JPH0566537U - ランプの輝度測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ランプからの光束のち、照明光学系により試
料上に有効に導かれて、試料を照明することのない光束
を用いて、前記ランプの輝度を測定できる輝度測定装置
を得る。 【構成】 ランプ１からの光束のうち、照明光学系２、
３に入射しない光束を、光学部材４，５を設けることに
よって、輝度センサに導いた。これによって、ランプ１
から放射される光束のうち照明光学系２，３によって照
明に利用されない光束を輝度センサ６に導くようにし
た。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ランプの輝度測定装置に関し、特にＣＣＤの感度を測定するために 、ＣＣＤを均一に照明するような照明装置に用いられるランプの輝度測定装置に 関するものである。

【０００２】

【従来技術】

従来のこの種の照明装置は、例えば、図３に示す様な構造であった。 ランプ１１からの照明光束は、集光光学系１２及び反射光学系１３からなる照 明光学系によって光軸１８に沿って集光され、集光された光束で不図示の試料を 照明する。

【０００３】 このような照明装置おいて、ランプ１１の輝度を測定する場合、できるだけ試 料の照明に影響しないように、照明光学系１２のわきに反射ミラー１７を取付け 、この反射ミラー１７からの光束を輝度センサ１６で受光することによって、ラ ンプ１１の輝度を測定していた。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上記の如き従来技術においては、輝度センサへ導かれる光束は 、照明光学系を通過する光束のうちの周辺部分を通過する光束を反射ミラーを用 いて取り出したものである。この光束自体は、充分、照明用の光束として用いる ことができるものであるから、この光束を輝度センサに導くことにより、照明効 率が低下した。

【０００５】 また、前記反射ミラーを配置することは、反射ミラーの部分だけ暗くなる照明 ムラが発生し、試料上の照明領域全体を均一に照明できなかった。そこで、この ムラを除くため、従来は、視野絞りを用いて、この反射ミラーが配置された部分 を含む照明光学系の周辺部分からの光束をカットしていた。このことによっても 照明効率が低下するという問題があった。

【０００６】 また、輝度センサは、ランプの輝度を測定するに十分な入射光束を必要とする ため、照明光学系は、この輝度センサのための光束と照明のための光束とを放射 する必要があるたり、大きな光学系を形成し、十分な光束を放射させる必要があ った。このため照明装置が大きくなるという問題があった。

【０００７】 本考案はこのような問題に鑑みてなされたものであり、本考案の目的は、ラン プから照射される光束のうち照明光学系により試料上に有効に導かれて、試料を 照明することのない光束から、ランプの輝度測定に必要な光束を得ることにより 、照明用の光束を必要充分なものにすることのできる輝度測定装置を提供するこ とである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

上記問題点の解決の為に請求項１記載の輝度測定装置は、照明光学系（２、３ ）を用いて、ランプ（１）からの光束で試料を照明する照明装置に用いられ、前 記ランプからの光束の輝度を測定する輝度センサ（６）を有するランプの輝度測 定装置において、前記ランプからの照射される光束のうち、前記照明光学系に入 射しない光束を前記輝度センサに導く光学部材（４、５）を設けたものである。

【０００９】 また、請求項２記載の輝度測定装置は、照明光学系を用いて、ランプ（１）か らの光束で試料を照明する照明装置に用いられ、前記ランプからの光束の輝度を 測定する輝度センサ（６）を有するランプの輝度測定装置において、前記照明光 学系は、前記ランプからの光束を反射させる反射光学系（１３）と、前記ランプ からの光束と前記反射光学系により反射した光束とを試料に導く集光光学系（２ ）とを有し、前記反射光学系は、前記ランプからの光束のうち、前記反射光学系 で反射しても前記ランプのフィラメントにより遮られる光束を通過させるための 透光部（１３ａ）を有するものである。

【００１０】

【作用】

上記の如き本考案の構成に於いては、照明するために用いることができない光 束、具体的には、請求項１記載の照明光学系に入射しない第１の光束、もしくは 、請求項２記載の照明光学系の反射光学系を用いてもランプ自身のフィラメント によって遮られる第２の光束を利用してランプの輝度を測定する。

【００１１】 前記第１の光束は、照明光学系の光軸に沿ってランプから放射される光束に比 べて弱い光束であるため、輝度を測定するためには集光する必要があるものの、 集光することによって、ランプの輝度を測定するのに充分な光強度の光束となる 。また、第２の光束は、照明光学系の光軸に沿ってランプから放射される光束で あり、ランプの輝度を測定するのに充分な光強度の光束である。

【００１２】

【実施例】

図１及び図２を用いて、本考案の輝度測定装置を用いた実施例を説明する。尚 、図１は、第１実施例の主要部を示しており、図２は、第２実施例の主要部を示 している。 図１に示すように、第１実施例の照明装置は、ランプ１とコレクタレンズ２と 高照度用反射ミラー３とが光軸８上に配置されている。ランプ１は、フィラメン トの長手方向が光軸８に対してほぼ直角になるように配置されたものであり、光 軸８方向に指向性のある光束を放射する。このランプ１からの放射された直接光 束と、ランプから放射されたのち高照度用反射ミラー３によって反射された反射 光束とがコレクタレンズ２によって集光されて、不図示の試料を照明する。

【００１３】 ランプ１の輝度測定装置は、反射ミラー４と、集光レンズ５と、輝度センサ６ とから構成され、反射ミラー４は、光軸８上のランプ１の位置から、光軸８と直 交する方向に所定距離離れた位置に配置されている。集光レンズ５は、反射ミラ ー４から光軸８と平行な光軸９に沿って配置されている。輝度センサ６は、光軸 ９に沿って集光レンズ５を挟んで反射ミラー４と対向して配置されている。

【００１４】 このような輝度測定装置では、ランプ１から放射される光束のうち、光軸８と 交差し、照明光学系２、３に入射しない光束、つまり、照明に用いることができ ない光束が、反射ミラー４によって、光軸８とほぼ平行な方向に反射される。こ の反射された光束は、集光レンズ５によって丁度輝度センサ６の受光面積程度に 集光され、集光された光束が、輝度センサ６で検出される。この輝度測定装置は 、このようにしてランプ１からの光束を受光し、経時劣化等によるランプ１の輝 度の変化を測定している。

【００１５】 このような第１実施例は、コレクタレンズ２付近に、従来のような反射ミラー １７がなく、レンズ径いっぱいを通過する光束を全て照明に利用することができ る。 また、輝度センサ６に入射する光束は、光軸８に沿って照射される光束に比べ て弱い光であるものの、集光レンズ５によって集光するため、輝度を測定するの に十分な光強度の光束である。これらの光束は、照明するために用いることがで きない光束であり、何ら照明に影響することがない。また、第１実施例の照明装 置は、反射ミラー４によって光束を反射させていることにより、反射ミラーを用 いない場合よりもコンパクトに設計できる。

【００１６】 次に、図２を用いて、第２の実施例の照明装置を説明する。尚、第１実施例と 同じ部材は、同一番号を付与して説明する。 ランプ１は、第１実施例と同様に配置されており、光軸方向に指向性を示す光 束を放射する。ランプ１からの放射された直接光束と、ランプから放射されたの ち高照度用反射ミラー１３によって反射された反射光束とがコレクタレンズ２に よって集光されて、不図示の試料を照明する。

【００１７】 反射ミラー１３は、光軸８上に、輝度センサ６の受光面積程度の大きさの穴１ ３ａが設けられており、輝度センサ６は、ランプ１のフィラメント程度の小さな 受光面積のものであり、この反射ミラーの穴１３ａからの光束が、直接、入射す るように配置されており、この穴を通過した光束でランプ１の輝度を測定する。 第２実施例において、穴１３ａを通過する光束は、照明するために用いられる 光束はほとんどない。なぜなら、第１実施例のような反射光学系３を用いてラン プ１からの光束を反射したとしても、この穴１３ａを通過する光束のうちの大部 分の光束はぼぼ真っ直ぐ光軸８に沿って反射された後、ランプ１のフィラメント に遮られるため、試料を照明することはほとんどない。したがって、この穴１３ ａからの光束を用いても照明への影響は少なく、実質的に問題がない。

【００１８】 しかも、ランプ１の主放射方向の光束であり、光束の強さは輝度測定に十分な 強さであり、第１実施例のようにレンズ５を設けて集光する必要もなく、さらに 、コンパクトに設計することができる。

【００１９】 尚、第１実施例では、反射ミラー４で反射させたのち、集光レンズ５で集光し て、輝度センサ６へ導いたが、集光レンズ５で集光した光を反射ミラーで反射さ せてもよいし、また、反射ミラーを用いずに輝度センサ６の位置を変えてもよい 。

【００２０】

【考案の効果】

以上のように本考案の輝度測定装置は、照明するために用いることができない 光束、具体的には、請求項１記載の照明光学系に入射しない第１の光束、もしく は、請求項２記載の照明光学系の反射光学系を用いてもランプ自身のフィラメン トによって遮られる第２の光束を利用してランプの輝度を測定する。

【００２１】 したがって、ランプと試料との間に設けられる集光光学系に入射した光束から 輝度センサに入射させる光束を必要としないので、この輝度測定装置を用いた照 明装置は照明光学系をコンパクトに形成することができる。 また、従来と同じ光学系を用いた場合、当然のことながら従来より明るい照明 を行う照明装置として利用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 第１実施例の主要部を示す図である。

【図２】 第２実施例の主要部を示す図である。

【図３】 従来例を示す図である。

【符号の説明】

１…ランプ ２…コレクタレンズ ３…高照度反射用ミラー ４…反射ミラー ５…集光レンズ ６…輝度センサ ８…光軸

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】照明光学系を用いて、ランプからの光束で
   試料を照明する照明装置に用いられ、前記ランプからの
   光束の輝度を測定する輝度センサを有するランプの輝度
   測定装置において、 前記ランプからの光束のうち、前記照明光学系に入射し
   ない光束を前記輝度センサに導く光学部材を有し、 前記輝度センサは、前記光学部材からの光束で前記ラン
   プの輝度を測定することを特徴とするランプの輝度測定
   装置。
2. 【請求項２】照明光学系を用いて、ランプからの光束で
   試料を照明する照明装置に用いられ、前記ランプからの
   光束の輝度を測定する輝度センサを有するランプの輝度
   測定装置において、 前記照明光学系は、 前記ランプからの光束を反射させる反射光学系と、 前記ランプからの光束と前記反射光学系により反射した
   光束とを試料に導く集光光学系とを有し、 前記反射光学系は、 前記ランプからの光束のうち、前記反射光学系で反射し
   ても、前記ランプのフィラメントにより遮られる光束を
   通過させるための透光部を有し、 前記輝度センサは、前記透光部を通過した光束で前記ラ
   ンプの輝度を測定することを特徴とするランプの輝度測
   定装置。