JPH0551275A - セラミツクスヒータ - Google Patents
セラミツクスヒータInfo
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- JPH0551275A JPH0551275A JP20948991A JP20948991A JPH0551275A JP H0551275 A JPH0551275 A JP H0551275A JP 20948991 A JP20948991 A JP 20948991A JP 20948991 A JP20948991 A JP 20948991A JP H0551275 A JPH0551275 A JP H0551275A
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- heater
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- ceramics
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 マイグレーションの発生を防止して、ヒータ
電極の断線や抵抗変化を防止するセラミックスヒータを
提供すること。 【構成】 ヒータ基板１のセラミックスとして、アルカ
リ金属及び／又はアルカリ土類金属の含有量が０．１重
量％以下の高純度アルミナを用い、また、導電材料及び
セラミックス添加剤からなるヒータ電極２のセラミック
ス添加剤として、アルカリ金属及び／又はアルカリ土類
金属の含有量が０．０７重量％以下の酸化物を用い、そ
れらを同時焼成して形成したセラミックスヒータ。
電極の断線や抵抗変化を防止するセラミックスヒータを
提供すること。 【構成】 ヒータ基板１のセラミックスとして、アルカ
リ金属及び／又はアルカリ土類金属の含有量が０．１重
量％以下の高純度アルミナを用い、また、導電材料及び
セラミックス添加剤からなるヒータ電極２のセラミック
ス添加剤として、アルカリ金属及び／又はアルカリ土類
金属の含有量が０．０７重量％以下の酸化物を用い、そ
れらを同時焼成して形成したセラミックスヒータ。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、セラミックス製のヒー
タ基板にヒータ電極が形成されたセラミックスヒータに
関する。
タ基板にヒータ電極が形成されたセラミックスヒータに
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、セラミックスヒータは、高温での
安定性に優れているので、例えば自動車用の酸素センサ
やグローシステム等に使用されている。この種のセラミ
ックスヒータとしては、セラミックス製のヒータ基板上
に、導電材料とセラミックス添加剤との混合材料からな
るヒータ電極が形成されたものが知られている。
安定性に優れているので、例えば自動車用の酸素センサ
やグローシステム等に使用されている。この種のセラミ
ックスヒータとしては、セラミックス製のヒータ基板上
に、導電材料とセラミックス添加剤との混合材料からな
るヒータ電極が形成されたものが知られている。
【０００３】そして、このセラミックスヒータのヒータ
基板としては、例えば低ソーダアルミナに焼結助剤を添
加したセラミックスを原材料とするアルミナ焼結体が多
用されており、また最近になって、高純度アルミナから
なるヒータ基板も提案されている。
基板としては、例えば低ソーダアルミナに焼結助剤を添
加したセラミックスを原材料とするアルミナ焼結体が多
用されており、また最近になって、高純度アルミナから
なるヒータ基板も提案されている。
【０００４】一方、ヒータ電極としては、近年では昇温
速度をより速くするために、低抵抗ヒータの需要が増え
ており、このヒータ電極の材料には、例えば導電材料の
白金にセラミックス添加剤（例えば低ソーダアルミナ）
を共素地として加えた材料が使用されている。
速度をより速くするために、低抵抗ヒータの需要が増え
ており、このヒータ電極の材料には、例えば導電材料の
白金にセラミックス添加剤（例えば低ソーダアルミナ）
を共素地として加えた材料が使用されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前記材料か
らなるヒータ電極をヒータ基板上に形成したセラミック
スヒータでは、次の様な問題があり、必ずしも好適では
なかった。つまり、従来のセラミックスヒータを、高温
かつ直流高電位（例えばバッテリ電圧の１０〜１６Ｖ）
下で使用すると、例えば高純度アルミナで形成されたヒ
ータ基板におけるマイグレーションはかなり防止できる
が、白金に低ソーダアルミナ等を添加して形成したヒー
タ電極を使用すると、マイグレーションは十分に防止で
きなかった。その結果、セラミックスヒータを使用して
いるうちに、ヒータ電極の断線や抵抗変化を引き起こす
という問題があった。
らなるヒータ電極をヒータ基板上に形成したセラミック
スヒータでは、次の様な問題があり、必ずしも好適では
なかった。つまり、従来のセラミックスヒータを、高温
かつ直流高電位（例えばバッテリ電圧の１０〜１６Ｖ）
下で使用すると、例えば高純度アルミナで形成されたヒ
ータ基板におけるマイグレーションはかなり防止できる
が、白金に低ソーダアルミナ等を添加して形成したヒー
タ電極を使用すると、マイグレーションは十分に防止で
きなかった。その結果、セラミックスヒータを使用して
いるうちに、ヒータ電極の断線や抵抗変化を引き起こす
という問題があった。
【０００６】ここで、マイグレーションとは、例えばセ
ラミックスヒータを、高温にて直流高電圧下で使用する
と、不純物としてアルミナ中に含有されるアルカリ金
属，アルカリ土類金属等のイオンが移動する現象を示
し、このマイグレーションが発生すると、アルカリ金属
やアルカリ土類金属の陽イオンがマイナス端子側に偏析
して、前記の様な種々の障害を発生する。
ラミックスヒータを、高温にて直流高電圧下で使用する
と、不純物としてアルミナ中に含有されるアルカリ金
属，アルカリ土類金属等のイオンが移動する現象を示
し、このマイグレーションが発生すると、アルカリ金属
やアルカリ土類金属の陽イオンがマイナス端子側に偏析
して、前記の様な種々の障害を発生する。
【０００７】本発明は上記課題を解決するためになさ
れ、マイグレーションの発生を防止して、ヒータ電極の
断線や抵抗変化を防止するセラミックスヒータを提供す
ることを目的とする。
れ、マイグレーションの発生を防止して、ヒータ電極の
断線や抵抗変化を防止するセラミックスヒータを提供す
ることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めの、請求項１の発明は、セラミックスからなるヒータ
基板と、導電材料及びセラミックス添加剤からなるヒー
タ電極と、を同時に焼成するセラミックスヒータにおい
て、前記ヒータ電極のセラミックス添加剤として、アル
カリ金属及び／又はアルカリ土類金属の含有量が０．０
７重量％以下の酸化物を用いたことを特徴とするセラミ
ックスヒータを要旨とする。
めの、請求項１の発明は、セラミックスからなるヒータ
基板と、導電材料及びセラミックス添加剤からなるヒー
タ電極と、を同時に焼成するセラミックスヒータにおい
て、前記ヒータ電極のセラミックス添加剤として、アル
カリ金属及び／又はアルカリ土類金属の含有量が０．０
７重量％以下の酸化物を用いたことを特徴とするセラミ
ックスヒータを要旨とする。
【０００９】請求項２の発明は、前記ヒータ基板のセラ
ミックスとして、アルカリ金属及び／又はアルカリ土類
金属の含有量が０．１重量％以下の高純度アルミナを用
いたことを特徴とする請求項１記載のセラミックスヒー
タを要旨とする。
ミックスとして、アルカリ金属及び／又はアルカリ土類
金属の含有量が０．１重量％以下の高純度アルミナを用
いたことを特徴とする請求項１記載のセラミックスヒー
タを要旨とする。
【００１０】請求項３の発明は、前記ヒータ電極のセラ
ミックス添加剤として、前記ヒータ基板のセラミックス
と同種の材料からなる共素地を用いたことを特徴とする
請求項１又は請求項２記載のセラミックスヒータを要旨
とする。
ミックス添加剤として、前記ヒータ基板のセラミックス
と同種の材料からなる共素地を用いたことを特徴とする
請求項１又は請求項２記載のセラミックスヒータを要旨
とする。
【００１１】請求項４の発明は、前記ヒータ電極のセラ
ミックス添加剤として、前記ヒータ基板のセラミックス
の焼結活性より高い焼結活性の材料を用いたことを特徴
とする請求項１ないし請求項３記載のセラミックスヒー
タを要旨とする。
ミックス添加剤として、前記ヒータ基板のセラミックス
の焼結活性より高い焼結活性の材料を用いたことを特徴
とする請求項１ないし請求項３記載のセラミックスヒー
タを要旨とする。
【００１２】ここで、前記セラミックス添加物の酸化物
としては、α−アルミナや、５〜５．５mol％Ｙ2Ｏ3部
分安定化ジルコニア（ＰＳＺ）等を使用することができ
る。また、その添加量は添加物の種類によって異なる
が、例えば３．５〜１０重量％の範囲であれば、導電性
を損なうことなく密着強度を高めることができるので好
適である。
としては、α−アルミナや、５〜５．５mol％Ｙ2Ｏ3部
分安定化ジルコニア（ＰＳＺ）等を使用することができ
る。また、その添加量は添加物の種類によって異なる
が、例えば３．５〜１０重量％の範囲であれば、導電性
を損なうことなく密着強度を高めることができるので好
適である。
【００１３】前記ヒータ電極のセラミックス添加剤中に
含まれるアルカリ金属及び／又はアルカリ土類金属と
は、主としてＮａ，Ｍｇ，Ｃａである。前記ヒータ電極
の導電材料としては、Ｐｔ，Ｗ，Ｍｏ等を使用できる。
前記ヒータ基板の材料の高純度アルミナとしては、例え
ば０．１重量％以下のアルカリ金属及び／又はアルカリ
土類金属と１．０重量％以下のＳｉＯ2とを含有するア
ルミナに、Ｙ2Ｏ3，Ｓｃ2Ｏ3，ランタン系列金属酸化物
から選ばれた少なくとも一種以上の酸化物を２〜６モル
％固溶した部分安定化ジルコニアを、２〜１８重量％添
加した材料を使用すると、マイグレーションを効果的に
防止できるので好適である。
含まれるアルカリ金属及び／又はアルカリ土類金属と
は、主としてＮａ，Ｍｇ，Ｃａである。前記ヒータ電極
の導電材料としては、Ｐｔ，Ｗ，Ｍｏ等を使用できる。
前記ヒータ基板の材料の高純度アルミナとしては、例え
ば０．１重量％以下のアルカリ金属及び／又はアルカリ
土類金属と１．０重量％以下のＳｉＯ2とを含有するア
ルミナに、Ｙ2Ｏ3，Ｓｃ2Ｏ3，ランタン系列金属酸化物
から選ばれた少なくとも一種以上の酸化物を２〜６モル
％固溶した部分安定化ジルコニアを、２〜１８重量％添
加した材料を使用すると、マイグレーションを効果的に
防止できるので好適である。
【００１４】前記焼結活性を高める手段としては、同種
材料を用いる場合には、ヒータ電極に添加する共素地材
料の比表面積（ＳＳＡ）を、ヒータ基板の材料の比表面
積より高める方法を採用でき、例えば、ヒータ電極にア
ルミナ粉末を添加する場合には、ヒータ基板より２〜３
倍の比表面積のものを使用すると、密着強度が向上する
ので好適である。
材料を用いる場合には、ヒータ電極に添加する共素地材
料の比表面積（ＳＳＡ）を、ヒータ基板の材料の比表面
積より高める方法を採用でき、例えば、ヒータ電極にア
ルミナ粉末を添加する場合には、ヒータ基板より２〜３
倍の比表面積のものを使用すると、密着強度が向上する
ので好適である。
【００１５】
【作用】上記構成を有する本発明のセラミックスヒータ
は、ヒータ電極のセラミックス添加剤として、アルカリ
金属及び／又はアルカリ土類金属の含有量が０．０７重
量％以下の酸化物を用いるので、高温・直流高電位下で
使用した場合でのマイグレーションの発生を防止するこ
とが可能となる。つまり、ヒータ電極中には、移動する
アルカリ金属及び／又はアルカリ土類金属の陽イオンの
数が制限されているので、マイグレーションが発生しに
くい。
は、ヒータ電極のセラミックス添加剤として、アルカリ
金属及び／又はアルカリ土類金属の含有量が０．０７重
量％以下の酸化物を用いるので、高温・直流高電位下で
使用した場合でのマイグレーションの発生を防止するこ
とが可能となる。つまり、ヒータ電極中には、移動する
アルカリ金属及び／又はアルカリ土類金属の陽イオンの
数が制限されているので、マイグレーションが発生しに
くい。
【００１６】ここで特に、ヒータ基板のセラミックスと
して、アルカリ金属及び／又はアルカリ土類金属の含有
量が０．１重量％以下の高純度アルミナを用いた場合に
は、ヒータ電極とともにヒータ基板も十分にマイグレー
ションを防止できるので好適である。
して、アルカリ金属及び／又はアルカリ土類金属の含有
量が０．１重量％以下の高純度アルミナを用いた場合に
は、ヒータ電極とともにヒータ基板も十分にマイグレー
ションを防止できるので好適である。
【００１７】また、ヒータ電極のセラミックス添加剤と
して、ヒータ基板のセラミックスと同種の材料からなる
共素地を用いた場合には、ヒータ基板とヒータ電極との
密着強度が一層向上する。更に、ヒータ電極のセラミッ
クス添加剤として、ヒータ基板のセラミックスの焼結活
性より高い焼結活性の材料を用いる場合には、ヒータ電
極の焼結温度がヒータ基板の焼結温度より低下するの
で、ヒータ電極がヒータ基板に入り込む様に焼結し、こ
の点からも密着強度が一層向上する。
して、ヒータ基板のセラミックスと同種の材料からなる
共素地を用いた場合には、ヒータ基板とヒータ電極との
密着強度が一層向上する。更に、ヒータ電極のセラミッ
クス添加剤として、ヒータ基板のセラミックスの焼結活
性より高い焼結活性の材料を用いる場合には、ヒータ電
極の焼結温度がヒータ基板の焼結温度より低下するの
で、ヒータ電極がヒータ基板に入り込む様に焼結し、こ
の点からも密着強度が一層向上する。
【００１８】
【実施例】次に、本発明に係るセラミックスヒータとし
て、酸素センサ用のヒータに使用した実施例について説
明する。本実施例のセラミックスヒータは、図１に示す
様に、高純度アルミナを主成分とするヒータ基板１と、
ヒータ基板１の下面に形成されたヒータ電極２と、ヒー
タ基板１の上面に形成されたマイグレーション防止パタ
ーン３と、ヒータ基板１の両側を被うラミネート用セラ
ミックス基板４，５とから構成されている。
て、酸素センサ用のヒータに使用した実施例について説
明する。本実施例のセラミックスヒータは、図１に示す
様に、高純度アルミナを主成分とするヒータ基板１と、
ヒータ基板１の下面に形成されたヒータ電極２と、ヒー
タ基板１の上面に形成されたマイグレーション防止パタ
ーン３と、ヒータ基板１の両側を被うラミネート用セラ
ミックス基板４，５とから構成されている。
【００１９】この様なセラミックスヒータは、次の工程
によって製造される。 まず、ヒータ基板１となるグリーンシートを製造す
る。つまり、微量の不純物として１０ppm以下のアルカ
リ金属及び／又はアルカリ土類金属と約１４ppmのＳｉ
Ｏ2と約３ppmのＭｇＯとを含有する高純度アルミナ（Ａ
ｌ2Ｏ3含有量：９９．９９％，平均粒径０．４μm，比
表面積：７．０m2／ｇ）に、５．５モル％Ｙ2Ｏ3部分安
定化ジルコニア（以下、ＰＳＺと略称する）を焼結助剤
として２重量％添加し、更にＰＶＢ系のバインダーを配
合して、周知のドクターブレード法により４．５mm×５
７mm×０．４５mmのグリーンシートを成形する。
によって製造される。 まず、ヒータ基板１となるグリーンシートを製造す
る。つまり、微量の不純物として１０ppm以下のアルカ
リ金属及び／又はアルカリ土類金属と約１４ppmのＳｉ
Ｏ2と約３ppmのＭｇＯとを含有する高純度アルミナ（Ａ
ｌ2Ｏ3含有量：９９．９９％，平均粒径０．４μm，比
表面積：７．０m2／ｇ）に、５．５モル％Ｙ2Ｏ3部分安
定化ジルコニア（以下、ＰＳＺと略称する）を焼結助剤
として２重量％添加し、更にＰＶＢ系のバインダーを配
合して、周知のドクターブレード法により４．５mm×５
７mm×０．４５mmのグリーンシートを成形する。
【００２０】次に、ヒータ電極２及びマイグレーショ
ン防止パターン３となるペーストを製造する。つまり、
主成分の導電材料として白金を使用し、共素地としてア
ルカリ金属及び／又はアルカリ土類金属がヒータ電極１
全体の０．０１重量％含まれているα−アルミナを４重
量％使用し、更にＰＶＢ系のバインダーを加えてペース
トを製造する。そしてこのペーストを用いて、前記グリ
ーンシートの下面にヒータ電極層をスクリーン印刷し、
また上面にはマイグレーション防止パターン層をスクリ
ーン印刷する。
ン防止パターン３となるペーストを製造する。つまり、
主成分の導電材料として白金を使用し、共素地としてア
ルカリ金属及び／又はアルカリ土類金属がヒータ電極１
全体の０．０１重量％含まれているα−アルミナを４重
量％使用し、更にＰＶＢ系のバインダーを加えてペース
トを製造する。そしてこのペーストを用いて、前記グリ
ーンシートの下面にヒータ電極層をスクリーン印刷し、
また上面にはマイグレーション防止パターン層をスクリ
ーン印刷する。
【００２１】更に、グリーンシートの上下面に、それ
ぞれヒータ電極層，マイグレーション防止パターン層を
挟んで、４．５mm×５７mm×０．２７mmのラミネート用
グリーンシートをラミネートする。尚、ラミネート用グ
リーンシートは、前記グリーンシートと同一組成であ
り、ドクターブレード法により成形されている。
ぞれヒータ電極層，マイグレーション防止パターン層を
挟んで、４．５mm×５７mm×０．２７mmのラミネート用
グリーンシートをラミネートする。尚、ラミネート用グ
リーンシートは、前記グリーンシートと同一組成であ
り、ドクターブレード法により成形されている。
【００２２】そして、これらの積層体を高温焼結炉に
て、例えば１５２０℃を下回る焼結温度で焼結して、本
実施例のセラミックスヒータを完成する。次に、本発明
の効果を確認するために行った実験例について説明す
る。 （実験例）この実験に使用するセラミックスヒータとし
て、上述した実施例とほぼ同様な製造方法で、下記表１
に示す試料No１〜４のセラミックスヒータを各々複数個
製造した。ここで、共素地及び焼結温度は、表１のもの
を採用し、室温でのヒータ電極の抵抗値が約２．８Ωと
なる様に設定した。尚、試料No１〜３が実施例であり、
試料No４は比較例である。
て、例えば１５２０℃を下回る焼結温度で焼結して、本
実施例のセラミックスヒータを完成する。次に、本発明
の効果を確認するために行った実験例について説明す
る。 （実験例）この実験に使用するセラミックスヒータとし
て、上述した実施例とほぼ同様な製造方法で、下記表１
に示す試料No１〜４のセラミックスヒータを各々複数個
製造した。ここで、共素地及び焼結温度は、表１のもの
を採用し、室温でのヒータ電極の抵抗値が約２．８Ωと
なる様に設定した。尚、試料No１〜３が実施例であり、
試料No４は比較例である。
【００２３】
【表１】
【００２４】そして、１０００℃の雰囲気にて、ヒータ
電極に１３．３Ｖを印加し、各々のセラミックスセンサ
の断線を検出することによって、セラミックスヒータの
耐久時間を調べた。その結果を表２及び図２に記す。
電極に１３．３Ｖを印加し、各々のセラミックスセンサ
の断線を検出することによって、セラミックスヒータの
耐久時間を調べた。その結果を表２及び図２に記す。
【００２５】
【表２】
【００２６】この表２及び図２から明かな様に、本実施
例の試料No１〜３セラミックスヒータは、マイグレーシ
ョンが発生しにくいので、耐久時間が平均３００時間以
上と長く、高温耐久性に優れていることが分かる。特
に、試料No１のものは、共素地がヒータ基板の材料と異
なるが、アルカリ類やアルカリ土類の含有率が小さくし
かも焼結温度が低いので、耐久時間が平均３００時間と
長い。また、試料No２のものは、焼結温度は高いが共素
地がヒータ基板と同種であり、しかもアルカリ類やアル
カリ土類の含有率が極めて小さいので、耐久時間が３５
０時間と長い。更に、試料３のものは、共素地がヒータ
基板と同種であり、アルカリ類やアルカリ土類の含有率
も極めて小さく、しかも比表面積が大きく焼結温度が低
いので、耐久時間が平均５４０時間と極めて長く好まし
いものである。
例の試料No１〜３セラミックスヒータは、マイグレーシ
ョンが発生しにくいので、耐久時間が平均３００時間以
上と長く、高温耐久性に優れていることが分かる。特
に、試料No１のものは、共素地がヒータ基板の材料と異
なるが、アルカリ類やアルカリ土類の含有率が小さくし
かも焼結温度が低いので、耐久時間が平均３００時間と
長い。また、試料No２のものは、焼結温度は高いが共素
地がヒータ基板と同種であり、しかもアルカリ類やアル
カリ土類の含有率が極めて小さいので、耐久時間が３５
０時間と長い。更に、試料３のものは、共素地がヒータ
基板と同種であり、アルカリ類やアルカリ土類の含有率
も極めて小さく、しかも比表面積が大きく焼結温度が低
いので、耐久時間が平均５４０時間と極めて長く好まし
いものである。
【００２７】それに対して比較例の試料No４は、ヒータ
基板と同種の共素地を使用しているが、アルカリ類やア
ルカリ土類の含有率が大きいのでマイグレーションが発
生し易く、耐久時間が平均１８０時間と短いので好まし
くない。尚、本発明は、上記実施例に何等限定されず、
本発明の要旨の範囲内において各種の態様で実施できる
ことは勿論である。
基板と同種の共素地を使用しているが、アルカリ類やア
ルカリ土類の含有率が大きいのでマイグレーションが発
生し易く、耐久時間が平均１８０時間と短いので好まし
くない。尚、本発明は、上記実施例に何等限定されず、
本発明の要旨の範囲内において各種の態様で実施できる
ことは勿論である。
【００２８】例えば、マイグレーション防止パターンを
省略したものでも、一定の効果は得られる。
省略したものでも、一定の効果は得られる。
【００２９】
【発明の効果】以上詳述した様に、本発明のセラミック
スヒータによれば、ヒータ電極のセラミックス添加剤と
して、アルカリ金属及び／又はアルカリ土類金属の含有
量が０．０７重量％以下の酸化物を用いたので、高温・
直流高電位での使用時におけるマイグレーションを効果
的に防止できる。それによって、ヒータ電極の断線や抵
抗変化の発生を防ぐことができるので、セラミックスヒ
ータの耐久性が向上する。
スヒータによれば、ヒータ電極のセラミックス添加剤と
して、アルカリ金属及び／又はアルカリ土類金属の含有
量が０．０７重量％以下の酸化物を用いたので、高温・
直流高電位での使用時におけるマイグレーションを効果
的に防止できる。それによって、ヒータ電極の断線や抵
抗変化の発生を防ぐことができるので、セラミックスヒ
ータの耐久性が向上する。
【００３０】特に、ヒータ基板に高純度アルミナを用い
た場合には、セラミックスヒータ全体のマイグレーショ
ンを効果的に防止できる。また、ヒータ電極のセラミッ
クス添加剤として、ヒータ基板のセラミックスと同種の
材料からなる共素地を用いた場合、或はヒータ基板のセ
ラミックスの焼結活性より高い焼結活性の材料を用いた
場合には、ヒータ基板とヒータ電極との密着強度を大き
く向上させることができる。
た場合には、セラミックスヒータ全体のマイグレーショ
ンを効果的に防止できる。また、ヒータ電極のセラミッ
クス添加剤として、ヒータ基板のセラミックスと同種の
材料からなる共素地を用いた場合、或はヒータ基板のセ
ラミックスの焼結活性より高い焼結活性の材料を用いた
場合には、ヒータ基板とヒータ電極との密着強度を大き
く向上させることができる。
【図１】 本実施例のセラミックスヒータを示す分解斜
視図である。
視図である。
【図２】 実験例の耐久試験の結果を示すグラフであ
る。
る。
１…ヒータ基板 ２…ヒータ電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中山 豊 愛知県名古屋市瑞穂区高辻町14番18号 日 本特殊陶業株式会社内 (72)発明者 渡辺 一夫 岐阜県岐阜市水海道２丁目４番26号
Claims (4)
- 【請求項１】 セラミックスからなるヒータ基板と、導
電材料及びセラミックス添加剤からなるヒータ電極と、
を同時に焼成するセラミックスヒータにおいて、 前記ヒータ電極のセラミックス添加剤として、アルカリ
金属及び／又はアルカリ土類金属の含有量が０．０７重
量％以下の酸化物を用いたことを特徴とするセラミック
スヒータ。 - 【請求項２】 前記ヒータ基板のセラミックスとして、
アルカリ金属及び／又はアルカリ土類金属の含有量が
０．１重量％以下の高純度アルミナを用いたことを特徴
とする請求項１記載のセラミックスヒータ。 - 【請求項３】 前記ヒータ電極のセラミックス添加剤と
して、前記ヒータ基板のセラミックスと同種の材料から
なる共素地を用いたことを特徴とする請求項１又は請求
項２記載のセラミックスヒータ。 - 【請求項４】 前記ヒータ電極のセラミックス添加剤と
して、前記ヒータ基板のセラミックスの焼結活性より高
い焼結活性の材料を用いたことを特徴とする請求項１な
いし請求項３記載のセラミックスヒータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3209489A JP3038056B2 (ja) | 1991-08-21 | 1991-08-21 | セラミックスヒータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3209489A JP3038056B2 (ja) | 1991-08-21 | 1991-08-21 | セラミックスヒータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0551275A true JPH0551275A (ja) | 1993-03-02 |
| JP3038056B2 JP3038056B2 (ja) | 2000-05-08 |
Family
ID=16573667
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3209489A Expired - Lifetime JP3038056B2 (ja) | 1991-08-21 | 1991-08-21 | セラミックスヒータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3038056B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0701979A1 (en) | 1994-08-18 | 1996-03-20 | Ngk Spark Plug Co., Ltd | Alumina-based sintered material for ceramic heater and ceramic heater |
| JP2006202601A (ja) * | 2005-01-20 | 2006-08-03 | Kyocera Corp | セラミックヒーターおよびその製造方法 |
| JP2006299385A (ja) * | 2005-04-25 | 2006-11-02 | Noritake Co Ltd | 白金粉末、その製造方法、および圧電セラミック材用白金ペースト |
| KR100943933B1 (ko) * | 2004-05-27 | 2010-02-24 | 쿄세라 코포레이션 | 세라믹 히터와 그것을 이용한 헤어 아이롱 |
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1991
- 1991-08-21 JP JP3209489A patent/JP3038056B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0701979A1 (en) | 1994-08-18 | 1996-03-20 | Ngk Spark Plug Co., Ltd | Alumina-based sintered material for ceramic heater and ceramic heater |
| US5753893A (en) * | 1994-08-18 | 1998-05-19 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Alumina-based sintered material for ceramic heater |
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| Publication number | Publication date |
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| JP3038056B2 (ja) | 2000-05-08 |
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