JPH0567327B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

産業上の利用分野 本発明は、圧力スイング吸着技術を用いるガス
の富化方法に関するものであり、更に詳しくは
（ガス富化のためガス拡散バリヤーを含む）改善
された圧力スイング吸着法ならびにその装置に関
する。 従来の技術 ガス流からガス成分を分離するのに吸着技術を
使用することは、最初、空気からの炭酸ガスと水
の除去に関して開発された。このガス吸着の原理
は更に水素、ヘリウム、アルゴン、一酸化炭素、
炭酸ガス、酸化二窒素、酸素および窒素のガス富
化法に洗練された。更には周期的に加圧する２以
上の吸着容器を用いる方法が開発され、広く圧力
スイング吸着（pressure swing adsorption、
PSA）と称されるガス富化のための吸着法がも
たらされた。 従来のガス富化のためのPSA法たとえば空気
から窒素を富化する方法は、炭素モレキユラーシ
ーブ材料を充填した２以上の吸着床を使用し、各
吸着床は各サイクル内で２以上の工程、一般に明
確に区別された四工程に付される。サイクルの第
一工程では、一方の吸着床は加圧され、それに伴
つて窒素を生産し、他方の吸着床は排気などによ
り再生される。この吸着は、プロダクト品質ガス
（「パージ」（purge）と称される）を向流で流す
ことによつても再生される。第二工程は均圧化工
程とを称されるが、そこでは複数の吸着床を相互
接続して中間の圧力にする。サイクルの第三工程
では、第一吸着床は第二床で用いた手順に従つて
再生され、第二床は生産工程に入る。サイクルの
最終工程は、吸着床間で均圧化をはかることであ
る。このような圧力スイングの間に、吸着床の圧
力条件は、炭素モレキユラーシーブを用いる窒素
の生産ではゲージ圧約103乃至827kPa（15乃至
120psig）の間で変動し、結晶性ゼオライトを用
いる酸素の生産では若干低目の圧力範囲で変動す
る。 圧力スイング吸着法に酸素分離膜を用いること
は、日本国特許出願昭57（1982）−31576号（1982
年２月27日出願）に開示されており、該出願では
ゼオライト粒子を充填した吸着カラムを用いる
PSA法により酸素を製造しており、各吸着カラ
ムのパージサイクル時には酸素パージガスを通し
ている。酸素パージガスは、各吸着カラムの生産
サイクル時に酸素富化流をガス分離膜に通して得
られる透過ガス流である。 発明が解決しようとする問題点 本発明の一目的は、所要エネルギーの少ない改
善されたPSA法および装置を提供することであ
る。 本発明の他の目的は、サイクル時間を長くでき
る改善されたPSA法および装置を提供すること
である。 本発明の更なる目的は、長い時間をかけて高純
度の製品を製造できる改善されたPSA法および
装置を提供することである。 本発明の尚更なる目的は、排出流の圧力水準を
有効に利用する改善されたPSA法および装置を
提供することである。 問題点を解決するための手段 本発明の上記ならびにその他の目的は、排出ガ
ス流および／またはプロダクト流の圧力水準をガ
ス拡散セルの駆動に用いて圧力スイング吸着法に
用いる原料ガス流および／またはパージガス流を
製造し、オンライン生産時間を増大させ且つ廃圧
力エネルギーを利用して、単位生産当りの所要エ
ネルギーを低下させるようなガス富化のための改
善されたPSA法および装置により達成される。 本発明ならびにその他の目的およびその諸利点
は、その詳細な説明とくに付属図面を用いた説明
を考慮することにより明らかとなるであろう。 第１図は、本発明の好適実施態様の概念的フロ
ー図である。 第２図は、ある程度標準的なPSA法の全サイ
クルにおける吸着剤容器の圧力図である。 第３図は、本発明の一実施態様である窒素
PSAに関して、代表的な排気流速を時間の関数
として示したグラフである。 第４図は、本発明の第３図実施態様による窒素
PSAに関して、代表的排気圧力を時間の関数と
して示したグラフである。 第５図は、本発明の第３図実施態様による窒素
PSAに関して、代表的酸素濃度を時間の関数と
して示したグラフである。 第６図は、本発明の第３図実施態様に関して、
不透過流中の代表的窒素モル分率を時間とステー
ジカツト（stage cut）の関数として示したグラ
フである。 第７図は、本発明の第３図実施態様に関して、
単位プロダクト当りの電力消費をステージカツト
の関数として示した図である。 本発明を解り易くするため、図では一部の弁、
管および計装を省略しているが、このような追加
の弁、管および計装が当該技術分野で行われてい
る方法で付与されることは了解されよう。本発明
の説明は、炭素モレキユラーシーブの吸着剤床を
用いる空気の窒素富化に関して行うが、当業者に
は本発明の方法および装置が圧力スイング吸着技
術を用いるガス富化そのものに適用可能なること
が理解されるであろう。 さて第１図は本発明の方法および装置の概念的
フロー図を示すものであつて、吸着容器１０と１
２および上方ガス拡散容器１４と下方ガス拡散容
器１６を有する。吸着容器１０および１２には前
記の炭素モレキユラーシーブなど適当な吸着材料
が充填されている。上方および下方のガス拡散容
器１４および１６には適当なガス拡散バリヤー
（GDB）が設置されており、これについては後に
更に詳細に議論する。 本発明の方法および装置には原料供給コンプレ
ツサー１８が設置されており、その吸い込み側に
入口導管２０を有し、サージタンク２４と流体連
結している。サージタンク２４には弁２８の調節
下にある導管２６が設置されており、弁２８は、
弁３２の調節下にある導管３０を通して吸着容器
１０の下部と、かつまた、弁３６の調節下にある
導管３４を通して吸着容器１２の下部と接続して
いる。 吸着容器１０と１２の下部に接続された導管３
０と３４は、夫々弁４０の調節下にある導管３８
および弁４４の調節下にある導管４２により、導
管４６に接続されている。導管４６は、弁５０の
調節下にある導管４８により下方ガス拡散容器１
６と、かつまた、弁５４の調節下にある導管５２
により排気導管５６に接続されている。 下方ガス拡散容器１６の透過側には導管５８が
あり、導管５８は排気導管５６に接続され、不透
過側には導管６０が設置されている。導管６０
は、弁６４の調節下にある導管６２に、かつま
た、弁６７の調節下にある導管６６を経て保持タ
ンク６８に接続される。保持タンク６８にはコン
プレツサー７２の吸い込み側に接続された導管７
０が設置されており、コンプレツサー７２の排出
側は導管７４によりサージタンク７６に接続され
る。コンプレツサー７２および関連サージタンク
７６はプロセスに柔軟性を与えるため選択により
設置されるものである。サージタンク７６には、
導管８２に接続される一方向弁８０を含む出口導
管７８が設置される。導管８２は、弁８６の調節
下にある導管８４により吸着容器１０の下部に、
かつまた、弁９０の調節下にある導管８８により
吸着容器１２の下部に接続される。これについて
は後で更に詳細に説明する。 吸着容器１０および１２には、夫々弁９３およ
び９５の調節下にある上方導管９２および９４が
あり、夫々一方向逆止め弁９６および９８を有し
て導管１００に接続される。弁１０２の調節下に
ある導管１００は、弁１０６の調節下にある導管
１０４を通して一方向弁１１０を含むプロダクト
導管１０８と接続される。導管１００は弁１１４
の調節下にある導管１１２により上方ガス拡散容
器１４に接続される。上方ガス拡散容器１４の不
透過側には弁１８の調節下にある導管１１６があ
り、弁１１８はプロダクト導管１０８に接続され
る。また、上方ガス拡散容器１４の透過側には、
コンプレツサー１２２の吸い込み側と流体連結し
ている導管１２０が設置される。コンプレツサー
１２２の排出側は、導管１２４により弁１２１の
調節下にある導管１２８を有する保持タンク１２
６に接続され、かつ、弁１３４および１３６の調
節下にある導管１３０および１３２を通して、
夫々、吸着容器１０および１２の上部導管９２お
よび９４と接続される。一般に、コンプレツサー
１２２および関連する保持タンクまたはサージタ
ンク１２６はプロセスに柔軟性を付与するため選
択により設置されるものである。 上方および下方のガス拡散容器１４および１６
は市販の容器であり、例えばUOPフルイツドシ
ステム社（UOP Fluid Systems、アライド−シ
グナル社（Allied−Signal）の一デイビジヨン）
のものは、ガス拡散バリヤーとしてシリコーンゴ
ム膜を使用しており、モンサントケミカル社
（Monsanto Chemical Conpany）のものはポリ
スルホン膜を使用している。セルに用いる膜は、
窒素分子ガスよりも酸素分子ガスをより速く透過
する。 本発明の一特徴は、均圧化に続く再生時に吸着
カラムから抜き取られた加圧ガス流を下方ガス拡
散容器１６に導入し、昇圧下に吸着質（すなわち
酸素）が比較的少なくなつた不透過ガスと高水準
の吸着質を有する透過ガス流を形成して透過ガス
流を排出することである。昇圧下にある不透過ガ
ス流は、吸着床の直接再加圧、再圧縮後の吸着床
の再加圧、均圧化による部分的再加圧に続く吸着
床の再加圧に使用されるか、或いは原料ガス流と
して使用される。これについては後で更に詳細に
議論する。 本発明の別の特徴は、基準点を突破して製品純
度水準が低下した際にガス富化プロダクト流の一
部を上方ガス拡散容器に導入し、不透過流すなわ
ちプロダクトの設計基準に合致する純度のガス流
と、パージおよび／またはバツクフイル（back
fill）用に用いる透過流を形成することである。
これについても後で更に詳細に議論する。上方お
よび下方のガス拡散装置は両者とも、既存の
PSAプラントに組み込んで使用すると効果的で
ある。 高純度窒素たとえば99.9％の窒素をゲージ圧
413乃至1034kPa（60乃至150psig）の圧力で製造
するためのPSA法で装置を動かし、その際吸着
容器１０は脱着されていて加圧のあと生産できる
状態にあり、一方の吸着容器１２は再生を必要と
し、かつ、吸着容器１０と１２の均圧化を行う前
の状態にあるとする。以下の諸工程を説明する
際、各工程で開放された弁についてのみ指摘する
が、これは残りの弁は閉じていることを意味す
る。この条件で、弁２８，３２，４４，５０，６
７，９３，１０２および１０６を開く。 吸着容器１０の加圧および生産のため、入口導
管２０の常温空気をコンプレツサー１８でゲージ
圧448乃至1068kPA（65乃至155psig）の圧力まで
圧縮し、導管２２によりサージタンク２４に通
し、次に導管２６および３０により吸着容器１０
の下部に通す。この圧縮空気はゲージ圧約379乃
至1068kPA（55乃至155psig）の圧力で吸着容器１
０に導入され、そこで酸素が選択的に吸着されて
窒素富化ガス流を形成し、この流は上方導管９２
により吸着容器１０から抜き取られ、ゲージ圧
413乃至1034kPa（60乃至150psig）の圧力で導管
１００，１０４および１０８により製品貯槽また
は使用者設備（図示していない）に入る。 圧縮空気の吸着容器１０への流れは、窒素プロ
ダクトガス流中の酸素水準が製品用途に許容され
ない予かじめ定められた閾値に達するまで継続さ
れる。例えば、予かじめ定められる閾値が
1200ppmvO₂である際には、窒素富化プロダクト
流の平均酸素含量は1000ppmvO₂である。 このように予定の閾値に達した点で、導管１０
０の窒素富化ガス流（あるいは「テール−エン
ド」（tail−end）プロダクト）は、弁１０６を閉
じることにより上方ガス拡散容器内で精製されて
許容される純度の不透過ガス流となり、導管１１
６で抜き取られてプロダクト導管１０８を通過す
る。透過流（拡散セルを透過する流）は酸素が若
干富化されて低い圧力水準にあるが、弁１２１お
よび１３６の調節下にある導管１２０により、パ
ージガスとして或いは再生中の吸着床のバツクフ
イルとして、ゲージ圧103乃至345kPa（15乃至
50psig）の圧力水準で吸着容器１２に入る。この
条件下では、弁２８，３２，４４，５４，９３，
１０２，１１４，１１８，１２１および１３６は
開いた状態にある。コンプレツサー１２２と関連
する保持タンク１２６は、前述のように選択によ
り設置されたものである。導管１００のガスプロ
ダクト流は、閾値より高い不純物水準を有してお
り、酸素濃度が更に増大して吸着容器１０の停止
およびその再生を必要とする時まで上方ガス拡散
容器１４に継続的に送入される。 富化ガス流生産前の吸着容器１０の加圧開始時
に吸着容器１２は均圧化され、それに伴ないブロ
ーダウンサイクルの準備が整う。この条件下では
弁２８，３２，４４，５０および６７が開いて、
吸着容器１０を加圧し且つ吸着容器１２からのガ
スを導管３４，４２，４６および４８を経由して
適当なガス拡散バリヤー（GDB）を有するガス
拡散容器１６に流入させる。ガス拡散容器１６で
は、酸素は透過膜（GM）を容易に通過する。酸
素富化ガス流（透過流）は、導管５８にて、ガス
拡散セル１６から抜き取られて導管５６から排出
される。ガス拡散容器１６で形成された不透過ガ
ス流の圧力は、ゲージ圧約103kPa（15psig）であ
つて、103乃至517kPaの範囲にある。これについ
ては後で更に詳しく議論する。N₂が予定濃度水
準たとえば79％に達したならば、あるいは不透過
流の圧力水準がゲージ圧103乃至207kPa（15乃至
30psig）に達したならば（一般にはサイクル時間
に対するガス分析値から定められる）、導管４８
内の弁５０を閉じて導管５２内の弁５４を開き、
導管４６内のガス流を導管５６を経由して排出す
る。 前述のように、上方および下方ガス拡散セル１
４および１６で形成される透過流ならびに不透過
ガス流は、圧力スイング吸着技術を用いるガス富
化方法の改善のため様々な方法で使用される。下
方ガス拡散セル１６の利用に関しては、導管６０
の不透過流は導管６２を経由して多床PSAシス
テムの１以上の再生された床（図示していない）
の再加圧に使用され、これは一般に排気と同時
に、但し均圧化の前に行われる。このような再生
された床のサイクル時間によつては、この不透過
流は再加圧時の再生床に導入される前に保持タン
ク６８に入る。尚更には、多床PSAシステムす
なわち２以上の吸着容器のPSAシステムでは、
導管６６内の不透過流はコンプレツサー７２で圧
縮され、プロダクト配送の初期段階用として保持
タンク２４からの圧縮空気の代りに、導管８２か
ら入る。２以上の吸着容器を有する多床PSAシ
ステムでは、斯かる不透過流は、再加圧工程用の
圧縮空気導入の前にプロダクト配送（product
delvery）の初期段階用の圧縮空気の代りに流入
する。 第２図の正常PSA操作に示したように、吸着
容器１０からのプロダクト配送の終期には吸着槽
１２はブローダウンおよび排気を含む再生を受け
ていて、その時点では吸着容器１２は生産の準備
が整つており、吸着容器１０は再生の準備が整つ
ている。このような時には弁３２，３６，１３４
および１３６は開いていて、吸着容器１０と１２
を均圧にする。 均圧化工程は、このような目的に対して十分な
時間、吸着容器１０および１２の吸着材料の容積
および型にもよるが一般に20秒間にわたり実施さ
れる。本発明のPSA法における均圧化工程は、
通常のPSA法におけるものと同一であるが、た
だ再生を受けている吸着容器からの排気を下方ガ
ス拡散セルで処理したあと、および生産中の吸着
容器からのテール−エンドプロダクトを上方ガス
拡散セルで処理したあとで実施される。 操作サイクルの予かじめ選択された時点で、吸
着容器１２を窒素生産モードにし、吸着容器１０
を再生モードにする。この条件下では、弁２８，
３６，４０，５０，６７，９５，１０２および１
０６が開いた状態にある。従つて、導管２２の圧
縮空気は導管２６および３４を通過して吸着容器
１２で、窒素富化プロダクトガス流を形成し、こ
のガス流は吸着容器１２から導管９４を経由して
抜き取られ、導管１００，１０４および１０８を
通過してプロダクト貯槽に入る。吸着容器１０の
吸着剤床の再生すなわちブローダウンと排気は、
吸着容器１２における吸着材床の再生と同様にし
行われる。再生時にはガス流を吸着容器１０から
導管３８にて抜き取り、抜き取られたガス流は前
述のように弁５０の調節下にある導管４６および
４８を通過して下方拡散セル１６に入る。 吸着容器１０の吸着材料床の再生完了時および
上方ガス拡散セル１４でのテールエンドプロダク
トの精製を含む吸着容器１２からのプロダクト配
送の完了時には、弁３２，３６，１３４および１
３６が開いて、均圧化工程を開始する。 前述のように本発明の一特徴に従い、ブローダ
ウン開始時に吸着容器から導管４６に抜き取られ
たガス流はゲージ圧276乃至517kPa（40乃至
75psig）の昇圧下にあつて、一般に導管４６の圧
力がゲージ圧約103kPa（15psig）に達するまで、
弁５０の調節下にある導管４８を通過してガス拡
散容器１６に入る。この圧力に達すると、弁５０
を閉じて弁５４を開き、導管５２を経由してガス
流を大気中に排出する。 実施例 以下の実施例は本発明の方法を説明するもので
あり、本発明の範囲を限定するものと解されては
ならない。 実施例 両床を均圧にしたあと、PSA排気を下方拡散
セル（ポリスルホン膜）に通す。第１図により説
明すると、下方拡散セルからの窒素富化不透過流
を保持タンク６８に送り、引続きコンプレツサー
７２で原料圧まで圧縮する。保持タンク７６内の
圧縮ガスを原料ガスとして生産サイクルにある吸
着容器１０または１２に導入する。 第３図乃至第５図は、BF（西独、ベルクバウ−
フオルシユンク（Bergbau−Forschung）社）炭
素モレキユラーシーブを用い、全サイクルを２分
で操作する窒素PSAにおける時間の関数として
の排気流速、排気圧力および排気酸素濃度を示し
たものである。操作圧はゲージ圧827kPa
（120psig）であり、第３図乃至第５図に示したグ
ラフは排気により再生を受けている床に関するも
のである。ステージカツト（stage cut）の関数
として、ポリスルホン膜に関する窒素濃度（膜を
透過する原料の分率）を第６図に示す。窒素濃度
79％以上の不透過流を原料圧（ゲージ圧827kPa、
120psig）まで圧縮するのに要するエネルギーを
ステージカツトの関として計算した。 不透過流は、大気圧よりも高い圧力にあるので
原料圧で高めるために要する圧縮度は比較的少な
く、これに対して新原料は大気圧から圧縮するの
で、かなりのエネルギーの節約が実現された。第
７図は、拡散セルが無い場合とポリスルホン膜を
有する拡散セルにおけるプロダクト単位量の製造
に要する電力を相対的に示すものである。ステー
ジカツトが50％の場合に最適の性能が得られ、こ
の場合にはポリスルホン膜で約8.5％のエネルギ
ーが節約できたが、下方ガス拡散セルを用いてガ
ス原料の一部を提供することにより実現されたの
である。 実施例 下記実施例は、ガス拡散容器１６で形成される
不透過ガス流を用いて、均圧化の前に吸着床を加
圧するPSA法でのサイクル時間を説明する。（弁
−第１図）

【表】 実施例 下記実施例は、ガス拡散容器１４からの透過流
を用いて一方の吸着床をパージする窒素製造法で
のサイクル時間を説明する。（弁−第１図）

【表】 実施例 下記実施例は、実施例およびに開示した処
理工程を組合せたPSA法におけるサイクル時間
を説明する。（弁−第１図）

【表】

【表】 発明の効果 ガス拡散容器を使用する本発明の方法を用いる
と、拡散セルで用いる膜材料の型にもよるが、単
位プロダクト当りの必要エネルギーが５乃至15％
低下する。 窒素富化プロダクト流の生産におけるPSA処
理技術ということで本発明を説明してきたが、当
業者には本発明が圧力スイング吸着技術を用いる
ガス富化技術そのものに適用可能なることが理解
されるであろう。 本発明をその例示的実施態様と関連して説明し
てきたが、当業者には多数の変更方法が明らかな
ること、および本願はそれらの全ての適合方法ま
たは変更方法を含むものであることが理解されよ
う。従つて、本発明は特許請求の範囲ならびにそ
の均等物のみにより限定される。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の好適実施態様の概念的フロ
ー図である。第２図は、ある程度標準的なPSA
法の全サイクルにおける吸着剤容器の圧力図であ
る。第３図は、本発明の一実施態様である窒素
PSAに関して、代表的な排気流速を時間の関数
として示したグラフである。第４図は、本発明の
第３図実施態様による窒素PSAに関して、代表
的排気圧力を時間の関数として示したグラフであ
る。第５図は、本発明の第３図実施態様に関し
て、代表的酸素濃度を時間の関数として示したグ
ラフである。第６図は、本発明の第３図実施態様
に関して、不透過流中の代表的窒素モル分率を時
間とステージカツトの関数として示したグラフで
ある。第７図は、本発明の第３図実施態様に関し
て、単位プロダクト当りの電力消費をステージカ
ツトの関数として示した図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ ２以上の吸着材料床を吸着段階と脱着段階の
   間を周期的に操作して、前記の吸着段階で一成分
   に富むプロダクトガス流を製造する圧縮ガス混合
   物の前記成分を選択的に富化する方法において、
   前記の脱着段階で吸着域から抜き取られたガス流
   をガス拡散域に導入すること、および前記成分に
   富む不透過ガス流を前記のガス拡散域から回収
   し、該回収されたガスを前記吸着材料床の脱着
   後、他の吸着域と均圧にする前に吸着域に導入す
   ることを特徴とする方法。 ２ 前記の複数吸着材料床間での均圧化のあと、
   脱着を受けている前記吸着域から前記のガス流を
   得る特許請求の範囲第１項に記載の方法。 ３ 前記のガス拡散域で形成された透過ガス流を
   大気に排出する特許請求の範囲第１項に記載の方
   法。 ４ 圧力水準がゲージ圧103KPa（15psig）に達し
   た際もしくは不透過流の窒素濃度が79％未満に達
   した際に、前記ガス拡散域への前記ガス流の導入
   を中断する特許請求の範囲第２項に記載の方法。 ５ ２以上の吸着材料床を吸着段階と脱着段階の
   間を周期的に操作して前記の吸着段階で一成分に
   富むプロダクトガス流を製造する圧縮ガス混合物
   の前記成分を選択的に富化する方法において、前
   記の吸着段階で吸着域から抜き取られた前記プロ
   ダクトガス流を、前記ガス混合物の他成分が予定
   閾値濃度に達した際に、ガス拡散域に導入するこ
   と、および前記ガス拡散域から前記成分に富む不
   透過ガス流をプロダクトとして回収し、 更に、前記ガス拡散域から透過ガス流を回収
   し、排気後および前記吸着域と他の吸着域との均
   圧化の前に、前記透過流を導入する工程を含む方
   法。 ６ ２以上の吸着材料床を吸着段階と脱着段階の
   間で周期的に操作して前記の吸着段階で一成分に
   富むプロダクトガス流を製造する圧縮ガス混合物
   の前記成分を選択的に富化する方法において、吸
   着域からその前記脱着段階で抜き取られたガス流
   をガス拡散域に導入すること、前記ガス拡散域か
   ら前記方法に再循環させるために前記成分に富む
   ガス流を回収すること、 前記のガス拡散域から回収された前記成分に富
   む前記ガス流を、前記の吸着材料床の脱着後、他
   の吸着域と均圧化する前に、前記の吸着域に前記
   ガス富化流を導入すること、 前記吸着段階で前記ガス混合物の他成分が予定
   の閾値濃度に達した際に吸着域から抜き取られる
   前記のプロダクトガス流をガス拡散域に導入する
   こと、および前記のガス拡散域から前記成分に富
   むガス流をプロダクトとして回収することを特徴
   とする方法。 ７ 前記の複数吸着材料床間での均圧化のあと、
   脱着を受けている前記の吸着域から前記ガス流を
   得る特許請求の範囲第６項に記載の方法。 ８ 前記のガス拡散域で形成された透過ガス流を
   大気に排出する特許請求の範囲第６項に記載の方
   法。 ９ 圧力水準がゲージ圧103KPa（15psig）に達し
   た際もしくは窒素濃度が79％に達した際に前記ガ
   ス拡散域への前記ガス流の導入を中断する特許請
   求の範囲第７項に記載の方法。 １０ 複数の吸着材料床を有する２以上の吸着容
   器を含む、ガス混合物の一成分を選択的に富化す
   る圧力スイング吸着法を実施するための装置にお
   いて、前記吸着材料床の脱着工程で前記の吸着容
   器から抜き取られたガス流を受け取り、かつ、前
   記成分に富む不透過ガス流を形成する、前記吸着
   容器に流体連結しているガス拡散セルを包含し、 圧力スイング吸着時に前記の富化ガス流を前記
   吸着容器に通す導管手段を更に有し、 前記吸着容器での前記吸着材料の再生時に、前
   記の富化ガス流を前記吸着容器の一方に通す手段
   を更に有し、 前記の手段が、前記の複数吸着容器間の均圧化
   の前に、前記の富化ガス流を通す改善を特徴とす
   る装置。 １１ 複数の吸着材料床を有する２以上の吸着容
   器を含む、ガス混合物の一成分を選択的に富化す
   る圧力スイング吸着法を実施するための装置にお
   いて、前記の吸着材料床による前記ガス混合物中
   の他成分の吸着時に、前記の吸着容器から前記成
   分に富む不透過ガス流を受け取つて、ガス拡散セ
   ル内に前記成分に富むガス流をプロダクトとして
   形成する、前記吸着容器と流体連結しているガス
   拡散セルを有し、 前記の吸着材料床の脱着時に透過流を吸着容器
   に通す導管手段を更に有し、 前記の導管手段が、前記の吸着材料床の排気時
   に前記透過流を前記吸着容器に通す手段を有する
   装置。