JPH05505425A - 電気亜鉛めっき工程から発生する廃液を処理する方法、およびその方法を含むめっき方法と処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 電気亜鉛めっき工程から発生する廃液を処理する方法、およびその方法を含むめ っき方法と処理袋！本発明は、溶解性のアノードを使用して塩化物の媒体中で行 う電気亜鉛めっき工程から発生する廃液を処理する方法と、その方法を含む電気 亜鉛めっき方法に関する。

市場（自動車の組み立てや家庭用電気器具）に高い耐腐食性を有する金属薄板を 供給する必要によって、帯板鋼を電気亜鉛めっきする方法の開発が増大した。

電気亜鉛めっきは、金属薄板を準備する工程（アルカリ脱脂と酸による光輝処理 ）と、電気亜鉛めっきそれ自体、および仕上げ処理（不動態化処理または有機物 被覆および水洗）の各工程を順次行うことによって、生産ライン上で連続的に行 われる。

明確に区別される二つの主な工業的電気亜鉛めっき工程がある：すなわち、硫酸 亜鉛の水溶液と不溶性の金属アノードを用いて開始する方法、および”塩化物媒 体内法”として知られる、塩化物を含む水浴中で溶解する金属アノードを用いて 行う方法、である。

化学的方法や電気化学的方法による全ての表面処理と同様に、電気亜鉛めっきに よって、多くの損失や、環境上の要求が満たされるように処理しなければならな い多くの廃物が生じる。様々な汚水を処理する従来の方法においては、金属を不 溶性にすること（中和）によって廃物を破壊する工程を使用するが、それは一方 において、再生利用が困難な金属水酸化物のケーキをかなり発生させ、また他方 においては、塩濃度の高い廃液による重大な汚染が生じる。

一般に、これらの技術は高い資本費用と操作費用を必要とし、それらにさらに、 原材料（金属、塩、水、その他）の損失によって生じる費用が加わる。

本発明の目的は特に、廃物を処理するための”クリーンな”方法を提供すること であり、それは塩化物媒体中で行う電気亜鉛めっき工程に適合するものである。

リリーノな”方法とは、以下のことを同時に可能ならしめる方法を意味する。

ａ）様々な廃物と損失を最小にすること、ｂ）副産物（水、塩、金属）の質を高 めながら廃物の再生を連続的に最大に行い、またもっと一般的には、環境への影 響を改善しつつ操作費用を低減させること。

本発明のさらに特定的な目的は、実質的に亜鉛の廃物を伴わない電気亜鉛めっき 方法を提供することである。

電気亜鉛めっき用電解液は市場の要求に適合するように調製され、金属薄板の外 観または耐腐食性を改善するために、亜鉛単独の他に、亜鉛と他の金属（Ｆｅ、 Ｎｉその他）との共析出を生じさせる、ということを認識すべきである。この場 合、電解液はこれら添加金属の濃縮された塩化物を含む。

塩化物媒体中で行う電気亜鉛めっきのための電解液の代表的な組成は、以下の通 りである： Ｚｎ・・・・・・・・・・・・・・・・１００〜１０５ｇ／ＩＫ′″・・・・・ ・・・・・・・・・・・＞　１００　ｇ／ｌＨＣｌ・・・・・・・・・・・・・ ・ｑ、ｓ、（十分に足りるだけの量）（ｐＨ−４，５〜５について）ニッケルイ オンをさらに含む同じタイプの電解液を用いることもできる。

これらの電解液に必要な一般的な特性は、以下の通りである：電気めっきとエネ ルギーコストの要求が満足されるように金属とアルカリ金属塩化物の濃度が高い こと（電解液の導電性）、金属の濃度が狭い範囲内（数パーセントのオーダー） で維持されること、電解液のｐＨが同様に狭い範囲内（±０．２５）で維持され ること。

亜鉛のアノードが溶解するアノード反応（Ｚｎ’→Ｚｎ”　＋　２ｅ−）と金属 薄板上に亜鉛が析出するカソード反応（Ｚｎ”　＋　２ｅ−−４Ｚｎ’）との間 でファラデー効率に差がある結果、溶解性の亜鉛の濃度が電気分解の過程で増大 することが知られている。

この過剰な亜鉛が、カソードで生じて亜鉛の析出を妨害する干渉反応２Ｈ″″＋ ２ｅ−→Ｈ２に対応する。この干渉反応は、同時に以下のことの原因ともなる＝ １００％のカソード効率からの逸脱、 電解液中のＺｎ含有量の増大、 Ｈ゛の消費（すなわちｐＨの増大）と電解液へのＨＣＩの添加によって、ｐＨを 継続的に再調整する必要。

さらに、電解液中でのｐＨ＝４でのアノードのいくぶんかの化学的溶解も、亜鉛 濃度が増大する原因である。

従来の方法においてはＺｎ６度は、電解液を定期的に浄化し、また、新しい電解 液を再構成することによって目標とする濃度範囲内に維持している。

さらに、一般に工業的工程においては、駆動ロールと金属薄板を水溶液でスプレ ーする必要がある。金属薄板によるいくぶんかのエントレインメント（電解槽内 の金属薄板上に電解液が残ることによる電解液の損失。これについては、絞り（ ｗｒｉｎｇｉｎｇ）によってできるだけ少なく維持する試みはなされる）がある けれども、また、浴の蒸発が起こるけれども、水の量の全体的な増加が生じ、そ の結果、溶液中に過剰な亜鉛があることとは別に、除去し処理しなければならな い過剰な水も存在する。

本発明の目的は、電解液を再生するために過剰な亜鉛を選択的に抽出して品質を 高めることによって、これら廃棄すべき過剰物質を完全になくすことである。

従って本発明の主題は、溶解性のアノードを用いて塩化物媒体中で行う電気亜鉛 めっき工程から生じる水性廃液を処理する方法であって、廃液を、水に実質的に 不溶性で有機質アニオン交換体を含む有機質相で抽出処理することを特徴とする 。

本発明の別の主題は、塩化物を含む水性電解液に溶解するアノードを用いる電気 亜鉛めっき方法であって、電解液の流れを抜き取り、この流れを、水に実質的に 不溶性で有機質アニオン交換体を含む有機質相で抽出処理し、抽出処理した流れ を再生利用することを特徴とする。

有機質アニオン交換体は、アミン塩、特に塩酸を用いて形成した塩から成るのが 好ましい。

有機質アミンは特にＲ３Ｎの式の第三アミンであり、この場合Ｒは特にＣ１〜Ｃ Ｉ２のアルキル基、例えばイソオクチル基である。

有機質アミン塩は、高い塩化物濃度のために浴中に存在するアニオン錯体ＺｎＣ ｌ４２−の形で亜鉛を抽出することを可能にする。

この抽出は選択的であり、存在する可能性があるがアニオン錯体の形では存在し ない他の金属（ＮｉＳＦｅ）は抽出されない。

有機質相は水に不溶性の低密度の有機質希釈剤を含むのが好ましく、それは分離 操作を容易にする（例えば水相の沈殿と排出による分離を可能にする）。

さらに、それは水に不溶性のアルコールを含むのが好ましく、それは有機質相の 安定化（偏析の不存在）に寄与する。

アミンは５〜５０容積％の割合で用いるのが好ましく、さらに好ましくは１５〜 ３５％である。

一例として、有機質相は以下の組成を有する・アミン（塩の形で）・・・・・・ ・・・・・・・・・・３０容積％アルコール（イソデカノール）・・・・・・２ ０容積％希釈剤（灯油）・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・５０容積％ また、抽出は１５〜７０℃の温度で行うことができる。実際には、その操作は電 気亜鉛めっきに必要な温度に近い温度で行われる。

実際には、その操作は向流式に連続的に行われ、抽出後に電気亜鉛めっき槽に送 られて再生利用された電解液の流れは連続的に同様に処理される。

亜鉛は、有機質相から水層を用いて再抽出することができる。この相として考え られるものは、濃縮されたアルカリ水相（好ましくは濃縮されたＫＯＨ溶液）で あり、アルカリ金属の亜鉛酸塩または水が形成され、純粋な塩化亜鉛が得られる 。

再抽出された純粋な亜鉛の再生は、水酸化亜鉛（亜鉛酸塩の酸性化または塩化物 の中和）から開始するか、あるいは塩化物それ自体から直接開始することによっ て可能であり、これを以下に例示する。

塩酸塩の形の第三アミンの場合、抽出反応は以下のように記述される：Ｚ　ｎ　 Ｃ１４−−＋　２　Ｒｓ　Ｎ　Ｈ″Ｃ１−：　ＺｎＣ１＜−２ＲｓＮＨ＋　２Ｃ Ｆまた水を用いる再抽出反応の場合： ＺｎＣＬ　’　２Ｒ３ＮＨ：　２Ｒ３ＮＨ″ＣＦ＋ＺｎＣ１２再抽出の前に、有 機質相の洗浄を行って、有機質相によって伴出されることのある微小な水滴を除 去するのが好ましく、それによって次の段階で再抽出される亜鉛の純度が向上す る。

段階の数と存在する相（有機質相Ｏと水相Ａ）の比率は、等温平衡曲線の関数と して選ばれる。抽出と再抽出の間の等温平衡曲線は、それぞれ図１と図２で示さ れたが、そのときの有機質相の成分はトリイソオクチルアミン（ヒドロクロリド ）３０容積％とイソデカノール２０容積％と灯油５０容積％であった。

本発明の注目すべき有利な特徴点は、本工程が、ファラデー効率に従って電解液 から単位時間に決められた量の亜鉛を抽出するという決まった目的に関して、大 きな融通性を有するという事実にある。

実際のところ、亜鉛のこの量は、処理される流量に、再生されるべき電解液の濃 度と再生された電解液（抽出ラフィネート）の濃度との間の差を乗じた積である 。従って、その融通性は、再生されるべき電解液の流量と、抽出段階の数と、有 機質相の容積と水相の容積の比率とを同時に変更することによって、単位時間に 抽出される決められた量の亜鉛を用いて、亜鉛中でいくぶん濃縮された抽出ラフ ィネートを得ることができる、という事実にある。この所見は、電気亜鉛めっき 槽に戻される前に、金属薄板またはロールをスプレーするのに用いることのでき る、実質的に亜鉛を含まない（＜　１００　ｍｇ／ｌ）塩類の溶液を、再生され るべき電解液から得るために、有効に利用することができる。

下記の例は上述の融通性を例証するものであり、抽出される亜鉛が５０　ｋｇ／ ｈで、有機質相の使用量が９　ｇ／ｌ　Ｚｎの場合、複数のタイプの抽出操作ポ イントを得ることができることを示す。

１　１　タイプエ　タイプ■　タイプ■ｌこの工程を実施するのにあらゆる溶媒 抽出法を用いることができる。

相分離用撹拌器を用いる特定の場合において、相を平衡させるために１／１に近 いＯ／Ａ比率を得るためには、もし必要ならば、各々の段階で水相の内部再生に よる調整を行うのが有効である。上記の種々のタイプの場合、用いられる段階の 数だけが等温平衡曲線に従って変化する。例えば、タイブエの場合１段階であり 、タイプＨの場合２段階であり、タイプ■の場合５段階である。

さらに、電解液中の過剰な水は真空蒸発によって除去することができる。この場 合、電気亜鉛めっき槽内でジュール効果によって生じる余分の熱量による利益が 提供される。この目的のために、大きな流量を伴う閉鎖したループを用いること ができ、そこで電気亜鉛めっき温度において電解液の真空蒸発が起こる。この蒸 発は、循環の流量に対する除去される水の低比率（１〜２％）を考慮すると、電 解液の濃度にはほとんど影響を及ぼさない。一般的な熱収支に従えば、電解液を 再加熱するための入熱が蒸発の前に発生するだろう。用いられる方法に応じて、 撹拌を用いるかあるいは表面を用いて、蒸気の凝縮によって、浄化希釈水の回収 あるいは光輝処理での洗浄に用いることのできる凝縮水の回収が、もたらされる 。

電解液中の過剰な水は、他の方法、例えば逆浸透によっても除去することができ る。

従来の方法においては、電解液槽に残る電気亜鉛めっきした帯板によるエントレ インメントによる電解液の損失も生じていたことを、認識されたい。

この従来の方法においては、電解液の非再生を考慮すると、エントレインメント の低減（すなわち洗浄水によって希釈される汚染）を目的として行ういかなる処 理も、特に帯板の適切な絞り処理（ｗｒｉｎｇｉｎｇ）によって行う処理であっ ても、単に（同じ電解液組成において）同様の汚染された流れを希釈された形か ら濃縮された形に移行させるだけである。

従来の方法においては、亜鉛の濃度を一定に維持するために浄化される電解液の 量は、電解槽内で形成される過剰の亜鉛とエントレインメントによって除去され る亜鉛との間のバランスの差から生じる。後者を低減させることは必然的に、浄 化されるべき量の増大を意味する。従って、このことは実際、廃液の二つの処理 の間の移行にすぎない。従って、エントレインメントの低減の利点には疑問があ る。

本発明においては、電解液の再生によって、エントレインメントのいかなる節約 も電解液の絶対的な節約となるだろう。

槽の出口で流出する流量の低減を考慮すると、この流出した流れの４０〜９０％ をより低いコストで再生利用しつつ、帯板の洗浄を以下に述べる方法で確実に行 うことができる。

これを行うために、洗浄とブラシ掛けを行う場所が、最後の電解槽の後に設けら れ、そこには少ない流量の追加の水が供給される。その結果生じる希釈された廃 液は、流出した最初の流れが高い割合で集まったものであるが、容量の適度の増 大を犠牲にして電解液の蒸発ループに戻され、蒸発のためのこの追加の操作コス トと同等のものが、廃液処理場所の低減における以降の節約によって十分に補償 される。

以下に数値をもって示した実施例が、このことを説明し証明する。

帯板上での電解液の１５０１／ｈのエントレインメントで開始して、最初のブラ シ掛は洗浄においてＶｌ／ｈの水が供給される。ブラシ掛は洗浄においては、ス プレー水圧を与えるために閉じた回路内で循環する蒸気が、スプレーされる。Ｃ ｇ／′ｌ　Ｚｎの成分を有するＶｌ／ｈの希釈洗浄水が、これらの条件下で排水 される。

亜鉛材料のバランスによって以下の式が与えられる：１００　ｘ　１５０　＝　 （Ｖ　＋　１５０）　Ｃ従って、可能性として考えられる様々な操作ポイントに 対するＣの値と、相当するエントレインメントの回収度は以下の通りとなる・本 発明に従って提案されるその後の洗浄液の脱イオンのためにループに向かう帯板 による電解液のエントレインメントは、ｇ／ｈ　Ｚｎにおいて：１５０ＸＣであ る。

与えられたエントレインメントにおいて、■およびＣの最適化は、■の蒸発のコ ストと汚染負荷１５０ＸＣの脱イオンのコストを比較することによって行われる 。

従って、帯板の最後の洗浄は、上述のブラシ掛は洗浄の後に、イオン交換体（カ チオン交換体とアニオン交換体）を使用する脱イオン装置内の水の閉回路を用い て、経済的に行うことができる。洗浄容器は、帯板に対して向流式に供給する脱 イオン水を用いて、湾状に配置するのが好ましい。

これら全体の洗浄条件下で： 洗浄水の使用量は（従来方法での１０〜４０　ｍ３／ｈから）わずか数ｍ３／ｈ に低減した（投入量Ｖ、溶離反応物質の投入量、およびイオン交換樹脂の洗浄に ついて）。

廃液処理装置（中和とスラッジ処理）は非常に大きな割合で（少なくとも３〜４ 倍）低減された。

本発明による装置の実施例 本発明による電気亜鉛めっき装置を、図３を参照して以下に説明する。図３はそ のような装置の模式図である。

原材料としての金属薄板材が脱脂場所２における１の場所に到着する。次いでそ れは、水洗浄場所３、酸による光輝処理場所４、水洗浄場所５、電気亜鉛めっき 場所６、プラン掛は洗浄場所７、および最後に脱イオン水による洗浄場所８へ引 き続いて移動する。

装置はさらに、電解液真空蒸発場所９、有機質相中で電解液を抽出処理するため の場所１０、有機質相洗浄場所１１、水を用いる再抽出場所１２、および生成し たＺｎＣ１□を濃縮するための場所１３を有する。

この装置における流れは以下の通りである：使用済みの脱脂浴が、脱脂場所２か ら定期的な間隔で導通路２１を通って廃液処理装置２２へ移動する。

洗浄水が、洗浄場所３から導通路２３を通って廃液処理装置２２へ移動する。

使用済みの酸性光輝処理浴が、定期的な間隔で酸性光輝処理場所４から導通路２ ４を通って廃液処理装置２２へ移動する。

洗浄水が導通路２５を通して電気亜鉛めっき場所６へ供給される。

電解液が、電気亜鉛めっき場所６から導通路２６を通して蒸発場所９へ継続的に 排出される。電解液は電気亜鉛めっき場所６へ導通路２７を通して戻される。

蒸気の凝縮液が場所９から導通路２８を通して取り出され、一部分は流通路２８ ａを通して洗浄場所５へ送られ、もう一部分は導通路２８ｂを通してブラシ掛は 洗浄場所７へ送られる。

場所５からの洗浄水は、洗浄場所３へ供給する洗浄水として導通路２９を通して 戻される。

さらに電解液は、アミン塩を含む有機質相１５を用いて抽出処理を行うための場 所１０へ取り出すために、電気亜鉛めっき場所６から導通路３０を通して連続的 に排出される。この場所１０は、例えば二つの相分離撹拌型段階からなる。

抽出処理された後、電解液は導通路３１を通して電気亜鉛めっき場所６へ戻され る。

抽出場所１０で亜鉛の濃度が高くなった有機質相は、例えば三つの相分離用撹拌 型段階を含む洗浄場所１１で洗浄される。洗浄溶液は、導通路３２を通して電気 亜鉛めっき場所６へ戻される。

洗浄された有機質相は次いで、水を用いる再抽出のための場所１２へ運ばれる。

洗浄水は、一方では、脱イオン水による洗浄場所８から発生して導通路３３を通 して送られる水と、他方では、ＺｎＣ１□濃縮場所１３から導通路３４を通して 送られる凝縮水とからなる。

再抽出によって得られるＺｎＣ１□水溶液は、導通路３５を通して濃縮場所１３ へ送られる。この水溶液の一部は、洗浄場所１１での洗浄用溶液を形成するため に導通路３６を通して排出される。

濃縮されたＺｎＣ１□溶液は、ＺｎＣ１□を有益なものにするだめの利用設備３ ８へ導通路３７を通して送られる。

ブラシ掛は洗浄場所７に、上述したように、蒸発場所９を出た水を送る導通路２ ８ｂを通して、水が供給される。廃液は導通路３９を通して蒸発回路ループへ向 けて再生利用される。

脱イオン水による洗浄場所８には、閉回路内で、脱イオン場所１４で生成された 水が導通路４０を通して供給される。洗浄水は導通路４１を通して場所１４に戻 される。上述したように、一部は導通路３３を通して排出され、再抽出場所１２ へ供給される。

場所１４で用いられる樹脂は溶離処理され、定期的な間隔で洗浄される。アニオ ン樹脂から出た廃液は廃液処理装置４２へ送られ、一方、カチオン樹脂から出た 廃液は導通路４３を通して蒸発ループ導通路２６へ戻される。

数値による実施例 本発明による装置における抽出条件と再抽出条件のための数値データが、以下に 与えられる。

抽出場所１０において： 導通路３０からの供給　０．９８　ｍ３／ｈ撹拌器接触時間＝　２分 有機質相１５循環流速・　６．７ｍ３／ｈＯ／Ａ比率＝６．７／１ 抽出入り口（または再抽出出口）における有機質相の濃度：５　ｇ／Ｉ　Ｚｎ抽 出出口における有機質相の濃度・　１４．８　ｇ／Ｉ　Ｚｎ　０導通路３１から の流出量 ４０ｇ／ＩＺｎを含むラフィネート０．９８　ｍ３／ｈ　０洗浄場所１１におい て・ 導通路３６によって送られる再抽出塩化物ＺｎＣｌ２の一部を用いる洗浄：２７ ｇ／ｌＺｎを含む０．２２　ｍ３／ｈ接触時間、２分 ０／Ａ比率＝　３０／１゜ 導通路３２からの流出量・ 電気亜鉛めっきへ再利用する洗浄溶液：４０　ｇ／Ｉ　Ｚｎを含む０．２２　ｍ ３／ｈ　０水を用いる再抽出のための場所１２において：水の流速：　２．０７ 　ｍ３／ｈ ○／Ａ比率＝３．２／１ 接触時間＝　２分 再抽出には、一部は純粋なＺｎＣｌ２の蒸発による凝縮水１．５２　ｍ３／ｈが 供給され（導通路３４）、一部は流入水０．５５　ｍ３／ｈによって行われる（ 導通路３３）　。２７　ｇ／Ｉ　Ｚｎ　（５６，４ｇ／Ｉ　ＺｎＣ１□）を含む （導通路３５から除去される）溶液２．０７　ｍ３／ｈが得られ、その一部０． ２２　ｍ３／ｈは（導通路３６を通して）溶媒の洗浄のために用いられる。

ＺｎＣ１□溶液の濃縮のための場所１３において：（導通路３７を通して除去さ れる）濃縮された溶液：’　１５０　ｇ／Ｉ　Ｚｎすなわち３１３．８　ｇ／Ｉ 　ＺｎＣｌ２の濃度で、０．３３　ｍ３／ｈ　０水相 国際調査報告 要約書 溶解性のアノードを用いて塩化物媒体中で行う電気亜鉛めっき工程から生じる廃 液を処理する方法であって、廃液を、水に実買的に不溶性で有機質アニオン交換 体を含む有機質相て抽出処理することを特徴とする特許

Claims (20)

【特許請求の範囲】
1. １．溶解性のアノードを用いて塩化物媒体中で行う電気亜鉛めっき工程から生じ る廃液を処理する方法であって、廃液を、水に実質的に不溶性で有機質アニオン 交換体を含む有機質相で抽出処理することを特徴とする方法。
2. ２．塩化物を含む水性電解液に溶解するアノードを用いる電気亜鉛めっき方法で あって、電解液の流れを抜き取り、この流れを、水に実質的に不溶性で有機質ア ニオン交換体を含む有機質相で抽出処理し、抽出処理した流れを再生利用するこ とを特徴とする方法。
3. ３．アニオン交換体はアミン塩であることを特徴とする、請求の範囲第１項また は第２項に記載の方法。
4. ４．有機質アミンは第三アミンであることを特徴とする、請求の範囲第３項に記 載の方法。
5. ５．有機質アミンはＲ３Ｎの式のアミンであり、この場合ＲはＣ１〜Ｃ１２のア ルキル基であることを特徴とする、請求の範囲第４項に記載の方法。
6. ６．有機質相は水に不溶性で低密度の希釈剤からなることを特徴とする、請求の 範囲第１項ないし第５項のいずれかに記載の方法。
7. ７．有機質相は水に不溶性のアルコールからなることを特徴とする、請求の範囲 第６項に記載の方法。
8. ８．アミンは５〜５０容積％の有機質相であることを特徴とする、請求の範囲第 ７項に記載の方法。
9. ９．アミンは１５〜３５容積％の有機質相であることを特徴とする、請求の範囲 第８項に記載の方法。
10. １０．有機質相の再抽出処理を水相を用いて行うことを特徴とする、請求の範囲 第９項に記載の方法。
11. １１．再抽出処理の前に洗浄を行うことを特徴とする、請求の範囲第１０項に記 載の方法。
12. １２．電解液中に存在する水の一部が真空蒸発によって除去されることを特徴と する、請求の範囲第２項ないし第１１項のいずれかに記載の方法。
13. １３．蒸発した水が凝縮され、洗浄操作のために用いられることを特徴とする、 請求の範囲第１２項に記載の方法。
14. １４．凝縮水が、電気亜鉛めっき工程後のブラシ掛け洗浄操作に用いられること を特徴とする、請求の範囲第１３項に記載の方法。
15. １５．請求の範囲第２項に記載の方法を実行するための電気亜鉛めっき装置であ って、有機質相で電解液の流れの抽出処理を行うための回路（３０、１０、３１ ）を有する装置。
16. １６．水相で有機質相の再抽出処理を行うための場所（１２）を有することを特 徴とする、請求の範囲第１５項に記載の装置。
17. １７．再抽出場所（１２）の前に洗浄場所（１１）を有することを特徴とする、 請求の範囲第１６項に記載の装置。
18. １８．電解液からの水の一部を蒸発させるための回路（２６、９、２７）を有す ることを特徴とする、請求の範囲第１５項ないし第１７項のいずれかに記載の装 置。
19. １９．電気亜鉛めっき場所（６）の後に、蒸発回路（２６、９、２７）から発生 する凝縮水が供給されるブラシ掛け場所（７）を有することを特徴とする、請求 の範囲第１８項に記載の装置。
20. ２０．閉回路（４１、１４、４０）で再生される脱イオン水を用いる最終洗浄を 行う場所（８）を有することを特徴とする、請求の範囲第１５項ないし第１９項 のいずれかに記載の装置。