JPH0555561A - 電界効果トランジスタの製造方法 - Google Patents

電界効果トランジスタの製造方法

Info

Publication number
JPH0555561A
JPH0555561A JP21254991A JP21254991A JPH0555561A JP H0555561 A JPH0555561 A JP H0555561A JP 21254991 A JP21254991 A JP 21254991A JP 21254991 A JP21254991 A JP 21254991A JP H0555561 A JPH0555561 A JP H0555561A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
molybdenum
oxide film
effect transistor
glass layer
gate oxide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP21254991A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2690218B2 (ja
Inventor
Reiji Takashina
礼児 高階
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Yamagata Ltd
Original Assignee
NEC Yamagata Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Yamagata Ltd filed Critical NEC Yamagata Ltd
Priority to JP21254991A priority Critical patent/JP2690218B2/ja
Publication of JPH0555561A publication Critical patent/JPH0555561A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2690218B2 publication Critical patent/JP2690218B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Electrodes Of Semiconductors (AREA)
  • Insulated Gate Type Field-Effect Transistor (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】モリブデンゲート電界効果トランジスタにおい
て、ゲート酸化膜上に形成されたリンガラス層からゲー
ト酸化膜中へ燐が拡散されて、しきい値電圧がばらつく
のを防止する。 【構成】P型半導体基板1上にゲート酸化膜5、リンガ
ラス層6、モリブデン7を形成したのち、モリブデン安
定化のために800〜850℃の低温でアニールするこ
とにより、リンガラス層6からゲート酸化膜5中へ燐が
拡散されるのを防ぐ。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は電界効果トランジスタの
製造方法に関し、特にモリブデンゲート電界効果トラン
ジスタの製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来技術によるモリブデンゲート電界効
果トランジスタの製造方法について、図2(a)〜
(d)を参照して説明する。
【0003】はじめに図2(a)に示すように、P型半
導体基板1を熱酸化して酸化膜2を形成する。つぎにレ
ジスト(図示せず)をマスクとして酸化膜2を選択エッ
チングしてから、高濃度燐拡散層からなるソース拡散層
3およびドレイン拡散層4を形成する。
【0004】つぎに図2(b)に示すように、酸化膜2
を除去してから再び半導体基板1を熱酸化して薄いゲー
ト酸化膜5を形成したのち、燐処理によりゲート酸化膜
5表面に薄い第1のリンガラス層6を形成する。つぎに
全面にモリブデン7を堆積したのち、レジスト(図示せ
ず)をマスクとしてモリブデン7を選択エッチングす
る。
【0005】つぎに図2(c)に示すように、1000
〜1050℃の高温でアニールしてモリブデン7を安定
化させたのち、気相成長法により高濃度の燐を含んだ第
2のリンガラス層9を形成する。つぎにレジスト(図示
せず)をマスクとして第2のリンガラス層9、第1のリ
ンガラス層6、ゲート酸化膜5を順次選択エッチングし
て、ソース−ドレインコンタクトおよびモリブデンゲー
トコンタクトを開口する。
【0006】つぎに図2(d)に示すように、全面にア
ルミニウムを蒸着したのち、レジスト(図示せず)をマ
スクとしてアルミニウムを選択エッチングしてゲート電
極10、ソース電極11、ドレイン電極12を形成して
素子部が完成する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】モリブデンゲート電界
効果トランジスタにおいては、動作中の接合温度でもモ
リブデンの再結晶が進行してしきい値電圧が変動するの
を防ぐため、1000〜1050℃の高温アニールが行
なわれている。そのため図2(d)に示す第1のリンガ
ラス層6から燐が薄いゲート酸化膜5の中へ拡散して、
半導体基板1表面まで到達するという現象が発生してい
る。その結果主としてしきい値電圧のばらつき大による
歩留り低下という問題を引き起こしていた。
【0008】最近、遮断周波数および動作速度の向上を
目的として、ゲート酸化膜5を一層薄くしたので顕著に
現われるようになっている。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明の電界効果トラン
ジスタの製造方法は、モリブデンゲート電極を形成した
のち、800〜850℃でアニールする工程を含むもの
である。
【0010】
【実施例】本発明の一実施例について、図1(a)〜
(d)を参照して説明する。
【0011】はじめに図1(a)に示すように、従来技
術と同様にしてP型半導体基板1にソース拡散層3およ
びドレイン拡散層4を形成する。つぎに薄いゲート酸化
膜5、第1のリンガラス層6、モリブデン7を形成す
る。
【0012】つぎに図1(b)に示すように、800〜
850℃の低温でアニールしてモリブデン7を安定化を
はかる。
【0013】つぎに図1(c)に示すように、第2のリ
ンガラス層9を形成し、ソース−ドレインコンタクトお
よびモリブデンゲートコンタクトを開口する。
【0014】つぎに図1(d)に示すように、ゲート電
極10、ソース電極11、ドレイン電極12を形成して
素子部が完成する。
【0015】本実施例では、通常の石英管状炉を用いて
モリブデン7のアニールを行なったが、石英管状炉の代
りにハロゲンランプなどを備えた短時間アニール(RT
A)炉を用いればさらに熱履歴を低減することができ
る。
【0016】また本発明の適用範囲はディスクリートの
モリブデンゲート電界効果トランジスタに限定すること
なく、モリブデンゲート電界効果トランジスタを含む半
導体集積回路やBi−CMOS集積回路に適用しても同
様の成果を得ることができる。
【0017】
【発明の効果】モリブデンゲートの安定化のためのアニ
ールが、800〜850℃の比較的低温において行なわ
れる。そのため従来第1のリンガラス層からの燐がゲー
ト酸化膜を通して半導体基板表面に到達するという懸念
が解消された。
【0018】その結果従来多発していた、しきい値電圧
大や小の不良、耐圧劣化、相互コンダクタンスの低下な
どの問題を解決することができた。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を工程順に示す断面図であ
る。
【図2】従来技術によるモリブデンゲート電界効果トラ
ンジスタの製造方法を工程順に示す断面図である。
【符号の説明】
1 P型半導体基板 2 酸化膜 3 ソース拡散層 4 ドレイン拡散層 5 薄いゲート酸化膜 6 第1のリンガラス層 7 モリブデン 8 低温アニールされたモリブデン層 9 第2のリンガラス層 10 ゲート電極 11 ソース電極 12 ドレイン電極 13 高温アニールされたモリブデン

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 モリブデンゲート電極を形成したのち、
    800〜850℃でアニールする工程を含む電界効果ト
    ランジスタの製造方法。
JP21254991A 1991-08-26 1991-08-26 電界効果トランジスタの製造方法 Expired - Fee Related JP2690218B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21254991A JP2690218B2 (ja) 1991-08-26 1991-08-26 電界効果トランジスタの製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21254991A JP2690218B2 (ja) 1991-08-26 1991-08-26 電界効果トランジスタの製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0555561A true JPH0555561A (ja) 1993-03-05
JP2690218B2 JP2690218B2 (ja) 1997-12-10

Family

ID=16624529

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP21254991A Expired - Fee Related JP2690218B2 (ja) 1991-08-26 1991-08-26 電界効果トランジスタの製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2690218B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005197639A (ja) * 2004-01-09 2005-07-21 Hynix Semiconductor Inc フラッシュメモリセルの製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005197639A (ja) * 2004-01-09 2005-07-21 Hynix Semiconductor Inc フラッシュメモリセルの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2690218B2 (ja) 1997-12-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3019885B2 (ja) 電界効果型薄膜トランジスタの製造方法
JP2690218B2 (ja) 電界効果トランジスタの製造方法
JPS61101080A (ja) 電界効果トランジスタ
KR20050106250A (ko) 플라즈마를 이용한 다결정 박막 트랜지스터의 제조 방법
JPS61105870A (ja) 薄膜トランジスタの製造方法
JPS5816341B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JPH05198794A (ja) Mis型電界効果トランジスタ
JPH05243262A (ja) 半導体装置の製造方法
JPS5933271B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JPH05175232A (ja) 薄膜トランジスター及びその製造方法
JPH06224416A (ja) Mos電界効果型トランジスタ及びその製造方法、並びにそのmos電界効果型トランジスタを用いた半導体装置
JPS605068B2 (ja) Mos形半導体装置
JPH11145425A (ja) 半導体素子の製造方法及び半導体装置
JP2637860B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JP2722829B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JPS62104078A (ja) 半導体集積回路装置の製造方法
JPH08241930A (ja) 半導体装置の製造方法
JPH0529625A (ja) ゲート酸化膜の形成方法および電界効果型トランジスタ
KR960026925A (ko) 반도체 소자의 트랜지스터 제조방법
JPS61144877A (ja) 半導体装置の製造方法
JP2000311949A (ja) 半導体装置の製造方法
JPS59103353A (ja) 半導体装置の製法
JPS59181645A (ja) 半導体装置の製造方法
JP2000150506A (ja) 半導体装置の製造方法
JPS5858814B2 (ja) 絶縁ゲ−ト半導体装置の製造法

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19970715

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees