JPH0567880U - 流体制御用ソレノイド弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 パイロットバルブのシーティング音を低減さ
せる。 【構成】 パイロットバルブ１５に磁性体フランジ１５
Ｃを設ける。フランジ１５Ｃはコイル２の周りに生じる
磁束によって開弁方向に付勢され、パイロットバルブ１
５の閉弁動作を妨げるように作用する。このフランジを
付勢する力はフランジ１５Ｃがハウジング１の窪み１Ｃ
から突出する量が大きいほど大きくなる。したがって、
吸着面１Ｐに可動部材５が吸引されてパイロットバルブ
１５が変位し、その変位量が大きくなったときに、この
変位を妨げようとする力がフランジ１５Ｃに作用する。
その結果、パイロットバルブ１５にかかる閉弁方向の力
は、そのシーティング直前で低減されて、シート部２１
とパイロットバルブ１５との衝撃が緩和される。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は流体制御用ソレノイド弁に関するものであり、特に、パイロットバル ブを開閉することによってメインバルブを開閉し、このメインバルブの開閉によ って流体制御を行なう流体制御用ソレノイド弁に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

４サイクルエンジン等（以下、エンジンという）においては、エンジン回転数 に応じてエンジンの吸排気弁の開閉のタイミングをずらし、出力の向上をねらう ものが知られている。

【０００３】 このような吸排気弁制御装置の中には、吸排気弁と該弁の昇降用カムとの間に 、オイル等を介在させ、その圧力をソレノイド弁を用いて制御することにより、 前記カムの形状、大きさ等を実質的に変更するようにして吸排気弁の開閉タイミ ングを調整する形式のものがある（例えば実開昭６０−１７３７７３号公報に記 載されたソレノイド弁）。

【０００４】 図７は吸排気弁制御装置の一例を示す図である。この図においては、ソレノイ ド弁１００のコイル２に通電が行われて、可動部材５がハウジング１の内筒部の 端面１Ｐに吸着され、メインバルブ１３で流体流入口１２Ａが閉塞された状態が 示されている。すなわち、当該ソレノイド弁１００は、非通電時オン（開弁）、 通電時オフ（閉弁）の構成を有している。

【０００５】 図において、１００はソレノイド弁、１０１はポンプ、１０２及び１０３は逆 止弁、１０４はシリンダ、１０５は前記シリンダ１０４内に配置されたタペット 、１０６はその作動部（ピストン）が前記シリンダ１０４内に配置された吸排気 弁、１０７は前記タペット１０５に当接するカム、そして１０８はアキュムレー タである。

【０００６】 ポンプ１０１より吐出されるオイルは、逆止弁１０２及び１０３を介してシリ ンダ１０４内に導入される。このシリンダ１０４は、ソレノイド弁１００の流体 流入口１２Ａに接続されている。また、前記ソレノイド弁１００の流体吐出口１ ２Ｂは、流体通路１０９により、アキュムレータ１０８と、前記逆止弁１０２及 び１０３の間とに接続されている。

【０００７】 このような吸排気弁制御装置においては、コイル２に通電が行われていない場 合、すなわちメインバルブ１３が後退し、流体流入口１２Ａ及び流体吐出口１２ Ｂが連通している（ソレノイド弁１００がオンとなっている）場合には、カム１ ０７が回転されてタペット１０５が下降するときに、シリンダ１０４内のオイル 圧力がアキュムレータ１０８により吸収される。したがって、オイルの圧力はあ まり上昇しない。その結果、タペット１０５とシリンダ１０４の作動部との間の 距離は短くなる。

【０００８】 逆に、この図７に示されるように、コイル２に通電が行われてメインバルブ１ ３が流体流入口１２Ａを閉塞している（ソレノイド弁１００がオフとなっている ）場合には、タペット１０５が上昇するときに、シリンダ１０４内の圧力が流体 通路１０９内の圧力よりも低くなる。その結果、逆止弁１０３を介してオイルが シリンダ１０４内に導入される。

【０００９】 一方、タペット１０５が下降するときには、シリンダ１０４内のオイル圧力は 、アキュムレータ１０８で吸収されないので、ソレノイド弁１００がオンの場合 に比較して高くなる。したがって、タペット１０５とシリンダ１０４の作動部と の間の距離が長くなり、実質的にカム１０７の形状、大きさ等が変更されたこと になって、吸排気弁１０６による吸排気のタイミングが変更される。

【００１０】 つぎに、前記ソレノイド弁１００の構造を説明する。 まず、ハウジング１内には非磁性体のガイドカラー３が配置され、該ガイドカ ラー３内には、貫通穴４Ａを有するプッシュロッド４が摺動自在に配置されてい る。このプッシュロッド４の後端部４Ｂには、可動部材５がかしめられている。 そして、このプッシュロッド４は、コイルばね６により、可動部材５を介して当 該ソレノイド弁１００の前方（メインバルブ１３側）に偏倚されている。

【００１１】 なお、パイロットバルブ１５はコイルばね１６によって当該ソレノイド弁１０ ０の後方（開口部１Ａ側）に偏倚されている。この偏倚配置により、前記プッシ ュロッド４及び可動部材５は、非通電時は後方に移動していて、ハウジング１の 内筒端面１Ｐと可動部材５との間には、間隙が生じている。前記ハウジング１の 後部には、開口部１Ａが形成されており、この開口部１Ａによって前記貫通穴４ Ａが当該ソレノイド弁１００の外部に連通されている。

【００１２】 前記ハウジング１内の、プッシュロッド４の周囲には、ボビン１９に巻回され たコイル２が配置されている。リード線２Ａを介してコイル２に通電することに より、可動部材５が、コイルばね１６の弾発力に打ち勝つように端面１Ｐに吸着 され、プッシュロッド４が前方に摺動する。

【００１３】 前記ハウジング１の前部に形成された凹部１Ｂには、シム１０、第１シリンダ １１及び第２シリンダ１２が配置され、これらは該第２シリンダ１２が前記ハウ ジング１の前端部においてかしめられることによってハウジング１に固定される 。前記シム１０は、図示されるように、当該ソレノイド弁１００の凹部１Ｂ及び 第１シリンダ１１間に配置されている。

【００１４】 パイロットバルブ１５がシート部２１に接触した場合には、可動部材５も端面 １Ｐに接触することが望ましい。したがって、当該ソレノイド弁１００の組立時 に、適当な厚みのシム１０を用いて、端面１Ｐとシート部２１との間の距離を変 更して、その作動試験を行ない、当該ソレノイド弁１００の作動特性、消費電流 等が希望する特性となるようなシム１０を採用する。またこの例では、前記シム １０は、パイロットバルブ１５の後退位置を規定する。

【００１５】 前記第１シリンダ１１の先端部には、溝１１Ｂ及びパイロットオリフィス１１ Ａが形成されると共に、該第１シリンダ１１内には、パイロットバルブ１５及び コイルばね１６が配置されている。前記パイロットバルブ１５には、その前部分 から後端面にかけて貫通する流体通路１５Ａが形成され、また、その後端部には 、径大のストッパ１５Ｂが形成されている。

【００１６】 前記コイルばね１６は、前述のように、非通電時はパイロットバルブ１５を後 方に偏倚しており、この状態では、パイロットオリフィス１１Ａは開口している 。そして、コイル２に通電が行われれば、パイロットバルブ１５が前方に移動し 、この図に示されるようにストッパ１５Ｂとシム１０との間には間隙が生じ、ま たパイロットバルブ１５の先端は、パイロットオリフィス１１Ａのシート部２１ に接触して、該パイロットオリフィス１１Ａを閉塞する。

【００１７】 前記第１シリンダ１１と第２シリンダ１２との間には、その前部にメインオリ フィス１３Ａが穿設されたメインバルブ１３が配置されている。このメインバル ブ１３は、その後端部に配置されたコイルばね１４により、前方に偏倚されてい る。

【００１８】 以上の構成を有するソレノイド弁１００の動作を、つぎに説明する。 まずコイル２に通電すると、図示されるように可動部材５が端面１Ｐに吸着さ れ、プッシュロッド４が前方に摺動する。これにより、パイロットバルブ１５が シート部２１に密着して、パイロットオリフィス１１Ａが閉塞される。

【００１９】 この結果、メインオリフィス１３Ａを通過してメインバルブ背圧室Ｒ内に流入 するオイルによってメインバルブ背圧室Ｒの圧力が上昇し、この部分の圧力はメ インバルブ前室Ｆの圧力と一致する。

【００２０】 したがって、前記メインバルブ１３は、コイルばね１４の弾発力により、前方 へ移動してシ―ト部２０に当接し、流体流入口１２Ａが閉塞される。すなわち、 当該ソレノイド弁１００がオフとなる。

【００２１】 コイル２への通電を解除すると、パイロットバルブ１５、並びにプッシュロッ ド４及び可動部材５が、コイルばね１６の弾発力により、当該ソレノイド弁１０ ０の後方に移動する。

【００２２】 これにより、パイロットバルブ１５が後退してパイロットオリフィス１１Ａが 開となる。そして、メインバルブ背圧室Ｒがポンプ１０１の圧縮力の影響を受け ていない流体通路１５Ａと連通し、該メインバルブ背圧室Ｒの圧力は、メインバ ルブ前室Ｆの圧力よりも低くなる。

【００２３】 この結果、メインバルブ１３がコイルばね１４の弾発力に打ち勝って後退し、 流体流入口１２Ａ及び流体吐出口１２Ｂが連通する。すなわち、当該ソレノイド 弁１００がオンとなる。この後は、シリンダ１０４内のオイルが、流体流入口１ ２Ａを経て流体吐出口１２Ｂから流出し、オイルの圧力によって前記メインバル ブ１３は後退したままとなる。

【００２４】 なお、パイロットオリフィス１１Ａより第１シリンダ１１内に流入したオイル は、流体通路１５Ａ、並びに貫通穴４Ａ及び開口部１Ａを介して、当該ソレノイ ド弁１００の外部に流出する。また、この場合におけるプッシュロッド４及び可 動部材５のがたつきは、コイルばね６の弾発力により吸収される。この後、再び コイル２に通電を行えば、当該ソレノイド弁１００はオフとなる。

【００２５】

【考案が解決しようとする課題】

上記した従来の技術は、次のような問題点を有していた。 可動部材５が吸引されてパイロットバルブ１５が着座（シーティング）した際 に、第１シリンダ１１のシート部２１とパイロットバルブ１５との衝突音が大き いという問題点があった。

【００２６】 この衝突音を低減させるためにはコイル２の巻数を少なくするとか、コイル２ への供給電流を小さくするとかして可動部材５を吸引する力を減少させて衝撃を 減らすことが考えられる。しかし、このように、可動部材５の吸引力を低減させ ると、パイロットパルブ１５の動作応答が悪くなるという別の問題点が生じてく る。

【００２７】 本考案は、前述の問題点を解決するためになされたものであり、その目的は、 パイロットバルブの応答速度を低減させることなく、パイロットバルブのシーテ ィング音を減少させることのできる流体制御用ソレノイド弁を提供することにあ る。

【００２８】

【課題を解決するための手段】

前記の問題点を解決するために、本考案は、コイルが巻回された中空鉄心の一 方の端面に対向して配置された磁性体可動部材と、前記可動部材に結合され、前 記中空鉄心の中空部分を貫通してその軸方向に摺動自在に配置されたプッシュロ ッドと、前記プッシュロッドの動きに追随して前記軸方向に変位するパイロット バルブと、前記パイロットバルブの周囲に形成された磁性体フランジ部とを具備 し、前記フランジ部が、前記中空鉄心の他方の端面に形成された窪みに収容され 、前記パイロットバルブがシーティング時には、前記窪みからその一部が突出し 、前記端面に対して段差を有するように位置決めされている点に第１の特徴があ る。

【００２９】 また、本考案は、前記パイロットバルブが閉弁方向に変位するのを妨げる方向 に反発力が働くばね部材を具備し、このばね部材の反発力が前記パイロットバル ブの閉弁動作の途中から急増するように構成した点に第２の特徴がある。

【００３０】

【作用】

上記第１の特徴を有する本考案では、コイルに通電されると、コイルの周りに 発生した磁束によって中空鉄心は磁化されて可動部材を吸引する。これと同時に 、コイルの周りに発生した磁束の一部は、中空鉄心と前記フランジ部とを通過す る。可動部材が吸引されてパイロットバルブが閉弁方向に変位すると、前記フラ ンジ部が窪みから突出し、フランジ部の側面とハウジングの端面との間に段差が 生じるようになる。その結果、前記中空鉄心と前記フランジ部とを通過する磁束 は、段差を少なくするような力を生じさせる。この力は、段差の大きさに応じて 大きくなる。したがって、パイロットバルブが閉弁方向に変位して、シーティン グ位置に近付くほど、パイロットバルブを閉弁方向に付勢する力が弱められるよ うになり、シーティング時の衝撃が緩和される。

【００３１】 また、第２の特徴を有する本考案では、パイロットバルブが閉弁動作の途中で ばねの反発力が急増するようになるので、シーティング間際でパイロットバルブ を閉弁方向に付勢する力が弱められ、シーティング時の衝撃が緩和される。

【００３２】

【実施例】

以下に、図面を参照して、本考案を詳細に説明する。図１は本考案の一実施例 を示すソレノイド弁の縦断面図である。ソレノイド弁１００の流体流入口１２Ａ は、図７に示したソレノイド弁と同様、図示しない吸排気弁制御装置に接続され る。図１において、図７と同符号は、同一又は同等部分をあらわしている。

【００３３】 図１では、コイル２に通電が行われて可動部材５がハウジング１の端面１Ｐに 吸着され、流体流入口１２Ａが閉塞された状態（オフ状態）のソレノイド弁１０ ０が示されている。すなわち、当該ソレノイド弁１００は、従来のものと同様、 非通電時オン、通電時オフの構成を有している。

【００３４】 図１において、パイロットバルブ１５の後端部には、磁性体からなる作動音低 減コア１５Ｃが圧入されている。作動音低減コア１５Ｃは、図７に示したストッ パ１６と比較すると、その直径が大きく、かつ磁性体で形成されている点で差異 がある。

【００３５】 前記ストッパ１５Ｂは、コイルばね１６の弾発力を受ける機能と、パイロット バルブ１５の後退限界を規定する機能とを有していた。これに対し、この作動音 軽減コア１５Ｃは、上記ストッパ１５Ｂと同様の機能のほか、前記差異を設けた ことによって、パイロットバルブ１５のシーティング直前の推力を減少させる機 能が付加された。すなわち、作動音低減コア１５Ｃを磁性体で形成し、かつ直径 を大きくとってその外周面を大きくすることにより、該作動音低減コア１５Ｃが コイル２で発生した磁束の影響を受けやすくなるようにしている。この作動音低 減コアの動作は図２に関して後述する。

【００３６】 ハウジング１のキャップ１７には、プッシュロッド４を前方に偏倚させる方向 に反発力が作用するコイルばね６の反発力を調整するための、調整ねじ１８が設 けられている。この調整ねじ１８を前方（図中左側）にねじ込むことにより、コ イルばね６は圧縮されて反発力が強められ、後方に戻すことにより、コイルばね ６が拡張して反発力が弱められる。

【００３７】 次に、図２を参照して作動音低減コア１５Ｃの動作を説明する。図２は、ソレ ノイド弁１００の要部拡大図であり、作動音低減コア１５Ｃとハウジング１との 位置関係を示す図である。同図において図１と同符号は同一または同等部分を示 す。作動音低減コア１５Ｃは、ボビン１９に巻かれたコイル２への非通電状態で は、ハウジング１の凹部１Ｂの、さらに段差が設けられた窪み１Ｃ内にほぼ全体 が収容されている。そして、通電された状態すなわち図示の状態では、可動部材 ５がハウジング１の内筒端面１Ｐつまり吸着面に吸引され、前記作動音低減コア １５Ｃは、前記窪み１Ｃから寸法ｄだけ突出する。

【００３８】 一方、前記可動部材５を吸引する磁力を発生する磁束すなわちコイル２の周り に発生した磁束２２の漏れ磁束２２Ａが、作動音低減コア１５Ｃを通過する。こ の漏れ磁束２２Ａによって、作動音低減コア１５Ｃの外周と窪み１Ｃの内周面と には、互いに反対の磁極が生成され、前記寸法ｄを縮小する方向に磁力が作用す る。

【００３９】 次に、本実施例におけるパイロットバルブ１５の推力、すなわちパイロットバ ルブ１５に対して閉弁方向に作用する力を、図３のグラフを参照して説明する。 図３において、縦軸はパイロットバルブ１５に対し、その軸線方向に作用する推 力を示し、横軸はパイロットバルブ１５が吸引され始めてからシーティング位置 Ｓまでのストロークを示す。

【００４０】 同図において、コイル２に通電されることによって可動部材５が吸着面１Ｐに 吸引される力、すなわちこの吸引力によってパイロットバルブ１５に作用する推 力を線ａで示す。また、前記漏れ磁束によって作動音低減コア１５Ｃをパイロッ トバルブ１５の開弁方向に偏倚させようとする力を線ｂで示す。そして、線ａお よびｂで示された力の合成力を線ｃで示す。

【００４１】 図示のように、線ａで示した可動部材５を吸引する力は、可動部材５が吸着面 １Ｐに近付くにつれてしだいに大きくなり、シーティング直前には吸引力が急激 に増大している。一方、前記漏れ磁束によって作動音低減コア１５Ｃに作用する 力は、ストロークが所定量変化するまで、すなわち前記作動音低減コア１５Ｃと 窪み１Ｃの前面との段差（寸法ｄ）が小さいうちはほとんど一定である。そして 、ストロークの終端部付近、すなわち前記寸法ｄがある程度大きくなってからは 急激に大きくなる。

【００４２】 ところで、この作動音低減コア１５Ｃに作用する力は、前記可動部材５を吸着 面１Ｐに吸引する力とは反対方向に働く。したがって、線ｂで示された力は線ａ で示された吸引力に対してこれを打ち消す反力となり、両方の力の合成力は、線 ｃで示すようにストローク終端でその増大量が小さくなる。すなわち、パイロッ トバルブ１５の閉弁動作において、その動作終了間際ではパイロットバルブ１５ の閉弁方向の推力の増大程度が低減し、シーティング時の衝撃が緩和される。

【００４３】 次に本考案の第２実施例を説明する。図４は、第２実施例を示すソレノイド弁 １００の要部断面図であり、図１と同符号は同一または同等部分を示す。同図で は、前記コイル２に通電されていない状態を示している。同図において、前記可 動部材５と前記ハウジング１の内筒端面、すなわち吸着面１Ｐとの間にはウェー ブワッシャ９が配置されている。このウェーブワッシャ９すなわち波形座金は、 リング状の薄板に波形の塑性変形が与えられたばね座金である。

【００４４】 なお、この第２実施例においては、前記作動音低減コア１５Ｃは必要としない 。したがって、図示しない部分は、図７に示した従来装置と同様に構成される。

【００４５】 このウェーブワッシャ９によるパイロットバルブ作動音の低減動作を説明する 。図５は、パイロットバルブ１５に作用するコイルばね１６およびウェーブワッ シャ９の荷重を、パイロットバルブ１５のストロークと対応して示した図である 。同図において、縦軸はパイロットバルブ１５にかかるばね加重を示し、横軸は パイロットバルブ１５のストロークを示す。

【００４６】 同図において、線ｄで示すようにコイルばね１６のみによる荷重は、パイロッ トバルブ１５のストロークの変化に伴って直線的に変化し、ストロークが最大の とき、すなわちシーティング時（ｓ点）において最大となる。そして、ウェーブ ワッシャ９と可動部材５とが当接した時点ｔからは、このウェーブワッシャ９に よる荷重が加わり、線ｅで示すように荷重が変化する。すなわち、パイロットバ ルブ１５は閉弁動作の途中からは、より大きい荷重にうちかって動作することに なり、シーティング時の衝撃が緩和される。

【００４７】 次に、本考案の第３実施例を説明する。図６は第３実施例を示すソレノイド弁 １００の要部断面図であｌ、図７同符号は同一または同等部分を示す。図６にお いて、パイロットバルブ１５のストッパ１５Ｂと第１シリンダ１１との間に設け られたコイルばね１６ａは、その一部だけコイル径を大きくしたものである。こ の第３実施例では、ストッパ１５Ｂと当接する側のコイル径を大きくしている。 このような部分的にコイル径が変化していコイルばねでは、パイロットバルブ１ ５が閉弁方向に変位したときに、まずコイル径の大きい部分が圧縮される。その 動作に続いて、コイル径の小さい部分が圧縮されるが、このコイル径の小さい部 分が圧縮されるときには、大きいコイル径のコイルばねが圧縮されているときよ りも反発力の増加率が大きくなる。すなわちばね定数が大きくなる。

【００４８】 すなわち、第２実施例のばね荷重の変化と同様、小さいコイル径の部分が圧縮 され始めた時点から、パイロットバルブ１５の閉弁動作を妨げる方向に作用する 荷重は急激に増大して、シーティング時の衝撃が緩和される。

【００４９】 以上の説明のように、第１〜第３実施例では、コイル２に通電され、可動部材 ５がハウジング１の内筒端部に吸引されてパイロットバルブ１５が閉弁動作を開 始すると、そのストロークの途中から、パイロットバルブ１５の閉弁方向にさか らう反発力がその時点までよりも大きい変化量で増大するようにした。

【００５０】 そして、本実施例では、その反発力を発生するために磁力の作用を利用するか 、ばねの反発力を利用するかした。このような反発力を得るためばねの構成は、 実施例に示したものに限定されず、例えば、コイルばね１６や１６ａの代わりに 、たけのこばねを使用してもよいし、ばね定数の異なる２種類のコイルばねを組 合わせて使用してもよい。

【００５１】

【考案の効果】

以上の説明から明らかなように、本考案によれば、パイロットバルブのシーテ ィング直前で、このパイロットバルブに対する反発力が急増するようにした。そ の結果、パイロットバルブがシート部に着座するときの衝撃を緩和でき、したが ってシーティング音を大幅に低減することができる。 また、上記反発力は、閉弁動作の後半で発生するので、前記シーティング音の 低減は、パイロットバルブの応答速度を犠牲にすることなく実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本考案の一実施例を示すソレノイド弁の縦断
面図である。

【図２】 図１に示したソレノイド弁の要部拡大図であ
る。

【図３】 パイロットバルブの推力とストロークとの関
係図である。

【図４】 本考案の第２実施例を示すソレノイド弁の要
部断面図である。

【図５】 パイロットバルブにかかるばね荷重の変化を
示す図である。

【図６】 本考案の第３実施例を示すソレノイド弁の要
部断面図である。

【図７】 従来の吸排気弁制御装置の一例を示す図であ
る。

【符号の説明】

１…ハウジング、 ２…コイル、 ３…ガイドカラー、
５…可動部材、 ６…コイルばね、 ９…ウェーブワ
ッシャ、 １１…第１シリンダ、 １２…第２シリン
ダ、 １３…メインバルブ、 １５…パイロットバル
ブ、 １６…コイルばね、 １６ａ…コイルばね、１９
…ボビン、 ２１…シート部

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 パイロットバルブを開閉することによっ
   てメインバルブを開閉し、このメインバルブの開閉によ
   って流体制御を行なう流体制御用ソレノイド弁におい
   て、 コイルが巻回された中空鉄心の一方の端面に対向して配
   置された磁性体可動部材と、 前記可動部材に結合され、前記中空鉄心の中空部分を貫
   通してその軸方向に摺動自在に配置されたプッシュロッ
   ドと、 前記プッシュロッドの動きに追随して前記軸方向に変位
   するパイロットバルブと、 前記パイロットバルブの周囲に形成された磁性体フラン
   ジ部と、 前記中空鉄心の他方の端面に形成された窪みとを具備
   し、 前記フランジ部が、前記窪みに収容され、前記パイロッ
   トバルブがシーティング時には、前記窪みからその一部
   が突出し、前記端面に対して段差を有するように位置決
   めされていることを特徴とする流体制御用ソレノイド
   弁。
2. 【請求項２】 パイロットバルブを開閉することによっ
   てメインバルブを開閉し、このメインバルブの開閉によ
   って流体制御を行なう流体制御用ソレノイド弁におい
   て、 コイルが巻回された中空鉄心の一方の端面に対向して配
   置された磁性体可動部材と、 前記可動部材に結合され、前記中空鉄心の中空部分を貫
   通してその軸方向に摺動自在に配置されたプッシュロッ
   ドと、 前記プッシュロッドの動きに追随して前記軸方向に変位
   するパイロットバルブと、 パイロットオリフィスを有し、前記パイロットバルブを
   収容するシリンダと、 前記パイロットバルブを開弁方向に付勢するため、前記
   シリンダおよびパイロットの間で反発力が作用するよう
   に配置されたパイロットバルブ戻し用のコイルばねと、 前記可動部材および中空鉄心の一方の端面の間に介在さ
   れたウェーブワッシャとを具備したことを特徴とする流
   体制御用ソレノイド弁。
3. 【請求項３】 パイロットバルブを開閉することによっ
   てメインバルブを開閉し、このメインバルブの開閉によ
   って流体制御を行なう流体制御用ソレノイド弁におい
   て、 コイルが巻回された中空鉄心の一方の端面に対向して配
   置された磁性体可動部材と、 前記可動部材に結合され、前記中空鉄心の中空部分を貫
   通してその軸方向に摺動自在に配置されたプッシュロッ
   ドと、 前記プッシュロッドの動きに追随して前記軸方向に変位
   するパイロットバルブと、 パイロットオリフィスを有し、前記パイロットバルブを
   収容するシリンダと、前記パイロットバルブを開弁方向
   に付勢するため、前記シリンダおよびパイロットの間で
   反発力が作用するように配置されたパイロットバルブ戻
   し用のコイルばねとを具備し、 前記コイルばねは、圧縮量に応じてばね定数が変化する
   ように部分的にそのコイル径が他と異なっていることを
   特徴とする流体制御用ソレノイド弁。