JPH056799U

JPH056799U - Ｓｏｒ装置

Info

Publication number: JPH056799U
Application number: JP5999691U
Authority: JP
Inventors: 瑞穂井田
Original assignee: 石川島播磨重工業株式会社
Priority date: 1991-07-04
Filing date: 1991-07-04
Publication date: 1993-01-29

Abstract

(57)【要約】【目的】１台の蓄積リングから波長成分の異なる複数
種類のＳＯＲ光を同時に取り出せるようにして、ＳＯＲ
光を異なる用途に同時に使用できるようにする。【構成】蓄積リング３２の各偏向部３４〜３７は偏向
半径がそれぞれ異なる曲率半径ｒ１〜ｒ４に形成されて
いる。これら偏向部３４〜３７からはその接線方向にビ
ームチャンネル３８〜４１が引き出されて、ＳＯＲ光４
７〜５０がそれぞれ出射される。電子ビームエネルギが
一定でも偏向の曲率半径によって臨界波長が異なる。し
たがって、各偏向部３４〜３７から出射されるＳＯＲ光
４７〜５０の波長成分は異なったものとなる。したがっ
て、用途に応じて必要とされる波長のＳＯＲ光を使用す
ることにより、ＳＯＲ光４７〜５０を様々な用途に同時
に使用することができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、ＳＯＲ装置（シンクロトロン放射光装置）に関し、１台の蓄積リングから波長成分の異なる複数種類のＳＯＲ光を同時に取り出せるようにしたものである。

【０００２】

【従来の技術】

近年、シンクロトロンは、ＳＯＲ装置として、超々ＬＳＩ回路の作成、医療分野における診断、分子解析、構造解析等様々な分野への適用が期待されている。

【０００３】ＳＯＲ装置の概要を図２に示す。荷電粒子発生装置（電子銃等）１０で発生した電子ビームは線型加速装置（ライナック）１２で光速近くに加速され、ビーム輸送部１４の偏向電磁石１６で偏向されて、インフレクタ１８を介して蓄積リング２２内に入射される。蓄積リング２２に入射された電子ビームは高周波加速空洞２１でエネルギを与えられながら収束電磁石２３（垂直方向用）、２５（水平方向用）で収束され、偏向電磁石２４で偏向されて蓄積リング２２中を回り続ける。偏向電磁石２４で偏向される時に発生するシンクロトロン放射光はビームチャンネル２６を通して例えば露光装置２８に送られて超々ＬＳＩ回路作成用の光源等として利用される。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

ＳＯＲ光は、超々ＬＳＩ回路作成用の光源として用いられるほか医療分野における診断、分子解析、構造解析等様々な用途に使用され、用途ごとに使用される波長成分が異なる。

【０００５】前記図２の従来のＳＯＲ装置では蓄積リング２２の４つの偏向部にそれぞれビームチャンネルを連結することにより複数本のＳＯＲ光を取り出すことができるが、これらは波長成分がすべて同一であり、同時に複数の用途に使用することができなかった。

【０００６】この考案は、上記従来の技術の欠点を解決して、１台の蓄積リングから波長成分の異なる複数種類のＳＯＲ光を同時に取り出すことができるＳＯＲ装置を提供しようとするものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

この考案は、曲率半径が相互に異なる偏向部を有する蓄積リングと、これら偏向部にそれぞれの曲率半径に合わせて配設された偏向電磁石と、これら偏向部の蓄積リングからそれぞれ引き出された複数のビームチャンネルとを具備してなるものである。

【０００８】

【作用】

この考案によれば、ＳＯＲ装置から取り出されるＳＯＲ光の波長成分は、偏向部の曲率半径（偏向半径）によって変化する（曲率半径が小さいほど短い波長成分となる）ので、曲率半径が相互に異なる偏向部を形成することにより、波長成分の異なる複数種類のＳＯＲ光を同時に取り出すことができ、同時に様々な用途に使用することができる。

【０００９】

【実施例】

この考案の一実施例を図１に平面図で示す。ＳＯＲ光装置３０は蓄積リング３２が略々四角形状に形成されている。蓄積リング３２の４つの偏向部３４〜３７は偏向半径がそれぞれ異なる曲率半径ｒ１〜ｒ４に形成されており、これら偏向部３４〜３７からはその接線方向にビームチャンネル３８〜４１が引き出されている。各偏向部３４〜３７にはそれぞれの曲率半径に合わせた曲率半径を有する偏向電磁石４２〜４５が配設されている。また、蓄積リング３２の直線部４６には図示しない収束電磁石、高周波加速空調、インフレクタ、パータベータ、電流モニタ等が配設されている。

【００１０】以上の構成によれば、線型加速器等の入射器（図示せず）から出射された電子ビームはインフレクタ（図示せず）を介して蓄積リング３２に入射され、高周波で加速されて蓄積リング３２内を周回し続ける。この時各偏向電磁石４２〜４５は、電子ビームのエネルギに応じてこの電子ビームをそれぞれの曲率半径ｒ１〜ｒ４で偏向させるに必要な励磁量にそれぞれ制御される。これにより各偏向部３４〜３７のビームチャンネル３８〜４１からはＳＯＲ光４７〜５０が出射される。

【００１１】ところで、ＳＯＲ光の臨界波長λc は次式で与えられる。 _１ λc ＝１８．６Ｅ²Ｂ但し、Ｅ：電子ビームエネルギＢ：偏向電磁石の磁場の強さ（偏向の曲率半径反比例）これによれば電子ビームエネルギが一定でも偏向の曲率半径によってＳＯＲ光の臨界波長が異なる。したがって、各偏向部３４〜３７から出射されるＳＯＲ光４７〜５０の波長成分は異なったものとなる。例えば、偏向部３４〜３７の曲率半径の大きさが、ｒ２＞ｒ１＞ｒ４＞ｒ３に設定されていたとすると、ＳＯＲ光４７〜５０の波長は、ＳＯＲ光４８＞ＳＯＲ光４７＞ＳＯＲ光５０＞ＳＯＲ光４９となる。したがって、用途に応じて必要とされる波長のＳＯＲ光を使用することにより、ＳＯＲ光４７〜５０を様々な用途に同時に使用することができる。

【００１２】

【変更例】

前記実施例では、全ての偏向部の曲率半径を異ならせたが、一部の偏向部のみ異ならせることもできる。

【００１３】また、ビームチャンネルはすべての偏向部から引き出す場合に限らず、用途に応じて任意の偏向部から引き出すことができる。

【００１４】また、前記実施例では偏向部が４つの場合について説明したが、これに限らず偏向部の数が様々なＳＯＲ装置にこの考案を適用することができる。

【００１５】

【考案の効果】

以上説明したように、この考案によれば、ＳＯＲ装置から取り出されるＳＯＲ光の波長成分が、偏向部の曲率半径によって変化することを利用して曲率半径が相互に異なる偏向部を形成するようにしたので、波長成分の異なる複数種類のＳＯＲ光を同時に取り出すことができ、同時に様々な用途に使用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の一実施例を示す平面図である。

【図２】従来のＳＯＲ装置を示す平面図である。

【符号の説明】

３０ＳＯＲ装置３２蓄積リング３４，３５，３６，３７偏向部３８，３９，４０，４１ビームチャンネル４２，４３，４４，４５偏向電磁石ｒ１，ｒ２，ｒ３，ｒ４曲率半径

Claims

【実用新案登録請求の範囲】【請求項１】曲率半径が相互に異なる偏向部を有する
蓄積リングと、これら偏向部にそれぞれの曲率半径に合わせて配設され
た偏向電磁石と、これら偏向部の蓄積リングからそれぞれ引き出された複
数のビームチャンネルとを具備してなるＳＯＲ装置。