JPS6365892B2 - - Google Patents
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- JPS6365892B2 JPS6365892B2 JP55010160A JP1016080A JPS6365892B2 JP S6365892 B2 JPS6365892 B2 JP S6365892B2 JP 55010160 A JP55010160 A JP 55010160A JP 1016080 A JP1016080 A JP 1016080A JP S6365892 B2 JPS6365892 B2 JP S6365892B2
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- JP
- Japan
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- temperature
- dependent
- measuring
- resistor
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- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims description 54
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 26
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 3
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 3
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
- G01F1/698—Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Details Of Flowmeters (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、媒体の流れの中に、測定ブリツジ回
路の素子として配置してあつて、層として支持体
上に取付けられている温度に依存する少なくとも
１つの測定抵抗を備え、この抵抗の温度及び／又
は抵抗値を依存して調整し、その際この調整量が
流れる媒体の量に対する尺度であつて、かつ前記
支持体を、温度に依存する測定抵抗とは電気的に
絶縁されている温度に依存する加熱抵抗によつて
加熱することができる、流れる媒体の量を測定す
る、例えば内燃機関によつて吸込まれた空気量を
測定する装置に関する。
路の素子として配置してあつて、層として支持体
上に取付けられている温度に依存する少なくとも
１つの測定抵抗を備え、この抵抗の温度及び／又
は抵抗値を依存して調整し、その際この調整量が
流れる媒体の量に対する尺度であつて、かつ前記
支持体を、温度に依存する測定抵抗とは電気的に
絶縁されている温度に依存する加熱抵抗によつて
加熱することができる、流れる媒体の量を測定す
る、例えば内燃機関によつて吸込まれた空気量を
測定する装置に関する。
この種の装置は既に公知であるが、温度に依存
する測定抵抗用の支持体が無視出来ないそれ自体
の質量のためかなりの熱容量を有するという点で
不利である。温度に依存する測定抵抗と支持体と
の間の熱流のため、流れる媒体の量の変化の際の
温度に依存する測定抵抗の応答速度が低減され
る。
する測定抵抗用の支持体が無視出来ないそれ自体
の質量のためかなりの熱容量を有するという点で
不利である。温度に依存する測定抵抗と支持体と
の間の熱流のため、流れる媒体の量の変化の際の
温度に依存する測定抵抗の応答速度が低減され
る。
それに比べて特許請求の範囲第１項に記載の特
徴を備えた本発明の装置は、温度に依存する測定
抵抗と支持体との間には媒体の流れが変化しても
もはや熱流は生ぜず、これにより装置は流れる量
の変化に対して非常に迅速な応答速度を有し、従
つて測定精度が高められるという利点を有する。
徴を備えた本発明の装置は、温度に依存する測定
抵抗と支持体との間には媒体の流れが変化しても
もはや熱流は生ぜず、これにより装置は流れる量
の変化に対して非常に迅速な応答速度を有し、従
つて測定精度が高められるという利点を有する。
特許請求の範囲の実施態様項に記載の技術手段
により本発明の有利な実施例が実現可能である。
により本発明の有利な実施例が実現可能である。
次に本発明を図面を用いて詳細に説明する。
第１図には、その他は図示していない内燃機関
の、吸気管を１で示してある。この吸気管内で
は、内燃機関によつて吸込まれた空気が矢印２の
方向に流れる。吸気管内には、層状サーミスタと
して形成されている温度に依存する測定抵抗３が
設けられている。この抵抗には調整器の出力が流
れ、同時に調整器に対する入力を供給する。温度
に依存する測定抵抗３の温度は調整器によつて、
平均室温より上にある所定の値に調整される。流
れの速度、即ち単位時間当りに吸込まれる空気量
が増加すると、温度に依存する抵抗３はより強力
に冷却される。この冷却は調整器の入力側に報知
され、この結果調整器はその出力を、温度に依存
する測定抵抗３の温度が再び所定の値に調節され
るように高める。調整器の出力が、吸込まれた空
気量が変化しても温度に依存する測定抵抗３の温
度をその都度前以つて決められた値を調整し、か
つこの出力は同時に吸込まれた空気量の尺度であ
り、それは測定量として、必要な燃料量を、単位
時間当りに吸込まれた空気量に適合せしめるため
に調量回路に供給される。
の、吸気管を１で示してある。この吸気管内で
は、内燃機関によつて吸込まれた空気が矢印２の
方向に流れる。吸気管内には、層状サーミスタと
して形成されている温度に依存する測定抵抗３が
設けられている。この抵抗には調整器の出力が流
れ、同時に調整器に対する入力を供給する。温度
に依存する測定抵抗３の温度は調整器によつて、
平均室温より上にある所定の値に調整される。流
れの速度、即ち単位時間当りに吸込まれる空気量
が増加すると、温度に依存する抵抗３はより強力
に冷却される。この冷却は調整器の入力側に報知
され、この結果調整器はその出力を、温度に依存
する測定抵抗３の温度が再び所定の値に調節され
るように高める。調整器の出力が、吸込まれた空
気量が変化しても温度に依存する測定抵抗３の温
度をその都度前以つて決められた値を調整し、か
つこの出力は同時に吸込まれた空気量の尺度であ
り、それは測定量として、必要な燃料量を、単位
時間当りに吸込まれた空気量に適合せしめるため
に調量回路に供給される。
温度に依存する測定抵抗３は、抵抗４とともに
第１のブリツジアームを形成する。このアームに
は２つの固定抵抗５及び６から構成されている第
２のブリツジアームが並列に接続されている。抵
抗３及び４の間にはタツプ７が、抵抗５及び６の
間にはタツプ８が設けられている。両ブリツジア
ームは接続点９及び１０において並列に接続され
ている。この測定ブリツジ回路３，４，５，６
の、タツプ７及び８の間に生じる対角点電圧は、
増幅器１１の入力側に供給される。この増幅器の
出力端子には測定ブリツジ回路の前記接続点９及
び１０が接続されているので、前記増幅器の出力
が測定ブリツジ回路に作動電圧乃至作動電流を供
給する。以下調整器USと称すこの出力は、図示
のように他方で増幅器１１の端子１２及び１３の
間で取出し可能である。この調整量USが例えば、
内燃機関の図示していない燃料調量回路におい
て、吸込まれた空気量に対して必要な燃料を調量
するように制御する。温度に依存する測定抵抗３
は、この抵抗を流れる電流によつて、増幅器１１
の入力電圧、即ち測定ブリツジ回路の対角点電圧
が零になるか又は前以つて決められた値をとる値
にまで加熱される。その際増幅器１１の出力側か
ら所定の電流が測定ブリツジ回路に流れる。吸込
まれた空気の流れの速度、従つて温度に依存する
測定抵抗３の温度が変化すると、測定ブリツジ対
角点の電圧が変化し、増幅器１１は測定ブリツジ
供給電圧乃至測定ブリツジ電流を測定ブリツジが
再び平衡するか又は前以つて決められたように不
平衡になる値に調整するので、温度に依存する測
定抵抗３は前以つて決められた一定の温度にとど
まる。増幅器１１の出力、即ち調整電圧USは、
測定ブリツジ回路３，４，５，６，１４の温度に
依存する抵抗又は別の抵抗を流れる電流又はこれ
らにおける電圧降下同様に吸込まれた空気量に対
する尺度である。
第１のブリツジアームを形成する。このアームに
は２つの固定抵抗５及び６から構成されている第
２のブリツジアームが並列に接続されている。抵
抗３及び４の間にはタツプ７が、抵抗５及び６の
間にはタツプ８が設けられている。両ブリツジア
ームは接続点９及び１０において並列に接続され
ている。この測定ブリツジ回路３，４，５，６
の、タツプ７及び８の間に生じる対角点電圧は、
増幅器１１の入力側に供給される。この増幅器の
出力端子には測定ブリツジ回路の前記接続点９及
び１０が接続されているので、前記増幅器の出力
が測定ブリツジ回路に作動電圧乃至作動電流を供
給する。以下調整器USと称すこの出力は、図示
のように他方で増幅器１１の端子１２及び１３の
間で取出し可能である。この調整量USが例えば、
内燃機関の図示していない燃料調量回路におい
て、吸込まれた空気量に対して必要な燃料を調量
するように制御する。温度に依存する測定抵抗３
は、この抵抗を流れる電流によつて、増幅器１１
の入力電圧、即ち測定ブリツジ回路の対角点電圧
が零になるか又は前以つて決められた値をとる値
にまで加熱される。その際増幅器１１の出力側か
ら所定の電流が測定ブリツジ回路に流れる。吸込
まれた空気の流れの速度、従つて温度に依存する
測定抵抗３の温度が変化すると、測定ブリツジ対
角点の電圧が変化し、増幅器１１は測定ブリツジ
供給電圧乃至測定ブリツジ電流を測定ブリツジが
再び平衡するか又は前以つて決められたように不
平衡になる値に調整するので、温度に依存する測
定抵抗３は前以つて決められた一定の温度にとど
まる。増幅器１１の出力、即ち調整電圧USは、
測定ブリツジ回路３，４，５，６，１４の温度に
依存する抵抗又は別の抵抗を流れる電流又はこれ
らにおける電圧降下同様に吸込まれた空気量に対
する尺度である。
吸込まれた空気の温度が測定結果に及ぼす影響
を補償するために、測定ブリツジ回路の第２のブ
リツジアームに、吸込まれた空気にさらされる温
度に依存する補償抵抗１４を設けると、効果的で
ある。その際抵抗５，６及び１４の値は、温度に
依存する補償抵抗１４を流れるアーム電流によつ
て生じるこの抵抗の損失電力が、この補償抵抗１
４の温度が実際にブリツジ電圧の変化に伴つて変
化せずに、通過する吸込まれた空気の温度に常時
相応するように僅かであるように選択すべきであ
る。
を補償するために、測定ブリツジ回路の第２のブ
リツジアームに、吸込まれた空気にさらされる温
度に依存する補償抵抗１４を設けると、効果的で
ある。その際抵抗５，６及び１４の値は、温度に
依存する補償抵抗１４を流れるアーム電流によつ
て生じるこの抵抗の損失電力が、この補償抵抗１
４の温度が実際にブリツジ電圧の変化に伴つて変
化せずに、通過する吸込まれた空気の温度に常時
相応するように僅かであるように選択すべきであ
る。
第２図及び第３図で示すように、公知の方法で
支持体１６に取付けられていて、層又は膜状に形
成されている温度に依存する測定抵抗３は部分的
に支持体を被覆している。しかし前記抵抗が支持
体の四方を取囲んでいてもよい。本発明によれば
更に温度に依存する測定抵抗３と支持体１６との
間に温度に依存する加熱抵抗１７が取付けられて
いる。この抵抗は同様に層又は膜状に形成されて
いて、温度に依存する測定抵抗３並びに支持体１
６に対して、絶縁層１８、例えば温度に依存する
測定抵抗３及び温度に依存する加熱抵抗１７と同
じ析出工程のサイクルにおいてつけられるAl2O3
層によつて電気的に絶縁されている。その際温度
に依存する加熱抵抗層１７の、温度に依存する測
定抵抗３の方を向いている表面が少なくとも、温
度に依存する測定抵抗３と支持体１６との間の熱
流が回避される程度の大きさを有するようにした
い。温度に依存する加熱抵抗１７は、前記の測定
ブリツジ回路とは切離されている別個の加熱ブリ
ツジ回路の素子である。このブリツジ回路の構成
は前記測定ブリツジ回路に相応する。即ち温度に
依存する加熱抵抗１７は抵抗１９と共に第１のブ
リツジアームを形成し、このアームに対して２つ
の固定抵抗２０及び２１並びに温度に依存する補
償抵抗２２から構成される第２のブリツジアーム
が並列に接続されている。抵抗１７と１９との間
にはタツプ２３が、又、抵抗２０と２１との間に
はタツプ２４が設けられている。この加熱ブリツ
ジ回路の両ブリツジアームは、接続点２５及び２
６において互いに並列に接続されている。加熱ブ
リツジ回路１７，１９，２０，２１，２２のタツ
プ２３と２４との間に生じる対角点電圧は、増幅
器２７の入力側に供給され、一方この増幅器の出
力端子には加熱ブリツジ回路の接続点２５及び２
６が接続されているのでこの結果増幅器の出力が
加熱ブリツジ回路に作動電圧乃至作動電流を供給
する。加熱ブリツジ回路１７，１９，２０，２
１，２２は、温度に依存する加熱抵抗１７がこの
抵抗を流れる電流によつて、この抵抗が常時、温
度に依存する測定抵抗３と近似的に同じ温度を有
する程度に加熱されるように構成されている。抵
抗６乃至２１の調整によつて、ブリツジアーム
６，１４乃至２１，２２の温度係数を、測定抵抗
３乃至加熱抵抗１７の、空気温を越す過温の所望
の経過が空気温の関数として成立つように調節す
ることができる。
支持体１６に取付けられていて、層又は膜状に形
成されている温度に依存する測定抵抗３は部分的
に支持体を被覆している。しかし前記抵抗が支持
体の四方を取囲んでいてもよい。本発明によれば
更に温度に依存する測定抵抗３と支持体１６との
間に温度に依存する加熱抵抗１７が取付けられて
いる。この抵抗は同様に層又は膜状に形成されて
いて、温度に依存する測定抵抗３並びに支持体１
６に対して、絶縁層１８、例えば温度に依存する
測定抵抗３及び温度に依存する加熱抵抗１７と同
じ析出工程のサイクルにおいてつけられるAl2O3
層によつて電気的に絶縁されている。その際温度
に依存する加熱抵抗層１７の、温度に依存する測
定抵抗３の方を向いている表面が少なくとも、温
度に依存する測定抵抗３と支持体１６との間の熱
流が回避される程度の大きさを有するようにした
い。温度に依存する加熱抵抗１７は、前記の測定
ブリツジ回路とは切離されている別個の加熱ブリ
ツジ回路の素子である。このブリツジ回路の構成
は前記測定ブリツジ回路に相応する。即ち温度に
依存する加熱抵抗１７は抵抗１９と共に第１のブ
リツジアームを形成し、このアームに対して２つ
の固定抵抗２０及び２１並びに温度に依存する補
償抵抗２２から構成される第２のブリツジアーム
が並列に接続されている。抵抗１７と１９との間
にはタツプ２３が、又、抵抗２０と２１との間に
はタツプ２４が設けられている。この加熱ブリツ
ジ回路の両ブリツジアームは、接続点２５及び２
６において互いに並列に接続されている。加熱ブ
リツジ回路１７，１９，２０，２１，２２のタツ
プ２３と２４との間に生じる対角点電圧は、増幅
器２７の入力側に供給され、一方この増幅器の出
力端子には加熱ブリツジ回路の接続点２５及び２
６が接続されているのでこの結果増幅器の出力が
加熱ブリツジ回路に作動電圧乃至作動電流を供給
する。加熱ブリツジ回路１７，１９，２０，２
１，２２は、温度に依存する加熱抵抗１７がこの
抵抗を流れる電流によつて、この抵抗が常時、温
度に依存する測定抵抗３と近似的に同じ温度を有
する程度に加熱されるように構成されている。抵
抗６乃至２１の調整によつて、ブリツジアーム
６，１４乃至２１，２２の温度係数を、測定抵抗
３乃至加熱抵抗１７の、空気温を越す過温の所望
の経過が空気温の関数として成立つように調節す
ることができる。
温度に依存する測定抵抗層３の下に、温度に依
存し、この温度に依存する測定抵抗層３と同じ温
度に調整される加熱抵抗層１７を配置することに
よつて温度に依存する測定抵抗３と支持体１６と
の間の熱流が抑圧され、この結果温度に依存する
測定抵抗３の、吸気管１における流れの速度の変
化に対する応答速度及び測定精度が著しく高めら
れる。温度に依存する抵抗３，１４，１７及び２
２を同じ材料から形成、かつ、それらが電気抵抗
の同じ高さの温度係数を有するようにすると有利
である。測定ブリツジ回路及び加熱ブリツジ回路
の別の抵抗４，５，６，１９，２０及び２１は僅
かな温度係数しか有さないようにしたい。第２図
の実施例によれば温度に依存する補償抵抗１４及
び２２は、吸気管１内にて支持体１６より流れの
上流の側に位置している支持部材２９に取付けら
れている。別の抵抗４，５，６，１９，２０及び
２１は有利には支持体１６に、例えば温度に依存
する加熱抵抗１７と支持体１６との間に取付けら
れている。第３図の実施例では加熱ブリツジ回路
の補償抵抗２２は、空気の流れの中にある支持部
材２９に取付けられていずに、他の抵抗４，５，
６，１９，２０，２１同様に支持体１６に、例え
ば支持体１６と温度に依存する抵抗１７との間に
取付けられている。これによつて支持部材２９に
おける電気接続端子は僅かですむ。
存し、この温度に依存する測定抵抗層３と同じ温
度に調整される加熱抵抗層１７を配置することに
よつて温度に依存する測定抵抗３と支持体１６と
の間の熱流が抑圧され、この結果温度に依存する
測定抵抗３の、吸気管１における流れの速度の変
化に対する応答速度及び測定精度が著しく高めら
れる。温度に依存する抵抗３，１４，１７及び２
２を同じ材料から形成、かつ、それらが電気抵抗
の同じ高さの温度係数を有するようにすると有利
である。測定ブリツジ回路及び加熱ブリツジ回路
の別の抵抗４，５，６，１９，２０及び２１は僅
かな温度係数しか有さないようにしたい。第２図
の実施例によれば温度に依存する補償抵抗１４及
び２２は、吸気管１内にて支持体１６より流れの
上流の側に位置している支持部材２９に取付けら
れている。別の抵抗４，５，６，１９，２０及び
２１は有利には支持体１６に、例えば温度に依存
する加熱抵抗１７と支持体１６との間に取付けら
れている。第３図の実施例では加熱ブリツジ回路
の補償抵抗２２は、空気の流れの中にある支持部
材２９に取付けられていずに、他の抵抗４，５，
６，１９，２０，２１同様に支持体１６に、例え
ば支持体１６と温度に依存する抵抗１７との間に
取付けられている。これによつて支持部材２９に
おける電気接続端子は僅かですむ。
第１図は、少なくとも１つの温度に依存する抵
抗を備えた、流れる媒体の量を測定する装置の基
本的な回路略図、第２図は流れる媒体の量を測定
する装置の、本発明の実施例を示す断面略図、第
３図は同じく本発明の別の実施例を示す断面略図
である。 １…吸気管、２…媒体の流れの方向、３，１
４，１７，２２…温度に依存する抵抗、１６…支
持体、１８…絶縁層。
抗を備えた、流れる媒体の量を測定する装置の基
本的な回路略図、第２図は流れる媒体の量を測定
する装置の、本発明の実施例を示す断面略図、第
３図は同じく本発明の別の実施例を示す断面略図
である。 １…吸気管、２…媒体の流れの方向、３，１
４，１７，２２…温度に依存する抵抗、１６…支
持体、１８…絶縁層。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 媒体の流れの中に、測定ブリツジ回路の素子
として配置してあつて、層として支持体上に取付
けられている温度に依存する少なくとも１つの測
定抵抗を備え、該抵抗の温度及び／又は抵抗値を
流量に依存して調整し、その際該調整量が流れる
媒体の量に対する尺度であつて、かつ前記支持体
を、温度に依存する測定抵抗とは電気的に絶縁さ
れている温度に依存する加熱抵抗によつて加熱す
ることができる、流れる媒体の量を測定する装置
において、温度に依存する加熱抵抗１７を層とし
て形成して、温度に依存する測定抵抗３と支持体
１６との間において支持体１６に取付け、かつ加
熱ブリツジ回路１７，１９，２０，２１，２２の
素子として温度に依存する測定抵抗３と近似的に
同じ温度に調整するようにしたことを特徴とする
流れる媒体の量を測定する装置。 ２ 測定ブリツジ回路３，４，５，６，１４及び
加熱ブリツジ回路１７，１９，２０，２１，２２
に各々温度に依存する補償抵抗１４，２２を設け
た特許請求の範囲第１項記載の装置。 ３ 温度に依存する測定抵抗３、温度に依存する
加熱抵抗１７及び温度に依存する補償抵抗１４，
２２が同じ大きさの温度係数を有するようにした
特許請求の範囲第２項記載の装置。 ４ 補償抵抗１４，２２を媒体の流れにおいて支
持体１６より流れの上流の方に配置した特許請求
の範囲第２項記載の装置。 ５ 温度に依存する補償抵抗１４，２２の他に、
測定ブリツジ回路３，４，５，６，１４及び加熱
ブリツジ回路１７，１９，２０，２１，２２の、
僅かな温度係数を有する別の抵抗４，５，６，１
９，２０，２１を、支持体１６に取付けた特許請
求の範囲第４項記載の装置。 ６ 測定ブリツジ回路３，４，５，６，１４又は
加熱ブリツジ回路１７，１９，２０，２１，２２
の補償抵抗のいずれか１方のみ１４又は２２を、
媒体の流れにおいて支持体１６より流れの上流の
方に配置し、測定ブリツジ回路３，４，５，６，
１４及び加熱ブリツジ回路１７，１９，２０，２
１，２２の僅かな温度係数しか有さない別の抵抗
４，５，６，１９，２０，２１を支持体１６に取
付けた特許請求の範囲第２項記載の装置。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19792904154 DE2904154A1 (de) | 1979-02-03 | 1979-02-03 | Vorrichtung zur messung der masse eines stroemenden mediums |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS55103424A JPS55103424A (en) | 1980-08-07 |
| JPS6365892B2 true JPS6365892B2 (ja) | 1988-12-19 |
Family
ID=6062116
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1016080A Granted JPS55103424A (en) | 1979-02-03 | 1980-02-01 | Device for measuring quantity of flowing medium |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4283944A (ja) |
| JP (1) | JPS55103424A (ja) |
| DE (1) | DE2904154A1 (ja) |
| FR (1) | FR2448128B2 (ja) |
| GB (1) | GB2043264B (ja) |
Families Citing this family (37)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4393702A (en) * | 1980-03-21 | 1983-07-19 | Nippon Soken, Inc. | Gas flow measuring device |
| US4389876A (en) * | 1980-08-26 | 1983-06-28 | Honeywell Inc. | Temperature sensor and detector cell utilizing the same |
| JPS57173758A (en) * | 1981-04-20 | 1982-10-26 | Hitachi Ltd | Hot wire type current meter |
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