JPH0552271A - 圧力計カツトバルブ - Google Patents
圧力計カツトバルブInfo
- Publication number
- JPH0552271A JPH0552271A JP20903691A JP20903691A JPH0552271A JP H0552271 A JPH0552271 A JP H0552271A JP 20903691 A JP20903691 A JP 20903691A JP 20903691 A JP20903691 A JP 20903691A JP H0552271 A JPH0552271 A JP H0552271A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- bellows
- pressure gauge
- valve
- cut valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Safety Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】圧力計カットバルブの誤動作の外的要因を除去
することによって動作不良の発生をなくし、圧力計への
ダメージを防止する。 【構成】駆動部には密閉されたベローズ１０を使用し、
このベローズ１０に溶接されたステム９はダイヤフラム
１１を介して、シートステム１２及びシート１４に動力
を与える。ベローズ１０内は大気圧とし、ベローズ１０
外の圧力は処理室１と同圧力とし、ベローズ１０内外の
圧力差によりベローズ１０を伸縮させ、シートステム１
２を上昇または下降させることによって圧力計３への通
過および遮断が可能となる。
することによって動作不良の発生をなくし、圧力計への
ダメージを防止する。 【構成】駆動部には密閉されたベローズ１０を使用し、
このベローズ１０に溶接されたステム９はダイヤフラム
１１を介して、シートステム１２及びシート１４に動力
を与える。ベローズ１０内は大気圧とし、ベローズ１０
外の圧力は処理室１と同圧力とし、ベローズ１０内外の
圧力差によりベローズ１０を伸縮させ、シートステム１
２を上昇または下降させることによって圧力計３への通
過および遮断が可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は圧力計カットバルブに関
し、特に真空処理装置に用いる圧力計カットバルブに関
する。
し、特に真空処理装置に用いる圧力計カットバルブに関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来、真空処理装置に用いられる圧力計
は、各々計測する圧力範囲が異っている上、特に低い圧
力を計測する圧力計を用いて計測不可範囲での計測（通
電）を行うと、計測値が違ってくるだけでなく、圧力計
の寿命も著しく短かくしてしまう。
は、各々計測する圧力範囲が異っている上、特に低い圧
力を計測する圧力計を用いて計測不可範囲での計測（通
電）を行うと、計測値が違ってくるだけでなく、圧力計
の寿命も著しく短かくしてしまう。
【０００３】図３は従来の真空処理装置のブロック図で
ある。圧力計カットバルブ２は、処理室１が適正の圧力
になった時にのみ処理室１と圧力計３とを導通させ、圧
力計３を正常に動作させると共に寿命を伸ばす役目をし
ている。処理室１はアイソレーションバルブ４を介して
真空ポンブ５により排気される。従来技術では、処理室
１に設けられた大気圧から数ｍＴｏｒｒの圧力計測範囲
をもつ圧力計７の信号を装置側のシーケンスに取り込
み、この信号により駆動するエアーオペレートバルブも
しくは電磁弁を圧力計カットバルブ２として使用し、こ
の圧力計カットバルブ２を処理室１と圧力計３との間に
接続していた。
ある。圧力計カットバルブ２は、処理室１が適正の圧力
になった時にのみ処理室１と圧力計３とを導通させ、圧
力計３を正常に動作させると共に寿命を伸ばす役目をし
ている。処理室１はアイソレーションバルブ４を介して
真空ポンブ５により排気される。従来技術では、処理室
１に設けられた大気圧から数ｍＴｏｒｒの圧力計測範囲
をもつ圧力計７の信号を装置側のシーケンスに取り込
み、この信号により駆動するエアーオペレートバルブも
しくは電磁弁を圧力計カットバルブ２として使用し、こ
の圧力計カットバルブ２を処理室１と圧力計３との間に
接続していた。
【０００４】図４は従来技術のエアーオペレートバルブ
の断面図で、同図（ａ），（ｂ）はそれぞれその動作を
示している。このエアーオペレートバルブの駆動によっ
て動作する圧力計カットバルブ２では、同図に示す様
に、駆動には高圧のドライエアーを用い、ドライエアー
のシールは０リング１８を使用している。スプリング１
３は、ステム９がダイヤフラム１１から離れた時にシー
トステム１２及びシート１４を上昇させるためのもので
ある。ダイヤフラム１１は、動力部である上室とバルブ
部である下室とのシール及び動力伝達の役目を果してい
る。シート１４はメインボディ８に直接接触し、気体の
通過を止めることが出来る。
の断面図で、同図（ａ），（ｂ）はそれぞれその動作を
示している。このエアーオペレートバルブの駆動によっ
て動作する圧力計カットバルブ２では、同図に示す様
に、駆動には高圧のドライエアーを用い、ドライエアー
のシールは０リング１８を使用している。スプリング１
３は、ステム９がダイヤフラム１１から離れた時にシー
トステム１２及びシート１４を上昇させるためのもので
ある。ダイヤフラム１１は、動力部である上室とバルブ
部である下室とのシール及び動力伝達の役目を果してい
る。シート１４はメインボディ８に直接接触し、気体の
通過を止めることが出来る。
【０００５】この機構によれば、ドライエアー導入口１
６より高圧のドライエアーを導入すれば、図４（ｂ）に
示すようにステム９は上昇し、同時にシートステム１２
及びシート１４がスプリング１３の力により上昇し、処
理室１と圧力計３は導通する。又、ドライエアーを導入
しなければ、図４（ａ）に示す様に、スプリング１５の
力により、ステム９，シートステム１２，シート１４が
下降し、処理室１と圧力計３との気体の通過はなくな
る。
６より高圧のドライエアーを導入すれば、図４（ｂ）に
示すようにステム９は上昇し、同時にシートステム１２
及びシート１４がスプリング１３の力により上昇し、処
理室１と圧力計３は導通する。又、ドライエアーを導入
しなければ、図４（ａ）に示す様に、スプリング１５の
力により、ステム９，シートステム１２，シート１４が
下降し、処理室１と圧力計３との気体の通過はなくな
る。
【０００６】図５は従来技術の電磁弁の断面図で、同図
（ａ），（ｂ）はそれぞれその動作を示している。この
電磁弁の駆動により動作する圧力計カットバルブ２で
は、同図に示す様に、ステム９の上下駆動にはソレノイ
ド１９を用いている。駆動部以外は構造も動作もエアー
オペレートバルブと同様である。このように、バルブ駆
動させるには、エアーオペレートバルブは高圧ドライエ
アーが、またソレノイドバルブは電力及び開閉の信号が
必要不可欠であった。
（ａ），（ｂ）はそれぞれその動作を示している。この
電磁弁の駆動により動作する圧力計カットバルブ２で
は、同図に示す様に、ステム９の上下駆動にはソレノイ
ド１９を用いている。駆動部以外は構造も動作もエアー
オペレートバルブと同様である。このように、バルブ駆
動させるには、エアーオペレートバルブは高圧ドライエ
アーが、またソレノイドバルブは電力及び開閉の信号が
必要不可欠であった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】この従来の圧力計カッ
トバルブ２では、シーケンスの誤動作，マニュアル操作
時のオペレータの誤動作、圧力計７の故障もしくは劣化
による誤信号等で、圧力計カットバルブ２が開いてしま
うことがあり、圧力計３に大きなダメージを与える。
又、前記のエアーオペーレートバルブでは、ドライエア
ー配管のリークによる動作不良、電磁弁では駆動用ケー
ブルの断線、コネクターの接触不良による動作不良が生
じ、同様に圧力計にダメージを与えてしまう。
トバルブ２では、シーケンスの誤動作，マニュアル操作
時のオペレータの誤動作、圧力計７の故障もしくは劣化
による誤信号等で、圧力計カットバルブ２が開いてしま
うことがあり、圧力計３に大きなダメージを与える。
又、前記のエアーオペーレートバルブでは、ドライエア
ー配管のリークによる動作不良、電磁弁では駆動用ケー
ブルの断線、コネクターの接触不良による動作不良が生
じ、同様に圧力計にダメージを与えてしまう。
【０００８】
【課題を解決するための手段】真空処理装置の処理室の
圧力を計測する為に接続された圧力計の前記処理室との
間の流路を開閉する為の圧力計カットバルブにおいて、
内部に大気圧のガスを密閉したベローズをメインボディ
ー内に設け、このベローズ周囲を前記処理室と同圧力に
し、ベローズ内外の圧力差によりベローズを伸縮させて
シートステムを上下させ、前記流路を開閉する構造を有
する。
圧力を計測する為に接続された圧力計の前記処理室との
間の流路を開閉する為の圧力計カットバルブにおいて、
内部に大気圧のガスを密閉したベローズをメインボディ
ー内に設け、このベローズ周囲を前記処理室と同圧力に
し、ベローズ内外の圧力差によりベローズを伸縮させて
シートステムを上下させ、前記流路を開閉する構造を有
する。
【０００９】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の圧力計カットバルブを使用した真空
処理装置のブロック図である。処理室１は、アイソレー
ションバルブ４を介して、処理室１を排気するための真
空ポンプ５と接続されている。処理室１内圧力計測用の
圧力計３は、圧力計カットバルブ２を介して処理室１と
接続されている。又、ベントガス及び処理ガスは、ガス
バルブ６を介して処理室１内に導入される。
る。図１は本発明の圧力計カットバルブを使用した真空
処理装置のブロック図である。処理室１は、アイソレー
ションバルブ４を介して、処理室１を排気するための真
空ポンプ５と接続されている。処理室１内圧力計測用の
圧力計３は、圧力計カットバルブ２を介して処理室１と
接続されている。又、ベントガス及び処理ガスは、ガス
バルブ６を介して処理室１内に導入される。
【００１０】図２は本発明の一実施例の圧力計カットバ
ルブの断面図で、同図（ａ），（ｂ）はそれぞれその動
作を示している。この実施例の圧力計カットバルブは、
同図に示す様に、駆動部とされる上室部分に密封され、
圧力差による伸び量及び大気圧下での伸びに対する反発
力が既知のベローズ１０を有している。ベローズ１０内
には、大気圧の不活性ガスを密封している。スプリング
１３は、ステム９がダイヤフラム１１から離れた時にシ
ートステム１２及びシート１４を上昇させる為のもので
ある。ダイヤフラム１１は上室の動力部と下室のバルブ
部とのシール及び動力伝達の役目を果している。シート
１４はメインボディー８に直接接触し、気体の通過を止
めることが出来る。
ルブの断面図で、同図（ａ），（ｂ）はそれぞれその動
作を示している。この実施例の圧力計カットバルブは、
同図に示す様に、駆動部とされる上室部分に密封され、
圧力差による伸び量及び大気圧下での伸びに対する反発
力が既知のベローズ１０を有している。ベローズ１０内
には、大気圧の不活性ガスを密封している。スプリング
１３は、ステム９がダイヤフラム１１から離れた時にシ
ートステム１２及びシート１４を上昇させる為のもので
ある。ダイヤフラム１１は上室の動力部と下室のバルブ
部とのシール及び動力伝達の役目を果している。シート
１４はメインボディー８に直接接触し、気体の通過を止
めることが出来る。
【００１１】この機構によれば、処理室１が大気圧の時
には、図２（ａ）に示す様に、ベローズ１０の収縮力に
よりダイヤフラム１１を介してシートステム１２を下降
させ、シート１４により気体の通過を止めることが出来
る。又、処理室１側の圧力が低くなると、ベローズ１０
外部の圧力が低下するため、ベローズ１０が伸長し、ス
テム９はダイヤフラム１１から離れ、シートステム１２
はスプリング１３の力により上昇し、シート１４はメイ
ンボディー８より離れ、処理室１と圧力計３とは導通
し、圧力計測可能となる。
には、図２（ａ）に示す様に、ベローズ１０の収縮力に
よりダイヤフラム１１を介してシートステム１２を下降
させ、シート１４により気体の通過を止めることが出来
る。又、処理室１側の圧力が低くなると、ベローズ１０
外部の圧力が低下するため、ベローズ１０が伸長し、ス
テム９はダイヤフラム１１から離れ、シートステム１２
はスプリング１３の力により上昇し、シート１４はメイ
ンボディー８より離れ、処理室１と圧力計３とは導通
し、圧力計測可能となる。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように本発明の圧力計カッ
トバルブを用いれば、電気配線，ドライエアー配管，バ
ルブコントロール用シーケンスを必要としない。これに
より、圧力計カットバルブの誤動作の要因を全て除去で
きるという効果がある。
トバルブを用いれば、電気配線，ドライエアー配管，バ
ルブコントロール用シーケンスを必要としない。これに
より、圧力計カットバルブの誤動作の要因を全て除去で
きるという効果がある。
【図１】本発明の圧力計カットバルブを使用した真空処
理装置のブロック図である。
理装置のブロック図である。
【図２】本発明の一実施例の圧力計カットバルブを示す
図で、同図（ａ），（ｂ）はそれぞれその動作を示す断
面図である。
図で、同図（ａ），（ｂ）はそれぞれその動作を示す断
面図である。
【図３】従来の圧力計カットバルブを使用した真空処理
装置のブロック図である。
装置のブロック図である。
【図４】従来のエアーオペレートバルブを示す図で、同
図（ａ），（ｂ）はそれぞれその動作を示す断面図であ
る。
図（ａ），（ｂ）はそれぞれその動作を示す断面図であ
る。
【図５】従来の電磁弁を示す図で、同図（ａ），（ｂ）
はそれぞれその動作を示す断面図である。
はそれぞれその動作を示す断面図である。
１ 処理室 ２ 圧力計カットバルブ ３ 圧力計 ４ アイソレーションバルブ ５ 真空ポンプ ６ ガスバルブ ７ 圧力計 ８ メインボディー ９ ステム １０ ベローズ １１ ダイヤフラム １２ シートステム １３ スプリング １４ シート １５ スプリング １６ ドライエアー導入口 １７ エギゾースト １８ ０リング １９ ソレノイド
Claims (1)
- 【請求項１】 真空処理装置の処理室の圧力を計測する
為に接続された圧力計の前記処理室との間の流路を開閉
する為の圧力計カットバルブにおいて、内部に大気圧の
ガスを密閉したベローズをメインボディー内に設け、こ
のベローズ周囲を前記処理室と同圧力にし、ベローズ内
外の圧力差によりベローズを伸縮させてシートステムを
上下させ、前記流路を開閉することを特徴とする圧力計
カットバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20903691A JPH0552271A (ja) | 1991-08-21 | 1991-08-21 | 圧力計カツトバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20903691A JPH0552271A (ja) | 1991-08-21 | 1991-08-21 | 圧力計カツトバルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0552271A true JPH0552271A (ja) | 1993-03-02 |
Family
ID=16566195
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20903691A Pending JPH0552271A (ja) | 1991-08-21 | 1991-08-21 | 圧力計カツトバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0552271A (ja) |
-
1991
- 1991-08-21 JP JP20903691A patent/JPH0552271A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20010109 |