JP2762012B2 - 圧電磁器組成物 - Google Patents
圧電磁器組成物Info
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Landscapes
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- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は圧電磁器組成物、特に、
セラミック発振子、セラミックディスクリミネータ、セ
ラミックフィルタ、弾性表面波素子に好適な圧電磁器組
成物に係る。
セラミック発振子、セラミックディスクリミネータ、セ
ラミックフィルタ、弾性表面波素子に好適な圧電磁器組
成物に係る。
【0002】
【従来の技術】従来の、この種の圧電素子に用いる材料
としては、PbTiO3−PbZrO3の二成分系に、C
r2O3、MnO2、Fe2O3、Bi2O3などを添加する
ことにより圧電特性を改善したもの、あるいは、PbT
iO3−PbZrO3の二成分系に、Pb(Co1/3Nb
2/3 )O3、Pb(Mg1/3Nb2/3)O3、Pb(Mn
1/3Nb2/3)O3、Pb(Ni1/3Nb2/3)O3などを加
え三成分系とし、圧電特性を改善した圧電磁器組成物、
さらに、PbTiO3−PbZrO3−Pb(Yb1/2N
b1/2)O3(特公昭45−10311号公報)などが提
案されている。
としては、PbTiO3−PbZrO3の二成分系に、C
r2O3、MnO2、Fe2O3、Bi2O3などを添加する
ことにより圧電特性を改善したもの、あるいは、PbT
iO3−PbZrO3の二成分系に、Pb(Co1/3Nb
2/3 )O3、Pb(Mg1/3Nb2/3)O3、Pb(Mn
1/3Nb2/3)O3、Pb(Ni1/3Nb2/3)O3などを加
え三成分系とし、圧電特性を改善した圧電磁器組成物、
さらに、PbTiO3−PbZrO3−Pb(Yb1/2N
b1/2)O3(特公昭45−10311号公報)などが提
案されている。
【0003】近年電子装置の小型化に伴い表面実装が盛
んに行われるようになり、それに対応して電子部品のチ
ップ化が進められている。本願発明が係る圧電素子部品
もその例に洩れず、表面実装用の圧電素子チップ部品が
開発されている。従来のセラミック発振子、セラミック
フィルタ等の圧電素子部品はリードタイプの樹脂モール
ド品であり、半田付け温度は200℃以下であったた
め、圧電素子に対する熱の影響はあまり大きな問題では
なかった。しかし、チップ部品の形態を採る圧電素子チ
ップ部品は電子装置に実装する際の半田付け時のリフロ
ー炉において250℃前後の温度にさらされる。
んに行われるようになり、それに対応して電子部品のチ
ップ化が進められている。本願発明が係る圧電素子部品
もその例に洩れず、表面実装用の圧電素子チップ部品が
開発されている。従来のセラミック発振子、セラミック
フィルタ等の圧電素子部品はリードタイプの樹脂モール
ド品であり、半田付け温度は200℃以下であったた
め、圧電素子に対する熱の影響はあまり大きな問題では
なかった。しかし、チップ部品の形態を採る圧電素子チ
ップ部品は電子装置に実装する際の半田付け時のリフロ
ー炉において250℃前後の温度にさらされる。
【0004】前に述べたような組成を有する従来の圧電
磁器組成物は、200℃以上の温度にさらされることは
想定していない。そのため、電子装置に実装する際の半
田付け時のリフロー炉において250℃前後の温度にさ
らされると機械的品質係数(Qm)、電気機械結合係数
(kp)が悪化するため、耐熱性において信頼性の高い
圧電素子チップ部品を得ることはできなかった。
磁器組成物は、200℃以上の温度にさらされることは
想定していない。そのため、電子装置に実装する際の半
田付け時のリフロー炉において250℃前後の温度にさ
らされると機械的品質係数(Qm)、電気機械結合係数
(kp)が悪化するため、耐熱性において信頼性の高い
圧電素子チップ部品を得ることはできなかった。
【0005】また、従来の圧電材料をセラミック発振子
等に用いた場合、素子の経時変化により、共振周波数が
初期の周波数から大きく変動するという問題があった。
等に用いた場合、素子の経時変化により、共振周波数が
初期の周波数から大きく変動するという問題があった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本願発明はこれらの問
題を解決することができる圧電磁器組成物、すなわち、
200℃以上の温度にさらされても特性が悪化すること
なく、経時変化の小さい圧電磁器組成物を提供すること
を課題とする。
題を解決することができる圧電磁器組成物、すなわち、
200℃以上の温度にさらされても特性が悪化すること
なく、経時変化の小さい圧電磁器組成物を提供すること
を課題とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するために「一般式:Pbα[(Mg1/3Nb2/3)a
(Yb1/2Nb1/2)bTiCZrd]O 3(但し、a+b+
c+d=1)で示され、0.95≦α≦1.05,0.0
1≦a≦0.15,0.01≦b≦0.10,0.30≦c
≦0.60,0.25≦d≦0.68を満足する基礎組成
を有することを特徴とする圧電磁器組成物」であること
を構成とする発明を提供する。
決するために「一般式:Pbα[(Mg1/3Nb2/3)a
(Yb1/2Nb1/2)bTiCZrd]O 3(但し、a+b+
c+d=1)で示され、0.95≦α≦1.05,0.0
1≦a≦0.15,0.01≦b≦0.10,0.30≦c
≦0.60,0.25≦d≦0.68を満足する基礎組成
を有することを特徴とする圧電磁器組成物」であること
を構成とする発明を提供する。
【0008】
【作用】本発明の圧電磁器組成物を使用した圧電磁器素
子によれば、高い電気機械結合係数が得らるとともに耐
熱性が改善される。
子によれば、高い電気機械結合係数が得らるとともに耐
熱性が改善される。
【0009】
【実施例】以下、本発明の実施例を図及び表を用いて説
明する。
明する。
【表1】
【0010】 図1に本発明に係る圧電磁器組成物は以
下に記した工程により製造される。 (1)出発原料としてPbO、MgCO3、Yb2O3、N
b 2 O 5 、TiO2、ZrO2を用い、これらを第1表に示
す組成になるように秤量する。なお、この表においてa
はMgCO 3 とNb 2 O 5 を1:1のモル比で混合したも
の、bはYb 2 O 3 とNb 2 O 5 を1:1のモル比で混合し
たものを秤量する。 (2)秤量された原料をボールミルで湿式混合する。 (3)湿式混合されたものを乾燥する。 (4)乾燥されたものを750℃〜900℃で仮焼する。 (5)仮焼成されたものをボールミルで湿式粉砕する。 (6)得られた粉末に有機バインダを適量加えて造粒す
る。 (7)造粒されたものを4ton/cm2の圧力で加圧成
形する。 (8)成形体を1130℃〜1250℃で焼結する。 (9)焼結体の両表面に、銀電極を焼付・形成する。 (10)50℃〜120℃のシリコーン油中において2〜
3MV/mの直流電界を1時間印加して分極処理する。
下に記した工程により製造される。 (1)出発原料としてPbO、MgCO3、Yb2O3、N
b 2 O 5 、TiO2、ZrO2を用い、これらを第1表に示
す組成になるように秤量する。なお、この表においてa
はMgCO 3 とNb 2 O 5 を1:1のモル比で混合したも
の、bはYb 2 O 3 とNb 2 O 5 を1:1のモル比で混合し
たものを秤量する。 (2)秤量された原料をボールミルで湿式混合する。 (3)湿式混合されたものを乾燥する。 (4)乾燥されたものを750℃〜900℃で仮焼する。 (5)仮焼成されたものをボールミルで湿式粉砕する。 (6)得られた粉末に有機バインダを適量加えて造粒す
る。 (7)造粒されたものを4ton/cm2の圧力で加圧成
形する。 (8)成形体を1130℃〜1250℃で焼結する。 (9)焼結体の両表面に、銀電極を焼付・形成する。 (10)50℃〜120℃のシリコーン油中において2〜
3MV/mの直流電界を1時間印加して分極処理する。
【0011】このようにして得られた形状が直径14.
3mm、厚さ0.6mmの圧電磁器円板について、密度
(ρ),電気機械結合係数(kp),誘電率(ε)及び
機械的品質係数(Qm)を測定した結果を表1に示す。
3mm、厚さ0.6mmの圧電磁器円板について、密度
(ρ),電気機械結合係数(kp),誘電率(ε)及び
機械的品質係数(Qm)を測定した結果を表1に示す。
【0012】圧電特性は、インピーダンスアナライザー
を用いて、共振・反共振周波数を測定した結果から計算
により求めた。kp変化率は耐熱性の評価方法であり、
250℃の半田槽に円板素子を1分間浸漬させ、その前
後におけるkpの変化を測定した値で、次式で示され
る。 kp変化率(%)=[(kp−kpi)/kpi]×100 ここで、kpiは半田槽浸漬前の電気機械結合係数であ
り、kpは半田槽浸漬1時間後の電気機械結合係数であ
る。
を用いて、共振・反共振周波数を測定した結果から計算
により求めた。kp変化率は耐熱性の評価方法であり、
250℃の半田槽に円板素子を1分間浸漬させ、その前
後におけるkpの変化を測定した値で、次式で示され
る。 kp変化率(%)=[(kp−kpi)/kpi]×100 ここで、kpiは半田槽浸漬前の電気機械結合係数であ
り、kpは半田槽浸漬1時間後の電気機械結合係数であ
る。
【0013】これらの測定結果の評価は電気機械結合係
数(kp)及び電気機械結合係数変化率について行い、
電気機械結合係数については60%以上、電気機械結合
係数変化率については−3%以上のものを良好と判定
し、その他の不良と判定した。
数(kp)及び電気機械結合係数変化率について行い、
電気機械結合係数については60%以上、電気機械結合
係数変化率については−3%以上のものを良好と判定
し、その他の不良と判定した。
【0014】その結果、電気機械結合係数については、
試料1,5,6,9,10,13,14,16,19を
不良と判定し、電気機械結合係数変化率については、試
料1,5,6,9,10,13,14,16,19を不
良と判定した。そして、総合して試料2,3,4,7,
8,11,12,15,17,18を良好と判定した。
試料1,5,6,9,10,13,14,16,19を
不良と判定し、電気機械結合係数変化率については、試
料1,5,6,9,10,13,14,16,19を不
良と判定した。そして、総合して試料2,3,4,7,
8,11,12,15,17,18を良好と判定した。
【0015】この判定結果に基づいて試料の組成範囲を
整理すると、αに関してはα<0.95,1.05<α、
aに関してはa<0.01,0.15<a、bに関しては
b<0.01,0.10<b、cに関してはc<0.3
0,0.60<c、dに関してはd<0.25,0.68
<dの組成範囲のものは不良であり、したがってαに関
しては0.95≦α≦1.05、aに関しては0.01≦
a≦0.15、bに関しては0.01≦b≦0.10、c
に関しては0.30≦c≦0.60、dに関しては0.2
5≦d≦0.68の組成範囲のものは良好である。
整理すると、αに関してはα<0.95,1.05<α、
aに関してはa<0.01,0.15<a、bに関しては
b<0.01,0.10<b、cに関してはc<0.3
0,0.60<c、dに関してはd<0.25,0.68
<dの組成範囲のものは不良であり、したがってαに関
しては0.95≦α≦1.05、aに関しては0.01≦
a≦0.15、bに関しては0.01≦b≦0.10、c
に関しては0.30≦c≦0.60、dに関しては0.2
5≦d≦0.68の組成範囲のものは良好である。
【0016】表1から明らかなように、従来の圧電磁器
組成物では、250℃の半田熱による電気機械結合係数
の変化率が−20%前後であったが、本発明に係る圧電
磁器組成物では、PbTiO3−PbZrO3に第3成
分、第4成分として、(Mg1/3Nb2/3)O3、(Yb
1/2Nb1/2)O3を同時に固溶させることにより、−3
%以下と大幅に改善することができる。
組成物では、250℃の半田熱による電気機械結合係数
の変化率が−20%前後であったが、本発明に係る圧電
磁器組成物では、PbTiO3−PbZrO3に第3成
分、第4成分として、(Mg1/3Nb2/3)O3、(Yb
1/2Nb1/2)O3を同時に固溶させることにより、−3
%以下と大幅に改善することができる。
【0017】本発明の実施例である試料3と従来例の時
間経過に伴う共振周波数の変化を図2に示す。なお、共
振周波数の変化率は、次式で示される。 共振周波変化率(%)=[(fr−fri)/fri]×1
00 ここで、friは初期(分極1時間後)における共振周波
数であり、frは分極後一定時間経過後における共振周
波数である。この図から明らかなように、従来の圧電磁
器組成物に比べ、本発明の圧電磁器組成物は、共振周波
数の変化率が0.1%/Time decade以下と極めて小さな
値にすることができる。しかも、組成比を選ぶことによ
り、電気機械結合係数(kp)が60%以上の優れた圧
電磁器材料を得ることができる。
間経過に伴う共振周波数の変化を図2に示す。なお、共
振周波数の変化率は、次式で示される。 共振周波変化率(%)=[(fr−fri)/fri]×1
00 ここで、friは初期(分極1時間後)における共振周波
数であり、frは分極後一定時間経過後における共振周
波数である。この図から明らかなように、従来の圧電磁
器組成物に比べ、本発明の圧電磁器組成物は、共振周波
数の変化率が0.1%/Time decade以下と極めて小さな
値にすることができる。しかも、組成比を選ぶことによ
り、電気機械結合係数(kp)が60%以上の優れた圧
電磁器材料を得ることができる。
【0018】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係る圧電磁器組成物を用いることにより、電気機械結
合係数(kp)が高く、耐熱性が高く、しかも、経時変
化の極めて小さい圧電磁器素子を得ることができる。従
って、表面実装の際に、250℃前後の温度にさらされ
ても圧電特性の劣化することが少ないチップ部品を作製
することができる。
に係る圧電磁器組成物を用いることにより、電気機械結
合係数(kp)が高く、耐熱性が高く、しかも、経時変
化の極めて小さい圧電磁器素子を得ることができる。従
って、表面実装の際に、250℃前後の温度にさらされ
ても圧電特性の劣化することが少ないチップ部品を作製
することができる。
【図1】本発明の圧電磁器組成物を用いた圧電素子の製
造工程図。
造工程図。
【図2】本発明の圧電磁器組成物と従来例の共振周波数
の経時変化率を示すグラフ。
の経時変化率を示すグラフ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H01L 41/187 H01L 41/18 101J (56)参考文献 特開 平5−7029(JP,A) 特開 平5−58727(JP,A) 特開 平5−58728(JP,A) 特開 平3−215357(JP,A) 特開 平3−215358(JP,A) 特開 平4−55366(JP,A) 特公 昭45−10311(JP,B1) 特公 昭45−30152(JP,B1)
Claims (1)
- 【請求項1】 一般式: Pbα[(Mg1/3Nb2/3)a(Yb1/2Nb1/2)bTiCZrd]O 3 (但し、a+b+c+d=1)で示され、 0.95≦α≦1.05 0.01≦a≦0.15 0.01≦b≦0.10 0.30≦c≦0.60 0.25≦d≦0.68 であることを特徴とする圧電磁器組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5124206A JP2762012B2 (ja) | 1993-05-26 | 1993-05-26 | 圧電磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5124206A JP2762012B2 (ja) | 1993-05-26 | 1993-05-26 | 圧電磁器組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06333427A JPH06333427A (ja) | 1994-12-02 |
JP2762012B2 true JP2762012B2 (ja) | 1998-06-04 |
Family
ID=14879622
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5124206A Expired - Fee Related JP2762012B2 (ja) | 1993-05-26 | 1993-05-26 | 圧電磁器組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2762012B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6123867A (en) * | 1997-12-03 | 2000-09-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric ceramic composition and piezoelectric device using the same |
JP3581577B2 (ja) | 1998-08-19 | 2004-10-27 | Tdk株式会社 | 圧電磁器組成物 |
-
1993
- 1993-05-26 JP JP5124206A patent/JP2762012B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06333427A (ja) | 1994-12-02 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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