JPH0558728A - 圧電磁器組成物 - Google Patents
圧電磁器組成物Info
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- JPH0558728A JPH0558728A JP3244749A JP24474991A JPH0558728A JP H0558728 A JPH0558728 A JP H0558728A JP 3244749 A JP3244749 A JP 3244749A JP 24474991 A JP24474991 A JP 24474991A JP H0558728 A JPH0558728 A JP H0558728A
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- piezoelectric ceramic
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Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 電気機械結合係数及び耐熱性が高く、しかも
経時変化が小さい圧電磁器組成物を得ることを目的とす
る。 【構成】 （Ｐｂ1-X ＭｅX )｛（Ｙｂ1/2 Ｎｂ1/2 )a (Ｍｎ1/2 Ｗ1/2 )b Ｔｉc Ｚｒd｝Ｏ3 （ただし、ＭｅはＣａ，Ｂａ，Ｓｒから選ばれた少なく
とも１種のもの、０＜Ｘ≦０．１５， ０．０１≦ａ≦
０．２０， ０．０１≦ｂ≦０．２０ ０≦ｃ≦０．７０， ０．２８≦ｄ≦０．９８， ａ
＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１） なる一般式で表されることを特徴とする圧電磁気組成
物。
経時変化が小さい圧電磁器組成物を得ることを目的とす
る。 【構成】 （Ｐｂ1-X ＭｅX )｛（Ｙｂ1/2 Ｎｂ1/2 )a (Ｍｎ1/2 Ｗ1/2 )b Ｔｉc Ｚｒd｝Ｏ3 （ただし、ＭｅはＣａ，Ｂａ，Ｓｒから選ばれた少なく
とも１種のもの、０＜Ｘ≦０．１５， ０．０１≦ａ≦
０．２０， ０．０１≦ｂ≦０．２０ ０≦ｃ≦０．７０， ０．２８≦ｄ≦０．９８， ａ
＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１） なる一般式で表されることを特徴とする圧電磁気組成
物。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電磁器組成物に関
し、特に、セラミックフィルタ、セラミック発振子、セ
ラミックディスクリミネータ、表面弾性波素子などに用
いる圧電磁器組成物に関する。
し、特に、セラミックフィルタ、セラミック発振子、セ
ラミックディスクリミネータ、表面弾性波素子などに用
いる圧電磁器組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、圧電性磁器としては、例え
ば、二元系のＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺｒＯ3 （ＰＺＴ）に
Ｂｉ2 Ｏ3 ，Ｃｒ2 Ｏ3 ，ＭｎＯ2 ，ＺｎＯ等の添加物
を加えて、圧電特性の改善を図ることが試みられてい
る。その他、三元系のＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺｒＯ3 −Ｐ
ｂ（Ｍｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 系、ＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺ
ｒＯ3 −Ｐｂ（Ｍｇ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3系等の圧電材料
も開発されている。また、Ｐｂ（Ｎｉ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ
3 −ＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺｒＯ3 系組成も提案されてい
る（特公昭４５−３７９０７号公報等参照）。
ば、二元系のＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺｒＯ3 （ＰＺＴ）に
Ｂｉ2 Ｏ3 ，Ｃｒ2 Ｏ3 ，ＭｎＯ2 ，ＺｎＯ等の添加物
を加えて、圧電特性の改善を図ることが試みられてい
る。その他、三元系のＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺｒＯ3 −Ｐ
ｂ（Ｍｎ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 系、ＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺ
ｒＯ3 −Ｐｂ（Ｍｇ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3系等の圧電材料
も開発されている。また、Ｐｂ（Ｎｉ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ
3 −ＰｂＴｉＯ3 −ＰｂＺｒＯ3 系組成も提案されてい
る（特公昭４５−３７９０７号公報等参照）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
圧電磁器組成物からなる圧電材料は耐熱性、経時変化特
性、共振周波数の温度係数（Ｔｃ）等に大きな問題を有
していた。従来の圧電磁器組成物からなる圧電素子、例
えば、Ｐｂ（Ｎｉ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 −ＰｂＴｉＯ3 −
ＰｂＺｒＯ3 系のＰｂ｛（Ｎｉ1/3 Ｎｂ2/3 ）0.07Ｔｉ
0.47Ｚｒ0.46｝Ｏ3 から形成された圧電素子を加熱して
いくと、図１に破線で示すように、キュリー点よりも１
００℃以上低い温度から徐々に熱による脱分極を起こ
し、電気機械結合係数（Ｋｐ）等の圧電特性の劣化が始
まる。このため圧電素子の使用上限温度はキュリー点よ
りはるか下の２００℃付近に限定されていた。この原因
としては、第３成分固溶によってキュリー点が低下して
しまうことと、圧電材料が本質的に脱分極を起こし易い
ことが上げられる。
圧電磁器組成物からなる圧電材料は耐熱性、経時変化特
性、共振周波数の温度係数（Ｔｃ）等に大きな問題を有
していた。従来の圧電磁器組成物からなる圧電素子、例
えば、Ｐｂ（Ｎｉ1/3 Ｎｂ2/3 ）Ｏ3 −ＰｂＴｉＯ3 −
ＰｂＺｒＯ3 系のＰｂ｛（Ｎｉ1/3 Ｎｂ2/3 ）0.07Ｔｉ
0.47Ｚｒ0.46｝Ｏ3 から形成された圧電素子を加熱して
いくと、図１に破線で示すように、キュリー点よりも１
００℃以上低い温度から徐々に熱による脱分極を起こ
し、電気機械結合係数（Ｋｐ）等の圧電特性の劣化が始
まる。このため圧電素子の使用上限温度はキュリー点よ
りはるか下の２００℃付近に限定されていた。この原因
としては、第３成分固溶によってキュリー点が低下して
しまうことと、圧電材料が本質的に脱分極を起こし易い
ことが上げられる。
【０００４】近年、電子部品のチップ化が進み、小型の
表面実装が可能な圧電素子すなわちセラミックフィル
タ、セラミック発振子、ディスクリミネータ、トラップ
等が開発されている。従来のリード付樹脂モールド素子
や金属ケースに封入された素子では、はんだ付け実装時
に圧電セラミックスの温度上昇は２００℃程度に抑えら
れていたが、これらのチップ素子でははんだ付けの時に
圧電セラミックスも３００℃程度の高温にさらされるよ
うになった。従って、従来の圧電材料では耐熱性の高い
信頼性の高いチップ部品を作ることが不可能であった。
表面実装が可能な圧電素子すなわちセラミックフィル
タ、セラミック発振子、ディスクリミネータ、トラップ
等が開発されている。従来のリード付樹脂モールド素子
や金属ケースに封入された素子では、はんだ付け実装時
に圧電セラミックスの温度上昇は２００℃程度に抑えら
れていたが、これらのチップ素子でははんだ付けの時に
圧電セラミックスも３００℃程度の高温にさらされるよ
うになった。従って、従来の圧電材料では耐熱性の高い
信頼性の高いチップ部品を作ることが不可能であった。
【０００５】また、共振周波数の経時変化にも大きな問
題がある。圧電セラミックスを分極処理してからの経時
変化を、時間を横軸に対数目盛りでとり、共振周波数の
変化率を縦軸にとり、図２に破線で示した。この例から
わかるように、従来の材料は０．５％／time decade 程
度の経時変化を示している。この現象は、フィルタや発
振子として加工した後でその周波数が初期の値から大き
く変動してしまうため大きな問題となっている。さら
に、共振周波数の温度係数にも問題があった。共振周波
数の温度による変化率を、温度を横軸にとり、２０℃を
基準にした共振周波数の変化率を縦軸にとり、図３に破
線で示した。この例からわかるように、従来の材料は５
００ｐｐｍ／℃程度の温度特性を示している。この現象
は使用上問題となっている。
題がある。圧電セラミックスを分極処理してからの経時
変化を、時間を横軸に対数目盛りでとり、共振周波数の
変化率を縦軸にとり、図２に破線で示した。この例から
わかるように、従来の材料は０．５％／time decade 程
度の経時変化を示している。この現象は、フィルタや発
振子として加工した後でその周波数が初期の値から大き
く変動してしまうため大きな問題となっている。さら
に、共振周波数の温度係数にも問題があった。共振周波
数の温度による変化率を、温度を横軸にとり、２０℃を
基準にした共振周波数の変化率を縦軸にとり、図３に破
線で示した。この例からわかるように、従来の材料は５
００ｐｐｍ／℃程度の温度特性を示している。この現象
は使用上問題となっている。
【０００６】本発明は、上記の問題点に鑑みてなされた
ものであり、電気機械結合係数及び耐熱性が高く、良好
な共振周波数の温度係数であって、しかも経時変化が小
さい圧電磁器組成物を提供することを目的とする。
ものであり、電気機械結合係数及び耐熱性が高く、良好
な共振周波数の温度係数であって、しかも経時変化が小
さい圧電磁器組成物を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】 本発明に係る圧電磁器組成物は、（Ｐｂ1-X ＭｅX )｛（Ｙｂ1/2 Ｎｂ1/2 )a (Ｍｎ1/2 Ｗ1/2 )b Ｔｉc Ｚｒd｝Ｏ3 （ただし、ＭｅはＣａ，Ｂａ，Ｓｒから選ばれた少なく
とも１種のもの ０＜Ｘ≦０．１５， ０．０１≦ａ≦０．２０， ０．０１≦ｂ≦０．２０ ０≦ｃ≦０．７０， ０．２８≦ｄ≦０．９８ ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１） で表されることを特徴とする。
とも１種のもの ０＜Ｘ≦０．１５， ０．０１≦ａ≦０．２０， ０．０１≦ｂ≦０．２０ ０≦ｃ≦０．７０， ０．２８≦ｄ≦０．９８ ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１） で表されることを特徴とする。
【０００８】本発明において、圧電磁器組成物の組成を
上記範囲に限定した理由は次の通りである。Ｐｂの一部
をＣａ，Ｂａ，Ｓｒから選ばれた少なくとも１種のもの
に置換することにより、経時変化と耐熱性と圧電特性を
低下させずに、共振周波数の温度係数を向上させる。こ
れらのＣａ，Ｂａ，Ｓｒが多くなり、これらが０．１５
（モル分率、以下同じ）を超えると耐熱性が低下し、０
であると共振周波数の温度係数が改善されないので、０
＜Ｘ≦０．１５とした。また、（Ｙｂ1/2 Ｎｂ1/2 ）
は、圧電材料の電気機械結合係数を改善するためのもの
で、Ｙｂ1/2 Ｎｂ1/2 が０．０１未満では所望の高い電
気機械結合係数が得られず、０．２０を超えると耐熱性
が低下する。それゆえ０．０１≦ａ≦０．２０とした。
（Ｍｎ1/2 Ｗ1/2 ）は、圧電材料の機械的品質係数を改
善するためのもので、Ｍｎ1/2 Ｗ1/2 が０．０１未満で
は所望の高い機械的品質係数が得られず、０．２０を超
えると耐熱性が低下するので、０．０１≦ｂ≦０．２０
とした。Ｔｉ，Ｚｒは、圧電材料の主要な成分であり、
Ｔｉが０．７０を超えると圧電特性が変わり、所望の高
い電気機械結合係数が得られない。Ｚｒが０．２８未満
では所望の高い電気機械結合係数が得られず、０．９８
を超えると置換、添加成分が０．０１未満となり、その
添加の効果がなくなるので、Ｔｉは０≦ｃ≦０．７０と
し、Ｚｒは０．２８≦ｄ≦０．９８とした。
上記範囲に限定した理由は次の通りである。Ｐｂの一部
をＣａ，Ｂａ，Ｓｒから選ばれた少なくとも１種のもの
に置換することにより、経時変化と耐熱性と圧電特性を
低下させずに、共振周波数の温度係数を向上させる。こ
れらのＣａ，Ｂａ，Ｓｒが多くなり、これらが０．１５
（モル分率、以下同じ）を超えると耐熱性が低下し、０
であると共振周波数の温度係数が改善されないので、０
＜Ｘ≦０．１５とした。また、（Ｙｂ1/2 Ｎｂ1/2 ）
は、圧電材料の電気機械結合係数を改善するためのもの
で、Ｙｂ1/2 Ｎｂ1/2 が０．０１未満では所望の高い電
気機械結合係数が得られず、０．２０を超えると耐熱性
が低下する。それゆえ０．０１≦ａ≦０．２０とした。
（Ｍｎ1/2 Ｗ1/2 ）は、圧電材料の機械的品質係数を改
善するためのもので、Ｍｎ1/2 Ｗ1/2 が０．０１未満で
は所望の高い機械的品質係数が得られず、０．２０を超
えると耐熱性が低下するので、０．０１≦ｂ≦０．２０
とした。Ｔｉ，Ｚｒは、圧電材料の主要な成分であり、
Ｔｉが０．７０を超えると圧電特性が変わり、所望の高
い電気機械結合係数が得られない。Ｚｒが０．２８未満
では所望の高い電気機械結合係数が得られず、０．９８
を超えると置換、添加成分が０．０１未満となり、その
添加の効果がなくなるので、Ｔｉは０≦ｃ≦０．７０と
し、Ｚｒは０．２８≦ｄ≦０．９８とした。
【０００９】
【作用】本発明に係る圧電磁器組成物は、上記のように
Ｐｂの一部をＣａ，Ｂａ，Ｓｒから選ばれた少なくとも
１種のものに置換するとともに、第３成分、及び第４成
分のＰｂ（Ｙｂ1/2 Ｎｂ1/2 ）Ｏ3 、Ｐｂ（Ｍｎ1/2 Ｗ
1/2 ）Ｏ3 を含ませて構成したので、これらの成分の相
互作用により、キュリー点が従来組成のように大きく低
下することがなく、３００℃程度のキュリー点を有し、
しかもキュリー点直下まで電気機械結合係数が大きく劣
化することがなく、高い耐熱性を持っている。また、共
振周波数の経時変化についても、０．１％／time decad
e 以下の安定性の非常に高い圧電素子を得ることができ
る。しかも、組成比を選ぶことによりＫｐ＞６０％、Ｑ
ｍｐ＞８００及びεｒ＞１０００の優れた圧電材料を実
現することができる。
Ｐｂの一部をＣａ，Ｂａ，Ｓｒから選ばれた少なくとも
１種のものに置換するとともに、第３成分、及び第４成
分のＰｂ（Ｙｂ1/2 Ｎｂ1/2 ）Ｏ3 、Ｐｂ（Ｍｎ1/2 Ｗ
1/2 ）Ｏ3 を含ませて構成したので、これらの成分の相
互作用により、キュリー点が従来組成のように大きく低
下することがなく、３００℃程度のキュリー点を有し、
しかもキュリー点直下まで電気機械結合係数が大きく劣
化することがなく、高い耐熱性を持っている。また、共
振周波数の経時変化についても、０．１％／time decad
e 以下の安定性の非常に高い圧電素子を得ることができ
る。しかも、組成比を選ぶことによりＫｐ＞６０％、Ｑ
ｍｐ＞８００及びεｒ＞１０００の優れた圧電材料を実
現することができる。
【００１０】本発明に係る圧電磁器組成物は、上記のよ
うに共振周波数の経時変化と耐熱性を向上させるので、
圧電特性にすぐれ、耐熱性が高く、しかも経時変化が小
さい圧電材料を得ることができる。
うに共振周波数の経時変化と耐熱性を向上させるので、
圧電特性にすぐれ、耐熱性が高く、しかも経時変化が小
さい圧電材料を得ることができる。
【００１１】
【実施例】次に、本発明を実施例により詳しく説明す
る。出発原料として、ＰｂＯ，Ｙｂ2 Ｏ3 ，Ｎｂ2 Ｏ
5 , ＭｎＯ，ＷＯ3 , ＴｉＯ2 及びＺｒＯ2 ，ＣａＯ，
ＢａＯ，及びＳｒＯを使用し、これらの粉末を表１に示
す組成になるように秤量した。この原料粉末を湿式混合
乾燥後、７００〜９００℃で仮焼した。次いで、有機系
バインダーを加え、湿式粉砕して整粒した後成形圧１to
n/cm2 で成形した。成形体を１０００〜１２５０℃で焼
成した。
る。出発原料として、ＰｂＯ，Ｙｂ2 Ｏ3 ，Ｎｂ2 Ｏ
5 , ＭｎＯ，ＷＯ3 , ＴｉＯ2 及びＺｒＯ2 ，ＣａＯ，
ＢａＯ，及びＳｒＯを使用し、これらの粉末を表１に示
す組成になるように秤量した。この原料粉末を湿式混合
乾燥後、７００〜９００℃で仮焼した。次いで、有機系
バインダーを加え、湿式粉砕して整粒した後成形圧１to
n/cm2 で成形した。成形体を１０００〜１２５０℃で焼
成した。
【００１２】焼成により得られた磁器の両主面に焼付け
電極を形成し、５０〜８０℃の絶縁油中において２〜３
ＫＶ／ｍｍの電圧で３０分間分極処理した。得られた圧
電性磁器について、それぞれ誘電率（εｒ）、径方向の
電気機械結合係数（Ｋｐ）、及び機械的品質係数（Ｑｍ
ｐ）を測定した。その結果を表２に示すとともに、図１
に試料Ｎｏ．１の組成物の電気機械結合係数（Ｋｐ）と
温度との関係を実線で示し、図２にＮｏ．１の組成物の
共振周波数の変化率と時間との関係を実線で示し、図３
にＮｏ．１の組成物の共振周波数の変化率と温度との関
係を実線で示した。表中の試料Ｎｏ．欄の＊は、本発明
の範囲外の組成であることを示す。なお、圧電特性は、
インピーダンス測定機により共振周波数及び反共振周波
数を測定し、計算により求めた。また、耐熱温度は試料
を３分間保持してＫｐの値が初期値に対して９０％以上
の値を示す温度の中での最高温度であり、共振周波数の
温度係数（Ｔｃ）は次式により与えられる。 Ｔｃ＝（ＦｒMAX −ＦａMIN ）／Ｆｒ20 ただし、ＦｒMAX ，ＦａMIN はそれぞれ−２０〜＋８０
℃の温度範囲での共振周波数の最大値及び最小値、Ｆｒ
20は２０℃での共振周波数のものである。以上の測定結
果から、本発明によれば、電気機械結合係数が大きく劣
化することがなく高い耐熱性を持った組成を得ることが
できた。
電極を形成し、５０〜８０℃の絶縁油中において２〜３
ＫＶ／ｍｍの電圧で３０分間分極処理した。得られた圧
電性磁器について、それぞれ誘電率（εｒ）、径方向の
電気機械結合係数（Ｋｐ）、及び機械的品質係数（Ｑｍ
ｐ）を測定した。その結果を表２に示すとともに、図１
に試料Ｎｏ．１の組成物の電気機械結合係数（Ｋｐ）と
温度との関係を実線で示し、図２にＮｏ．１の組成物の
共振周波数の変化率と時間との関係を実線で示し、図３
にＮｏ．１の組成物の共振周波数の変化率と温度との関
係を実線で示した。表中の試料Ｎｏ．欄の＊は、本発明
の範囲外の組成であることを示す。なお、圧電特性は、
インピーダンス測定機により共振周波数及び反共振周波
数を測定し、計算により求めた。また、耐熱温度は試料
を３分間保持してＫｐの値が初期値に対して９０％以上
の値を示す温度の中での最高温度であり、共振周波数の
温度係数（Ｔｃ）は次式により与えられる。 Ｔｃ＝（ＦｒMAX −ＦａMIN ）／Ｆｒ20 ただし、ＦｒMAX ，ＦａMIN はそれぞれ−２０〜＋８０
℃の温度範囲での共振周波数の最大値及び最小値、Ｆｒ
20は２０℃での共振周波数のものである。以上の測定結
果から、本発明によれば、電気機械結合係数が大きく劣
化することがなく高い耐熱性を持った組成を得ることが
できた。
【００１３】
【表１】
【００１４】
【表２】
【００１５】
【発明の効果】本発明による圧電磁器組成物は、キュリ
ー点が３００℃程度で大きく低下することがなく、しか
もキュリー点直下まで電気機械結合係数が大きく劣化す
ることがない高い耐熱性を持っている。また、共振周波
数の経時変化についても、０．１％／time decade の安
定性の高い圧電素子を得ることができる。しかも、組成
比を選ぶことによりＫｐ＞６０％、Ｑｍｐ＞８００、及
びεｒ＞１０００の優れた圧電材料を得ることができ
る。以上のように本発明によれば、大きな電気機械結合
係数、高い耐熱性、及び小さな経時変化を持つ圧電磁器
組成物を得ることができる。
ー点が３００℃程度で大きく低下することがなく、しか
もキュリー点直下まで電気機械結合係数が大きく劣化す
ることがない高い耐熱性を持っている。また、共振周波
数の経時変化についても、０．１％／time decade の安
定性の高い圧電素子を得ることができる。しかも、組成
比を選ぶことによりＫｐ＞６０％、Ｑｍｐ＞８００、及
びεｒ＞１０００の優れた圧電材料を得ることができ
る。以上のように本発明によれば、大きな電気機械結合
係数、高い耐熱性、及び小さな経時変化を持つ圧電磁器
組成物を得ることができる。
【図１】本発明と従来例による圧電材料の耐熱特性の比
較を示すグラフである。
較を示すグラフである。
【図２】本発明と従来例による圧電材料の共振周波数の
変化率の比較を示すグラフである。
変化率の比較を示すグラフである。
【図３】本発明と従来例にによる圧電材料の共振周波数
の温度特性の比較を示すグラフである。
の温度特性の比較を示すグラフである。
Claims (1)
- 【請求項１】 （Ｐｂ1-X ＭｅX )｛（Ｙｂ1/2 Ｎｂ1/2 )a (Ｍｎ1/2 Ｗ1/2 )b Ｔｉc Ｚｒd｝Ｏ3 （ただし、ＭｅはＣａ，Ｂａ，Ｓｒから選ばれた少なく
とも１種のもの、 ０＜Ｘ≦０．１５， ０．０１≦ａ≦０．２０， ０．０１≦ｂ≦０．２０ ０≦ｃ≦０．７０， ０．２８≦ｄ≦０．９８， ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１） なる一般式で表されることを特徴とする圧電磁器組成
物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03244749A JP3097217B2 (ja) | 1991-08-29 | 1991-08-29 | 圧電磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03244749A JP3097217B2 (ja) | 1991-08-29 | 1991-08-29 | 圧電磁器組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0558728A true JPH0558728A (ja) | 1993-03-09 |
| JP3097217B2 JP3097217B2 (ja) | 2000-10-10 |
Family
ID=17123326
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03244749A Expired - Fee Related JP3097217B2 (ja) | 1991-08-29 | 1991-08-29 | 圧電磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3097217B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5527481A (en) * | 1993-12-27 | 1996-06-18 | Tdk Corporation | Piezoelectric ceramic composition |
| JP2002299710A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Kyocera Corp | 積層型圧電素子及び噴射装置 |
-
1991
- 1991-08-29 JP JP03244749A patent/JP3097217B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5527481A (en) * | 1993-12-27 | 1996-06-18 | Tdk Corporation | Piezoelectric ceramic composition |
| JP2002299710A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-11 | Kyocera Corp | 積層型圧電素子及び噴射装置 |
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| JP3097217B2 (ja) | 2000-10-10 |
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