JPH0560529B2 - - Google Patents
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- JPH0560529B2 JPH0560529B2 JP61022239A JP2223986A JPH0560529B2 JP H0560529 B2 JPH0560529 B2 JP H0560529B2 JP 61022239 A JP61022239 A JP 61022239A JP 2223986 A JP2223986 A JP 2223986A JP H0560529 B2 JPH0560529 B2 JP H0560529B2
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- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims description 26
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 24
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 11
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 10
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 8
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 3
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000005923 long-lasting effect Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
- 238000009827 uniform distribution Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01G—WEIGHING
- G01G17/00—Apparatus for or methods of weighing material of special form or property
- G01G17/04—Apparatus for or methods of weighing material of special form or property for weighing fluids, e.g. gases, pastes
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- G—PHYSICS
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- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
- G01F1/698—Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters
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- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
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- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
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- G01F1/688—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element
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- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
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Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
流動媒体の質量を測定するための方法と装置で
あつて、少なくとも１つの、媒体流内に配置され
かつ膜として形成された温度依存的な抵抗体を用
い、この抵抗体をホルダの、ほぼ媒体流方向で延
びる面の１部分上に適切に装着し、それによつて
該抵抗体をホルダの長手方向長さにおいて該ホル
ダの少なくとも１つの、媒体流内へ該ホルダを保
持するために働く縁範囲に並んで位置せしめ、そ
して制御係数を以つて１つの閉じたループに接続
された抵抗検出装置によつて温度依存的な抵抗体
の抵抗値を検出し、この温度依存的な抵抗体を制
御係数を以つてのエネルギの供給によつて所定の
抵抗体温度に制御する形式のものに関する。
あつて、少なくとも１つの、媒体流内に配置され
かつ膜として形成された温度依存的な抵抗体を用
い、この抵抗体をホルダの、ほぼ媒体流方向で延
びる面の１部分上に適切に装着し、それによつて
該抵抗体をホルダの長手方向長さにおいて該ホル
ダの少なくとも１つの、媒体流内へ該ホルダを保
持するために働く縁範囲に並んで位置せしめ、そ
して制御係数を以つて１つの閉じたループに接続
された抵抗検出装置によつて温度依存的な抵抗体
の抵抗値を検出し、この温度依存的な抵抗体を制
御係数を以つてのエネルギの供給によつて所定の
抵抗体温度に制御する形式のものに関する。
従来の技術
上気形式の公知装置は、内燃機関によつて吸込
まれた空気質量を測定するために自動車に装着さ
れた場合、当該装置のオン切換え時に、例えば毎
時約10Kgの無負荷吸気量における10％の正確度を
以つて当該装置が作業するようになるまでに不都
合に長いオン切換え時間が過ぎてしまう。この場
合のその遅延現象の１部分は、温度依存的な抵抗
体の、所定の抵抗温度に達するまでの必要加熱量
に規定されている。内燃機関の吸込まれた空気質
量が、例えば毎時約10Kgの無負荷範囲から毎時約
300Kgの全負荷範囲へ、又は毎時約300Kgの全負荷
範囲から毎時約10Kgの無負荷範囲へ突然に変化す
るような場合、所望の正確さが達成されるまで一
定の応動時間が過ぎてしまい、即ち当該装置はそ
の吸気質量の突然の変化に応じた遅延の後に初め
て反応する。吸気質量の変化時のこの不都合に長
いオン切換え時間及び応動時間によつて、例えば
その装置の出力信号が燃料噴射装置の制御のため
に用いられているような場合、噴射された燃料量
が吸込まれた空気量に必ず遅れて後供給されるこ
とになり、これによつて燃料消費量が増えるだけ
でなく、有害な排ガス成分の量も増えてしまう。
実験によつて明らかになつたことは、オン切換え
時及び吸込み空気量の突然の大きな変化時の当該
装置の不都合な特性の原因が、装置のホルダの長
手方向長さに亘つての温度分布の粗調節は制御さ
れたエネルギ供給によつて極めて迅速に行なわれ
るが、ホルダの加熱された縁範囲内での新しい温
度分布の正確な調節形成のためにはある所定の熱
量が必要であり、この熱量は小さいがしかし相応
して長く続く熱流としてホルダの加熱された範囲
から取り出されることにあるということである。
流動する空気質量とは無関係に温度依存的な抵抗
体の抵抗温度は一定に制御されるが、しかし縁範
囲の温度は吸気質量に応じて変化し、従つてホル
ダの長手方向長さで見ての温度分布も吸気質量の
変化に応じて変化せしめられる。ホルダの縁範囲
へ向けての熱量は特に、空気質量は小さい場合、
即ち冷却効率が小さく延いては電気的な加熱効率
がパーセント的に低い場合に特に重要なものとな
り、それによつて測定値を誤らせる。
まれた空気質量を測定するために自動車に装着さ
れた場合、当該装置のオン切換え時に、例えば毎
時約10Kgの無負荷吸気量における10％の正確度を
以つて当該装置が作業するようになるまでに不都
合に長いオン切換え時間が過ぎてしまう。この場
合のその遅延現象の１部分は、温度依存的な抵抗
体の、所定の抵抗温度に達するまでの必要加熱量
に規定されている。内燃機関の吸込まれた空気質
量が、例えば毎時約10Kgの無負荷範囲から毎時約
300Kgの全負荷範囲へ、又は毎時約300Kgの全負荷
範囲から毎時約10Kgの無負荷範囲へ突然に変化す
るような場合、所望の正確さが達成されるまで一
定の応動時間が過ぎてしまい、即ち当該装置はそ
の吸気質量の突然の変化に応じた遅延の後に初め
て反応する。吸気質量の変化時のこの不都合に長
いオン切換え時間及び応動時間によつて、例えば
その装置の出力信号が燃料噴射装置の制御のため
に用いられているような場合、噴射された燃料量
が吸込まれた空気量に必ず遅れて後供給されるこ
とになり、これによつて燃料消費量が増えるだけ
でなく、有害な排ガス成分の量も増えてしまう。
実験によつて明らかになつたことは、オン切換え
時及び吸込み空気量の突然の大きな変化時の当該
装置の不都合な特性の原因が、装置のホルダの長
手方向長さに亘つての温度分布の粗調節は制御さ
れたエネルギ供給によつて極めて迅速に行なわれ
るが、ホルダの加熱された縁範囲内での新しい温
度分布の正確な調節形成のためにはある所定の熱
量が必要であり、この熱量は小さいがしかし相応
して長く続く熱流としてホルダの加熱された範囲
から取り出されることにあるということである。
流動する空気質量とは無関係に温度依存的な抵抗
体の抵抗温度は一定に制御されるが、しかし縁範
囲の温度は吸気質量に応じて変化し、従つてホル
ダの長手方向長さで見ての温度分布も吸気質量の
変化に応じて変化せしめられる。ホルダの縁範囲
へ向けての熱量は特に、空気質量は小さい場合、
即ち冷却効率が小さく延いては電気的な加熱効率
がパーセント的に低い場合に特に重要なものとな
り、それによつて測定値を誤らせる。
発明の課題
本発明の課題は前記公知例の欠点を解除するこ
とである。
とである。
課題を解決するための手段
上記の課題は本発明によれば、方法において
は、ホルダの少なくとも１つの縁範囲がある所定
の縁温度に維持されることによつて解決され、ま
た装置においては、ホルダの少なくとも１つの縁
範囲に少なくとも１つの、媒体流にさらされた金
属製の伝熱部材が伝熱接続されていることによつ
て解決された。
は、ホルダの少なくとも１つの縁範囲がある所定
の縁温度に維持されることによつて解決され、ま
た装置においては、ホルダの少なくとも１つの縁
範囲に少なくとも１つの、媒体流にさらされた金
属製の伝熱部材が伝熱接続されていることによつ
て解決された。
発明の利点
本発明によれば、ホルダの縁範囲をある所定の
縁温度に維持することによつて、ホルダの長手方
向長さでの温度分布を明確に形成しかつ時間によ
つてほとんど変化しないようにし、それによつて
流動媒体の質量の突然の大きな変化の際にも、温
度分布の変化と延いてはオン切換え及び応動時間
に変化が生じないようになつている。特に、ホル
ダの縁範囲の縁温度が流動媒体の温度、例えば内
燃機関における吸気質量の測定のための装置とし
ての使用時には空気の温度に熱的に接続されると
有利であり、この構造のための経費は極めて少な
くかつ同時に、一般的にホルダの縁範囲で行なわ
れる、該ホルダ上に配設された抵抗体膜への電気
的な接点形成が軟ろう接によつて行なわれ得、何
故なら当該装置の装着時にその縁範囲の温度は、
相対的に低い空気温度に常に維持されるからであ
る。
縁温度に維持することによつて、ホルダの長手方
向長さでの温度分布を明確に形成しかつ時間によ
つてほとんど変化しないようにし、それによつて
流動媒体の質量の突然の大きな変化の際にも、温
度分布の変化と延いてはオン切換え及び応動時間
に変化が生じないようになつている。特に、ホル
ダの縁範囲の縁温度が流動媒体の温度、例えば内
燃機関における吸気質量の測定のための装置とし
ての使用時には空気の温度に熱的に接続されると
有利であり、この構造のための経費は極めて少な
くかつ同時に、一般的にホルダの縁範囲で行なわ
れる、該ホルダ上に配設された抵抗体膜への電気
的な接点形成が軟ろう接によつて行なわれ得、何
故なら当該装置の装着時にその縁範囲の温度は、
相対的に低い空気温度に常に維持されるからであ
る。
実施態様
本発明の方法と装置の有利な実施態様は特許請
求の範囲の各従属項に記した通りである。
求の範囲の各従属項に記した通りである。
特にホルダの縁範囲を、伝熱性の良好な材料と
小さな質量とから形成されて媒体流内に配置され
た伝熱部材に熱接続せしめると有利である。更
に、電気的な接続部材としも同時に用いられ得
る、ケーシング固定的な保持体を伝熱部材として
形成すると有利である。
小さな質量とから形成されて媒体流内に配置され
た伝熱部材に熱接続せしめると有利である。更
に、電気的な接続部材としも同時に用いられ得
る、ケーシング固定的な保持体を伝熱部材として
形成すると有利である。
また本発明による装置に関する有利な実施態様
によれば、特に短いオン切換え及び応動時間を形
成するために、ホルダの長手方向長さで見て温度
依存的な抵抗体の両側にそれぞれ１つの、膜とし
て形成された保護加熱抵抗体が配置されておりか
つ、前記の温度依存的な抵抗体の抵抗温度と一致
する温度にほぼ維持されているとよい。
によれば、特に短いオン切換え及び応動時間を形
成するために、ホルダの長手方向長さで見て温度
依存的な抵抗体の両側にそれぞれ１つの、膜とし
て形成された保護加熱抵抗体が配置されておりか
つ、前記の温度依存的な抵抗体の抵抗温度と一致
する温度にほぼ維持されているとよい。
実施例
第１図では例えば内燃機関の吸気管である、媒
体が貫流する管に符号１０が付されており、また
媒体の流れ方向が矢印１１で示されている。しか
し本発明による装置の作動の説明のためにはその
流れ方向が逆でも同じである。この流動媒体内に
温度に応じて作用する抵抗体RHが配置されてお
り、この低抗体RHは有利にはプラスの温度係数
を有し、管１０を通る媒体の流過質量を捕捉する
ために働いている。この抵抗体RHは、第１図に
は示されていないが有利には電気的に絶縁された
ホルダ（基体）上の層状低抗体又は膜状抵抗体と
して形成され、図示の例ではブリツジ回路として
形成された抵抗検出装置１２の構成部材である。
この抵抗検出装置１２は更に低抗体RK，R2，R3
によつて補完されている。この抵抗測定ブリツジ
のベース点Ａから出発してそれぞれのブリツジ分
技に抵抗体R2，RH及びR3，RKが直列で接続され
ており、また各抵抗体RHとRKの接続導線が点Ｄ
で集合される。制御増幅器１３に、低抗体R2と
RHとの接続点としての点Ｂからの信号と、抵抗
体B3とRKとの接続点としての点Ｃからの信号が
送られる。第１図の実施例では制御増幅器１３が
差異増幅器として形成され、しかし本発明はこの
ような差異増幅器に限定されるものではなく、一
般的にあらゆるアナログ及びデジタル式の制御関
数に適用可能である。
体が貫流する管に符号１０が付されており、また
媒体の流れ方向が矢印１１で示されている。しか
し本発明による装置の作動の説明のためにはその
流れ方向が逆でも同じである。この流動媒体内に
温度に応じて作用する抵抗体RHが配置されてお
り、この低抗体RHは有利にはプラスの温度係数
を有し、管１０を通る媒体の流過質量を捕捉する
ために働いている。この抵抗体RHは、第１図に
は示されていないが有利には電気的に絶縁された
ホルダ（基体）上の層状低抗体又は膜状抵抗体と
して形成され、図示の例ではブリツジ回路として
形成された抵抗検出装置１２の構成部材である。
この抵抗検出装置１２は更に低抗体RK，R2，R3
によつて補完されている。この抵抗測定ブリツジ
のベース点Ａから出発してそれぞれのブリツジ分
技に抵抗体R2，RH及びR3，RKが直列で接続され
ており、また各抵抗体RHとRKの接続導線が点Ｄ
で集合される。制御増幅器１３に、低抗体R2と
RHとの接続点としての点Ｂからの信号と、抵抗
体B3とRKとの接続点としての点Ｃからの信号が
送られる。第１図の実施例では制御増幅器１３が
差異増幅器として形成され、しかし本発明はこの
ような差異増幅器に限定されるものではなく、一
般的にあらゆるアナログ及びデジタル式の制御関
数に適用可能である。
制御関数の出力値は抵抗検出装置の点Ｄに戻し
案内され、それによつて全体として閉じたループ
が形成されている。抵抗検出装置１２の各低抗体
の抵抗値は一般的に、その抵抗体RK，R3が抵抗
体RH，R2よりも著しく高い値を受容するように
選択されている。
案内され、それによつて全体として閉じたループ
が形成されている。抵抗検出装置１２の各低抗体
の抵抗値は一般的に、その抵抗体RK，R3が抵抗
体RH，R2よりも著しく高い値を受容するように
選択されている。
抵抗検出装置１２はブリツジ回路によつてのみ
でなく他の抵抗測定回路によつて形成されてもよ
い。従つて本発明はブリツジ回路に限定されるの
ではなく、例えばアメリカ合衆国特許第4297881
号明細書で公知のような特にブリツジに類似の測
定回路にも関係する。
でなく他の抵抗測定回路によつて形成されてもよ
い。従つて本発明はブリツジ回路に限定されるの
ではなく、例えばアメリカ合衆国特許第4297881
号明細書で公知のような特にブリツジに類似の測
定回路にも関係する。
次に本発明の原理的な作動形式を説明する。
制御増幅器１３の出力電流によつて、温度に依
存する抵抗体RHが加熱され、この際の該抵抗体
の抵抗温度は主に各ブリツジ低抗体の関係によつ
て規定される。この温度依存の抵抗体RHから流
出する熱量は閉じたループにを介して常に、流入
する電流の変化によつて補償されており、それに
よつて抵抗体RHは所定の抵抗温度又は所定の抵
抗値に維持される。加熱電流、加熱出力又は制御
増幅器１３の出力電流も流動媒体の流過質量のた
めの基準である。
存する抵抗体RHが加熱され、この際の該抵抗体
の抵抗温度は主に各ブリツジ低抗体の関係によつ
て規定される。この温度依存の抵抗体RHから流
出する熱量は閉じたループにを介して常に、流入
する電流の変化によつて補償されており、それに
よつて抵抗体RHは所定の抵抗温度又は所定の抵
抗値に維持される。加熱電流、加熱出力又は制御
増幅器１３の出力電流も流動媒体の流過質量のた
めの基準である。
測定中の流動媒体の変動する温度によつて、温
度に依存する抵抗体RHの抵抗温度又は抵抗値も
影響されるので、質量流過量の測定に対するこの
媒体温度変動の影響を補償するためにやはり抵抗
体RKも流動媒体にさらされている。この抵抗体
RKも有利には膜状又は層状抵抗体としての基体
の上に例えば蒸着されて形成されている。
度に依存する抵抗体RHの抵抗温度又は抵抗値も
影響されるので、質量流過量の測定に対するこの
媒体温度変動の影響を補償するためにやはり抵抗
体RKも流動媒体にさらされている。この抵抗体
RKも有利には膜状又は層状抵抗体としての基体
の上に例えば蒸着されて形成されている。
流過量変化量に温度依存的な抵抗体RHの三次
元範囲に亘つての温度分布が著しく変化すること
を回避するためには特別な手段が必要である。
元範囲に亘つての温度分布が著しく変化すること
を回避するためには特別な手段が必要である。
理論及び実験による研究によつて示されたよう
に、そのためには温度依存的な抵抗体RHへのあ
る程度の保護加熱が適しており、それによつて抵
抗体RHの近くの周囲が、瞬間の流速や被測定媒
体の温度によつて規定されたその都度の温度より
上に維持される。
に、そのためには温度依存的な抵抗体RHへのあ
る程度の保護加熱が適しており、それによつて抵
抗体RHの近くの周囲が、瞬間の流速や被測定媒
体の温度によつて規定されたその都度の温度より
上に維持される。
図示の実施例による装置には２つの保護加熱抵
抗体RSが配設されており、この各抵抗体RSは温
度依存的な抵抗体RHと同じホルダ上に配置され
かつ該抵抗体RHを取り囲んでいる。保護加熱の
ためのこの抵抗体RSは有利には抵抗体RH及びRK
と同様の技術において製造されかつやはり同じ方
形抵抗体である。この抵抗体RSは制御増幅器１
３の出力大きさによつて負荷されかつ所謂受け身
に作動し、即ち抵抗体RHの抵抗温度に応じた所
定の温度値によつて制御される。抵抗体RSの温
度を抵抗体RHの抵抗温度と合致せしめるために、
これらの抵抗体の同一の面抵抗に基づいてかつ各
抵抗体の適切な配置関係のための配慮がなされて
いる。
抗体RSが配設されており、この各抵抗体RSは温
度依存的な抵抗体RHと同じホルダ上に配置され
かつ該抵抗体RHを取り囲んでいる。保護加熱の
ためのこの抵抗体RSは有利には抵抗体RH及びRK
と同様の技術において製造されかつやはり同じ方
形抵抗体である。この抵抗体RSは制御増幅器１
３の出力大きさによつて負荷されかつ所謂受け身
に作動し、即ち抵抗体RHの抵抗温度に応じた所
定の温度値によつて制御される。抵抗体RSの温
度を抵抗体RHの抵抗温度と合致せしめるために、
これらの抵抗体の同一の面抵抗に基づいてかつ各
抵抗体の適切な配置関係のための配慮がなされて
いる。
この装置の別の利点は、必要な加熱出力の大き
な部分が抵抗体RH，R2を有するブリツジ分枝か
ら取り出されて保護加熱抵抗体RSへ供給される
という事実により形成される。従つて抵抗体R2
に生じる損失出力は減少せしめられる。更に別の
手段、即ち制御増幅器１３の出力電流を測定値と
して用いることは、空気温度の変化時の装置全体
の出力成果のためにやはり有利に作用する。更に
測定値UBは高い信号ストロークを有し、これは
引続いての測定データ処理の正確さのために有利
に作用する。
な部分が抵抗体RH，R2を有するブリツジ分枝か
ら取り出されて保護加熱抵抗体RSへ供給される
という事実により形成される。従つて抵抗体R2
に生じる損失出力は減少せしめられる。更に別の
手段、即ち制御増幅器１３の出力電流を測定値と
して用いることは、空気温度の変化時の装置全体
の出力成果のためにやはり有利に作用する。更に
測定値UBは高い信号ストロークを有し、これは
引続いての測定データ処理の正確さのために有利
に作用する。
第２図には第１図による装置の１実施例が示さ
れている。例えばセラミツクで製造されたホルダ
２２の下面には符号２０、そして上面には符号２
１が付されている。ホルダ２２の寸法は約４mmの
幅と約25mmの長さＬとを有する。またホルダ２２
の上面と下面との被覆部は抵抗体RHとRSとに関
して左右対称的に形成されており、この際に約10
mmの長さと約0.5から２mmの幅とを有する温度依
存的な抵抗体RHが中央に配置されている。また
各抵抗体RSが抵抗体RHの両側に蒸着されて、図
示の例では約1.5mmの幅と約20mmの長さとを有し
ている。しかし注意すべきことは、膜状抵抗体
RHとRSとの長さの比がブリツジ抵抗体RHとR2と
の抵抗比に応じて設定されることである。その絶
対的な長さは抵抗体RHの、特に測定場所におけ
る流れ状態に応じて設定される必要な統合長さに
よつて規定される。図示の例は左右対称的なブリ
ツジ構造に関している。図面に斜線を以つて示さ
れた面は低いオームの帯状導電体を示し、この際
に符号３０，３１，３２，３３が抵抗体RHに関
しての電気的接続のための帯状導電体を示してい
る。これと逆に各抵抗体RSのために必要な導電
体には符号３４，３５が付されている。接続部３
０と３３とは抵抗体RSとRHと用に同一であり第
１図の点Ｄに相応する。
れている。例えばセラミツクで製造されたホルダ
２２の下面には符号２０、そして上面には符号２
１が付されている。ホルダ２２の寸法は約４mmの
幅と約25mmの長さＬとを有する。またホルダ２２
の上面と下面との被覆部は抵抗体RHとRSとに関
して左右対称的に形成されており、この際に約10
mmの長さと約0.5から２mmの幅とを有する温度依
存的な抵抗体RHが中央に配置されている。また
各抵抗体RSが抵抗体RHの両側に蒸着されて、図
示の例では約1.5mmの幅と約20mmの長さとを有し
ている。しかし注意すべきことは、膜状抵抗体
RHとRSとの長さの比がブリツジ抵抗体RHとR2と
の抵抗比に応じて設定されることである。その絶
対的な長さは抵抗体RHの、特に測定場所におけ
る流れ状態に応じて設定される必要な統合長さに
よつて規定される。図示の例は左右対称的なブリ
ツジ構造に関している。図面に斜線を以つて示さ
れた面は低いオームの帯状導電体を示し、この際
に符号３０，３１，３２，３３が抵抗体RHに関
しての電気的接続のための帯状導電体を示してい
る。これと逆に各抵抗体RSのために必要な導電
体には符号３４，３５が付されている。接続部３
０と３３とは抵抗体RSとRHと用に同一であり第
１図の点Ｄに相応する。
第２図では抵抗体RHとRSとがそれぞれ２つの
抵抗体に分けられている。この手段によつて抵抗
体RHとRSとがホルダ２２の両側に装着可能であ
り、これによつて抵抗体RHの抵抗温度の十分な
均一な分配が保証されている。
抵抗体に分けられている。この手段によつて抵抗
体RHとRSとがホルダ２２の両側に装着可能であ
り、これによつて抵抗体RHの抵抗温度の十分な
均一な分配が保証されている。
各抵抗体RHは下面２０と上面２１との上に並
列配置されている。抵抗体RHの保護加熱のため
に働く各抵抗体RSはそれぞれ対ごとに、ホルダ
２２の下面２０と上面２１との上の抵抗体RHを
取り囲んでいる。この各保護加熱抵抗体RSも図
示の例では並列配置されている。当然ながらこれ
らの低抗体は直列配置されてもよい。
列配置されている。抵抗体RHの保護加熱のため
に働く各抵抗体RSはそれぞれ対ごとに、ホルダ
２２の下面２０と上面２１との上の抵抗体RHを
取り囲んでいる。この各保護加熱抵抗体RSも図
示の例では並列配置されている。当然ながらこれ
らの低抗体は直列配置されてもよい。
下面２０の上の各帯状導電体３０，３４と下面
２１上の各帯状導電体３３，３５とは、ホルダ２
２の長手方向長さＬにおいて互いに向い合つてホ
ルダ２２の各縁範囲３７，３８内に配置されてい
る。ホルダ２２の縁範囲３７又は３８は本発明に
よれば所定の縁温度に維持されなければならず、
特にその縁温度は流動媒体の温度、即ち例えば内
燃機関の吸気管内に用いられた場合は吸込み空気
質量体の温度に維持されなければならない。
２１上の各帯状導電体３３，３５とは、ホルダ２
２の長手方向長さＬにおいて互いに向い合つてホ
ルダ２２の各縁範囲３７，３８内に配置されてい
る。ホルダ２２の縁範囲３７又は３８は本発明に
よれば所定の縁温度に維持されなければならず、
特にその縁温度は流動媒体の温度、即ち例えば内
燃機関の吸気管内に用いられた場合は吸込み空気
質量体の温度に維持されなければならない。
どのように縁範囲３７，３８が所定の縁温度に
維持されるかは第３図の例に示されている。第３
図の装置はホルダ２２を有し、そのホルダ２２の
下面２０と上面２１との上にはそれぞれ１つの、
温度に依存した抵抗体RHが当該ホルダの中央範
囲内に配置されており、この際に膜として形成さ
れた各抵抗体RHは例えば電気的に並列接続され
ている。第３図の実施例においては、抵抗体RH
を取り囲む保護加熱抵抗体RSは配設されていな
い。ホルダ２２の縁範囲３７，３８内では、下面
２０上に電気的な帯状導電体３０，３４が、また
上面２１上に同じく帯状導電体３３，３５が配置
されている。ホルダ２２は、その抵抗体RHを受
容する面ができるだけ媒体流れ方向１１に対して
ほぼ平行に延びるように媒体流内に配置されてい
る。媒体流内でのホルダ２２の支承は少なくとも
１つの保持体４０によつて行なわれ、この保持体
４０は板ばね形状に形成されてその一方端をケー
シング４１に、例えば管又は吸気管１０の壁部に
固定されている。第３図の実施例に示されたよう
に、ホルダ２２の支承のために保持体４０を２つ
用いることが可能である。この保持体４０は金属
から成り可及的に良好な伝熱性と導電性とを有
し、それによつて該保持体４０を介しての両抵抗
体RHの電気的接続が行なわれ得る。このために
保持体４０は媒体流れ方向１１で突出しかつＵ字
形の変形部４２を有しており、この変形部４２が
縁範囲３７，３８を部分的に取り囲みかつろう接
部４３によつて帯状導電体３０，３３，３４，３
５との良好な電気的接続を形成している。
維持されるかは第３図の例に示されている。第３
図の装置はホルダ２２を有し、そのホルダ２２の
下面２０と上面２１との上にはそれぞれ１つの、
温度に依存した抵抗体RHが当該ホルダの中央範
囲内に配置されており、この際に膜として形成さ
れた各抵抗体RHは例えば電気的に並列接続され
ている。第３図の実施例においては、抵抗体RH
を取り囲む保護加熱抵抗体RSは配設されていな
い。ホルダ２２の縁範囲３７，３８内では、下面
２０上に電気的な帯状導電体３０，３４が、また
上面２１上に同じく帯状導電体３３，３５が配置
されている。ホルダ２２は、その抵抗体RHを受
容する面ができるだけ媒体流れ方向１１に対して
ほぼ平行に延びるように媒体流内に配置されてい
る。媒体流内でのホルダ２２の支承は少なくとも
１つの保持体４０によつて行なわれ、この保持体
４０は板ばね形状に形成されてその一方端をケー
シング４１に、例えば管又は吸気管１０の壁部に
固定されている。第３図の実施例に示されたよう
に、ホルダ２２の支承のために保持体４０を２つ
用いることが可能である。この保持体４０は金属
から成り可及的に良好な伝熱性と導電性とを有
し、それによつて該保持体４０を介しての両抵抗
体RHの電気的接続が行なわれ得る。このために
保持体４０は媒体流れ方向１１で突出しかつＵ字
形の変形部４２を有しており、この変形部４２が
縁範囲３７，３８を部分的に取り囲みかつろう接
部４３によつて帯状導電体３０，３３，３４，３
５との良好な電気的接続を形成している。
本発明によれば縁範囲３７，３８はある所定の
縁温度、特に流動媒体の温度に維持されなければ
ならない。このためには媒体流内に突入する保持
体４０が伝熱部材として働き、この伝熱部材は、
媒体流の温度の変化時にやはりその温度を迅速に
受容可能とするために、良好な伝熱性の他に可及
的に少ない質量を有さなければならない。保持体
４０の熱交換面を拡大するために有利には該保持
体４０Ｕ字形の変形部４２の、ケーシング４１と
反対側に伝熱面４４を連続配設するとよい。この
伝熱面４４は保持体４０に一体成形されているか
又はこの保持体４０と良好に温度接続されてい
る。
縁温度、特に流動媒体の温度に維持されなければ
ならない。このためには媒体流内に突入する保持
体４０が伝熱部材として働き、この伝熱部材は、
媒体流の温度の変化時にやはりその温度を迅速に
受容可能とするために、良好な伝熱性の他に可及
的に少ない質量を有さなければならない。保持体
４０の熱交換面を拡大するために有利には該保持
体４０Ｕ字形の変形部４２の、ケーシング４１と
反対側に伝熱面４４を連続配設するとよい。この
伝熱面４４は保持体４０に一体成形されているか
又はこの保持体４０と良好に温度接続されてい
る。
別の実施例によれば縁範囲３７，３８の近く
に、鎖線で示されたプレート状の伝熱部材４６が
配置されており、この伝熱部材４６は良好な伝熱
性を有する材料から成りかつ、例えば保持体４０
の伝熱面４４と結合されているか又はＵ字形の変
形部４２に一体成形されており、縁範囲３７，３
８の縁温度の温度適応化に関する前述の保持体４
０の機能を引き受けるか又は補つている。第３図
に示された実施例は当然、第２図に示された保護
加熱抵抗体RSを備えた装置の構造にも転用可能
である。
に、鎖線で示されたプレート状の伝熱部材４６が
配置されており、この伝熱部材４６は良好な伝熱
性を有する材料から成りかつ、例えば保持体４０
の伝熱面４４と結合されているか又はＵ字形の変
形部４２に一体成形されており、縁範囲３７，３
８の縁温度の温度適応化に関する前述の保持体４
０の機能を引き受けるか又は補つている。第３図
に示された実施例は当然、第２図に示された保護
加熱抵抗体RSを備えた装置の構造にも転用可能
である。
本発明によればホルダ２２の縁範囲３７，３８
が所定の縁温度、特に媒体流の温度に維持され、
この温度が温度依存的な抵抗体RHにおける抵抗
温度のように予め規定されるので、流動媒体の質
量の変化時にもホルダ２２の長手方向長さＬに亘
つて同一に留まる温度分布が形成され、それによ
つてオン切換え時間が短くなるだけでなく、媒体
流の質量の突然の変化への応動時間も短くなり、
そのような突然の変化とは特に、例えば自動車の
運転者がアクセルを離すことによつて車両内で全
負荷範囲から無負荷位置への戻りが行なわれた時
の、流動媒体の質量の突然の減少発生などであ
る。本発明による装置におけるオン切換え及び応
動時間の短縮化は、ホルダ２２の長手方向長さに
おける媒体流の変化時に温度分布が十分に維持さ
れ、それによつて流過媒体の冷却率変化への適合
のために加熱電流を必要としないことによつて可
能となつている。更にホルダ２２の、電気的な接
続のために働く縁範囲３７，３８が流動媒体の温
度、即ち一般的には空気の温度にあり、それによ
つてこの比較的に低い温度にある縁範囲３７，３
８への接点形成が軟質ろう接によつて行なわれ得
ることも有利である。
が所定の縁温度、特に媒体流の温度に維持され、
この温度が温度依存的な抵抗体RHにおける抵抗
温度のように予め規定されるので、流動媒体の質
量の変化時にもホルダ２２の長手方向長さＬに亘
つて同一に留まる温度分布が形成され、それによ
つてオン切換え時間が短くなるだけでなく、媒体
流の質量の突然の変化への応動時間も短くなり、
そのような突然の変化とは特に、例えば自動車の
運転者がアクセルを離すことによつて車両内で全
負荷範囲から無負荷位置への戻りが行なわれた時
の、流動媒体の質量の突然の減少発生などであ
る。本発明による装置におけるオン切換え及び応
動時間の短縮化は、ホルダ２２の長手方向長さに
おける媒体流の変化時に温度分布が十分に維持さ
れ、それによつて流過媒体の冷却率変化への適合
のために加熱電流を必要としないことによつて可
能となつている。更にホルダ２２の、電気的な接
続のために働く縁範囲３７，３８が流動媒体の温
度、即ち一般的には空気の温度にあり、それによ
つてこの比較的に低い温度にある縁範囲３７，３
８への接点形成が軟質ろう接によつて行なわれ得
ることも有利である。
図面は本発明の実施例を示すものであつて、第
１図は本発明による装置の回路図、第２図は第１
図の装置の伝熱性のある各膜部材の、ホルダ上へ
の幾何学的な配設に関する１実施例を示す図、第
３図は伝熱部材を有する本発明による装置の斜視
図である。 １０……管（吸気管）、１１……矢印（媒体流
れ方向）、１２……抵抗検出装置、１３……制御
増幅器、２０……下面、２１……上面、２２……
ホルダ、３０，３１，３２，３３，３４，３５…
…帯状導電体、３７，３８……縁範囲、４０……
保持体、４１……ケーシング、４２……変形部、
４３……ろう接部、４４……伝熱面、４６……伝
熱部材、Ａ……ベース点、Ｂ，Ｃ……点（接続
点）、Ｄ……点、Ｌ……長手方向長さ、R2，R3，
RH，RK……抵抗体、RS……保護加熱抵抗体、UB
……測定値。
１図は本発明による装置の回路図、第２図は第１
図の装置の伝熱性のある各膜部材の、ホルダ上へ
の幾何学的な配設に関する１実施例を示す図、第
３図は伝熱部材を有する本発明による装置の斜視
図である。 １０……管（吸気管）、１１……矢印（媒体流
れ方向）、１２……抵抗検出装置、１３……制御
増幅器、２０……下面、２１……上面、２２……
ホルダ、３０，３１，３２，３３，３４，３５…
…帯状導電体、３７，３８……縁範囲、４０……
保持体、４１……ケーシング、４２……変形部、
４３……ろう接部、４４……伝熱面、４６……伝
熱部材、Ａ……ベース点、Ｂ，Ｃ……点（接続
点）、Ｄ……点、Ｌ……長手方向長さ、R2，R3，
RH，RK……抵抗体、RS……保護加熱抵抗体、UB
……測定値。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 流動媒体の質量を測定するための方法であつ
て、少なくとも１つの、媒体流内に配置されかつ
膜として形成された温度依存的な抵抗体を用い、
この抵抗体をホルダの、ほぼ媒体流方向で延びる
面の１部分上に適切に装着し、それによつて該抵
抗体をホルダの長手方向長さにおいて該ホルダの
少なくとも１つの、媒体流内へ該ホルダを保持す
るために働く縁範囲に並んで位置せしめ、そして
制御係数を以つて１つの閉じたループに接続され
た抵抗検出装置によつて温度依存的な抵抗体の抵
抗値を検出し、この温度依存的な抵抗体を制御係
数を以つてのエネルギの供給によつて所定の抵抗
体温度に制御する形式のものにおいて、ホルダ２
２の少なくとも１つの縁範囲３７，３８がある所
定の縁温度に維持されることを特徴とする、流動
媒体の質量を測定するための方法。 ２ ホルダ２２の縁範囲３７，３８の縁温度を流
動媒体の温度に維持する、特許請求の範囲第１項
記載の方法。 ３ ホルダ２２の各縁範囲３７，３８を媒体流れ
方向１１に配置する、特許請求の範囲第２項記載
の方法。 ４ 媒体流れ方向１１に少なくとも１つの金属製
の伝熱部材４０，４４，４６を配置し、この伝熱
部材をホルダ２２の縁範囲３７，３８と伝熱接続
する、特許請求の範囲第２項記載の方法。 ５ 伝熱部材４０，４４，４６を良好な伝熱性を
有する材料と少ない質量とを以つて形成する、特
許請求の範囲第４項記載の方法。 ６ 伝熱部材として少なくとも１つの、ホルダ２
２の縁範囲３７，３８に係合する、ケーシング固
定的な保持体４０，４４を用いる、特許請求の範
囲第４項記載の方法。 ７ ホルダ２２の長手方向長さＬで見て温度依存
的な抵抗体RHの両側にそれぞれ１つの、膜とし
て形成された保護加熱抵抗RSを配置しかつ、前
記の温度依存的な抵抗体RHの抵抗温度と一致す
る温度にほぼ維持する、特許請求の範囲第１項か
ら第６項までのいずれか１項記載の方法。 ８ 流動媒体の質量を測定するための装置であつ
て、少なくとも１つの、媒体流内に配置されかつ
膜として形成された温度依存的な抵抗体が用いら
れ、この抵抗体がホルダの、ほぼ媒体流方向で延
びる面の１部分上に適切に装着されており、それ
によつて該抵抗体がホルダの長手方向長さにおい
て該ホルダの少なくとも１つの、媒体流内へ該ホ
ルダを保持するために働く縁範囲に並んで位置せ
しめられており、そして制御係数を以つて１つの
閉じたループに接続された抵抗検出装置によつて
温度依存的な抵抗体の抵抗値が検出され、この温
度依存的な抵抗体が制御係数を以つてのエネルギ
の供給によつて所定の抵抗体温度に制御される形
式のものにおいて、ホルダ２２の少なくとも１つ
の縁範囲３７，３８に、少なくとも１つの、媒体
流１１にさらされた金属製の伝熱部材４０，４
４，４６が伝熱接続されていることを特徴とす
る、流動媒体の質量を測定するための装置。 ９ 伝熱部材が良好な伝熱性を有する材料と少な
い質量とから形成されている、特許請求の範囲第
８項記載の装置。 １０ 伝熱部材として少なくとも１つの、ホルダ
２２の１つの縁範囲３７，３８に係合するケーシ
ング固定された保持体４０，４４が用いられてい
る、特許請求の範囲第８項記載の装置。 １１ 伝熱部材として形成された保持体４０，４
４が同時に電気的な接続部として働いている、特
許請求の範囲第１０項記載の装置。 １２ ホルダ２２の長手方向長さＬで見て温度依
存的な抵抗体RHの両側にそれぞれ１つの、膜と
して形成された保護加熱抵抗体RSが配置されて
おりかつ、前記の温度依存的な抵抗体RHの抵抗
温度と一致する温度にほぼ維持されている、特許
請求の範囲第８項から第１１項までのいずれか１
項記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19853504082 DE3504082A1 (de) | 1985-02-07 | 1985-02-07 | Verfahren und vorrichtung zur messung der masse eines stroemenden mediums |
| DE3504082.3 | 1985-02-07 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62123316A JPS62123316A (ja) | 1987-06-04 |
| JPH0560529B2 true JPH0560529B2 (ja) | 1993-09-02 |
Family
ID=6261853
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61022239A Granted JPS62123316A (ja) | 1985-02-07 | 1986-02-05 | 流動媒体の質量を測定するための方法と装置 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4715224A (ja) |
| EP (1) | EP0190454B1 (ja) |
| JP (1) | JPS62123316A (ja) |
| KR (1) | KR930011169B1 (ja) |
| AU (1) | AU574554B2 (ja) |
| BR (1) | BR8600511A (ja) |
| DE (2) | DE3504082A1 (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63177023A (ja) * | 1987-01-19 | 1988-07-21 | Nippon Soken Inc | 流量センサ |
| JPS6488218A (en) * | 1987-09-30 | 1989-04-03 | Hitachi Ltd | Heat ray type air flowmeter |
| KR890010539A (ko) * | 1987-12-08 | 1989-08-09 | 시끼모리야 | 감열식 유량센서 |
| JPH0620974Y2 (ja) * | 1988-12-16 | 1994-06-01 | 三菱電機株式会社 | 感熱式流量センサ |
| DE8903370U1 (ja) * | 1989-03-17 | 1990-07-19 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen, De | |
| DE19527861B4 (de) * | 1995-07-29 | 2010-09-30 | Robert Bosch Gmbh | Massenflusssensor sowie Verfahren zur Herstellung |
| KR100250731B1 (ko) * | 1996-12-28 | 2000-05-01 | 김영환 | 반도체 소자의 층간 절연막 형성방법 |
| US6411192B1 (en) * | 1998-12-28 | 2002-06-25 | Lansense, Llc | Method and apparatus for sensing and measuring plural physical properties, including temperature |
| JP2003106887A (ja) * | 2001-09-28 | 2003-04-09 | Yamatake Corp | 流量計測装置 |
| AT503955B1 (de) * | 2006-12-21 | 2008-02-15 | Vaillant Austria Gmbh | Strömungssensor und verfahren zur überprüfung und zum betrieb eines solchen strömungssensors |
| JP2014119257A (ja) * | 2012-12-13 | 2014-06-30 | Mitsubishi Materials Corp | 気流センサ |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3592055A (en) * | 1969-02-12 | 1971-07-13 | Thermo Systems Inc | Directional sensor |
| US3900819A (en) * | 1973-02-07 | 1975-08-19 | Environmental Instruments | Thermal directional fluid flow transducer |
| US4024761A (en) * | 1976-06-11 | 1977-05-24 | Kyma Corporation | Directional hot film anemometer transducer |
| DE2751196C2 (de) * | 1977-11-16 | 1985-06-20 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Vorrichtung zur Luftmengenmessung |
| DE2919433A1 (de) * | 1979-05-15 | 1980-12-04 | Bosch Gmbh Robert | Messonde zur messung der masse und/oder temperatur eines stroemenden mediums und verfahren zu ihrer herstellung |
| JPS56108908A (en) * | 1980-01-31 | 1981-08-28 | Hitachi Ltd | Detector for sucked air flow rate of internal combustion engine |
| JPS57173758A (en) * | 1981-04-20 | 1982-10-26 | Hitachi Ltd | Hot wire type current meter |
| US4354829A (en) * | 1981-04-29 | 1982-10-19 | Airco, Inc. | Methods and apparatus for calcining carbonaceous material |
| DE3135793A1 (de) * | 1981-09-10 | 1983-03-24 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Verfahren und vorrichtung zur messung der masse eines in einem stroemungsquerschnitt stroemenden pulsierenden mediums |
| DE3248603A1 (de) * | 1982-12-30 | 1984-07-12 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Einrichtung zur messung des massendurchsatzes eines stroemenden mediums |
| DE3328853C2 (de) * | 1983-08-10 | 1994-07-14 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Messung der Masse eines strömenden Mediums |
-
1985
- 1985-02-07 DE DE19853504082 patent/DE3504082A1/de not_active Ceased
- 1985-12-20 DE DE8585116324T patent/DE3569293D1/de not_active Expired
- 1985-12-20 EP EP85116324A patent/EP0190454B1/de not_active Expired
-
1986
- 1986-01-20 AU AU52507/86A patent/AU574554B2/en not_active Ceased
- 1986-01-27 US US06/822,519 patent/US4715224A/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-02-05 JP JP61022239A patent/JPS62123316A/ja active Granted
- 1986-02-06 KR KR1019860000815A patent/KR930011169B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1986-02-06 BR BR8600511A patent/BR8600511A/pt not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3504082A1 (de) | 1986-08-07 |
| AU574554B2 (en) | 1988-07-07 |
| EP0190454B1 (de) | 1989-04-05 |
| KR860006688A (ko) | 1986-09-13 |
| DE3569293D1 (en) | 1989-05-11 |
| JPS62123316A (ja) | 1987-06-04 |
| BR8600511A (pt) | 1986-10-21 |
| EP0190454A1 (de) | 1986-08-13 |
| KR930011169B1 (ko) | 1993-11-24 |
| AU5250786A (en) | 1986-08-14 |
| US4715224A (en) | 1987-12-29 |
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