JPH0556402B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は流体制御装置に係り、特に、流量制御
機能と保圧機能とリリーフ機能を備えた流体制御
装置に関する。

〔従来技術〕

この種の流体制御装置としては、従来、第６図
にて示したものがあり、同図に示した流体制御装
置は、主弁１０とパイロツト弁２０とリリーフ弁
３０を主体としている。主弁１０は、大径孔１１
ａと小径孔１１ｂを連設して連設段部に弁座１１
ｃを形成してなり同弁座１１ｃを間にして小径孔
側を図示しないアクチユエータに接続される流入
路１１ｄとしかつ大径孔側をリザーバに接続され
る流出路１１ｅとしてなる弁本体１１と、同弁本
体１１の大径孔１１ａ内にＯリング，バツクアツ
プリング等のシール部材１２を介して摺動自在に
嵌挿されて背圧室Roを形成しかつ弁座１１ｃに
着座したり離脱して流入路１１ｄと流出路１１ｅ
間を連通遮断するポペツト弁体１３と、背圧室
Ro内に組込まれてポペツト弁体１３を弁座１１
ｃに向けて付勢するばね１４と、弁本体１１に螺
進退可能に組付けられてポペツト弁体１３の弁座
１１ｃからのリフト量を調整可能に規定するスト
ツパねじ１５によつて構成されている。一方、パ
イロツト弁２０は、背圧室Roへのパイロツト圧
の給排を行う電磁切換弁であつて、図示の非作動
状態にてパイロツト圧を背圧室Roに供給し、ま
た作動状態にて背圧室Roからパイロツト圧を排
出する。また、リリーフ弁３０は、主弁１０に対
して並列的に設けられていて、流入路１１ｄ内油
圧が所定値に達したとき同油圧をリリーフする。

上記構成により、第６図に示した装置において
は、パイロツト弁２０が非作動状態にあつてパイ
ロツト圧が背圧室Roに供給されておれば、ポペ
ツト弁体１３がパイロツト圧及びばね１４の力に
より弁座１１ｃに着座させられるため、流入路１
１ｄと流出路１１ｅ間の連通は遮断され、流入路
１１ｄ内油圧は保持される（保圧機能）。この状
態において、流入路１１ｄ内油圧が所定値に達す
ると、リリーフ弁３０が作動して流入路１１ｄ内
の圧油がリザーバに向けて流れ、流入路１１ｄ内
油圧の過度な上昇が抑制されてアクチユエータ等
が保護される（リリーフ機能）。

また、パイロツト弁２０が作動されてパイロツ
ト圧が背圧室Roから排出されると、ポペツト弁
体１３が流入路１１ｄから流出路１１ｅに流れよ
うとする作動油の圧力によりストツパねじ１５に
当接するまで押し開かれるため、流入路１１ｄか
ら流出路１１ｅにはストツパねじ１５によつて設
定された流量の作動油が流れる。（流量制御機
能）。なお、パイロツト弁２０と主弁１０間には
流量調整弁３１，３２が介装されているため、ポ
ペツト弁体１３の開閉速度が調整される。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところで、上記した従来の流体制御装置におい
ては、流量を調整する場合、受圧面積が大きくて
大きな力を受けているポペツト弁体１３を直接ス
トツパねじ１５により動かさなければならず、そ
の操作に大きな力が必要である。また、ストツパ
ねじ１５により主弁１０のポペツト弁体１３を動
かして流量を調整するものであつてポペツト弁体
１３のわずかな移動によつて流量が大きく変るた
め、ストツパねじ１５のピツチを如何に小さくし
ても流量の設定（微調整）が難しい。

また、上記した従来の流体制御装置において
は、両流量調整弁３１，３２によりポペツト弁体
１３の開閉速度を調整し得るものの、ポペツト弁
体１３はその両側に作用する押圧力の差によつて
動くものであるため、背圧室Roに供給されるパ
イロツト圧の変動や流入路１１ｄ及び流出路１１
ｅ内圧力の変動によつてポペツト弁体１３の開閉
速度が変動してしまう。

更に、上記した従来の流体制御装置において
は、その構成部材である主弁１０とリリーフ弁３
０が大流量を制御するものであつて大型であるた
め、当該装置が大型となり、取付スペースやコス
ト面で問題がある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は上記した問題を解決するために、当該
流体制御装置を、 大径孔の両端に同一径の小径孔をそれぞれ連設
してなり一方の連設段部に弁座を形成してなる弁
本体と、前記大径孔内に嵌挿されて一側に流入路
に常時連通する第１油室を形成し前記弁座に着座
したり離脱して同弁座を開閉するポペツト弁部と
同ポペツト弁部の一側に連設されて前記一方の小
径孔内に延び同小径孔との間に流出路に常時連通
しかつ前記弁座を通して前記第１油室に連通する
第２油室を形成する連結部と同連結部に連設され
て前記一方の小径孔に摺動自在に嵌挿され同小径
孔端に第３油室を形成するピストン部を一体的に
備えるとともに前記ポペツト弁部の他側に連設さ
れて前記他方の小径孔に摺動自在に嵌挿され同小
径孔端に前記流入路側に絞りを介して接続される
第４油室を形成するとともに前記大径孔端に第２
の絞りを介して前記流入路側に連通する第５油室
を形成する小径部を一体的に備える弁体と、同弁
体を前記第３油室に向けて付勢するばねを具備し
てなる主弁と、 前記第３油室に付与されるパイロツト圧を電流
付与値に応じて比例制御する第１パイロツト弁
と、 前記パイロツト圧により作動を制御されて前記
パイロツト圧が設定値未満であるとき前記第４油
室と戻り路の連通を遮断しまた前記パイロツト圧
が設定値以上であるとき前記第４油室と前記戻り
路を連通させる第２パイロツト弁と、 前記流入路内油圧及び前記第５油室内油圧によ
り作動を制御されて前記第５油室内油圧が所定値
に達したとき作動して同油圧をリリーフするとと
もに前記第４油室内油圧をリリーフする第３パイ
ロツト弁を備える構成とした。

〔発明の作用〕

本発明による流体制御装置においては、第３パ
イロツト弁が作動しないかぎり、流入路側油圧が
第１油室及び第５油室に付与されてポペツト弁部
に作用する押圧力が相殺されているため、第１油
室及び第５油室に付与される流入路側油圧の変動
によつて主弁の弁体が押動されることはない。一
方、流出路側油圧は第２油室にて主弁の弁体のポ
ペツト弁部とピストン部に作用してその押圧力が
相殺されているため、流出路側油圧の変動によつ
て主弁の弁体が押動されることはない。

また第１パイロツト弁への電流付与値が設定値
未満であつて第３油室に付与されるパイロツト圧
が設定値未満である場合、第２パイロツト弁が第
４油室と戻り路の連通を遮断している。このた
め、主弁の弁体は流入路側から絞りを通して第４
油室に付与される油圧及びばねの作用により第３
油室内のパイロツト圧に抗して押圧されていてポ
ペツト弁部を弁座に着座させており、流入路と流
出路の連通が遮断され、流入路側油圧が保持され
ている（保圧機能）。かかる状態にて流入路油圧
が所定値に達すると、第３パイロツト弁が作動し
て第４油室及び第５油室内の油圧をリリーフする
ため、主弁の弁体は第１油室内油圧と第５油室内
油圧との差圧と第３油室内油圧と第４油室内油圧
との差圧（主として前者の差圧）によりばねの作
用に抗して摺動する。したがつて、弁体のポペツ
ト弁部が弁座から離れて流入路から流出路に圧油
が流れ、流入路側油圧の過度な上昇が抑制される
（リリーフ機能）。

しかして、第１パイロツト弁への電流付与値を
設定値以上として第３油室に付与されるパイロツ
ト圧を設定値以上とすると、第２パイロツト弁が
作動して第４油室を戻り路に連通させる。このた
め、第４油室内の油圧は減少し、主弁の弁体は第
３油室内のパイロツト圧（第１パイロツト弁によ
つて設定値以上の或る値に設定されている）によ
る押圧力とばねの作用力（詳細には、同作用力と
第４油室内に残つている油圧による押圧力の合
力）がバランスする位置にて保持され流入路から
流出路へ流れる流量が規定される。したがつて、
第１パイロツト弁への電流付与値を変えて第２油
室に付与されるパイロツト圧を変えることによ
り、主弁の弁体の位置を調整でき、流入路から流
出路へ流れる流量を調整することができる。（流
量制御機能）。

また、本発明による流体制御装置においては、
第１パイロツト弁への電流付与値を適宜に時定数
制御して第３油室に付与されるパイロツト圧の増
大又は減少速度を適宜に調整すれば、主弁の弁体
の開弁速度及び閉弁速度を適宜に調整することが
できる。

〔発明の効果〕

上述した作用説明から明らかなように、本発明
による流体制御装置においては、第３パイロツト
弁が作動しないかぎり、主弁の弁体のポペツト弁
部に作用する流入路側油圧による押圧力が相殺さ
れるとともにポペツト弁部とピストン部に作用す
る流出路側油圧による押圧力が相殺されていて、
流入路側油圧や流出路側油圧の変動に拘わらず、
第１パイロツト弁への電流付与値を決定すること
により、主弁の弁体の位置を設定できるため、そ
の操作が極めて容易であるばかりか、弁体の位置
の設定を正確に行うことができて、正確な流量調
整を行うことができる。

また、本発明による流体制御装置においては、
第３パイロツト弁が作動しないかぎり、主弁の弁
体のポペツト弁部に作用する流入路側油圧による
押圧力が相殺されるとともにポペツト弁部とピス
トン部に作用する流出路側油圧による押圧力が相
殺されていて、第２パイロツト弁の作動により第
４油室が戻り路に連通している場合には、流入路
側油圧や流出路側油圧の変動によつて主弁の弁体
が押動されることはないため、第１パイロツト弁
への電流付与値を適宜に時定数制御して設定した
主弁の弁体の開閉速度が流入路側油圧や流出路側
油圧の変動による影響を受けず、常に安定して得
られる。

更に、本発明による流体制御装置においては、
大流量を制御する単一の主弁と、小流量を制御す
る第１，第２及び第３パイロツト弁をその構成部
材としているため、第６図に示した従来の流体制
御装置に比して小型化することができて、取付ス
ペースの削減やコスト低減を図ることができる。

〔実施例〕

以下に本発明の１実施例を図面に基づいて説明
する。

第１図は本発明による流体量制御装置を示して
いて、同装置は主弁４０，第１パイロツト弁５
０，第２パイロツト弁６０及び第３パイロツト弁
７０によつて構成されている。

主弁４０は、第１図及び第２図にて示したよう
に、第１部材４１Ａ，第２部材４１Ｂ及び第３部
材４１Ｃからなる弁本体４１と、この弁本体４１
内に上下方向へ摺動自在に嵌挿した弁体４２と、
この弁体４２を下方へ付勢するばね４３によつて
構成されている。弁本体４１は、大径孔４１ａの
上下両端に同一径の小径孔４１ｂ，４１ｃをそれ
ぞれ連設してなり下方の連設段部に弁座４１ｄを
形成してなる段付内孔を有するとともに、流入路
Ｐ１が連通する環状溝４１ｅや流出路Ｐ２が連通
する環状溝４１ｆを有している。

弁体４２は、大径孔４１ａ内に摺動自在に嵌挿
されて図示しないアクチユエータに接続される流
入路Ｐ１に常時連通する第１油室Ｒ１を形成し弁
座４１ｄに着座したり離脱して流入路Ｐ１とリザ
ーバ８０に接続される流出路Ｐ２間を連通遮断
（開閉）するポペツト弁部４２ａと、同ポペツト
弁部４２ａの下側に連設されて下方の小径孔４１
ｂ内に延び同小径孔４１ｂとの間に流出路Ｐ２が
常時連通し弁座４１ｄを通して第１油室Ｒ１に連
通する第２油室Ｒ２を形成する連結部４２ｂと、
同連結部４２ｂに連設されて下方の小径孔４１ｂ
に摺動自在に嵌挿され同小径孔４１ｂ端に第３油
室Ｒ３を形成するピストン部４２ｃを一体的に備
えるとともに、ポペツト弁部４２ａの上側に上方
の小径孔４１ｃに摺動自在に嵌挿され同小径孔４
１ｃ端に第４油室Ｒ４を形成するとともに大径孔
４１ａ端に第５油室Ｒ５を形成する小径筒部４２
ｄを一体的に備えている。しかして、第３油室Ｒ
３は第１パイロツト弁５０に接続されるとともに
第２パイロツト弁６０の第１切換弁６１に接続さ
れ、第４油室Ｒ４は流入路Ｐ１に絞り４４を介し
て接続されるとともに第２パイロツト弁６０の第
２切換弁６２に接続され、第５油室Ｒ５は流入路
Ｐ１に第２の絞り４５を介して連通するとともに
第３パイロツト弁７０に接続されている。

第１パイロツト弁５０は、供給路Ｐ３を通して
導入された圧油を所定値に減圧する減圧弁５１
と、この減圧弁５１から絞り５２を通して第３油
室Ｒ３に付与されるパイロツト圧を電流付与値に
応じて比例制御する電流制御リリーフ弁５３によ
つて構成されている。第２パイロツト弁６０は、
第１図及び第３図にて示したように、第３油室Ｒ
３に付与されるパイロツト圧により作動を制御さ
れる第１切換弁６１と、この第１切換弁６１によ
つて作動を制御される第２切換弁６２によつて構
成されている。第１切換弁６１は、スプール弁体
６１ａとばね６１ｂを備えていて、第３油室Ｒ３
から油室Ｒ６に通路Ｐ５を通して付与されるパイ
ロツト圧が設定値未満であるとき図示のように非
作動状態にあつて供給路Ｐ３と第２切換弁６２の
接続を断ちまたパイロツト圧が設定値以上である
とき作動状態となつてて供給路Ｐ３を第２切換弁
６２に接続させる。第２切換弁６２は、突起を一
体的に有するピストン６２ａ，ポペツト弁体６２
ｂ及びばね６２ｃを備えていて、第１切換弁６１
によつて油室Ｒ７が供給路Ｐ３に接続されたとき
作動して第４油室Ｒ４に連通する通路Ｐ６とリザ
ーバ８０に連通する戻り路Ｐ４を連通させ、また
第１切換弁６１によつて油室Ｒ７が供給路Ｐ３と
の接続を断たれて戻り路Ｐ４に接続されたとき図
示のように非作動となつて第４油室Ｒ４に連通す
る通路Ｐ６と戻り路Ｐ４の連通を遮断する。

第３パイロツト弁７０は、流入路Ｐ１から絞り
４５を通して付与される第５油室Ｒ５内の油圧が
所定値に達したとき作動して第５油室Ｒ５内の作
動油を戻り路Ｐ４に流すリリーフ弁７１とこのリ
リーフ弁７１の作動に応答して作動する切換弁７
２によつて構成されている。切換弁７２は、第１
図及び第４図にて示したように、弁体７２ａとば
ね７２ｂを備えていて、油室Ｒ８に通路Ｐ７を通
して付与される第５油室Ｒ５内の油圧がリリーフ
弁７１によつてリリーフされていないとき図示の
ように非作動状態にあつて第４油室Ｒ４に連通す
る油室Ｒ９と戻り路Ｐ４の接続を断ち、また油室
Ｒ８に付与される油圧がリリーフ弁７１によつて
リリーフされたとき通路Ｐ８を通して油室Ｒ１０
に付与される流入路Ｐ１内の油圧によつて弁体７
２ａがばね７２ｂに抗して摺動して油室Ｒ９を戻
り路Ｐ４に接続させる。

上記のように構成した本実施例においては、第
３パイロツト弁７０が作動しないかぎり、流入路
Ｐ１側油圧が第１油室Ｒ１及び第５油室Ｒ５に付
与されてポペツト弁部４２ａに作用する押圧力が
相殺されているため、第１油室Ｒ１及び第５油室
Ｒ５に付与される流入路Ｐ１側油圧の変動によつ
て主弁４０の弁体４２が押動されることはない。
一方、流出路Ｐ２側油圧は第２油室Ｒ２にて弁体
４２のポペツト弁部４２ａとピストン部４２ｃに
作用してその押圧力が相殺されているため、流出
路Ｐ２側油圧の変動によつて主弁４０の弁体４２
が押動されることはない。

また第１パイロツト弁５０におけるリリーフ弁
５３への電流付与値が設定値未満であつて第３油
室Ｒ３に付与されるパイロツト圧が設定値未満で
ある場合には、図示のごとく、第２パイロツト弁
６０における第１切換弁６１が非作動状態にあつ
て供給路Ｐ３と第２切換弁６２の接続を断つてお
り、第２切換弁６２が非作動状態にあつて第４油
室Ｒ４と戻り路Ｐ４の連通を遮断している。この
ため、主弁４０の弁体４２は流入路Ｐ１から絞り
４４を通して第４油室Ｒ４に付与される油圧及び
ばね４３の作用により第３油室Ｒ３内のパイロツ
ト圧に抗して押圧されていて、ポペツト弁部４２
ａを弁座４１ｄに着座させており、流入路Ｐ１と
流出路Ｐ２の連通が遮断されている。したがつ
て、主弁４０から図示しないアクチユエータに至
る流入路Ｐ１を含む回路内の油圧が保持され、ア
クチユエータはその停止状態に保持される（保圧
機能）。かかる状態において、アクチユエータに
過大な負荷が作用して上記した流入路Ｐ１を含む
油圧回路内の油圧が上昇し第５油室Ｒ５内の油圧
が第３パイロツト弁７０のリリーフ弁７１にて設
定した所定値に達すると、油路Ｐ７内の圧油が戻
り路Ｐ４に流れて切換弁７２が作動し、主弁４０
の第４油室Ｒ４内の圧油が切換弁７２を通して戻
り路Ｐ４に流れる。このため、かかる場合には、
主弁４０の弁体４２は第１油室Ｒ１内油圧と第５
油室Ｒ５内油圧との差圧と第３油室Ｒ３内油圧と
第４油室Ｒ４内油圧との差圧（主として前者の差
圧）によりばね４３の作用に抗して摺動する。し
たがつて、弁体４３のポペツト弁部４２ａが弁座
４１ｄから離れてアクチユエータからリザーバ８
０に圧油が流れ、主弁４０とアクチユエータ間の
油圧回路内油圧の過度な上昇が抑制されて、アク
チユエータ等が保護される。

しかして、第１パイロツト弁５０におけるリリ
ーフ弁５３への電流付与値を設定値以上として第
３油室Ｒ３に付与されるパイロツト圧を設定値以
上とすると、第２パイロツト弁６０における第１
切換弁６１が作動して供給路Ｐ３を第２切換弁６
２に接続するため、第２切換弁６２が作動して第
４油室Ｒ４を戻り路Ｐ４に連通させる。このた
め、第４油室Ｒ４内の油圧は減少し、主弁４０の
弁体４２は第３油室Ｒ３内のパイロツト圧（第１
パイロツト弁５０によつて設定値以上の或る値に
設定されている）による押圧力とばね４３の作用
力（詳細には、同作用力と第４油室Ｒ４内に残つ
ている油圧による押圧力の合力）がバランスする
位置にて保持され流入路Ｐ１から流出路Ｐ２へ流
れる流量が規定される。したがつて、第１パイロ
ツト弁５０におけるリリーフ弁５３への電流付与
値を変えて第３油室Ｒ３に付与されるパイロツト
圧を変えることにより、主弁４０の弁体４２の位
置を調整でき、流入路Ｐ１から流出路Ｐ２へ流れ
る流量を調整することができる（流量制御機能）。

また、本実施例の流体制御装置においては、第
１パイロツト弁５０におけるリリーフ弁５３への
電流付与値を適宜に時定数制御して第３油室Ｒ３
に付与されるパイロツト圧の増大又は減少速度を
適宜に調整すれば、主弁４０の弁体４２の開弁速
度及び閉弁速度を適宜に調整することができる。

上述した作用説明から明らかなように、本実施
例の流体制御装置においては、第３パイロツト弁
７０が作動しないかぎり、弁体４２のポペツト弁
部４２ａに作用する流入路Ｐ１側油圧による押圧
力が相殺されるとともにポペツト弁部４２ａとピ
ストン部４２ｃに作用する流出路Ｐ２側油圧によ
る押圧力が相殺されていて、流入路Ｐ１側油圧や
流出路Ｐ２側油圧の変動に拘わらず、第１パイロ
ツト弁５０におけるリリーフ弁５３への電流付与
値を決定することにより、主弁４０の弁体４２の
位置を設定できるため、その操作が極めて容易で
あるばかりか、弁体４２の位置の設定を正確に行
うことができて、正確な流量調整を行うことがで
きる。

また、本実施例の流体制御装置においては、第
３パイロツト弁７０が作動しないかぎり、弁体４
２のポペツト弁部４２ａに作用する流入路Ｐ１側
油圧による押圧力が相殺されるとともにポペツト
弁部４２ａとピストン部４２ｃに作用する流出路
Ｐ２側油圧による押圧力が相殺されていて、第２
パイロツト弁６０の作動により第４油室Ｒ４が戻
り路Ｐ４に連通している場合には、流入路Ｐ１側
油圧や流出路Ｐ２側油圧の変動によつて主弁４０
の弁体４２が押動されることはないため、第１パ
イロツト弁５０におけるリリーフ弁５３への電流
付与値を適宜に時定数制御して設定した主弁４０
の弁体４２の開閉速度が流入路Ｐ１側油圧や流出
路Ｐ２側油圧の変動による影響を受けず、常に安
定して得られる。

更に、本実施例の流体制御装置においては、大
流量を制御する単一の主弁４０と、小流量を制御
する第１，第２及び第３パイロツト弁５０，６
０，７０をその構成部材としているため、第６図
に示した従来の流体制御装置に比して小型化する
ことができて、取付スペースの削減やコスト低減
を図ることができる。

第５図は本発明の他の実施例を示していて、同
図に示した流体制御装置においては、減圧弁５
１，絞り５２及びリリーフ弁５３からなる第１パ
イロツト弁５０に代えて電流制御減圧弁からなる
第１パイロツト弁５０Ａが採用され、また第１切
換弁６１及び第２切換弁６２からなる第２パイロ
ツト弁６０に代えてパイロツト圧により直接作動
されて第４油室Ｒ４と戻り路Ｐ４を連通遮断する
切換弁からなる第２パイロツト弁６０Ａが採用さ
れており、第１パイロツト弁５０Ａは上記実施例
の第１パイロツト弁５０と同様に第３油室Ｒ３に
付与されるパイロツト圧を電流付与値に応じて比
例制御し、また第２パイロツト弁６０Ａは上記実
施例の第２パイロツト弁６０と同様にパイロツト
圧により作動を制御されてパイロツト圧が設定値
未満であるとき第４油室Ｒ４と戻り路Ｐ４の連通
を遮断しまたパイロツト圧が設定値以上であると
き第４油室Ｒ４と戻り路Ｐ４を連通させる。

なお、第５図に示した実施例の作用・効果は上
述した第１図〜第４図にて示した実施例の作用・
効果と実質的に同じであり、上述した説明から容
易に理解されるため、その説明は省略する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による流体制御装置の一実施例
を示す全体構成図、第２図は第１図に示した装置
における主弁部分の詳細な拡大断面図、第３図は
第１図に示した装置における第２パイロツト弁部
分の詳細な拡大断面図、第４図は第１図に示した
装置における第３パイロツト弁部分の詳細な拡大
断面図、第５図は本発明の他の実施例を示す全体
構成図、第６図は従来例を示す全体構成図であ
る。 符号の説明、４０……主弁、４１……弁本体、
４１ａ……大径孔、４１ｂ，４１ｃ……小径孔、
４１ｄ……弁座、４２……弁体、４２ａ……ポペ
ツト弁部、４２ｂ……連結部、４２ｃ……ピスト
ン部、４２ｄ……小径部、４３……ばね、４４…
…絞り、４５……第２の絞り、５０，５０Ａ……
第１パイロツト弁、６０，６０Ａ……第２パイロ
ツト弁、７０……第３パイロツト弁、Ｐ１……流
入路、Ｐ２……流出路、Ｐ３……供給路、Ｐ４…
…戻り路、Ｒ１……第１油室、Ｒ２……第２油
室、Ｒ３……第３油室、Ｒ４……第４油室、Ｒ５
……第５油室。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 大径孔の両端に同一径の小径孔をそれぞれ連
   設してなり一方の連設段部に弁座を形成してなる
   弁本体と、前記大径孔内に嵌挿されて一側に流入
   路に常時連通する第１油室を形成し前記弁座に着
   座したり離脱して同弁座を開閉するポペツト弁部
   と同ポペツト弁部の一側に連設されて前記一方の
   小径孔内に延び同小径孔との間に流出路に常時連
   通しかつ前記弁座を通して前記第１油室に連通す
   る第２油室を形成する連結部と連結部に連設され
   て前記一方の小径孔に摺動自在に嵌挿され同小径
   孔端に第３油室を形成するピストン部を一体的に
   備えるとともに前記ポペツト弁部の他側に連設さ
   れて前記他方の小径孔に摺動自在に嵌挿され同小
   径孔端に前記流入路側に絞りを介して接続される
   第４油室を形成するとともに前記大径孔端に第２
   の絞りを介して前記流入路側に連通する第５油室
   を形成する小径部を一体的に備える弁体と、同弁
   体を前記第３油室に向けて付勢するばねを具備し
   てなる主弁と、 前記第３油室に付与されるパイロツト圧を電流
   付与値に応じて比例制御する第１パイロツト弁
   と、 前記パイロツト圧により作動を制御されて前記
   パイロツト圧が設定値未満であるとき前記第４油
   室と戻り路の連通を遮断しまた前記パイロツト圧
   が設定値以上であるとき前記第４油室と前記戻り
   路を連通させる第２パイロツト弁と、 前記流入路内油圧及び前記第５油室内油圧によ
   り作動を制御されて前記第５油室内油圧が所定値
   に達したとき作動して同油圧をリリーフするとと
   もに前記第４油室内油圧をリリーフする第３パイ
   ロツト弁を備えてなる流体制御装置。