JPH055607A - 形状測定装置 - Google Patents
形状測定装置Info
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- JPH055607A JPH055607A JP15724891A JP15724891A JPH055607A JP H055607 A JPH055607 A JP H055607A JP 15724891 A JP15724891 A JP 15724891A JP 15724891 A JP15724891 A JP 15724891A JP H055607 A JPH055607 A JP H055607A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 形鋼などの円形以外の断面を有した素材につ
いても、その形状を高精度に測定できるようにする。 【構成】 被測定物１１のエッジ部に光源１０より平行
光線を照射し、その影をＣＣＤ検出器１２によって測定
する。そして、アーム２１の揺動運動によって出射光の
角度を変化させ、複数の光源光の角度に対する影の端部
の位置データを求め、得られたデータを最小２乗法によ
って直線近似し、エッジ部の端部Ａ点、Ｂ点の座標値を
求める。
いても、その形状を高精度に測定できるようにする。 【構成】 被測定物１１のエッジ部に光源１０より平行
光線を照射し、その影をＣＣＤ検出器１２によって測定
する。そして、アーム２１の揺動運動によって出射光の
角度を変化させ、複数の光源光の角度に対する影の端部
の位置データを求め、得られたデータを最小２乗法によ
って直線近似し、エッジ部の端部Ａ点、Ｂ点の座標値を
求める。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ロール圧延、押し出し
加工、引き抜き加工などによって製造される長尺の材料
で、矩形、板状、その他の断面形状を有したものの形状
を測定する装置であり、かつ、熱間（ほぼ圧延加工が行
われる温度）でも、前記形状の測定が可能な形状測定装
置に関する。
加工、引き抜き加工などによって製造される長尺の材料
で、矩形、板状、その他の断面形状を有したものの形状
を測定する装置であり、かつ、熱間（ほぼ圧延加工が行
われる温度）でも、前記形状の測定が可能な形状測定装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の熱間での測定が可能な形状測定装
置の構造を、図１１に示す。この装置による測定原理は
次のとおりである。光源となる高輝度ランプ１から出射
された光は、背面反射鏡２と出射レンズ３とによって平
行光線の光束Ｌとして出射される。一方、被測定物であ
る丸棒材１１Ｂは、ロール圧延機を通過した後、前記平
行光束Ｌの中を貫通するように通過する。このとき光束
Ｌの一部が遮断される。一方、前記光束Ｌは受光レンズ
５によって受けられた後、一次元に配置されたＣＣＤ受
光デバイス１２に達する。ここで、被測定物１１Ｂによ
って遮断された光束の幅を測定することにより、この位
置における直径が計測される。さらに、光束の出射部と
受光部とが一体構造となり被測定物１１Ｂの回りを回転
することによって、全方向から被測定物１１Ｂの直径を
計測することが可能となっており、このデータから被測
定物１１Ｂの断面形状を求めることができる。
置の構造を、図１１に示す。この装置による測定原理は
次のとおりである。光源となる高輝度ランプ１から出射
された光は、背面反射鏡２と出射レンズ３とによって平
行光線の光束Ｌとして出射される。一方、被測定物であ
る丸棒材１１Ｂは、ロール圧延機を通過した後、前記平
行光束Ｌの中を貫通するように通過する。このとき光束
Ｌの一部が遮断される。一方、前記光束Ｌは受光レンズ
５によって受けられた後、一次元に配置されたＣＣＤ受
光デバイス１２に達する。ここで、被測定物１１Ｂによ
って遮断された光束の幅を測定することにより、この位
置における直径が計測される。さらに、光束の出射部と
受光部とが一体構造となり被測定物１１Ｂの回りを回転
することによって、全方向から被測定物１１Ｂの直径を
計測することが可能となっており、このデータから被測
定物１１Ｂの断面形状を求めることができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の形状測定装置
は、エッジ部を持たない円形断面の測定には適していた
が、矩形等の多角形断面を持つ棒材や、平板状の材料の
測定には次の理由により測定が困難であった。従来の測
定方法は、被測定材の幅を計測する構造となっているた
め、エッジと平面で構成された断面形状を有する被測定
物の場合、測定用の光束が被測定物の持つ平面と平行に
近い状態になると影がぼやけてしまい、その幅を測定す
ることは困難となる。
は、エッジ部を持たない円形断面の測定には適していた
が、矩形等の多角形断面を持つ棒材や、平板状の材料の
測定には次の理由により測定が困難であった。従来の測
定方法は、被測定材の幅を計測する構造となっているた
め、エッジと平面で構成された断面形状を有する被測定
物の場合、測定用の光束が被測定物の持つ平面と平行に
近い状態になると影がぼやけてしまい、その幅を測定す
ることは困難となる。
【０００４】また、被測定物による影の幅が、測定装置
が１回転する間に大きく変化するため検出器の検出幅を
非常に広く取らなければならずその結果、検出器及び演
算処理が非常に複雑になる。また、幅の広い板材等を被
測定物とした場合、測定装置の回転部を非常に大きなも
のとしなければならず、構造的にも問題がある。本発明
は、上記問題点を解消するために創案されたものであ
り、形鋼などの円形以外の断面を有した素材について
も、その形状を高精度に測定することができる形状測定
装置を提供することを目的とする。
が１回転する間に大きく変化するため検出器の検出幅を
非常に広く取らなければならずその結果、検出器及び演
算処理が非常に複雑になる。また、幅の広い板材等を被
測定物とした場合、測定装置の回転部を非常に大きなも
のとしなければならず、構造的にも問題がある。本発明
は、上記問題点を解消するために創案されたものであ
り、形鋼などの円形以外の断面を有した素材について
も、その形状を高精度に測定することができる形状測定
装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【問題点を解決するための手段】上記の目的を達成する
ために、本発明の形状測定装置は外形の一部にエッジ部
を有した被測定物に対し、光線を出射するための光源部
と、この光源より出射される光線の方向を変化させる機
構と、被測定物が前記光線の一部をさえぎることによっ
てできる影の位置を、固定された状態で測定する検出器
とを有する。
ために、本発明の形状測定装置は外形の一部にエッジ部
を有した被測定物に対し、光線を出射するための光源部
と、この光源より出射される光線の方向を変化させる機
構と、被測定物が前記光線の一部をさえぎることによっ
てできる影の位置を、固定された状態で測定する検出器
とを有する。
【０００６】
【作用】本発明の形状測定装置は上記のように構成され
ており、被測定物の複数のエッジを１つの範囲として扱
って測定を行う。固定された受光デバイスに前記エッジ
の影ができるように平行光線をあてる。この平行光線の
角度を任意に変えてゆき、その時の光線角度と、その時
できるエッジの影の位置から、エッジの位置（水平方向
ｘ座標と垂直方向ｙ座標）を特定する。このようにして
複数個のエッジの空間内での座標値から被測定物の断面
形状を算出する。
ており、被測定物の複数のエッジを１つの範囲として扱
って測定を行う。固定された受光デバイスに前記エッジ
の影ができるように平行光線をあてる。この平行光線の
角度を任意に変えてゆき、その時の光線角度と、その時
できるエッジの影の位置から、エッジの位置（水平方向
ｘ座標と垂直方向ｙ座標）を特定する。このようにして
複数個のエッジの空間内での座標値から被測定物の断面
形状を算出する。
【０００７】エッジの座標値を求める方法は次のとおり
である。図２に示すように被測定物１１のエッジ部にθ
の角度で平行光線が照射されている。この影は基板１３
上に固定された１次元配置のＣＣＤ検出器１２によって
測定される。影の端部はＣＣＤ上ｘの位置に現れること
になる。ところで平行光線の入射角θを順次変えて行く
と図３ａ〜ｄに示すように変化する。すなわち図３ａ〜
ｂのように、平行光線の照射角がθ1 →θ2 に変化する
間は、ＣＣＤ１２に現れる影はエッジＡの影である。一
方、照射角が増加し、θ3 →θ4 となるときにはＣＣＤ
１２に現れる影はエッジＢの影となる。そこで図４に示
すように位置関係を考えると、エッジＡによって影が発
生している場合には、照射角θ1 とＣＣＤ検出位置ｘ1
との関係は常に、 （ｘa −ｘ1 ）・ tanθ1 ＝ｙa ……………（１） が成り立っていることになる。ここでｘa 、ｙa はエッ
ジＡの位置を示す。
である。図２に示すように被測定物１１のエッジ部にθ
の角度で平行光線が照射されている。この影は基板１３
上に固定された１次元配置のＣＣＤ検出器１２によって
測定される。影の端部はＣＣＤ上ｘの位置に現れること
になる。ところで平行光線の入射角θを順次変えて行く
と図３ａ〜ｄに示すように変化する。すなわち図３ａ〜
ｂのように、平行光線の照射角がθ1 →θ2 に変化する
間は、ＣＣＤ１２に現れる影はエッジＡの影である。一
方、照射角が増加し、θ3 →θ4 となるときにはＣＣＤ
１２に現れる影はエッジＢの影となる。そこで図４に示
すように位置関係を考えると、エッジＡによって影が発
生している場合には、照射角θ1 とＣＣＤ検出位置ｘ1
との関係は常に、 （ｘa −ｘ1 ）・ tanθ1 ＝ｙa ……………（１） が成り立っていることになる。ここでｘa 、ｙa はエッ
ジＡの位置を示す。
【０００８】そこで ξ1 ＝１／ tanθ1 で定義される
変数ξ1 を導入すると −（ｘ1 −ｘa ）＝ｙa ξ1 …………………（２） が得られる。つまり、得られたデータをｘ1 とξ1 で整
理すると直線状に分布することがわかる。エッジＢに対
する関数も同様にξ2＝１／ tanθ2 で定義される変数
ξ2 を導入すると （ｘb −ｘ2 ）・ tanθ2 ＝ｙb ……………（３） −（ｘ2 −ｘb ）＝ｙb ξ2 …………………（４） となり、データは直線状に分布することになる。
変数ξ1 を導入すると −（ｘ1 −ｘa ）＝ｙa ξ1 …………………（２） が得られる。つまり、得られたデータをｘ1 とξ1 で整
理すると直線状に分布することがわかる。エッジＢに対
する関数も同様にξ2＝１／ tanθ2 で定義される変数
ξ2 を導入すると （ｘb −ｘ2 ）・ tanθ2 ＝ｙb ……………（３） −（ｘ2 −ｘb ）＝ｙb ξ2 …………………（４） となり、データは直線状に分布することになる。
【０００９】これをグラフで示すと図５のようになる。
ここで×印は入射光の角度θとその時のＣＣＤの検知値
ｘをプロットしたものである。そこで、エッジＡによっ
て得られたデータ及びエッジＢによって得られたデータ
それぞれについて最小２乗法等によるデータ処理を行う
ことで、直線の傾きｙ0 とｘ軸切片ｘ0 とが求められ
る。この２つの値は（２）、（４）式から明らかなよう
に、エッジの座標位置を示していることになる。
ここで×印は入射光の角度θとその時のＣＣＤの検知値
ｘをプロットしたものである。そこで、エッジＡによっ
て得られたデータ及びエッジＢによって得られたデータ
それぞれについて最小２乗法等によるデータ処理を行う
ことで、直線の傾きｙ0 とｘ軸切片ｘ0 とが求められ
る。この２つの値は（２）、（４）式から明らかなよう
に、エッジの座標位置を示していることになる。
【００１０】
【実施例】図１は、本発明の一実施例を示す。被測定物
である矩形の形鋼１１が図の紙面垂直方向に流れ出てい
る。このエッジ部に平行光線Ｌを照射する光源部１０
と、これを受ける検出器である１次元ＣＣＤ１２がペア
になって配置されている。なお、光源部１０は図１１の
光源部と同様な構造を有している。ＣＣＤ１２はプリン
ト基板１３上に固定されさらにベース１４に固定されて
いる。このベースは、被測定物のエッジ位置に合わせて
調節できるようにするため、工場内の基礎と一体構造に
はなっていない。一方、ベース１４にはヒンジ部２０が
取りつけられヒンジピン１９を介して、アーム２１が回
転移動できるようになっている。アーム２１にはモータ
による揺動駆動のための機構が具備されている。これは
モータ１５の回転軸に取りつけられた円板１６の偏心位
置に、ベアリングを具備したピン１７を取りつけるとと
もに、このベアリングにかみ合うようにアーム２１に溝
１８を設けたものである。このためモータ１５が回転す
るとアーム２１は、ヒンジピン１９を中心に揺動運転が
できる。その結果光源部１０は、出射光Ｌが常にＣＣＤ
デバイスに向くように平行光線が出射され、かつ、アー
ム２１の揺動運動によって出射光の角度が変化するよう
になっている。
である矩形の形鋼１１が図の紙面垂直方向に流れ出てい
る。このエッジ部に平行光線Ｌを照射する光源部１０
と、これを受ける検出器である１次元ＣＣＤ１２がペア
になって配置されている。なお、光源部１０は図１１の
光源部と同様な構造を有している。ＣＣＤ１２はプリン
ト基板１３上に固定されさらにベース１４に固定されて
いる。このベースは、被測定物のエッジ位置に合わせて
調節できるようにするため、工場内の基礎と一体構造に
はなっていない。一方、ベース１４にはヒンジ部２０が
取りつけられヒンジピン１９を介して、アーム２１が回
転移動できるようになっている。アーム２１にはモータ
による揺動駆動のための機構が具備されている。これは
モータ１５の回転軸に取りつけられた円板１６の偏心位
置に、ベアリングを具備したピン１７を取りつけるとと
もに、このベアリングにかみ合うようにアーム２１に溝
１８を設けたものである。このためモータ１５が回転す
るとアーム２１は、ヒンジピン１９を中心に揺動運転が
できる。その結果光源部１０は、出射光Ｌが常にＣＣＤ
デバイスに向くように平行光線が出射され、かつ、アー
ム２１の揺動運動によって出射光の角度が変化するよう
になっている。
【００１１】アーム２１のヒンジピン１９に装着したロ
ータリエンコーダ２２によりアーム２１の角度すなわち
出射光源光の角度θを、ＣＣＤ１２から影の端部の位置
ｘをそれぞれインタフェース２３を介して読み込むこと
ができるようになっている。読み込まれたデータはＣＰ
Ｕ２５を介しメモリ２６に書き込まれる。複数の光源光
の角度θに対する影の端部の位置データｘを求めて行く
と、図５の×印データポイントが多数得られる。そこ
で、得られたデータのうち、エッジＡとエッジＢのいず
れの影かが不明となる範囲をたとえば８７°＜θ＜９３
°（０．０５２＞ξ＞−０．０５２）とするとこの範囲
のデータを除き、最小２乗法による直線近似を行う。そ
の結果、図５の破線で示す直線の式が求められ、Ａ点、
Ｂ点のｘ座標とｙ座標を得ることができる。このときの
信号処理のフローチャートの一例を図６に示す。
ータリエンコーダ２２によりアーム２１の角度すなわち
出射光源光の角度θを、ＣＣＤ１２から影の端部の位置
ｘをそれぞれインタフェース２３を介して読み込むこと
ができるようになっている。読み込まれたデータはＣＰ
Ｕ２５を介しメモリ２６に書き込まれる。複数の光源光
の角度θに対する影の端部の位置データｘを求めて行く
と、図５の×印データポイントが多数得られる。そこ
で、得られたデータのうち、エッジＡとエッジＢのいず
れの影かが不明となる範囲をたとえば８７°＜θ＜９３
°（０．０５２＞ξ＞−０．０５２）とするとこの範囲
のデータを除き、最小２乗法による直線近似を行う。そ
の結果、図５の破線で示す直線の式が求められ、Ａ点、
Ｂ点のｘ座標とｙ座標を得ることができる。このときの
信号処理のフローチャートの一例を図６に示す。
【００１２】さらに、図７に示すように被測定物１１の
両端にｘの原点がＷだけ隔れるように本装置を複数個配
置することによって被測定物１１の４つのエッジＡ，
Ｂ，Ｃ，Ｄの座標を全て求めることができ、この結果か
ら被測定物１１の全体のプロフィールを求めることがで
きるので、圧延等の制御データとして、また、被測定物
１１の品質検査データとして利用することができる。
両端にｘの原点がＷだけ隔れるように本装置を複数個配
置することによって被測定物１１の４つのエッジＡ，
Ｂ，Ｃ，Ｄの座標を全て求めることができ、この結果か
ら被測定物１１の全体のプロフィールを求めることがで
きるので、圧延等の制御データとして、また、被測定物
１１の品質検査データとして利用することができる。
【００１３】以上の例は実施例の１つであり、本発明の
主旨の範囲内で様々な変形例が考えられる。たとえば、
本実施例では光源ユニットの位置を変えることによって
光の照射の方向を変えているが、光源を固定しポリゴン
ミラー等可動ミラーによって光の照射の方向を変える方
法を用いてもよい。さらに図８に示すように本装置を縦
方向と横方向に配置し、Ｌ形断面を有する被測定物１１
のエッジＡ，Ｂ，Ｃを測定する方式などの変形例が可能
となる。また、この例のように複数の光源２２α，２２
βを１つのモータで駆動する機構を具備してもよい。
主旨の範囲内で様々な変形例が考えられる。たとえば、
本実施例では光源ユニットの位置を変えることによって
光の照射の方向を変えているが、光源を固定しポリゴン
ミラー等可動ミラーによって光の照射の方向を変える方
法を用いてもよい。さらに図８に示すように本装置を縦
方向と横方向に配置し、Ｌ形断面を有する被測定物１１
のエッジＡ，Ｂ，Ｃを測定する方式などの変形例が可能
となる。また、この例のように複数の光源２２α，２２
βを１つのモータで駆動する機構を具備してもよい。
【００１４】また、上記実施例では平行光線を利用する
ことを行っていたが、平行光線を使用する代わりに略点
光源からの放射光を利用することでその光源の位置とＣ
ＣＤに現れた影の位置ｘから影を作り出す光の角度θ
は、次式から求めることができる。 tanθa ＝Ｙ／（ｘa −Ｘ） ここに、Ｘ，Ｙは光源の座標位置である。
ことを行っていたが、平行光線を使用する代わりに略点
光源からの放射光を利用することでその光源の位置とＣ
ＣＤに現れた影の位置ｘから影を作り出す光の角度θ
は、次式から求めることができる。 tanθa ＝Ｙ／（ｘa −Ｘ） ここに、Ｘ，Ｙは光源の座標位置である。
【００１５】すなわち ξa ＝１／ tanθa ＝（ｘa −Ｘ）／Ｙ によって、変数ξの値を求めることができる。これを利
用した実施例を図９に示す。光源は複数個配置したスト
ロボ管球２２Ａ，２２Ｂ……２２Ｊを用いる。これらの
管球は固定アーム２１Ｘに固定されており、それぞれに
ついて光源位置の座標（ＸA ，ＹA ），（ＸB ，ＹB ）
……（ＸJ ，ＹJ ）が決まっている。
用した実施例を図９に示す。光源は複数個配置したスト
ロボ管球２２Ａ，２２Ｂ……２２Ｊを用いる。これらの
管球は固定アーム２１Ｘに固定されており、それぞれに
ついて光源位置の座標（ＸA ，ＹA ），（ＸB ，ＹB ）
……（ＸJ ，ＹJ ）が決まっている。
【００１６】ＣＰＵ２５からの命令により、インタフェ
ース２８、アンプ２９Ａ，２９Ｂ……２９Ｊを介してス
トロボ管球２２Ａ，２２Ｂ……２２Ｊのうち１つずつが
順に点灯される。たとえば、いま仮に管球２２ａの点灯
信号が出されたとすると、これに従って管球２２ａが点
灯し、エッジＢの影がｘb として測定されたとすれば ｘb とξb ＝１／ tanθb ＝ＹA／（ｘb −ＸA ） の値が求められ、図５の測点ポイント×印が１つ与えら
れることになる。以下第１の実施例と同じ方法によって
エッジＢの位置が求められることになる。なお、３０は
ストロボ管球用高圧パルス発生源を示す。また、ストロ
ボ管球２２には図１０のように光の出射角を絞るレンズ
３を具備してもよい。
ース２８、アンプ２９Ａ，２９Ｂ……２９Ｊを介してス
トロボ管球２２Ａ，２２Ｂ……２２Ｊのうち１つずつが
順に点灯される。たとえば、いま仮に管球２２ａの点灯
信号が出されたとすると、これに従って管球２２ａが点
灯し、エッジＢの影がｘb として測定されたとすれば ｘb とξb ＝１／ tanθb ＝ＹA／（ｘb −ＸA ） の値が求められ、図５の測点ポイント×印が１つ与えら
れることになる。以下第１の実施例と同じ方法によって
エッジＢの位置が求められることになる。なお、３０は
ストロボ管球用高圧パルス発生源を示す。また、ストロ
ボ管球２２には図１０のように光の出射角を絞るレンズ
３を具備してもよい。
【００１７】さらに、この第２の実施例では、多数のス
トロボ光源を具備した形となっているが、この代わりに
略点光源を移動させる方式とし、その点光源の位置を検
出する方法を用いてもよく、また、ストロボ管球の代わ
りに短時間で立ち上げ、立ち下げの可能な管球やシャッ
タ機構を具備した管球などを使用することもできる。
トロボ光源を具備した形となっているが、この代わりに
略点光源を移動させる方式とし、その点光源の位置を検
出する方法を用いてもよく、また、ストロボ管球の代わ
りに短時間で立ち上げ、立ち下げの可能な管球やシャッ
タ機構を具備した管球などを使用することもできる。
【００１８】
【発明の効果】本発明の形状測定装置は以上のように構
成されており、次に示す効果を得ることができる。従来
のように、平行光線で発生する影の幅のみを測定する方
式では、測定が困難であった形鋼などのような円形以外
の断面を有した素材についても、その寸法の測定が可能
となる。また、その測定には従来と同様な強力な可視光
を利用しているため、水蒸気などによる散乱が問題とな
るレーザ光、分解能が問題となる超音波、安全性が問題
となるＸ線と異なり、従来品同様熱間圧延工程のライン
に組み込むことが可能である。そのため、圧延ロールが
作動している途中でも測定データが得られロールの制御
操作などにも利用できる。
成されており、次に示す効果を得ることができる。従来
のように、平行光線で発生する影の幅のみを測定する方
式では、測定が困難であった形鋼などのような円形以外
の断面を有した素材についても、その寸法の測定が可能
となる。また、その測定には従来と同様な強力な可視光
を利用しているため、水蒸気などによる散乱が問題とな
るレーザ光、分解能が問題となる超音波、安全性が問題
となるＸ線と異なり、従来品同様熱間圧延工程のライン
に組み込むことが可能である。そのため、圧延ロールが
作動している途中でも測定データが得られロールの制御
操作などにも利用できる。
【００１９】また、従来の方法では平行光線の影の幅を
直接読み込んでいたため、ＣＣＤ検出素子の精度（素子
配列ピッチ）以上の精度で測定することは不可能であっ
た。しかし、本発明による処理方法では、複数個の測定
データに基づき真値を最小２乗法などで計算するため、
影のぼやけやＣＣＤの配列ピッチの精度等の問題を解決
することが可能となる。さらに、従来の装置に比べると
可動部の大きさが小さくなり、作動のための動力を小さ
くできるだけでなく、装置全体のコンパクト化、サンプ
リング周期の短縮などが可能となる。
直接読み込んでいたため、ＣＣＤ検出素子の精度（素子
配列ピッチ）以上の精度で測定することは不可能であっ
た。しかし、本発明による処理方法では、複数個の測定
データに基づき真値を最小２乗法などで計算するため、
影のぼやけやＣＣＤの配列ピッチの精度等の問題を解決
することが可能となる。さらに、従来の装置に比べると
可動部の大きさが小さくなり、作動のための動力を小さ
くできるだけでなく、装置全体のコンパクト化、サンプ
リング周期の短縮などが可能となる。
【図１】本発明の形状測定装置の一実施例を示す図であ
る。
る。
【図２】本発明の形状測定装置の測定原理を示す図であ
る。
る。
【図３】本発明の形状測定装置の測定原理を示す図であ
る。
る。
【図４】本発明の形状測定装置の測定原理を示す図であ
る。
る。
【図５】本発明の形状測定装置により得られる測定デー
タの一例を示す図である。
タの一例を示す図である。
【図６】本発明の形状測定装置による信号処理のフロー
タャートの一例を示す図である。
タャートの一例を示す図である。
【図７】本発明の形状測定装置の他の実施例を示す図で
ある。
ある。
【図８】本発明の形状測定装置の他の実施例を示す図で
ある。
ある。
【図９】本発明の形状測定装置の他の実施例を示す図で
ある。
ある。
【図１０】本発明の形状測定装置の他の実施例を示す図
である。
である。
【図１１】従来の形状測定装置を示す図である。
１１…被測定物 １２…１次元Ｃ
ＣＤ １５…アーム駆動モータ １７…偏心回転
ピン １８…偏心回転ヨーク ２１…アーム ２２…ロータリエンコーダ ２３…信号入力
インタフェース ２４…データバス ２５…ＣＰＵ ２６…メモリ ２７…演算結果
出力インタフェース
ＣＤ １５…アーム駆動モータ １７…偏心回転
ピン １８…偏心回転ヨーク ２１…アーム ２２…ロータリエンコーダ ２３…信号入力
インタフェース ２４…データバス ２５…ＣＰＵ ２６…メモリ ２７…演算結果
出力インタフェース
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 外形の一部にエッジ部を有した被測定物
に対し、光線を出射するための光源部と、この光源より
出射される光線の方向を変化させる機構と、被測定物が
前記光線の一部をさえぎることによってできる影の位置
を、固定された状態で測定する検出器とを具備したこと
を特徴とした形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15724891A JPH055607A (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15724891A JPH055607A (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 形状測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH055607A true JPH055607A (ja) | 1993-01-14 |
Family
ID=15645489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15724891A Pending JPH055607A (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH055607A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010528273A (ja) * | 2007-05-24 | 2010-08-19 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 自由形状面の形状を測定するための装置及び方法 |
-
1991
- 1991-06-28 JP JP15724891A patent/JPH055607A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010528273A (ja) * | 2007-05-24 | 2010-08-19 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 自由形状面の形状を測定するための装置及び方法 |
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