JPH0559332B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はIC製造工程、フアインセラミツクス
製造工程、製薬工程のように、清浄環境を要求さ
れる処理工程を有する各種分野に於いて、搬送用
気密容器によつて清浄環境を保持したまま搬送す
る被処理物を、内部を清浄環境とする処理装置に
対して搬出入するための機構に関するものであ
る。

（従来の技術およびその問題点） 清浄環境を要求される処理工程を有する代表的
な分野であるIC製造工程は数百工程にも及ぶ処
理工程から成り、被処理物であるウエハーは、各
処理工程間をその都度搬送しなけれならない。従
来は殆んどかかる各処理及び搬送を人が出入り可
能なクリーンルーム内で行なつており、従つてク
リーンルームの建設や運転に伴うコストが高くつ
く等の問題点がある。また近来、各処理工程の装
置の内部のみを清浄に維持し、これら装置間の被
処理物の搬送を気密容器によつて行なうことによ
り、クリーンルームを不要とする提案もなされて
いるが、これら装置に対しての被処理物の搬出入
に於ける気密性の維持やハンドリング等の点で必
ずしも満足のいくものはない。

本発明は以上の従来の問題点を解決することを
目的とするもので、以下実施例に対応する図面に
基づいて説明する。

（問題点を解決するための手段） 実施例に対応する図に於いて、符号Ａは被処理
物Ｂの搬送用気密容器、Ｃは内部が清浄に維持さ
れた処理装置に於ける、被処理物Ｂの搬出入個所
部分を示すものである。該搬送用気密容器Ａは、
一側を開口した箱状部材１と、該箱状部材１の開
口縁２の内側に気密的結合及び分離自在な蓋状部
材３とから構成し、該蓋状部材３に被処理物Ｂを
支持する構成である。被処理物Ｂの支持は、図示
例のように蓋状部材３に被処理物Ｂの支持用凹部
４を設けたり、適宜の支持部材を設ける等、適宜
である。尚、本発明に於いて被処理物Ｂとは、ウ
エハー等の被処理物自体の他、単数もしくは複数
の被処理物自体を収納したカセツト、ケース等を
含むものである。図示例に於いては、前記開口縁
２の内周と、蓋状部材３の外周に、対応する受溝
５，６を設けると共に、いずれか一方の受溝、即
ち図示例に於いては蓋状部材３の受溝６に、環状
弾性気のう７を装置し、該気のう７に対する気体
の出入部８を前記蓋状部材２の内側に設けてお
り、該気のう７に加圧気体を注入して膨張させ
て、その内、外側を夫々受溝６，５に圧入するこ
とにより、蓋状部材３を気密的に結合し、気体を
抜くことによつて分離自在とするものであるが、
気密的結合及び分離自在とする方法は、この他気
密パツキンと結合部材とによる方法等適宜であ
る。

しかして、本発明は前記処理装置Ｃに、前記箱
状部材１の開口縁２の外側を係合する開口部９
と、該開口部９の内側に係合する、蓋兼用の処理
用移送部材１０を設け、該開口部９に於いて、前
記処理装置Ｃの内、外側に対応する夫々の内周側
と、これらに対応する前記処理用移送部材１０及
び前記開口縁２の外周側のうちの少なくとも一方
側に受溝１１，１２を設けると共に、該一方側の
受溝１１，１２に環状弾性気のう１３，１４を装
置し、またそれらの気のう１３，１４に対する気
体の注入排出部１５，１６を適所に設ける。図示
例に於いては、前記一方側は、開口部９の内周側
としており、従つて環状弾性気のう１３，１４は
該内周側の受溝１１，１２に装着しているが、該
一方側は前記処理用移送部材１０及び前記開口縁
２の外周側としても良く、即ち気のう１３，１４
を該外周側の受溝２２，２４に装着し、そして注
入排出部１５，１６を設けても良い。勿論、一方
を内周側、他方を外周側に装着するようにしても
良い。更に前記処理用移送部材１０には、前記蓋
状部材３の支持手段１７と、前記箱状部材１と蓋
状部材３との前記気密的結合及び分離操作用手段
１８とを設ける。前述した図示例の搬送用気密容
器Ａでは、箱状部材１と蓋状部材３との気密的結
合及び分離は、環状弾性気のう７の膨張及び収縮
によつて行なうものであるから、前記手段１８
は、該気のう７の気体出入部８に対して進退自在
に構成し、加圧気体供給系統１９及び気体排出系
統２０に選択的に接続自在なノズルとして構成し
ている。勿論、かかる手段１８は搬送用気密容器
Ａに於ける気密結合及び分離方法に応じて適宜に
構成することができる。また、図示例に於いて、
支持手段１７は真空吸引系統２１に連なる吸盤に
よつて構成しているが、この他磁石その他、適宜
の支持機構を適用することができる。尚、以上の
気のう７，１３，１４に注入する気体は空気の
他、窒素ガスや炭酸ガス等の不活性気体を用いる
ことができる。また開口部９に後記支持手段２３
のように、内方への突出部を構成した場合、前記
気のう１３は第２図ａに仮想線で示すように、該
支持手段２３と移送部材１０間に構成することも
できる。

（作 用） 以上の構成に於いて、搬送用気密容器Ａによる
被処理物Ｂの搬入に先立つ時点に於いては、処理
用移送部材１０を開口部９の内側に係合させ、そ
して気のう１３に注入排出部１５から加圧気体を
注入して膨張させ、開口部９の内周と移送部材１
０の外周に圧接状態として、これらの間の隙間を
埋めることにより、処理装置Ｃ内を、開口部９に
於いて、気密的に外部と隔離することができる。
この時、気のう１４は内部の気体を注入排出部１
６から抜いた状態としておく。尚、図示例に示す
ように、移送部材１０の外周にも受溝２２を設け
て、気のう１３を該受溝２２内にも圧入し得るよ
うに構成すれば、気密と係合をより確実に行なう
ことができる。以上の状態は第２図に示す。

しかして処理装置Ｃ内に被処理物Ｂを搬入する
場合には、まず前工程から人手により、または適
宜の自動搬送手段により搬送してきた搬送用気密
容器Ａを処理装置Ｃの開口部９にもたらし、その
開口縁２の外周を該開口部９に係合する。かか係
合に際して気のう１４は収縮状態であるため邪魔
とならない。特に、気のう１４内の気体を真空吸
引により積極的に排出する等により、収縮時の気
のう１４が全て受溝１２内に格納されるようにす
れば全く邪魔とならない。また以上の係合に際し
ては、適宜支持手段２３を設けることにより容易
に所定位置に位置決めすることができる。以上の
ように係合した後、注入排出部１６から気のう１
４内に加圧気体を注入して膨張させると、気のう
１４は開口部９の内周と開口縁２の外周に圧接状
態となつて、これらの間の隙間を埋め、気密状態
となる。かかる際、開口縁２の外周にも受溝２４
を設けて、気のう１４を圧入し得るようにすれ
ば、気密と係合をより確実に行なうことができ
る。以上のように箱状部材１の開口縁２の外周を
処理装置Ｃの開口部９に気密的に結合した状態に
於いては、蓋状部材３と移動部材１０とが当接
し、適宜のシール材２５によつてそれらの間の空
間が気密的に隔離され、かかる空間内に塵埃が処
理装置Ｃ内に放出されるのを防ぐことができる。
勿論かかるシール材２５は弾性気のうで構成する
ようにしても良い。

しかして第３図ａに示す以上の状態から続い
て、気のう１３内の加圧気体を注入排出部１５を
介して排出して、開口部９と移動部材１０との気
密的結合を排除する。このように気密的結合を解
除しても、前述した通り、箱状部材１と開口部９
とが気密的結合をしているので、処理装置Ｃ内の
気密的隔離は維持される。そして手段１８により
気のう内の加圧気体を出入部８を介して空気排出
系統２０に排出して、箱状部材１の開口縁２と蓋
状部材３の気密的結合を解除し、吸盤を真空引き
する等、支持手段１７により蓋状部材３を支持
し、第３図ｂに示すかかる状態に於いて第３図ｃ
に示すように移動部材１０を作動（図中下降そし
て回動）することにより、蓋状部材３と共に被処
理物Ｂを処理装置Ｃ内の所定位置に移送すること
ができる。このように移動部材１０によつて蓋状
部材３と共に処理装置Ｃ内の所定位置に移送され
た被処理物Ｂは、適宜のマニピユレーター等によ
つて処理に供される。かかる処理に際しての被処
理物Ｂの取り扱い方法は適宜である。尚、図示例
に於いては蓋状部材３に、前記支持用凹部４に対
応して、弾性材２６によりシールされた係合穴２
７を設けると共に、移送部材１０に、該係合穴２
７に対して進退可能な作動ピン２８を設け、該作
動ピン２８で被処理物Ｂを支持自在としたことに
より、被処理物Ｂを蓋状部材３の支持用凹部４に
対して支持したり、離したりすることができ、こ
のように構成することにより、他のマニユピユレ
ーター等により移し替えせずに、移動部材１０自
体で被処理物Ｂを処理装置Ｃ内でハンドリングす
ることができる。

以上のようにして処理装置Ｃ内で清浄環境に於
いて処理された被処理物Ｂは再び蓋状部材３に支
持され、かかる状態に於いて移動部材１０を開口
部９まで移動する。こうして移動部材１０を開口
部９の内側の所定位置に係合させ前述と同様に気
のう１３を膨張させて気密的に封止する。これと
共に手段１８により出入部８を介して気のう７内
に加圧気体を注入して膨張させ、箱状部材１の開
口縁２と蓋状部材３とを気密的に結合する。この
ようにして処理装置Ｃに於いて処理された被処理
物Ｂを再び搬送用気密容器Ａ内に清浄に収納する
ことができる。気のう内の加圧気体は例えば出入
部８に設けた気体注入用弁機構により、ノズル１
８を外しても保持され、気密的結合を維持するこ
とができる。

以上の状態に於いて、注入排出部１６から気の
う１４内の加圧気体を排出して収縮させ、また支
持手段１７による蓋状部材３の支持を解除するこ
とにより、搬送用気密容器Ａを処理装置Ｃの開口
部９から分離することができ、こうして被処理物
Ｂを清浄環境に於いて他の処理装置まで搬送する
ことができる。かかる搬送手段は前述した通り、
人手であつても適宜の自動搬送手段であつても良
い。

（発明の効果） 本発明は以上の通り、一側を開口した箱状部材
と、該箱状部材の開口縁の内側に気密的結合及び
分離自在な蓋状部材とから搬送用気密容器を構成
し、該蓋状部材に被処理物を支持する構成とする
と共に、清浄環境に於ける処理装置に、前記箱状
部材の開口縁の外周を係合する開口部の内側に係
合する、蓋兼用の処理用移送部材を設け、該開口
部に於いて処理装置の内、外側に対応する内周
と、夫々前記処理用移送部材１０の外周、前記開
口縁の外周間に、環状弾性気のうによる気密的封
止部を構成自在としたので、前記処理装置の開口
部を、前記移送部材または箱状部材で選択的に気
密的に封止することができ、以つて蓋状部材に支
持した被処理物を移送部材により、清浄環境を維
持したまま処理装置内に搬出入することができ、
この際気密的な封止は環状弾性気のうで行なうの
で気密性が良く、しかも搬出入動作を確実に、そ
して円滑に行なえると共に、カムやリンク等の可
動部分がないので、これによる塵埃の発生の問題
も生じないという効果がある。また本発明に於い
て、蓋状部材に、支持用凹部に対応して弾性材に
よりシールされた係合穴を設けると共に、移送部
材に、該係合穴に対して進退可能な作動ピンを設
けて、該作動ピンで被処理物を支持自在に構成す
れ、被処理物を、移送部材自体で処理装置内でハ
ンドリングすることができるようになり、構造を
簡素化することができるという効果がある。かく
して本発明は、人が出入自在のクリーンルームを
必要とせず、各処理工程に於ける装置だけを清浄
環境に維持するだけで、被処理物の清浄環境に於
ける一連の処理を行なうことができ、IC製造工
程を始めとして、フアインセラミツクス製造工
程、製薬工程等の各種分野に於いて適用すること
によりコストを大幅に低減し得るという効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

全図は本発明の実施例に対応するもので、第１
図ａ，ｂは搬送用気密容器の構成を示す夫々縦
断、横断説明図、第２図ａ，ｂは処理装置の搬出
入個所部分の構成を示す、夫々縦断、平面説明
図、第３図ａ，ｂ，ｃは動作を示す縦断説明図で
ある。 符号Ａ…搬送用気密容器、Ｂ…被処理物、Ｃ…
処理装置、１…箱状部材、２…開口縁、３…蓋状
部材、４…支持用凹部、５，６，１１，１２，２
２，２４…受溝、７，１３，１４…環状弾性気の
う、８…気体出入部、９…開口部、１０…処理用
移送部材、１５，１６…注入排出部、１７，支持
手段、１８…操作用手段、１９…加圧気体供給系
統、２０…気体排出系統、２１…真空吸引系統、
２３…支持手段。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 一側を開口した箱状部材と、該箱状部材の開
   口縁の内側に気密的結合及び分離自在な蓋状部材
   とから搬送用気密容器を構成し、該蓋状部材に被
   処理物を支持する構成とすると共に、内部を清浄
   環境とする処理装置に、前記箱状部材の開口縁の
   外周を係合する開口部と、該開口部の内側に係合
   する、蓋兼用の処理用移送部材を設け、該開口部
   に於いて処理装置の内、外側に対応する夫々の内
   周側と、これらに対応する前記処理用移送部材及
   び前記開口縁の外周側のうちの少なくとも一方側
   に受溝を設けると共に、該一方側の受溝に環状弾
   性気のうを装着し、またそれらに対する気体の注
   入排出部を適所に設けると共に、前記処理用移送
   部材に前記蓋状部材の支持手段と、前記気密的結
   合及び分離操作用手段とを設けたことを特徴とす
   る内部を清浄環境とする処理装置に対する被処理
   物の搬出入機構。