JPH0554853A - ウイーンフイルタ - Google Patents
ウイーンフイルタInfo
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- JPH0554853A JPH0554853A JP3233841A JP23384191A JPH0554853A JP H0554853 A JPH0554853 A JP H0554853A JP 3233841 A JP3233841 A JP 3233841A JP 23384191 A JP23384191 A JP 23384191A JP H0554853 A JPH0554853 A JP H0554853A
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- JP
- Japan
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- electrodes
- axis
- pair
- pole pieces
- magnetic pole
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ウィーンフィルタの縁端部における電場及び
磁場の減衰特性が一致しており、且つ電場及び磁場が一
様で構造の簡単なウィーンフィルタを提供する。 【構成】 対向面が円筒状をしている一対の電極１，２
がｙ軸に対称に配置されている。電極１，２の一端はｘ
軸に対して６０°を成すように形成されており、そのた
め、一様な電場が形成されている。一対の磁極片５，６
がｘ軸に対称に配置されており、磁極片５，６の対向面
の一部は円筒状になっている。この円筒面の径は電極
１，２における円筒面の径と同一になっている。磁極片
５，６の端部は電極の側面に沿って伸ばされているた
め、磁場も一様になっており、高性能で構造の簡単なウ
ィーンフィルタが提供される。
磁場の減衰特性が一致しており、且つ電場及び磁場が一
様で構造の簡単なウィーンフィルタを提供する。 【構成】 対向面が円筒状をしている一対の電極１，２
がｙ軸に対称に配置されている。電極１，２の一端はｘ
軸に対して６０°を成すように形成されており、そのた
め、一様な電場が形成されている。一対の磁極片５，６
がｘ軸に対称に配置されており、磁極片５，６の対向面
の一部は円筒状になっている。この円筒面の径は電極
１，２における円筒面の径と同一になっている。磁極片
５，６の端部は電極の側面に沿って伸ばされているた
め、磁場も一様になっており、高性能で構造の簡単なウ
ィーンフィルタが提供される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】電子顕微鏡等においてエネルギー
フィルタ像等を得るために用いられるウィーンフィルタ
に関する。
フィルタ像等を得るために用いられるウィーンフィルタ
に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子等の荷電粒子のエネルギー分析に用
いられているウィーンフィルタは、選択しようとするビ
ームが直進するという利点のため、種々の装置に用いら
れて来た。ビーム直進の条件はＥをフィルタの電極間の
電界強度、Ｂを磁束密度、ｖをビームを構成する荷電粒
子の速度とすると、 Ｅ＝ｖＢ と表される。理想的には電磁界の働いている全領域にお
いて上式が成立する必要がある。
いられているウィーンフィルタは、選択しようとするビ
ームが直進するという利点のため、種々の装置に用いら
れて来た。ビーム直進の条件はＥをフィルタの電極間の
電界強度、Ｂを磁束密度、ｖをビームを構成する荷電粒
子の速度とすると、 Ｅ＝ｖＢ と表される。理想的には電磁界の働いている全領域にお
いて上式が成立する必要がある。
【０００３】従来のウィーンフィルタでは、磁界を発生
する磁極片１，２のギャップ中に電極３，４を配置して
いた。磁極片の間隔をＳm ，電極の間隔をＳe とする
と、このようなウィーンフィルタにおいては一様磁界及
び一様電界を得るために、必然的にＳm ＞ Ｓe と成ら
ざるを得なかった。しかしながら、Ｓm ＞ Ｓe のフィ
ルタにおいては、フィルタの縁端部におけるＥ，Ｂの分
布は図１において夫々実線イ及び点線ロで示すようにな
る。即ち、磁界はＳm が大きいのでゆっくりと減衰し、
これに対して磁界はＳe が小さいので速く減衰する。従
って荷電粒子はフィルターに近付くとまず磁界のみの作
用によってその軌道が曲げられ、フィルターの縁に近付
くと、電界の方が強くなるが既に曲げられてしまった軌
道を若干元に戻す程度である。いずれにせよ、軌道の全
領域でのウィーン条件が成立しないとフィルターの外に
ビームを出すことが難しくなり、中心でＥ＝ｖＢの条件
を若干ずらしてビームを通してもフィルター内でビーム
は光軸から大きく外れた軌道を通ることになる。尚、図
１において一点鎖線は磁極又は電極の断面を示してい
る。
する磁極片１，２のギャップ中に電極３，４を配置して
いた。磁極片の間隔をＳm ，電極の間隔をＳe とする
と、このようなウィーンフィルタにおいては一様磁界及
び一様電界を得るために、必然的にＳm ＞ Ｓe と成ら
ざるを得なかった。しかしながら、Ｓm ＞ Ｓe のフィ
ルタにおいては、フィルタの縁端部におけるＥ，Ｂの分
布は図１において夫々実線イ及び点線ロで示すようにな
る。即ち、磁界はＳm が大きいのでゆっくりと減衰し、
これに対して磁界はＳe が小さいので速く減衰する。従
って荷電粒子はフィルターに近付くとまず磁界のみの作
用によってその軌道が曲げられ、フィルターの縁に近付
くと、電界の方が強くなるが既に曲げられてしまった軌
道を若干元に戻す程度である。いずれにせよ、軌道の全
領域でのウィーン条件が成立しないとフィルターの外に
ビームを出すことが難しくなり、中心でＥ＝ｖＢの条件
を若干ずらしてビームを通してもフィルター内でビーム
は光軸から大きく外れた軌道を通ることになる。尚、図
１において一点鎖線は磁極又は電極の断面を示してい
る。
【０００４】このような不都合を解消するため、図２に
示すＳm ＝Ｓeなるフィルタを用いることも考えられ
る。尚、図２において、２１，２２は電極を示してお
り、２３，２４は磁極片を示している。このウィーンフ
ィルタにおいては、磁界は一様場を作ることができる
が、以下の理由により電界は一様にならない。
示すＳm ＝Ｓeなるフィルタを用いることも考えられ
る。尚、図２において、２１，２２は電極を示してお
り、２３，２４は磁極片を示している。このウィーンフ
ィルタにおいては、磁界は一様場を作ることができる
が、以下の理由により電界は一様にならない。
【０００５】即ち、電極がポールピースの内部に置かれ
るため、電極の高さを大きくとれない。磁極片が金属で
できているため、これがアースポテンシャルとなって一
様場を作ることを妨げるからである。尚、磁界について
は、電極を磁性材料で作らない限りこのような不都合は
生じない。一様磁場と不均一電場の組み合わせによるフ
ィルターの欠点は、大きな２次収差の発生である。そこ
で、Ｓm＝Ｓe なる条件を満たしながら、電場及び磁場
を一様にし得るウィーンフィルタを開発するため、円筒
面の一部を内面とする一対の電極と、該一対の電極と直
交して配置され、前記円筒と同一径の円筒面を考え、こ
の円筒面の一部を内面とする一対の磁極片を備えるウィ
ーンフィルタが考えられた（特願平２−２３９４４８
号）。このようにすれば、電極間の間隔と磁極片の間隔
は略等しいと見なし得るからである。 以下、このフィ
ルタを図３に基づき説明する。図３において、３１，３
２は一対の電極であり、３３，３４は一対の磁極片であ
る。
るため、電極の高さを大きくとれない。磁極片が金属で
できているため、これがアースポテンシャルとなって一
様場を作ることを妨げるからである。尚、磁界について
は、電極を磁性材料で作らない限りこのような不都合は
生じない。一様磁場と不均一電場の組み合わせによるフ
ィルターの欠点は、大きな２次収差の発生である。そこ
で、Ｓm＝Ｓe なる条件を満たしながら、電場及び磁場
を一様にし得るウィーンフィルタを開発するため、円筒
面の一部を内面とする一対の電極と、該一対の電極と直
交して配置され、前記円筒と同一径の円筒面を考え、こ
の円筒面の一部を内面とする一対の磁極片を備えるウィ
ーンフィルタが考えられた（特願平２−２３９４４８
号）。このようにすれば、電極間の間隔と磁極片の間隔
は略等しいと見なし得るからである。 以下、このフィ
ルタを図３に基づき説明する。図３において、３１，３
２は一対の電極であり、３３，３４は一対の磁極片であ
る。
【０００６】一般に、偏向場がｘ方向を向いており、且
つｘ軸について対称である場合、この偏向場のスカラー
ポテンシャルは、曲座標（ｒ，θ）を用いてフーリエ展
開して表すと以下のようになる。 φ（ｒ，θ）＝−Ａ1 ｒcos θ−Ａ3 ｒ3 cos ３θ−Ａ5 ｒ5 cos ５θ−… …(1) (1) 式において、係数Ａ1 が一様場の大きさを表し、Ａ
3 ，Ａ5 ，…が一様場からのずれを表している。５次以
上の高次項は高次収差に寄与するだけであるため、無視
して考えると、(1) 式のように表された場が、一様場で
あるための条件は、 Ａ3 ＝０ である。ウィーンフィルタの場合は、電場Ｅと磁場Ｂの
スカラーポテンシャルφE （ｒ，θ），φB （ｒ，θ）
は、夫々以下のように表される。 φE （ｒ，θ）＝−Ｅ1 ｒcos θ−Ｅ3 ｒ3 cos ３θ−Ｅ5 ｒ5 cos ５θ−… …(2) φB （ｒ，θ）＝−Ｂ1 ｒsin θ−Ｂ3 ｒ3 sin ３θ−Ｂ5 ｒ5 sin ５θ−… …(3) 従って、５次以上の項を無視した場合、Ｅ，Ｂが共に一
様になる条件は下式で表される。
つｘ軸について対称である場合、この偏向場のスカラー
ポテンシャルは、曲座標（ｒ，θ）を用いてフーリエ展
開して表すと以下のようになる。 φ（ｒ，θ）＝−Ａ1 ｒcos θ−Ａ3 ｒ3 cos ３θ−Ａ5 ｒ5 cos ５θ−… …(1) (1) 式において、係数Ａ1 が一様場の大きさを表し、Ａ
3 ，Ａ5 ，…が一様場からのずれを表している。５次以
上の高次項は高次収差に寄与するだけであるため、無視
して考えると、(1) 式のように表された場が、一様場で
あるための条件は、 Ａ3 ＝０ である。ウィーンフィルタの場合は、電場Ｅと磁場Ｂの
スカラーポテンシャルφE （ｒ，θ），φB （ｒ，θ）
は、夫々以下のように表される。 φE （ｒ，θ）＝−Ｅ1 ｒcos θ−Ｅ3 ｒ3 cos ３θ−Ｅ5 ｒ5 cos ５θ−… …(2) φB （ｒ，θ）＝−Ｂ1 ｒsin θ−Ｂ3 ｒ3 sin ３θ−Ｂ5 ｒ5 sin ５θ−… …(3) 従って、５次以上の項を無視した場合、Ｅ，Ｂが共に一
様になる条件は下式で表される。
【０００７】 Ｅ3 ＝Ｂ3 ＝０ …(4) 図３に示すαをパラメータとして、Ｅ3 ，Ｂ3 の変化を
コンピュータシミュレーションにより求めたところ、図
４のような結果が得られた。図４において横軸はαであ
り、縦軸はＥ3 又はＢ3 の大きさを表わしている。
コンピュータシミュレーションにより求めたところ、図
４のような結果が得られた。図４において横軸はαであ
り、縦軸はＥ3 又はＢ3 の大きさを表わしている。
【０００８】尚、Ｅ3 ，Ｂ3 の値は、境界要素法によっ
て得られるφE ，φB を用いて次式で与えられる。 Ｅ3 ＝（１／πｒ0 3 ）Ｓp φE(r, θ）cos3θｄθ Ｂ3 ＝（１／πｒ0 3 ）ＳP φB(r, θ）sin3θｄθ 但し、上式においてＳは積分記号を表わしており、Ｓp
は原点の近傍の半径ｒ0 のパスＰに沿った積分を表わし
ている。
て得られるφE ，φB を用いて次式で与えられる。 Ｅ3 ＝（１／πｒ0 3 ）Ｓp φE(r, θ）cos3θｄθ Ｂ3 ＝（１／πｒ0 3 ）ＳP φB(r, θ）sin3θｄθ 但し、上式においてＳは積分記号を表わしており、Ｓp
は原点の近傍の半径ｒ0 のパスＰに沿った積分を表わし
ている。
【０００９】図４の結果から、Ｅ3 ，Ｂ3 を同時に０に
するようなαは存在しないが、もし電極に関してα＝６
０°、磁極に関してα＝４５°となるようにできれば、
（４）の条件が満たされることが分かる。そこで、特願
平２−２３９４４８号においては、図５に示すように、
ｘ軸に対して電極１の一端が成す角をαE ，磁極片３の
一端が成す角度をαB として、αE が略６０°、αB が
略４５°となるように、各磁極片の両端に位置する磁極
片の部分を電極として兼用するようにしており、それに
より電場と磁場を共に一様にするようにしている。尚、
図５においては、図３と同一構成要素に対しては同一番
号が付されている。
するようなαは存在しないが、もし電極に関してα＝６
０°、磁極に関してα＝４５°となるようにできれば、
（４）の条件が満たされることが分かる。そこで、特願
平２−２３９４４８号においては、図５に示すように、
ｘ軸に対して電極１の一端が成す角をαE ，磁極片３の
一端が成す角度をαB として、αE が略６０°、αB が
略４５°となるように、各磁極片の両端に位置する磁極
片の部分を電極として兼用するようにしており、それに
より電場と磁場を共に一様にするようにしている。尚、
図５においては、図３と同一構成要素に対しては同一番
号が付されている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来装置は構造が複雑になり製造が困難である。
来装置は構造が複雑になり製造が困難である。
【００１１】本発明はこのような従来装置の欠点を解決
するために成されたものであり、Ｓm ＝Ｓe の条件を維
持したまま、簡単な構造で一様磁場及び一様電場を実現
することのできるウィーンフィルタを提供することを目
的としている。
するために成されたものであり、Ｓm ＝Ｓe の条件を維
持したまま、簡単な構造で一様磁場及び一様電場を実現
することのできるウィーンフィルタを提供することを目
的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】そのため第１の本発明
は、互いに直交する２軸をｘ，ｙ軸とするとき、ｙ軸に
対して対称的に一対の電極を配置し、該一対の電極の各
々の対向面を円筒面状の凹部となすと共に、該電極の一
端がｘ軸と成す角度を略６０°となし、ｘ軸に対して対
称的に一対の磁極片を平行配置し、該一対の磁極片の各
々の対向面の一部を前記円筒と同一径を有する円筒面に
沿った凹部となすと共に、前記磁極片は前記電極の側面
を覆うようにｘ軸方向に伸ばされているウィーンフィル
タを特徴としている。
は、互いに直交する２軸をｘ，ｙ軸とするとき、ｙ軸に
対して対称的に一対の電極を配置し、該一対の電極の各
々の対向面を円筒面状の凹部となすと共に、該電極の一
端がｘ軸と成す角度を略６０°となし、ｘ軸に対して対
称的に一対の磁極片を平行配置し、該一対の磁極片の各
々の対向面の一部を前記円筒と同一径を有する円筒面に
沿った凹部となすと共に、前記磁極片は前記電極の側面
を覆うようにｘ軸方向に伸ばされているウィーンフィル
タを特徴としている。
【００１３】そのため第２の本発明は、互いに直交する
２軸をｘ，ｙ軸をとするとき、ｙ軸に対して対称的に一
対の電極を配置し、該一対の電極の各々の対向面を円筒
面状の凹部となすと共に、該電極の一端がｘ軸と成す角
度を略６０°となし、該円筒の直径だけ離間してｘ軸に
対して対称的に一対の磁極片を平行配置すると共に、前
記磁極片は前記電極の側面を覆うようにｘ軸方向に伸ば
されているウィーンフィルタを特徴としている。
２軸をｘ，ｙ軸をとするとき、ｙ軸に対して対称的に一
対の電極を配置し、該一対の電極の各々の対向面を円筒
面状の凹部となすと共に、該電極の一端がｘ軸と成す角
度を略６０°となし、該円筒の直径だけ離間してｘ軸に
対して対称的に一対の磁極片を平行配置すると共に、前
記磁極片は前記電極の側面を覆うようにｘ軸方向に伸ば
されているウィーンフィルタを特徴としている。
【００１４】
【作用】本発明においては、電極については電極の一端
がｘ軸と成す角度を６０°に設定することにより一様電
場を形成できるようにすると共に、磁場については、磁
極片を電極の側面に沿って張り出させることにより、α
B の大きさによらずに、磁場が一様になるようにした。
がｘ軸と成す角度を６０°に設定することにより一様電
場を形成できるようにすると共に、磁場については、磁
極片を電極の側面に沿って張り出させることにより、α
B の大きさによらずに、磁場が一様になるようにした。
【００１５】
【実施例】以下、図面に基づき本発明の一実施例を詳述
する。
する。
【００１６】図６は本発明の一実施例を示すためのもの
である。電極や磁極の配置の説明上、互いに直交する２
軸ｘ，ｙをとっている。図中１，２はｙ軸に対して対称
的に配置された一対の電極であり、非磁性体である銅に
より形成されている。この電極の座標原点Ｏからみた開
き半角、即ち電極１，２の一端がｘ軸と成す角度は６０
°になるように選ばれている。
である。電極や磁極の配置の説明上、互いに直交する２
軸ｘ，ｙをとっている。図中１，２はｙ軸に対して対称
的に配置された一対の電極であり、非磁性体である銅に
より形成されている。この電極の座標原点Ｏからみた開
き半角、即ち電極１，２の一端がｘ軸と成す角度は６０
°になるように選ばれている。
【００１７】電極１には端子３を介して＋Ｖボルトの電
圧が印加されており、電極２には端子４を介して−Ｖボ
ルトの電圧が印加されている。これら電極１，２の互い
に対向する面には円筒面状の凹部が形成されている。
５，６はｘ軸に対して対称的に配置された一対の磁極片
であり、これら磁極片５，６の対向する面にも円筒面状
の凹部が形成されている。この凹部の径は前記磁極片の
径と同一になっている。電極１，２はセラミックで形成
された夫々支持体７，８に取り付けられている。支持体
７，８は夫々同じくセラミックスで形成された支持枠１
０，１１によってヨーク１２に取り付けられている。１
３，１４は磁極片５，６を励磁するための励磁コイルで
ある。
圧が印加されており、電極２には端子４を介して−Ｖボ
ルトの電圧が印加されている。これら電極１，２の互い
に対向する面には円筒面状の凹部が形成されている。
５，６はｘ軸に対して対称的に配置された一対の磁極片
であり、これら磁極片５，６の対向する面にも円筒面状
の凹部が形成されている。この凹部の径は前記磁極片の
径と同一になっている。電極１，２はセラミックで形成
された夫々支持体７，８に取り付けられている。支持体
７，８は夫々同じくセラミックスで形成された支持枠１
０，１１によってヨーク１２に取り付けられている。１
３，１４は磁極片５，６を励磁するための励磁コイルで
ある。
【００１８】このような構成となせば、一対の磁極片
５，６の間隔Ｓm と一対の電極１，２の間隔Ｓe とは等
しくなり、荷電粒子の通路に沿ってみた場合、電場と磁
場のフリンジの部分で電場と磁場の減衰のしかたが一致
するため、荷電粒子がいずれかの一方だけの場によって
影響されてしまうことはない。
５，６の間隔Ｓm と一対の電極１，２の間隔Ｓe とは等
しくなり、荷電粒子の通路に沿ってみた場合、電場と磁
場のフリンジの部分で電場と磁場の減衰のしかたが一致
するため、荷電粒子がいずれかの一方だけの場によって
影響されてしまうことはない。
【００１９】又、電極１，２は座標原点Ｏからみた開き
角が６０°になるように選ばれているため、電極１，２
によって形成される電場は一様になる。
角が６０°になるように選ばれているため、電極１，２
によって形成される電場は一様になる。
【００２０】更に、磁極片５，６は電極１，２の側面に
沿って張り出しているため、磁極片５，６は座標原点か
らみた開き角αB の大きさによらずに一様にすることが
できる。このように、電場及び磁場を共に一様にできる
が、このウィーンフィルタは構造が簡単であり、製造が
極めて容易である。
沿って張り出しているため、磁極片５，６は座標原点か
らみた開き角αB の大きさによらずに一様にすることが
できる。このように、電場及び磁場を共に一様にできる
が、このウィーンフィルタは構造が簡単であり、製造が
極めて容易である。
【００２１】尚、上述した実施例は本発明の一実施例を
示したもので、変形して実施できる。 例えば、第６図
に示すように、磁極片５´，６´に凹部を設けることな
く、磁極片５´，６´の対向面を平面状にすると共に、
これらの間隔を電極の径に一致させるようにしても良
い。
示したもので、変形して実施できる。 例えば、第６図
に示すように、磁極片５´，６´に凹部を設けることな
く、磁極片５´，６´の対向面を平面状にすると共に、
これらの間隔を電極の径に一致させるようにしても良
い。
【００２２】
【発明の効果】上述した説明から明らかなように、本発
明に基づくウィーンフィルタにおいては、電場と磁場の
フリンジの部分での両場の減衰のしかたを一致させるこ
とができると共に、電極については座標原点から見た開
き角を６０°に設定することにより一様電場を形成でき
且つ磁場についても磁極片を電極の側面に沿って張り出
させることにより一様にできる。その結果、本発明によ
り高性能であるだけでなく、構造が簡単で製造が極めて
容易なウィーンフィルタを提供できる。
明に基づくウィーンフィルタにおいては、電場と磁場の
フリンジの部分での両場の減衰のしかたを一致させるこ
とができると共に、電極については座標原点から見た開
き角を６０°に設定することにより一様電場を形成でき
且つ磁場についても磁極片を電極の側面に沿って張り出
させることにより一様にできる。その結果、本発明によ
り高性能であるだけでなく、構造が簡単で製造が極めて
容易なウィーンフィルタを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 従来のウィーンフィルタの縁端部における電
場，磁場の減衰特性を示すための図である。
場，磁場の減衰特性を示すための図である。
【図２】 Ｓm ＝Ｓe とした従来のウィーンフィルタを
示すための図である。
示すための図である。
【図３】 電極及び磁極片とも円筒状の対向面を設ける
ようにしたウィーンフィルタの原理図を示すための図で
ある。
ようにしたウィーンフィルタの原理図を示すための図で
ある。
【図４】 電界及び磁界を一様にするために必要な電極
又は磁極の開き半角αを示すためのグラフである。
又は磁極の開き半角αを示すためのグラフである。
【図５】 電極及び磁極片とも円筒状の対向面を設ける
ようにした従来のウィーンフィルタを示すための図であ
る。
ようにした従来のウィーンフィルタを示すための図であ
る。
【図６】 本発明の一実施例を示すための図である。
【図７】 本発明の他の一実施例を示すための図であ
る。
る。
１，２：電極１，２ ５，５´，６，６´：磁極片 ７，８：支持体 １０，１１：支持枠 １３，１４：励磁コイル
Claims (2)
- 【請求項１】 互いに直交する２軸をｘ，ｙ軸とすると
き、ｙ軸に対して対称的に一対の電極を配置し、該一対
の電極の各々の対向面を円筒面状の凹部となすと共に、
該電極の一端がｘ軸と成す角度を略６０°となし、ｘ軸
に対して対称的に一対の磁極片を平行配置し、該一対の
磁極片の各々の対向面の一部を前記円筒と同一径を有す
る円筒面に沿った凹部となすと共に、前記磁極片は前記
電極の側面を覆うようにｘ軸方向に伸ばされていること
を特徴とするウィーンフィルタ。 - 【請求項２】 互いに直交する２軸をｘ，ｙ軸とすると
き、ｙ軸に対して対称的に一対の電極を配置し、該一対
の電極の各々の対向面を円筒面状の凹部となすと共に、
該電極の一端がｘ軸と成す角度を略６０°となし、該円
筒の直径だけ離間してｘ軸に対して対称的に一対の磁極
片を平行配置すると共に、前記磁極片は前記電極の側面
を覆うようにｘ軸方向に伸ばされていることを特徴とす
るウィーンフィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3233841A JPH0554853A (ja) | 1991-08-21 | 1991-08-21 | ウイーンフイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3233841A JPH0554853A (ja) | 1991-08-21 | 1991-08-21 | ウイーンフイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0554853A true JPH0554853A (ja) | 1993-03-05 |
Family
ID=16961407
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3233841A Withdrawn JPH0554853A (ja) | 1991-08-21 | 1991-08-21 | ウイーンフイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0554853A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013152028A1 (en) * | 2012-04-03 | 2013-10-10 | Kla-Tencor Corporation | Apparatus and methods for high-resolution electron beam imaging |
| CN110514446A (zh) * | 2019-07-30 | 2019-11-29 | 北京航空航天大学 | 一种用于等离子体速度筛选仪的均匀电磁场装置 |
-
1991
- 1991-08-21 JP JP3233841A patent/JPH0554853A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013152028A1 (en) * | 2012-04-03 | 2013-10-10 | Kla-Tencor Corporation | Apparatus and methods for high-resolution electron beam imaging |
| US9053900B2 (en) | 2012-04-03 | 2015-06-09 | Kla-Tencor Corporation | Apparatus and methods for high-resolution electron beam imaging |
| CN110514446A (zh) * | 2019-07-30 | 2019-11-29 | 北京航空航天大学 | 一种用于等离子体速度筛选仪的均匀电磁场装置 |
| CN110514446B (zh) * | 2019-07-30 | 2020-07-21 | 北京航空航天大学 | 一种用于等离子体速度筛选仪的均匀电磁场装置 |
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