JPH0567004U - レジスト塗布装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 レジスト膜厚を任意かつ容易に、また連続的
に変えることができるレジスト塗布装置を提供する。 【構成】 ローラーを内蔵するレジスト溶解槽と、上下
に可変な熱風吹き出し口と、該熱風吹き出し口を内蔵し
下部から帯状基板材料を取り込む入り口と上部にその出
口とを有する乾燥器からなる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案はレジストの塗布装置に関する。更に詳しくは、リードフレーム製造の エッチング工程での材料にレジスト膜を塗布形成する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

リードフレームにレジストを塗布形成する方法としては、材料をレジスト中に 浸漬し垂直に引き上げて均一なレジスト膜を形成していた。その場合、レジスト の膜厚を制御するためには材料の引き上げ速度、レジスト粘度、レジスト温度等 を変化させて行っていたが引き上げ速度を大きく変える場合には乾燥時間が不足 したり、レジスト粘度を大きく変化させると浴を作り替える必要が生じたり、レ ジスト温度を大きく変えると雰囲気温度との差が広がりレジスト液温の安定性が 低下したりするなど、不都合な点が多々あった。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

本考案の目的は、上記問題点を解消し、レジスト膜厚を任意かつ容易に、また 連続的に変えることができるレジスト塗布装置を提供することである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために本考案は、ローラーを内蔵するレジスト溶解槽と、 上下に可変な熱風吹き出し口と、該熱風吹き出し口を内蔵し下部から帯状基板材 料を取り込む入り口と上部にその出口とを有する乾燥器からなる点に特徴がある 。

【０００５】

【作用】

該レジスト溶解槽は常用のもので良く、外部装置から帯状基板材料を巻きいれ るローラーが納まる大きさであれば良い。該ローラーもまた特に形状については こだわらない。該レジスト溶解槽では、加温装置がついていることが必要である 。該熱風吹き出し口は外部から熱風を送り込む管と接続されていれば良く、その 形状については特に限定されない。該熱風吹き出し口は該乾燥器の中を上下に移 動かつ任意の位置で固定できなければならない。該熱風吹き出し口の数は該帯状 基板材料の大きさ、該乾燥器の大きさ等に合わせて増やすことができる。該乾燥 器の上部と下部とにはそれぞれ該帯状基板材料のための入り口と出口を設けなけ ればならない。

【０００６】

【実施例】

図１にはレジスト塗布装置の概略図を示す。レジスト溶解槽１には水溶性レジ ストがあり、その粘度は１８．０±０．５ｃＰで、温度を２２．０±０．１℃に 設定してある。帯状のＦｅ−Ｎｉ合金の帯状基板材料３をローラー２を介してレ ジスト液中を通過させ乾燥器７へ入り口４を通じて入れ搬送速度を１．０ｍ／分 で出口６から出す。この間、乾燥器７の中に２個ある熱風吹き出し口５から８０ ℃の空気を吹き出させた。熱風吹き出し口の位置を帯状基板材料がレジスト浴解 槽の表面から１、２、３、４分それぞれかかるように設定した。塗布された膜の 厚さと上記の時間との関係を図２に示す。この結果、０．５分から膜厚がほぼ一 定になる２分まで２〜８μｍで任意の厚さを塗布できることが分かった。

【０００７】

【考案の効果】

本考案を行うことにより、レジスト膜厚を任意かつ容易に、また連続的に変え ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１はレジスト塗布装置の概略図を示すもので
ある。

【図２】図２は膜厚と塗布から乾燥開始までの時間との
関係を示す。

【符号の説明】

１ レジスト溶解槽 ２ ローラー ３ 帯状基板材料 ４ 入り口 ５ 熱風吹き出し口 ６ 出口 ７ 乾燥器

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ローラーを内蔵するレジスト溶解槽と、
   上下に可変な熱風吹き出し口と、該熱風吹き出し口を内
   蔵し下部から帯状基板材料を取り込む入り口と上部にそ
   の出口とを有する乾燥器からなることを特徴とするレジ
   スト塗布装置。