JPH056863U - エキシマレーザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 安定したエネルギを有するレーザ光を被照射
体に照射することを目的とする。 【構成】 発振出力されるレーザ光のエネルギと出力設
定値とを比較し、エネルギが出力設定範囲内にあるとき
に限って、被照射体に向かうレーザ光の通過光路に配置
されたシャッターを開放する。これによって常に設定さ
れた範囲のエネルギを有するレーザ光を照射体に照射す
ることができるようになる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案はエキシマレーザ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

周知のようにエキシマレーザ装置は、そのエキシマレーザの励起にはコンデン サの充放電が一般に使用されている。すなわちコンデンサを繰返してパルス充電 し、その充電電圧が主電極間の放電電圧に到達すると、主電極間で放電が行なわ れる。そしてその励起によってレーザ光が出力される。この場合充電電圧が上が ると放電電圧が上がることによって、エキシマレーザ媒質ガスの励起強度が上が り、レーザ光のエネルギが上昇する。

【０００３】 図２に従来のエキシマレーザ装置を示す。１は周知のレーザ発振器で、充電回 路およびパルス充電されるコンデンサなどからなる励起回路、主電極、予備電離 ギャップなどによって構成されている。レーザ発振器１からのレーザ光は、部分 反射ミラー２を介して出力され、被照射体に照射される。

【０００４】 レーザ光の一部は部分反射ミラー２よりモニター回路３に与えられ、ここから レーザ光のエネルギに比例するモニター信号が出力される。この信号は比較回路 ４に与えられる。比較回路４には、出力範囲を設定する出力設定回路５からの出 力設定信号が与えられており、ここでモニター信号と比較される。

【０００５】 そしてこの出力設定信号によって定まる範囲よりモニター信号が低い場合は、 充電電圧制御回路６をして、コンデンサの充電電圧を上げるように制御し、レー ザ光のエネルギを上げるようにする。逆にモニター信号が高い場合は、充電電圧 制御回路６をしてコンデンサの充電電圧を下げるように制御し、レーザ光のエネ ルギを下げるようにする。

【０００６】 ところでこの種装置では、出力設定回路５によってレーザ光の出力エネルギを 設定してからレーザ発振器１の発振を開始し、その開始と同時に部分反射ミラー ２により出力の一部をモニター回路３によりモニターし、比較回路４をして充電 電圧制御回路６を制御するようにしている。

【０００７】 しかしこのような構成によると、モニター回路３に応じて応答性の違いがある ため、モニター信号による充電電圧の制御によって、レーザ光の出力が安定する までの時間に違いが生ずることがある。そのため応答性の遅いモニター回路の場 合は、レーザ発振器１の発振開始後、レーザ光のエネルギが設定出力値に到達し て安定するまでは、エネルギが安定していないレーザ光が被照射体に照射される ようになってしまう。

【０００８】 またコンデンサの充電電圧が上限に到達したとき、なおレーザ光のエネルギが 設定出力値に到達しないような場合でも、レーザ発振器１はその発振を継続して しまうようになる。

【０００９】

【考案が解決しようとする課題】

本考案は、レーザ光のエネルギが設定範囲内にあるときに限って、そのレーザ 光を被照射体に照射することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

本考案は、部分反射ミラーを通って被照射体に向かうレーザ光の通過光路にシ ャッターを設け、モニター回路からのモニター信号と、出力設定回路からの出力 設定信号とを比較する比較回路によって、モニター信号が設定出力範囲にあると 判断されたときに限って、このシャッターを開放するようにしたことを特徴とす る。

【００１１】

【作用】

モニター信号が設定出力範囲にあるとき、シャッターが開放され、設定出力範 囲外にあるときはシャッターは閉じられているので、モニター回路の応答性に差 異があっても、部分反射ミラーを通って被照射体に向かうレーザ光のエネルギは 常に設定出力範囲内にあるようになる。

【００１２】

【実施例】

本考案の実施例を図１によって説明する。なお図２と同じ符号を付した部分は 同一または対応する部分を示す。レーザ発振器１の発振制御は図２の場合と特に 相違するものではないが、本考案にしたがい部分反射ミラー２を通って被照射体 に向かうレーザ光の通過光路上に、シャッター７を配置する。

【００１３】 また比較回路４によってモニター回路３からのモニター信号と、出力設定回路 ５からの出力設定信号とを比較した結果、モニター信号が設定出力範囲にあると きに出される信号によってシャッター制御回路８が動作し、これによってシャッ ター７が開放される。

【００１４】 以上の構成において、出力設定回路５によってレーザ光の出力を設定してから レーザ発振器１の発振を開始させるが、その当初はレーザ光の出力は安定してい ないので、モニター信号は設定出力範囲外にあり、このときの比較回路４からは 信号は出ないため、シャッター７は閉じられたままにある。

【００１５】 そしてレーザ光の出力が安定してそのエネルギが設定出力範囲内に入ると、比 較回路４よりシャッター制御回路８に信号が与えられ、これによってシャッター ７が開放され、部分反射ミラー２を通過したレーザ光は開放されたシャッター７ を通って被照射体に照射される。

【００１６】 被照射体にレーザ光を照射している状態にあるとき、レーザ光のエネルギが低 下したことによって充電電圧を上昇させて、エネルギの安定化が図れる。しかし その充電電圧を上限にまで上昇させても、そのエネルギが設定出力範囲から離脱 したときは、比較回路４、シヤッター制御回路８によってシャッター７は閉じら れる。以上によって被照射体には、常に設定出力範囲内にあるエネルギのレーザ 光が照射されるようになる。

【００１７】 なおシャッター７が開放されているときにレーザ発振器１の発振繰返し回数、 すなわちショット数を数えるようにするとよく、これによれば被照射体に照射さ れたレーザ光の照射回数を正確に計測することができるようになる。具体的には シャッター制御回路８からシャッター７を開放するための制御信号が出ている期 間に限って、レーザ発振器１内のコンデンサのパルス放電回数をカウントするよ うにすればよい。

【００１８】

【考案の効果】

以上詳述したように本考案によれば、レーザ光はそのエネルギが設定出力範囲 内にあるときのみに限って被照射体に照射されるようになり、したがってモニタ ー回路に応答性の差異があっても、また充電電圧が上限に達してもなお設定出力 範囲に到達しないようなことがあっても、安定したエネルギのレーザ光を照射す ることができる効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例を示す回路図である。

【図２】従来例の回路図である。

【符号の説明】

１ レーザ発振器 ２ 部分反射ミラー ３ モニター回路 ４ 比較回路 ５ 出力設定回路 ６ 充電電圧制御回路 ７ シャッター ８ シャッター制御回路

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 【請求項１】 レーザ発振器と、前記レーザ発振器から
   のレーザ光の一部を反射する部分反射ミラーと、前記部
   分反射ミラーからのレーザ光をモニターするモニター回
   路と、レーザ光の出力範囲を設定する出力設定回路と、
   前記モニター回路からのモニター信号と前記出力設定回
   路からの出力設定信号とを比較し、前記レーザ発振器か
   らのレーザ光のエネルギを制御する制御回路とを備えた
   エキシマレーザ装置において、前記部分反射ミラーを通
   って被照射体に向かうレーザ光の通過光路にシャッター
   と、前記比較回路によって、前記モニター信号が前記出
   力設定信号による出力範囲にあるときに出される信号に
   よって前記シャッターを開放するように制御するシャッ
   ター制御回路を設けてなるエキシマレーザ装置。