠陥の有無を検出することができる。また、シミ欠
陥、ムラ欠陥および線欠陥の検出処理を、２つ以上のプ
ロセッサを用いて行うことにより、さらに高速に欠陥の
有無を検出することができる。
【０１２７】このように、欠陥の種類に対応させて、検
査基準領域３８および検査対象領域３９のマトリクスサ
イズを変更し、また、両者の位置関係も変更し、さらに
は、欠陥の有無を判断する閾値の値も変更することによ
り、多種類の欠陥を、それぞれ確実に検出することがで
きる。従って、検査対象の良品の品位をさらに向上させ
ることも容易である。
査基準領域３８および検査対象領域３９のマトリクスサ
イズを変更し、また、両者の位置関係も変更し、さらに
は、欠陥の有無を判断する閾値の値も変更することによ
り、多種類の欠陥を、それぞれ確実に検出することがで
きる。従って、検査対象の良品の品位をさらに向上させ
ることも容易である。
【０１２８】通常、１画素当たりの閾値（閾値／マトリ
クス）は、点欠陥１４を検出する場合に、最も大きな値
に設定され、続いて、シミ欠陥１５および線欠陥１６を
検出する場合に、大きな値に設定され、ムラ欠陥１７を
検出する場合に最も小さな値に設定される。同様に、検
査基準領域３８および検査対象領域３９のマトリクスサ
イズは、点欠陥１４を検出する場合に、最も小さな面積
に設定され、続いて、シミ欠陥１５および線欠陥１６を
検出する場合に、大きな面積に設定され、ムラ欠陥１７
を検出する場合に最も大きな面積に設定される。
クス）は、点欠陥１４を検出する場合に、最も大きな値
に設定され、続いて、シミ欠陥１５および線欠陥１６を
検出する場合に、大きな値に設定され、ムラ欠陥１７を
検出する場合に最も小さな値に設定される。同様に、検
査基準領域３８および検査対象領域３９のマトリクスサ
イズは、点欠陥１４を検出する場合に、最も小さな面積
に設定され、続いて、シミ欠陥１５および線欠陥１６を
検出する場合に、大きな面積に設定され、ムラ欠陥１７
を検出する場合に最も大きな面積に設定される。
【０１２９】閾値は、１つの値を設定してその値以上と
未満とで区別るす構成に限らず、２つの値を設定して、
範囲を区切ることにより、検査対象物品の品位をランク
分けするようにしてもよい。
未満とで区別るす構成に限らず、２つの値を設定して、
範囲を区切ることにより、検査対象物品の品位をランク
分けするようにしてもよい。
【０１３０】本実施形態２では、これらの検査を色成分
毎または欠陥検査項目毎に並行して実施することができ
るので、高速に欠陥検出処理を行うことができる。
毎または欠陥検査項目毎に並行して実施することができ
るので、高速に欠陥検出処理を行うことができる。
【０１３１】上述した実施形態１および実施形態２で
は、表色系の分離を、ＲＧＢ表色系に分離する構成であ
ったが、他のＸＹＺ表色系やＬ*ａ*ｂ*表色系などの表
色系に分離するようにしてもよい。
は、表色系の分離を、ＲＧＢ表色系に分離する構成であ
ったが、他のＸＹＺ表色系やＬ*ａ*ｂ*表色系などの表
色系に分離するようにしてもよい。
【０１３２】さらに、実施形態１および実施形態２で
は、液晶パネル１の画像の欠陥検出を行う構成であった
が、均一牲が要求されるもの、例えば、塗装の検査、ブ
ラウン管の検査、カメラ部分を撮像素子として用いた場
合の撮像素子自体の検査等にも、同様に適用することが
できる。
は、液晶パネル１の画像の欠陥検出を行う構成であった
が、均一牲が要求されるもの、例えば、塗装の検査、ブ
ラウン管の検査、カメラ部分を撮像素子として用いた場
合の撮像素子自体の検査等にも、同様に適用することが
できる。
【０１３３】さらに、前述した欠陥検出方法の手順を、
適当な記憶媒体に記憶しておくことにより、有効に利用
することができる。
適当な記憶媒体に記憶しておくことにより、有効に利用
することができる。
【０１３４】
【発明の効果】本発明の請求項１の画像欠陥検出装置、
請求項１９の画像欠陥検出方法、および請求項２７の画
像欠陥検出方法の手順を記憶した記憶媒体は、このよう
に、検査員の熟練度や体調に関係なく、点欠陥、シミ欠
陥、ムラ欠陥、線欠陥等の各種欠陥を、それぞれ精度よ
く検出することができる。従って、検査対象物の不良品
を精度よく検出することができ、検査対象物の品質を著
しく向上させることができる。しかも、Ａ／Ｄ変換器を
通して画像の欠陥を検出する場合であっても、Ａ／Ｄ変
換器の性能に合わせて、画像の欠陥を検出できる。
請求項１９の画像欠陥検出方法、および請求項２７の画
像欠陥検出方法の手順を記憶した記憶媒体は、このよう
に、検査員の熟練度や体調に関係なく、点欠陥、シミ欠
陥、ムラ欠陥、線欠陥等の各種欠陥を、それぞれ精度よ
く検出することができる。従って、検査対象物の不良品
を精度よく検出することができ、検査対象物の品質を著
しく向上させることができる。しかも、Ａ／Ｄ変換器を
通して画像の欠陥を検出する場合であっても、Ａ／Ｄ変
換器の性能に合わせて、画像の欠陥を検出できる。
【０１３５】請求項２の画像欠陥検出装置および請求項
２０の画像欠陥検出方法では、各種欠陥検査を並行して
実施することができるので、高速に欠陥検出処理を行う
ことができる。
２０の画像欠陥検出方法では、各種欠陥検査を並行して
実施することができるので、高速に欠陥検出処理を行う
ことができる。
【０１３６】請求項３の画像欠陥検出装置では、欠陥の
種類が増えた場合でも処理時間を増やすことなく検査を
行うことができる。
種類が増えた場合でも処理時間を増やすことなく検査を
行うことができる。
【０１３７】請求項４の画像欠陥検出装置および請求項
２１の画像欠陥検出方法では、各欠陥検出部におけるプ
ロセッサの処理を平均化することにより、さらに高速に
処理を行うことができる。
２１の画像欠陥検出方法では、各欠陥検出部におけるプ
ロセッサの処理を平均化することにより、さらに高速に
処理を行うことができる。
【０１３８】請求項５の画像欠陥検出装置および請求項
２２の画像欠陥検出方法では、大局的な画面の変化の影
響を最小限にし、点、シミ、線の欠陥を確実に検出する
ことができるとともに、隣接する領域ではほとんど変化
が見られないムラような大局的な変化の欠陥を見つける
ことができ、しかも、Ａ／Ｄ変換器などによる鈍りを考
慮して欠陥を検出することができる。
２２の画像欠陥検出方法では、大局的な画面の変化の影
響を最小限にし、点、シミ、線の欠陥を確実に検出する
ことができるとともに、隣接する領域ではほとんど変化
が見られないムラような大局的な変化の欠陥を見つける
ことができ、しかも、Ａ／Ｄ変換器などによる鈍りを考
慮して欠陥を検出することができる。
【０１３９】請求項６の画像欠陥検出装置では、大局的
な画面の変化の影響を最小限とすることができ、点、シ
ミ、線の欠陥を確実に検出することができる。
な画面の変化の影響を最小限とすることができ、点、シ
ミ、線の欠陥を確実に検出することができる。
【０１４０】請求項７の画像欠陥検出装置では、隣接す
る領域ではほとんど変化が見られないムラような大局的
な変化の欠陥を見つけることができる。また、大局的な
変化の欠陥を検出する場合でも、検査基準領域と検査対
象領域の距離を離すことにより、それぞれの領域サイズ
を極端に大きくする必要がなく、また、各領域のサイズ
に関係する処理時間を増やすことなく欠陥を検出するこ
とができるために、欠陥検査を高速化することができ
る。
る領域ではほとんど変化が見られないムラような大局的
な変化の欠陥を見つけることができる。また、大局的な
変化の欠陥を検出する場合でも、検査基準領域と検査対
象領域の距離を離すことにより、それぞれの領域サイズ
を極端に大きくする必要がなく、また、各領域のサイズ
に関係する処理時間を増やすことなく欠陥を検出するこ
とができるために、欠陥検査を高速化することができ
る。
【０１４１】請求項８の画像欠陥検出装置では、Ａ／Ｄ
変換器による鈍りを除いた状態としても、１画素毎の比
較ではほとんど差が認められないような欠陥であって
も、その微妙な差の欠陥を有する画素が集まったよう
な、シミ、ムラ、線の欠陥を、その欠陥の大きさや形に
関係なく検出することができる。
変換器による鈍りを除いた状態としても、１画素毎の比
較ではほとんど差が認められないような欠陥であって
も、その微妙な差の欠陥を有する画素が集まったよう
な、シミ、ムラ、線の欠陥を、その欠陥の大きさや形に
関係なく検出することができる。
【０１４２】請求項９および請求項１０の画像欠陥検出
装置では、Ａ／Ｄ変換器などの鈍りを、そのＡ／Ｄ変換
器の出力特性に応じて設定することによりＡ／Ｄ変換器
の出力特性による影響を極力押さえることができる。
装置では、Ａ／Ｄ変換器などの鈍りを、そのＡ／Ｄ変換
器の出力特性に応じて設定することによりＡ／Ｄ変換器
の出力特性による影響を極力押さえることができる。
【０１４３】請求項１１の画像欠陥検出装置では、画像
における上下左右へのＡ／Ｄ変換器などによる鈍りを均
等に得ることができ、レベル差のやや少ないような点欠
陥を検出することができる。
における上下左右へのＡ／Ｄ変換器などによる鈍りを均
等に得ることができ、レベル差のやや少ないような点欠
陥を検出することができる。
【０１４４】請求項１２および請求項１３の画像欠陥検
出装置では、一方向に長いような欠陥を検出することが
できる。
出装置では、一方向に長いような欠陥を検出することが
できる。
【０１４５】請求項１４および請求項１５の画像欠陥検
出装置、請求項２３および請求項２４の画像欠陥検出方
法では、全色の状態では判別しにくいような、１表示色
の欠陥、全色とも同じ様にレベルが変化しているような
欠陥等も検出することができる。
出装置、請求項２３および請求項２４の画像欠陥検出方
法では、全色の状態では判別しにくいような、１表示色
の欠陥、全色とも同じ様にレベルが変化しているような
欠陥等も検出することができる。
【０１４６】請求項１６の画像欠陥検出装置、請求項２
５の画像欠陥検出方法では、各表色毎に検査する場合で
も、各表色毎の検査を並列処理することにより、高速に
欠陥の有無を検出することができる。
５の画像欠陥検出方法では、各表色毎に検査する場合で
も、各表色毎の検査を並列処理することにより、高速に
欠陥の有無を検出することができる。
【０１４７】請求項１７の画像欠陥検出装置では、各表
示色が人間の目に及ぼす影響を考慮することができ、人
間の目で見た印象と一致させることにより、良品／不良
品の判断を正常に行うことができる。
示色が人間の目に及ぼす影響を考慮することができ、人
間の目で見た印象と一致させることにより、良品／不良
品の判断を正常に行うことができる。
【０１４８】請求項１８の画像欠陥検出装置、請求項２
６の画像欠陥検出方法では、すべての画面を検査でき
る。
６の画像欠陥検出方法では、すべての画面を検査でき
る。
【図１】実施形態１の画像欠陥検出装置を示すブロック
図である。
図である。
【図２】本発明の画像欠陥検出装置によって検出される
欠陥の代表例を示す模式図である。
欠陥の代表例を示す模式図である。
【図３】実施形態１の画像欠陥検出装置の要部の構成を
示すブロック図である。
示すブロック図である。
【図４】実施形態１の画像欠陥検出装置の動作説明のた
めのフローチャートである。
めのフローチャートである。
【図５】本発明の画像欠陥検出装置によって点欠陥を検
出する場合における比較対象位置の設定方法の一例を示
す説明図である。
出する場合における比較対象位置の設定方法の一例を示
す説明図である。
【図６】本発明の画像欠陥検出装置によってムラ欠陥を
検出する場合における比較対象位置の設定方法の一例を
示す説明図である。
検出する場合における比較対象位置の設定方法の一例を
示す説明図である。
【図７】本発明の画像欠陥検出装置によって縦方向の線
欠陥を検出する場合における比較対象位置の設定方法の
一例を示す説明図である。
欠陥を検出する場合における比較対象位置の設定方法の
一例を示す説明図である。
【図８】実施形態２の画像欠陥検出装置を示すブロック
図である。
図である。
【図９】実施形態２の画像欠陥検出装置の要部の構成を
示すブロック図である。
示すブロック図である。
【図１０】実施形態２の画像欠陥検出装置における点欠
陥検出処理部の構成を示すブロック図である。
陥検出処理部の構成を示すブロック図である。
【図１１】実施形態２の画像欠陥検出装置におけるムラ
欠陥検出処理部の構成を示すブロック図である。
欠陥検出処理部の構成を示すブロック図である。
【図１２】実施形態２の画像欠陥検出装置における点欠
陥検出処理部の動作の一例を説明するためのフローチャ
ートである。
陥検出処理部の動作の一例を説明するためのフローチャ
ートである。
【図１３】実施形態２の画像欠陥検出装置における第１
のシミ欠陥検出処理部の動作の一例を説明するためのフ
ローチャートである。
のシミ欠陥検出処理部の動作の一例を説明するためのフ
ローチャートである。
【図１４】実施形態２の画像欠陥検出装置において第２
のシミ欠陥検出処理部の動作の一例を説明するためのフ
ローチャートである。
のシミ欠陥検出処理部の動作の一例を説明するためのフ
ローチャートである。
【図１５】画素欠陥の症状例を示す模式図である。
１ 液晶パネル ２ レンズ ３ カメラ ４ ＡＤ変換器 ５ メモリ ６ ＣＰＵ ７ ＲＧＢ分離部 ８ メモリ ８ａ Ｒ成分用メモリ ８ｂ Ｇ成分用メモリ ８ｃ Ｂ成分用メモリ ９ 各色成分検査部 １１ａ 点欠陥検査処理部 １１ｂ 第１のシミ欠陥検査処理部 １１ｃ 第１のムラ欠陥検査処理部 １１ｄ 第１の線欠陥検査処理部 １１ｅ 第２のシミ欠陥検査処理部 １１ｆ 第２のムラ欠陥検査処理部 １１ｇ 第２の線欠陥検査処理部 １２ メモリ １３ 結果出力部 １４ 点欠陥の例 １５ シミ欠陥の例 １６ 線欠陥の例 １７ ムラの例 １８、１８ａ、１８ｂ マトリクス設定手段 １９、１９ｂ 比較値抽出手段 １９ａ １行差分値抽出手段 ２０、２０ｂ 比較手段 ２１、２１ｂ 欠陥記憶メモリ ２２、２２ａ、２２ｂ 全画素検査終了判定手段 ２３、２３ａ、２３ｂ 次アドレス生成手段 ２４ 全検査終了確認手段 ２４ａ ＲＧＢ検査終了確認手段 ２４ｂ 次検査有無確認手段 ３８ 検査基準領域 ３９ 検査対象領域
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山縣 宏之 岡山県浅口郡里庄町里見3121−１ シャー プタカヤ電子工業株式会社内 (72)発明者 出原 康徳 岡山県浅口郡里庄町里見3121−１ シャー プタカヤ電子工業株式会社内 Ｆターム(参考） 2G051 AA90 AB02 CA04 EA11 EA17 EA19 EB01 EC01 ED01 ED13 2G086 EE10 5B057 AA01 BA19 BA29 CA01 CA08 CA12 CA16 CB01 CB08 CB12 CB16 CC02 CE16 DA03 DA15 DA16 DB02 DB06 DB09 DC36 5L096 AA02 AA06 BA03 CA02 DA03 EA45 FA14 FA17 GA07 GA17 GA40 JA11 LA04 MA00
Claims (27)
- 【請求項１】 画像をアナログデータとして取り出す画
像取り出し手段と、 この画像取り出し手段によって取り出されたアナログデ
ータの画像をデジタルデータに変換するＡ／Ｄ変換手段
と、 該画像上にて、欠陥の種類に応じて異なった検査基準領
域および検査対象領域をそれぞれ設定する設定手段と、 この設定手段にて設定された検査基準領域内および検査
対象領域内におけるデジタルデータから比較値を抽出す
る比較値抽出手段と、 該比較値抽出手段にて抽出された比較値と所定の閾値と
に基づいて、欠陥の有無を検出する比較手段と、 を具備することを特徴とする画像欠陥検出装置。 - 【請求項２】 画像をアナログデータとして取り出す画
像取り出し手段と、 この画像取り出し手段によって取り出されたアナログデ
ータの画像をデジタルデータに変換するＡ／Ｄ変換手段
と、 複数の異なった欠陥の有無を並行して検査する複数の検
査手段とを備え、 各検査手段は、該画像上にて、欠陥の種類に応じて異な
った検査基準領域および検査対象領域をそれぞれ設定す
る設定手段と、 この設定手段にて設定された検査基準領域内および検査
対象領域内におけるデジタルデータから比較値を抽出す
る比較値抽出手段と、 該比較値抽出手段にて抽出された比較値と所定の閾値と
に基づいて、欠陥の有無を検出する比較手段と、 を具備することを特徴とする画像欠陥検出装置。 - 【請求項３】 前記各検査手段は、少なくとも１つのプ
ロセッサ手段を含んでいる請求項２に記載の画像欠陥検
出装置。 - 【請求項４】 前記各検査手段は、前記欠陥の種類がシ
ミ欠陥、ムラ欠陥および線欠陥の場合には、少なくとも
２つのプロセッサ手段を含んでいる請求項２または請求
項３に記載の画像欠陥検出装置。 - 【請求項５】 前記設定手段は、前記検査基準領域およ
び前記検査対象領域のそれぞれの位置、それぞれのサイ
ズ、両者の距離をそれぞれ設定する請求項１乃至請求項
４のいずれかに記載の画像欠陥検出装置。 - 【請求項６】 前記設定手段は、前記欠陥の種類が、点
欠陥、シミ欠陥および線欠陥の場合に、前記検査基準領
域および前記検査対象領域を、それぞれ隣接する第１の
距離を設定する請求項５に記載の画像欠陥検出装置。 - 【請求項７】 前記設定手段は、前記欠陥の種類がムラ
欠陥の場合に、前記検査基準領域と前記検査対象領域と
の間に、第１の距離よりも長い第２の距離を設定する請
求項６に記載の画像欠陥検出装置。 - 【請求項８】 前記設定手段は、前記欠陥の種類が、シ
ミ欠陥、ムラ欠陥、および線欠陥の場合に、前記欠陥の
種類が、点欠陥の場合よりも、前記検査基準領域と前記
検査対象領域とのサイズをそれぞれ大きく設定する請求
項５乃至請求項７のいずれかに記載の画像欠陥検出装
置。 - 【請求項９】 前記検査基準領域および前記検査対象領
域は、Ｍ個の画素（横方向）×Ｎ個の画素（縦方向）の
ブロック（但し、ＭおよびＮは、Ｍ＝Ｎ＝１を除く、自
然数）に設定される請求項１乃至請求項８のいずれかに
記載の画像欠陥検出装置。 - 【請求項１０】 前記Ａ／Ｄ変換手段の出力特性に応じ
て、少なくともＮまたはＭの値が設定される請求項９に
記載の画像欠陥検出装置。 - 【請求項１１】 前記検査基準領域および前記検査対象
領域としてそれぞれ設定されるブロックは、前記欠陥の
種類が点欠陥の場合に、Ｍ＝Ｎとされる請求項９または
請求項１０に記載の画像欠陥検出装置。 - 【請求項１２】 前記検査基準領域および前記検査対象
領域としてそれぞれ設定されるブロックは、前記欠陥の
種類が縦方向に沿った線欠陥の場合に、Ｍ＜Ｎに設定さ
れる請求項９または請求項１０に記載の画像欠陥検出装
置。 - 【請求項１３】 前記検査基準領域および前記検査対象
領域としてそれぞれ設定されるブロックは、前記欠陥の
種類が横方向に沿った線欠陥の場合に、Ｍ＞Ｎに設定さ
れる請求項９または請求項１０に記載の画像欠陥検出装
置。 - 【請求項１４】 前記画像のデジタルデータを表色系に
分解する表色分解手段をさらに有する請求項１乃至請求
項１３のいずれかに記載の画像欠陥検出装置。 - 【請求項１５】 前記画像のアナログデータを表色系に
分解する表色分解手段を有する請求項１乃至請求項１３
のいずれかに記載の画像欠陥検出装置。 - 【請求項１６】 前記表色分解手段は、表色系の各成分
に分解し、分解された各成分毎に並行して検査を行う請
求項１４または請求項１５に記載の画像欠陥検出装置。 - 【請求項１７】 前記表色分解手段は、表色系の各成分
に分解し、前記検出手段のそれぞれの閾値は、表色系の
各成分に応じてそれぞれ設定される請求項１４乃至請求
項１６のいずれかに記載の画像欠陥検出装置。 - 【請求項１８】 前記検査基準領域および前記検査対象
領域の位置を、１画素ずつずらせて、前記画像取り出し
手段によって取り出された画像の各画素における欠陥
を、順次、検査するようになっている請求項１乃至請求
項１７のいずれかに記載の画像欠陥検出装置。 - 【請求項１９】 アナログデータの画像を取り出す画像
取り出し工程と、 取り出されたアナログデータをデジタルデータに変換す
るＡＤ変換工程と、 取り出された画像上に、欠陥の種類に応じた検査基準領
域および検査対象領域を設定する設定工程と、 設定された検査基準領域および検査対象領域のデジタル
データから比較値を抽出する比較値抽出工程と、 抽出された比較値と所定の閾値とに基づいて、欠陥の有
無を検出する比較工程と、 を包含することを特徴とする画像欠陥検出方法。 - 【請求項２０】 アナログデータの画像を取り出す画像
取り出し工程と、 取り出されたアナログデータをデジタルデータに変換す
るＡＤ変換工程と、 複数の異なった欠陥の有無を並行して検査する検査工程
とを含み、 該検査工程は、取り出された画像上に、欠陥の種類に応
じた検査基準領域および検査対象領域を設定する設定工
程と、 設定された検査基準領域および検査対象領域のデジタル
データから比較値を抽出する比較値抽出工程と、 抽出された比較値と所定の閾値とに基づいて、欠陥の有
無を検出する比較工程と、 を包含することを特徴とする画像欠陥検出方法。 - 【請求項２１】 前記検査工程は、前記欠陥の種類がシ
ミ欠陥、ムラ欠陥および線欠陥の場合には、少なくとも
２つの処理に分けて検査を行う請求項２０に記載の画像
欠陥検出方法。 - 【請求項２２】 前記設定工程において、前記検査基準
領域および前記検査対象領域のそれぞれの位置、それぞ
れのサイズ、両者の距離をそれぞれ設定する請求項１９
乃至請求項２１のいずれかに記載の画像欠陥検出方法。 - 【請求項２３】 前記ＡＤ変換工程の後で、前記設定工
程の前に、前記デジタルデータを表色系に分解する表色
分解工程が設けられている請求項１９乃至請求項２２の
いずれかに記載の画像欠陥検出方法。 - 【請求項２４】 前記画像取り出し工程の後で、前記Ａ
Ｄ変換工程の前に、前記アナログデータの画像を表色系
に分解する表色分解工程が設けられている請求項１９乃
至請求項２２のいずれかに記載の画像欠陥検出方法。 - 【請求項２５】 前記表色分解工程で分解された各成分
毎に、並行して検査を行う請求項２３または請求項２４
に記載の画像欠陥検出方法。 - 【請求項２６】 前記検査基準領域および前記検査対象
領域の位置を、１画素ずつずらせて、前記画像取り出し
手段によって取り出された画像の各画素における欠陥
を、順次、検査するようになっている請求項１９乃至請
求項２５のいずれかに記載の画像欠陥検出方法。 - 【請求項２７】 請求項１９乃至請求項２６のいずれか
に記載の画像欠陥検出方法の手順が記憶されていること
を特徴とする記憶媒体。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000107015A JP3583684B2 (ja) | 2000-01-12 | 2000-04-07 | 画像欠陥検出装置および画像欠陥検出方法 |
| US09/712,942 US6683974B1 (en) | 2000-01-12 | 2000-11-16 | Image defect detection apparatus and image defect detection method |
| MYPI20005737A MY127399A (en) | 2000-01-12 | 2000-12-06 | Image defect detection apparatus and image defect detection method |
| TW090100042A TW516308B (en) | 2000-01-12 | 2001-01-02 | Image defect detection apparatus and image defect detection method |
| IDP20010019D ID29561A (id) | 2000-01-12 | 2001-01-11 | Perangkat deteksi cacat gambar dan metode deteksi cacat gambar |
| KR10-2001-0001907A KR100396449B1 (ko) | 2000-01-12 | 2001-01-12 | 화상결함 검출장치 및 화상결함 검출방법 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000-4092 | 2000-01-12 | ||
| JP2000004092 | 2000-01-12 | ||
| JP2000107015A JP3583684B2 (ja) | 2000-01-12 | 2000-04-07 | 画像欠陥検出装置および画像欠陥検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001264257A true JP2001264257A (ja) | 2001-09-26 |
| JP3583684B2 JP3583684B2 (ja) | 2004-11-04 |
Family
ID=26583418
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000107015A Expired - Fee Related JP3583684B2 (ja) | 2000-01-12 | 2000-04-07 | 画像欠陥検出装置および画像欠陥検出方法 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6683974B1 (ja) |
| JP (1) | JP3583684B2 (ja) |
| KR (1) | KR100396449B1 (ja) |
| ID (1) | ID29561A (ja) |
| MY (1) | MY127399A (ja) |
| TW (1) | TW516308B (ja) |
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2000
- 2000-04-07 JP JP2000107015A patent/JP3583684B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2000-11-16 US US09/712,942 patent/US6683974B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2000-12-06 MY MYPI20005737A patent/MY127399A/en unknown
-
2001
- 2001-01-02 TW TW090100042A patent/TW516308B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-01-11 ID IDP20010019D patent/ID29561A/id unknown
- 2001-01-12 KR KR10-2001-0001907A patent/KR100396449B1/ko not_active IP Right Cessation
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|---|---|
| ID29561A (id) | 2001-09-06 |
| KR20010070527A (ko) | 2001-07-25 |
| JP3583684B2 (ja) | 2004-11-04 |
| TW516308B (en) | 2003-01-01 |
| MY127399A (en) | 2006-11-30 |
| KR100396449B1 (ko) | 2003-09-03 |
| US6683974B1 (en) | 2004-01-27 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070806 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080806 Year of fee payment: 4 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080806 Year of fee payment: 4 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090806 Year of fee payment: 5 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100806 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110806 Year of fee payment: 7 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130806 Year of fee payment: 9 |
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