JPS62213631A - 内部を清浄環境とする処理装置に対する被処理物の搬出入機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はＩＣ製造工程、ファインセラミックス製造工程
、製薬工程のように、清浄環境全要求される処理工徨ヲ
有する各種分野に於いて、搬送用気密容器によって清浄
環境を保持し几まま搬送する被処理物を、内部を清浄環
境とする処理装置に対して搬出入するための機構に関す
るものである。

（従来の技術およびその問題点） 清浄環境を要求される処理工種ヲ有する代表的な分野で
あるＩＣ製造工程は数百工程にも及ぶ処理工程から成り
、被処理物であるウニ・・−は、各処理工程間をその都
度搬送しなければならない。

従来は殆んどかかる各処理及び搬送を人が出入り可能な
りリーフルーム内で行なっており、従ってクリーンルー
ムの建設や運転に伴うコストが篩〈つく等の問題点かめ
る。また近来、各処理工程の装置の内部のみを清浄に維
持し、これら装Ｈ間の被処理物の搬送を気密容器によっ
て行なうことに工り、クリーンルームを不要とする提案
もなされているが、これら装置に対しての被処理物の搬
出入に於ける気密性の維持や・〜ンドリ／グ等の点で必
ずしも満足のいくものはない。

本発明は以上の従来の問題点を解決することを目的とす
るもので、以下実施例に対応する図面に基づいて説明す
る。

（問題点を解決するための手段） 実施例に対応する図に於いて、符号Ａは被処理物Ｂの搬
送用気密容器、Ｃは内部が清浄に維持された処理装置に
於ける。被処理物Ｂの搬出人個所部分會示すものでおる
。該搬送用気密容器Ａは。

−側を開口した箱状部材１と、該箱状部材１の開口縁２
の内側に気密的結合及び分離自在な蓋状部材３とから構
成し、該蓋状部材３に被処理物Ｂｔ−支持する構成であ
る。被処理物Ｂの支持は０図示例のように蓋状部材３に
被処理物Ｂの支持用凹部４を設けたり、適宜の支持部材
を設ける等、適宜でおり。湖１本発明に於いて被処理物
Ｂとは、つ工・・−等の被処理物自体の他、単数もしく
は複数の被処理物自体を収納したカセット、ケース等を
含むものである。図示ＰＩに於いては、前記開口縁２の
内周と、蓋状部材３の外周に、対応する受溝５．６全設
けると共に、いずれか−万の受講、即ち図示例に於いて
は蓋状部材３の受溝６に、環状弾性気の５７を装置し、
抜気のう７に対する気体の出入部８を前記蓋状部材２の
内側に設けており。

抜気のう７に加圧気体を注入して膨張させて、その内、
外側を夫々受溝６．５に圧入することにより、蓋状部材
３を気密的に結合し、気体を抜くことによって分離自在
とするものであるが、気密的結合及び分離自在とする方
法ゆ、この他気密バツキ／と結合部材とによる方法等適
宜である。

しかして１本発明は前記処理装置Ｃに、前記箱状部材１
の開口縁２の外側を係合する開口部９と。

該開口部９の内側に係合する。蓋兼用の処理用移送部材
１０を設け、該開口部９に於いて、前記処理装置Ｃの内
、外側に対応する夫々の内周側と。

これらに対応する前記処理用移送部材１０及び前記開口
縁２の外周側のうちの少なくとも一方側に受溝１１，１
２ｔ−設けると共に、該一方側の受溝１１．１２に環状
弾性気のう１３．１４’ｒ装層し。

またそれらの気のり１３．１４に対する気体の注入排出
部１５．１６１−適所に設ける。図示例に於いては、前
記一方側は、開口部９の内周側としており、従って環状
弾性気のり１３．１４は該内周側の受溝１１．１２に装
着しているが、該一方側は前記処理用移送部材１０及び
前記開口＃２の外周側としても良く、即ち気のり１３．
１４を該外周側の受溝２２，２４に装着し、そして注入
排出部１５．１６を設けても良い。勿論、一方を内周側
、他方を外周側に装着するようにしても良い。

更に前記処理用移送部材１０には、前記蓋状部材３の支
持手段１７と、前記箱状部材１と蓋状部材３との前記気
密的結合及び分離操作用手段１８とを設ける。前述し九
図示例の搬送用気密容器Ａでは０箱状部材１と蓋状部材
３との気密的結合及び分離は、環状弾性気の５７の膨張
及び収縮によって行なうものでろるから、前記手段１８
は、抜気のう７の気体出入部８に対して進退自在に構成
し。

加圧気体供給系統１９及び気体排出系統２０に選択的に
接続自在なノズルとして構成している。勿論、かかる手
段１８は搬送用気密容器Ａに於ける気密的結合及び分離
方法に応じて適宜に構成することができる。また１図示
例に於いて、支持手段１７は真空吸引系統２１に連なる
吸盤によって構成しているが、この他磁石その他、適宜
の支持機構を適用することができる。伺１以上の気の５
７゜１３．１４に注入する気体は空気の他、窒素ガスや
炭酸ガス等の不活性気体を用いることができる。

また開口部９に後記支持手段２３のように、内方への突
出部を構成した場合、前記気のう１３は第番図（ａ）に
仮想線で示すよ、うに、該支持手段２３と移送部材１０
間に構成することもできる。

（作用） 以上の構成に於いて、搬送用気密容器ＡにＬる被処理物
Ｂの搬入に先立つ時点に於いては、処理用移送部材１０
を開口部９の内側に係合させ、そして気の９１３に注入
排出部１５から加圧気体全注入して膨張させ、開口部９
の内周と移送部材１０の外周に圧接状態として、これら
の間の隙間を埋めることにより、処理装置Ｃ内を、開口
部９に於いて、気密的に外部と隔離することができる。

この時、気のう１４は内部の気体を注入排出部１６から
抜いた状態としておく。尚１図示例に示すように、移送
部材１０の外周にも受溝２２を設けて、気のう１３全該
受溝２２内にも圧入し得るように構成すれば、気密と保
合をより確実に行なうことができる。以上の状態は第２
図に示す。

しかして処理装置Ｃ内に被処理物Ｂｔ−搬入する場合に
は、まず前工程から人手にエリ、または適宜の自動搬送
手段により搬送してきた搬送用気密容器Ａ？処理装置Ｃ
の開口部９にもたらし、その開口縁２の外周を該開口部
９に係合する。かか係合に際して気のう１４は収縮状態
であるため邪魔とならない。特に、気のう１４内の気体
を真空吸引にエリｆｆ極的に排出する等により、収縮時
の気の９１４が全て受溝１２内に格納されるようにすれ
ば全く邪魔とならない。ま友以上の保合に際しては、適
宜支持手段２３を設けることにより容易に所定位置に位
置決めすることができる。以上のように係合しｔ後、注
入排出部１６から気のう１４内に加圧気体を注入して膨
張させると、慧の９１４は開口部９の内周と開口縁２の
外周に圧接状態となって、これらの間の隙間を埋め、気
密状態となる。かかる際、開口縁２の外周にも受溝２４
を設けて、気の９１４を圧入し得るようにすれば、気密
と保合をより確実に行なうことができる。以上のように
箱状部材１の開口縁２の外周を処理装置Ｃの開口部９に
気密的に結合した状態に於いては、蓋状部材３と移送部
材１０とが当接し。

適宜のシール材２５によってそれらの間の空間が気密的
に隔離され、かかる窒間内の塵埃が処理装置Ｃ内に放出
されるのを防ぐことができる。勿論かかるシール材２５
は弾性気のうで構成するようにしても良い。

しかして第３図（ａｌに示す以上の状態から続いて。

気のう１３内の加圧気体を注入排出部１５を介して排出
して、開口部９と移送部材１０との気密的結合を解除す
る。このように気密的結合を解除しても、前述した通り
１箱状部材１と開口部９とが気密的結合をしているので
、処理装置Ｃ内の気密的隔離は維持される。そして手段
１Ｂにより気の５７内の加圧気体を出入部８を介して突
気排出系統２０に排出して１箱状部材１の開口縁２と蓋
状部材３の気密的結合を解除し、吸盤を真空引きする等
、支持手段１７により蓋状部材３を支持し。

第３図（ｂ）に示すかかる状態に於いて第３図（ｃ）に
示すように移送部材１０を作動（図中下降そして回動）
することにより、蓋状部材３と共に被処理物Ｂ’ｔ−処
理装置Ｃ内の所定位置に移送することができる。このよ
うに移送部材１０によって蓋状部材３と共に処理装置Ｃ
内の所定位置に移送され之被処理物Ｂは、適宜のマニピ
ュレーター等によって処理に供される。かかる処理に際
しての被処理物Ｂの取り扱い方法は適宜である。間１図
示例に於いては蓋状部材３に、前記支持用凹部４に対応
して１弾性材２６によジシールされた保合穴２７を設け
ると共に、移送部材１０に、該保合穴２７に対して進退
可能な作動ビ／２８を設け、該作動ビ／２８で被処理物
Ｂｋ支持自在としたことにより。

被処理物Ｂｔ−蓋状部材３の支持用口ＦｉＳ４に対して
支持したり、離したりすることができ、このように構成
することにエリ、他のマニュピユレータ−等によシ移し
替えせずに、移送部材１０自体で被処理物Ｂｔ処理装置
Ｃ内でハンドリングすることができる。

以上のようにして処理装置Ｃ内で清浄環境に於いて処理
された被処理物Ｂは再び蓋状部材３に支持され、かかる
状態に於いて移送部材１０を開口部９−！で移動する。

こうして移送部材１０を開口部９の内側の所定位置に保
合させ前述と同様に気の５１３を膨張させて気密的に封
止する。これと共に手段１８により出入部８を介してス
のう７内に加圧気体全注入して膨張させ１箱状部材１の
開口縁２と蓋状部材３とを気密的に結合する。このよう
にして処理装置Ｃに於いて処理さｎ　ｆｃ被処理物Ｂｔ
−再び搬送用気密容器Ａ内に清浄に収納することができ
る。気のり７内の加圧気体は例えば出入部８に設けた気
体注入用弁機構により、ノズル１８を外しても保持され
、気密的結合を維持することができる。

以上の状態に於いて、注入排出部１６から気のう１４内
の加圧気体を排出して収縮式せ、また支持手段１１によ
る蓋状部材３の支持を解除することにエリ、搬送用気密
容器Ａを処理装［Ｃの開口部９から分離することができ
、こうして被処理物Ｂｔ−清浄環境に於いて他の処理装
置まで搬送することができる。かかる搬送手段は前述し
た通り。

人手であっても適宜の自動搬送手段であっても良い０ （発明の効果） 本発明は以上の通り、−側全開口した箱状部材と、該箱
状部材の開口縁の内側に気密的結合及び分離自在な蓋状
部材とから搬送用気密容器を構成し、該蓋状部材に被処
理物を支持する構成とすると共に、清浄環境に於ける処
理装置に、前記箱状部材の開口線の外周を係合する開口
部の内側に係合する。蓋兼用の処理用移送部材を設け、
該開口部に於いて処理装置の内、外側に対応する内周と
。

夫々前記゛処理用移送部材の外周、前記開口縁グ）外周
間に、環状弾性気のうによる気密的封止部ヲ溝成自在と
したので、前記処理装置の開口部を、前記移送部材また
は箱状部材で選択的に気密的に封止することができ、以
って蓋状部材に支持した被処理物を移送部材により、清
浄環境を維持した甘ま処理装置内に搬出入することがで
き、この際気密的な封止は環状弾性気のうで行なうので
気密性が良く、シかも搬出入動作を確実に、そして円滑
に行なえると共に、カムやリンク等の可動部分がないの
で、これによる塵埃の発生の問題も生じないという効果
がある。ま九本発明に於いて、蓋状部材に、支持用凹部
に対応して弾性材によりシールされた保合穴を設けると
共に、移送部刊に、該保合穴に対して進退可能な作動ビ
／を設けて、該作動ピンで被処理物を支持自在に構成す
れば、被処理物を、移送部材自体で処理装置内でハ／ト
リ／グすることができるようになり、構造を簡素化する
ことができるという効果がある。かくして本発明は６人
が出入自在のクリーンルーム全必要とせず、各処理工程
に於ける装置だけを清浄環境に維持するだけで、被処理
物の清浄環境に於ける一連の処理を行なうことができ、
ＩＣ製造工工程始めとして、ファインセラミックス製造
工程、製薬工程等の各種分野に於いて適用することによ
りコストヲ犬幅に低減し得るという効果がらる。

【図面の簡単な説明】

全図は本発明の実施例に対応するもので、第１図（ａｌ
　、　（ｂ）は搬送用気密容器の構成を示す夫々縦断。 横断説明図、第２図（ａ）　、　（ｂｌは処理装置の搬
出入個所部分の構成を示す、夫々縦断、平面説明図、第
３図（ａｔ　、　（ｂ）　、　（ｃ）は動作を示す縦断
説明図でらる。 符号Ａ・・・搬送用気密容器、Ｂ・・被処理物、Ｃ・・
・処理装置、１・・・箱状部材、２・・開口縁、３・・
・蓋状部材、４・・・支持用凹部、　　５．６．１１　
、’１２，２２゜２４　受溝、７．１３．１４・・環状
弾性気のり。 ８・・気体出入部、９・・・開口部、１０・・・処理用
移送部材、１５．１６・・注入排出部、１７・・・支持
手段。 １８・・・操作用手段、１９・・・加圧気体供給系統。 ２０・・・気体排出系統、２１・・・真空吸引系統、２
３・・・支持手段。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 一側を開口した箱状部材と、該箱状部材の開口縁の内側
   に気密的結合及び分離自在な蓋状部材とから搬送用気密
   容器を構成し、該蓋状部材に被処理物を支持する構成と
   すると共に、内部を清浄環境とする処理装置に、前記箱
   状部材の開口縁の外周を係合する開口部と、該開口部の
   内側に係合する、蓋兼用の処理用移送部材を設け、該開
   口部に於いて処理装置の内、外側に対応する夫々の内周
   側と、これらに対応する前記処理用移送部材及び前記開
   口縁の外周側のうちの少なくとも一方側に受溝を設ける
   と共に、該一方側の受溝に環状弾性気のうを装着し、ま
   たそれらに対する気体の注入排出部を適所に設けると共
   に、前記処理用移送部材に前記蓋状部材の支持手段と、
   前記気密的結合及び分離操作用手段とを設けたことを特
   徴とする内部を清浄環境とする処理装置に対する被処理
   物の搬出入機構。