JPH0550227B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明はリニアパルスモータに係り、特に、
駆動時における振動および、該振動より生ずる騒
音を低減することのできる低騒音リニアパルスモ
ータに関する。

「従来の技術」 一般にリニアパルスモータは直線往復運動にお
ける正確なる位置決めを目的とした装置、たとえ
ば数値制御に基づく工作機械の可動部、あるいは
プリンタヘツドの駆動部に採用することが考慮さ
れる。

ところで、従来のこの種のリニアパルスモータ
の原理の一例を示すと、第１１図に示す通りの構
造となつている。即ち、この図において１はスケ
ールであり、表面に歯部１ａが長手方向に連続的
に形成されている。２はスライダであり、２個の
歯部鉄心２ａ，２ｂを永久磁石２ｃにて橋絡して
構成され、各鉄心２ａ，２ｂの歯部２a₁，２a₂お
よび歯部２b₁，２b₂各々の間隔はスケール歯部１
ａにおける1/2ピツチのずれを有し、歯部２ａ，
２ｂとはスケール歯部１ａにおける1/4ピツチの
ずれを生じるように固定される。２ｄ，２ｅはコ
イルであり、歯部２a₁，２a₂に対し巻き回し方向
を反対にして連続的に装着される。もう一方のコ
イル２ｅは鉄心２ｂの各歯部２b₁，２b₂に図示の
とうりの巻き回し方向にて装着される。

上記第１１図の原理図において、各コイル２
ｄ，２ｅの励磁方向を定められた順序に切替制御
を行うことにより、永久磁石２ｃからの磁束との
相互作用によつてスケール歯部の1/4ピツチずつ
スライダ２の歩進運動が達成できる。

ところが、この従来の構成においては次に述べ
るような問題点が存在する。

リニアパルスモータ用スライダの各歩進時に
おいて、磁気吸引力をもたらす磁気回路の磁路
長が変化する（鉄心２ａ，２ｂの歯部２a₁，２
b₂を含む磁路長が最大で、歯部２a₂，２b₁を含
む磁路長が最小）ことから各ステツプごとに均
一な磁束密度が得られず、各励磁相により推力
がばらつく原因となり、ひいてはリニアパルス
モータの停止精度を悪化させるばかりか、たと
えばプリンタ、タイプライタにおいての文字送
り時のダンピングのばらつきを生じ整然とした
印字ができにくい。

各鉄心２ａ，２ｂそれぞれの各歯部間隔はも
とより各鉄心２ａ，２ｂ相互間歯部間隔（たと
えば歯部２a₁、および２b₁との間隔）は正確な
る位置決め動作などにおいて極めて重要である
が、各鉄心２ａ，２ｂを永久磁石２ｃにて橋絡
しつつ精度を出すことは極めて困難である。

２個のスライダ用鉄心２ａ，２ｂを互いに磁
気的絶縁のもとに永久磁石２ｃの磁気吸引力を
受けつつ精度を出し、十分な強度を持たせるこ
とが製造上困難である。

上述した、問題点に対し出願人は、次に述べる
ようなリニアパルスモータを提案している。すな
わち、リニアパルスモータ用スライダの進行方向
に沿つて、中央部を境に両側のスケール歯部とス
ライダ用鉄心歯部との相対位置を1/2ピツチずら
すとともに、永久磁石のＮ，Ｓ各極をスライダの
進行方向に沿う中心線を境に両側に配置するよう
にして、位置決め精度を高く維持しつつ製作が容
易で各ステツプにおける推力のばらつきを防止
し、位置決め精度の向上をはかることを可能にし
たリニアパルスモータである。

このリニアパルスモータは、第１２図、第１３
図に示すような構成である。第１２図は当該リニ
アパルスモータの正面図、第１３図は第１２図に
示した正面図におけるＡ−Ａ断面図を示してい
る。すなわち、これらの図において、１１なリニ
アパルスモータ用スケールであり、後述するスラ
イダの進行方向の中心線に沿つた両側に、互いに
１／２ピツチのずれを有する歯部１１ａ，１１ｂを
形成している。１２はリニアパルスモータ用スラ
イダであり、上記歯部１１ａ，１ｂにそれぞれに
対向する歯部磁極を備えた鉄心１３，１４、該各
鉄心１３，１４間を磁気絶縁する非磁性体１５、
上記各鉄心１３，１４、スケール１１とヨーク１
６を通じて磁束を発生させる永久磁石１７および
コイル１８，１９から構成される。そして、鉄心
１３の各歯部磁極１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３
ｄは各々鉄心１４の各歯部磁極１４ａ，１４ｂ，
１４ｃ，１４ｄに対してスライダ１２の進行方向
に垂直方向の位置を一致させて配置し、各コイル
１８，１９は各鉄心１３，１４の対応する歯部磁
極を一体的に図示の方向に巻回す。この場合の各
コイル１８，１９のコイル端子をT₁、T₂、T₃、
T₄とする。

ところで、上記鉄心１３，１４の歯部磁極１３
ａ，１４ａはスケール歯部１１a₁に、歯部磁極１
３ｂ，１４ｂはスケール歯部１１b₁に、各々対向
する位置に配置されている状態において、歯部磁
極１３ｃ，１４ｃはスケール歯部１１a₂，１１b₂
の中間に、歯部磁極１３ｄ，１４ｄはスケール歯
部１１a₃，１１b₃の中間に位置するように構成さ
れている。すなわち、歯部磁極１３ａ，１３ｂ相
互間（歯部磁極１４ａ，１４ｂ相互間についても
同様）は各々スケール歯部１１ａ，１１ｂの3/2
ピツチの間隔を有し、歯部磁極１３ｂ，１３ｃ相
互間（歯部磁極１４ｂ，１４ｃ相互間についても
同様）はスケール歯部１１ａ，１１ｂの7/4ピツ
チの間隔を有している。

上記第１２図、第１３図に示すリニアパルスモ
ータにおいて、その一具体的動作原理を第１４図
に従つて説明する。今、第１２図に示すコイル端
子T₁、T₃が＋、T₂、T₄が−の極性で電流を供給
すると、歯部磁極１３ａ，１４ａ，１３ｃ，１４
ｃはＮ極、歯部磁極１３ｃ，１４ｂ，１３ｄ，１
４ｄはＳ極となる。この際、歯部磁極１３ａ及び
１３ｃの磁束発生方向に対し永久磁石１７のそれ
は逆になり、この結果この部分の磁束は相殺され
る結果となる。

一方、鉄心１４側においては、鉄心１３に比べ
て永久磁石１７からの磁束の方向が逆のため、歯
部磁極１４ａ，１４ｃでは電磁石による磁束と永
久磁石１７による磁束とが相殺され、歯部磁極１
４ｂ，１４ｄにおいては上記電磁石による磁束と
永久磁石１７による磁束とが加算される。ところ
が、スケール１１におけるスライダ１２の進行方
向にとつて左右に形成される歯部１１ａ，１１ｂ
は1/2ピツチずらして形成されているから、リニ
アパルスモータ用スライダ１２の推力は結果的に
鉄心１３，１４に作用する力が加算される。この
ため、スライダ１２は第１４図イの位置にて安定
状態を得て停止する。

次に、コイル端子T₁、T₄に−、T₂、T₃に＋の
極性にて励磁電流を流すと、歯部磁極１３ａ，１
４ａ，１３ｄ，１４ｄはＳ極となり、残りの歯部
磁極１３ｃ，１４ｂ，１３ｃ，１４ｃはＮ極とな
る。この場合、歯部磁極１３ｂ，１３ｃは永久磁
石１７の磁束が電磁石の磁束に加算され、歯部磁
極１３ａ，１３ｄでは永久磁石１７の磁束が電磁
石の磁束と相殺される。さらに、鉄心１４におい
ては、歯部磁極１４ａ，１４ｄは磁束の加算現象
が生じる。この励磁モードにしたがつて第１４図
ロの位置（第１４図イの位置から1/4ピツチスラ
イダ１２が左右の移動した位置）にて安定点を得
て停止する。

さらに、端子T₁、T₃に−、端子T₂、T₄に＋極
性の励磁電流を供給すると、第４図ハの安定状態
となり、端子T₂、T₃に−、端子T₁，T₄に＋極性
の励磁電流を供給すると、上記同様な原理により
第１４図ニの安定状態を得る。以上イ〜ニの過程
にて各1/4ピツチずつスライダ１２の歩進がおこ
なわれ、スケール歯部１ピツチのスライダ１２の
移動が完成する。そして、このような一連の動作
の繰り返しに基づいてリニアパルスモータの駆動
制御がなされる。

このリニアパルスモータに生じる振動の方向を
１次より４次までの高調波成分について調べ、さ
らに、その各高調波による振動モードにつき調べ
た図が第１５図である。第１６図は第１５図を作
成するために、リニアパルスモータの可動子側の
進行方向と平行な中心軸線を中心としてほぼ同一
距離の位置に形成された磁極１３ａ，１３ｂ，１
３ｃ，１３ｄ，１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ
を各々セクタ１，２と極番号〜とにより分類
した図である。第１７図は加振力の方向をそれぞ
れ0゜、90゜、180゜、270゜のピツチ位相角において規
定した図である。

上記第１５図によれば、このリニアパルスモー
タの可動子に作用する加振力の方向および該加振
力の合成による振動モードが明らかになる。すな
わち、２次調波による振動は可動子の前後が上下
動する振動パターンであり、４次調波による振動
は可動子全体が上下動する振動パターンである。
１次調波、３次調波による振動は相殺されて現れ
ない。

「発明が解決しようとする問題点」 上述したリニアパルスモータの可動子の各歯部
磁極には、磁気吸引力に基づく力が作用する。上
記した各々の力は、リニアパルスモータの可動子
の進行方向に対する中心線の対称の位置に作用し
ないので、進行方向において、両端に存在する支
持部材（ベアリング）に加わる磁気吸引力の強弱
が交互に反転しリニアパルスモータの前後におい
て振動が発生し、この結果騒音レベルの上昇をき
たす傾向があつた。（第１５図参照） このように、リニアパルスモータの駆動時には
複雑な振動が発生し、リニアパルスモータには振
動、さらには該振動に基づく騒音が避けることが
できないものとして存在した。

この発明は上述した事情に鑑みてなされたもの
であり、本発明の目的は振動、そして該振動より
発生する騒音を低減したリニアパルスモータを提
供することを目的としている。

「問題点を解決するための手段」 上記問題点を解決するために、第１発明は、永
久磁石に基づく磁束と、スライダ用歯部磁極に備
えられたコイルの励磁に基づく磁束との相互作用
によつて駆動力を得る基本構成であり、前記スラ
イダ８１は、前記スライダ８１の幅方向に沿つて
互いに平行かつ同ピツチに配置された一対の磁極
鉄心８３と８４と、前記一対の磁極鉄心８３と８
４を互いに逆極性に励磁して異磁極を形成する永
久磁石８２と、前記一対の磁極鉄心８３と８４の
各歯部磁極A₁〜A₄，B₁〜B₄に巻回されたコイル
とから構成され、スケール８５は、相互に1/2ピ
ツチの差を持つ一対のスケール歯部８６と８７を
有し、前記スライダ８１の前記一対の磁極鉄心８
３と８４の各歯部磁極A₁〜A₄，B₁〜B₄の双方を
ともに励磁し、かつ、切り替えて一定ピツチずつ
歩進を行わせる手段を備えたリニアパルスモータ
において、スケール歯部８６₁と８６₂，８７₁と
８７₂間で互いに1/8ピツチずつずらして2n（ｎ＝
２，３，４）列のスケール歯部８６₁，８６₂，８
７₁，８７₂を形成したことを特徴としている。

また、第２発明は、永久磁石に基づく磁束と、
スライダ用歯部磁極に備えられたコイルの励磁に
基づく磁束との相互作用によつて駆動力を得る基
本構成であり、前記スライダは、互いに平行かつ
１／２ピツチずれて配置された一対の磁極鉄心３０
と３１と、前記一対の磁極鉄心３０と３１を互い
に逆極性に励磁して異磁極を形成する永久磁石
と、前記一対の磁極鉄心３０と３１の各歯部磁極
C₁₁〜C₁₄，C₂₁〜C₂₄，D₁₁〜D₁₄，D₂₁〜D₂₄に巻回
されたコイルとから構成され、スケールは、均一
ピツチのスケール歯部３４を有し、前記スライダ
の前記一対の磁極鉄心３０と３１の各種歯部磁極
C₁₁〜C₁₄，C₂₁〜C₂₄，D₁₁〜D₁₄，D₂₁〜D₂₄の双方
をともに励磁し、かつ、切り替えて一定ピツチず
つ歩進を行わせる手段を備えたリニアパルスモー
タにおいて、磁極鉄心３０₁と３０₂，３１₁と３
１₂間で互いに1/8ピツチずつずらして2n（ｎ＝２，
３，４）列の磁極鉄心３０₁，３０₂，３１₁，３
１₂を形成したことを特徴としている。

「作 用」 本発明によれば、スライダにおける歯部磁極あ
るいはスケール側の歯部を、スライダの進行方向
と平行な方向における上記スケールあるいは上記
スライダの中心軸線を中心にして、両側に対称的
に複数列配置する。そして、上記列数は、スライ
ダ側の磁極に作用する力の合成である加振力の高
調波成分を低減することができる列数とする。す
なわち、スライダの進行方向と平行な方向におけ
る上記スケールあるいは上記スライダの中心軸線
を中心にして、該中心軸線の両側に対称的にほぼ
同距離の位置に対となつて形成される磁極に生ず
る加振力の高調波成分が、互いに上記対となる磁
極位置において相殺するようにし、スライダに生
ずる加振力における高調波成分を打ち消す。この
ため、スライダに発生する振動、さらには該振動
による騒音を低減することができる。

「実施例」 以下、図面を参照し、この発明の実施例につい
て説明する。

第１図は第１発明にかかるリニアパルスモータ
の実施例の構成を示す図であり、第１図イは該リ
ニアパルスモータのスライダ側、同図ロは同リニ
アパルスモータのスケール側を示す。これらの図
において、８１はスライダであり、このスライダ
８１は図示していないバツクプレート、該バツク
プレートの裏面に配置された永久磁石８２、永久
磁石８２の下面８２ａに配置され、スライダ８１
の進行方向に直行する方向に間〓Ｇを有して２分
割された磁極鉄心８３，８４よりなり磁極、磁極
鉄心８３に形成された歯部磁極A₁，A₂，A₃，A₄
および磁極鉄心８４に形成された歯部磁極B₁，
B₂，B₃，B₄、さらには、該歯部磁極のA₁とB₁，
A₂とB₂，A₃とB₃，A₄とB₄にそれぞれ、共通し
て巻回される図示していない励磁コイルにより構
成されている。そして、これら歯部磁極A₁とB₁，
A₂とB₂，A₃とB₃，A₄とB₄はスライダの進行方
向に対し横一列に同位相に形成され配置されてい
る。

８５はスケールであり、このスケール８５の上
平面にはスケール歯部８６₁，８６₂，８７₁，８
７₂が形成されている。

スケール歯部８６₁，８６₂は互いに1/8ピツチ
ずれた位置に形成されている。さらに、スケール
歯部８７₁，８７₂は上記スケール歯部８６₁，８
６²と同様に、互いに1/8ピツチずれた位置に形成
されている。そして、スケール歯部８７₁はスケ
ール歯部８６₁に対し1/2ピツチずれた位置にあ
り、さらにスケール歯部８７₂はスケール歯部８
６₂に対し1/2ピツチずれた位置にある。また、ス
ケール歯部８６₂と８７₂との間には間〓Ｇが設け
られている。

本実施例にかかるリニアパルスモータのスライ
ダ８１の構成は、以上述べたようなものである。
次に本実施例の動作について説明する。

第２図はスライダの進行方向に４列の磁極すな
わちセクタ１〜セクタ４からなる歯部磁極構造を
有するスライダにおける振動を分析した図であ
る。この図において、セクタＮ（Ｎ＝１〜４）と
極番号〜とから規定される磁極位置（第３
図）に作用する力の方向を矢印→で示す。

すなわち、リニアパルスモータのスライダのそ
れぞれの磁極位置に生じる振動の高調波成分を分
析するために、まず上記各々の磁極位置における
振動の１次高調波成分の方向をベクトルで表す
と、第２図のようになり、この図に示すベクトル
の方向は、スライダの各々の磁極に作用する加振
力の方向を示している。

同一の磁極に作用する第２次〜第４次までの高
調波振動成分の角周波数は、周知のように１次高
調波振動成分のそれに対し、２倍〜４倍になるた
め、この位相における振動の方向を第４図より求
める。

そして、上記各磁極に作用する加振力をベクト
ル的に合成することにより、スライダの加振モー
ドを決定する。このように決定された、加振モー
ドより次のことが明らかになる。すなわち、２次
高調波振動成分により、スライダ８１は中央部を
中心にして、前部と後部とが交互に上下動する。
さらに、この上下動は従来の1/2であることが明
らかになる。

しかし、このような構成によつてもスライダに
生じる振動成分は消滅していない。

次に、セクタを６段にした場合についてのべ
る。この場合は、３段ずつスケール側の歯部がス
ライダの進行方向に対し左右に分割されている。

第５図にこの場合の可動子に生じる振動成分に
つき分析した結果を示す。

この図の１次調波成分に注目すると、極位置
のセクタ１とセクタ６に生じる振動の加振方向は
たがいに逆であり、相殺されることがわかる。さ
らに、セクタ２とセクタ５、セクタ３とセクタ４
とは振動の加振方向が互いに逆であり、上記同様
相殺される。極位置、、についても同様で
ある。また、セクタごとに見た場合、それぞれと
なりあう磁極と、とに作用している振動
の加振方向についても、互いに逆方向であり相殺
する結果となつている。これらの結果、１次調波
の加振モードは存在しない。２次調波、３次調波
についてみても同様であり、２次調波、３次調波
における加振モードは存在しない。

振動成分の４次調波についてみると、セクタ１
〜セクタ６における極位置、、、に作用
する加振力を示すベクトルは第７図をもとにし
て、第５図に示すようになる。第５図に示す加振
力を示すベクトルは回転しているものであるか
ら、加振方向および上下方向についての振幅は周
期的に変わるものであり、第６図に示すピツチ位
相を有する磁極において、第５図に示す矢印の方
向はある瞬間の加振力方向となる。いま、１次調
波に着目し、磁極位置とセクタ１により規定さ
れる磁極に上向きの力が作用しているとすると、
磁極位置におけるセクタ１と２に作用する加振
力の方向は互いに相殺している。同様にセクタ５
と６に作用する加振力も相殺する。これに対し、
セクタ３とセクタ４に作用する加振力は上向きに
作用している。極位置、、についても同様
であり、この結果、振動の４次調波成分によるス
ライダに作用する加振力の合成力による加振モー
ドは、スライダ全体を上方向、下方向に振動させ
るようなモードである。この４次調波成分による
加振力の絶対値は従来の1/3程度である。

このように、第２図に示したセクタが４つの場
合に比べて、第５図に示す、セクタが６つの場合
のほうがスライダに発生する振動は小さいことが
明らかとなる。

次に、第８図について説明する。

この第８図は、セクタを１から８まで設けた場
合、すなわちスライダの進行方向と平行な、スケ
ール中心線の両側に、各々４組の1/4ピツチずれ
た歯部を形成した際の、リニアパルスモータのス
ライダに作用する加振力の方向について示した図
である。この図の１次調波に着目すると、極位置
およびセクタ８により規定される位置の加振力
の方向と極位置とセクタ１とに規定される位置
の加振力の方向とは相殺する。さらに極位置に
おけるセクタ７とセクタ２、セクタ６とセクタ
３、セクタ５とセクタ４における各々の加振力の
方向をみると、すべて加振力の方向は互いに逆と
なつており、相殺することになる。

さらに、極位置、、についても同様に、
上記各々のセクタにおける加振力の１次調波につ
いては互いに相殺する方向に作用している。２次
調波、３次調波、４次調波についても同様であ
り、加振力成分は生じない。

なお、第１０図は第２発明にかかる実施例を示
すリニアパルスモータのスケールとスライダを示
す図である。第１０図イはスライダ側を示してお
り、ロスケール側を示している。

本実施例においてはスライダ側の歯部磁極が1/
８ピツチずつずれた状態に構成されている。

すなわち、第１０図イにおいて、３０₁，３０
_２，３１₁，３１₂はスライダ側の磁極鉄心である。
磁極鉄心３０₁には歯部磁極C₁₁，C₁₂，C₁₃，C₁₄
が形成されている。また、磁極鉄心３０₂には歯
部磁極C₂₁，C₂₂，C₂₃，C₂₄が、磁極鉄心３１₁に
は歯部磁極D₂₁，D₂₂，A₂₃，D₃₄が、さらに磁極
鉄心３１₂には歯部磁極D₁₁，D₁₂，D₁₃，D₁₄が形
成されている。そして、上記した磁極鉄心３０₁
と３０₂とに各々形成された歯部磁極C₁₁とC₂₁，
C₁₂とC₂₂，C₁₃とC₂₃，C₁₄とC₂₄とが互いに1/8ピ
ツチずれている。また、磁極鉄心３１₁，３１₂に
ついても同様であり、歯部磁極D₂₁とD₁₁，D₂₂と
D₁₂，D₂₃とD₁₃，D₂₄とD₁₄とは互いに1/8ピツチ
ずれている。さらに、磁極鉄心３０₁の歯部磁極
に対し磁極鉄心３１₁の歯部磁極は1/2ピツチず
れ、磁極鉄心３０₂の歯部磁極に対し磁極鉄心３
１₂は1/2ピツチずれている。そして、スライダの
進行方向と平行な該スライダの中心軸線を中心と
して、上記磁極鉄心３０と３１が対をなしてお
り、間〓Ｇを有して図示していない板磁石の下面
に取り付けられている。

第１０図ロに示すスケールには均一ピツチのス
ケール歯部３４が形成されている。

上述したような構成にした場合は、スケール側
の歯部の構造が単純化できる。

「発明の効果」 本発明は以上のように、リニアパルスモータを
構成したので、駆動に伴う振動、さらに、該振動
が原因により発生する騒音等を低減することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図イは第１発明にかかる実施例におけるリ
ニアパルスモータのスライダを示す図、第１図ロ
は同実施例におけるリニアパルスモータのスケー
ルの構成を示す図、第２図は同実施例におけるリ
ニアパルスモータのスライダに生ずる振動を分析
するための図、第３図は同様にリニアパルスモー
タのスライダに形成された磁極をセクタと極位置
とにより規定し、該規定された各々の磁極のピツ
チ位相を示した図、第４図は第３図において規定
された各磁極のピツチ位相と該磁極に作用する加
振力のベクトルを示す図、第５図はスライダのセ
クタを６にしたばあいに、スライダにおけるセク
タと極位置とにより規定された各磁極に作用する
加振力の方向を分析した図、第６図はスケールに
おける、セクタと極位置とにより規定された磁極
のピツチ位相を示す図、第７図は各ピツチ位相に
おける加振力を示すベクトルを示す図、第８図は
セクタが８の場合における極位置、、、
に作用する加振力のベクトルを示す図、第９図は
セクタと極位置とにより規定されるスライダにお
ける磁極のピツチ位相を示す図、第１０図イは第
２発明にかかる実施例であるリニアパルスモータ
のスライダを示す図、同図ロは同様にスケールを
示す図、第１１図は従来のリニアパルスモータの
構成を示す図、第１２図は従来の、他のリニアパ
ルスモータの構成を示す図、第１３図は第１２図
におけるＡ−Ａ断面図を示す図、第１４図は第１
２図に示したリニアパルスモータの動作を示す
図、第１５図は第１２図に示す他のリニアパルス
モータのスライダに作用する加振力をあらわすベ
クトルを示す図、第１６図は同リニアパルスモー
タのスライダにおける、セクタと極位置とにより
規定される磁極のピツチ位相を示す図、第１７図
はピツチ位相が0゜、90゜、180゜、270゜の場合の加振
力の方向を規定する図である。 ３０，３０₁，３０₂，３１，３１₁，３１₂，８
３，８４……磁極鉄心、３４，８６，８６₁，８
６₂，８７，８７₁，８７₂……スケール歯部、８
１……スライダ、８２……板磁石、８５……スケ
ール、A₁〜A₄，B₁〜B₄，C₁₁〜C₁₄，C₂₁〜C₂₄，
D₁₁〜D₁₄，D₂₁〜D₂₄……歯部磁極、Ｇ……間〓。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 永久磁石に基づく磁束と、スライダ用歯部磁
   極に備えられたコイルの励磁に基づく磁束との相
   互作用によつて駆動力を得る基本構成であり、 前記スライダ８１は、前記スライダ８１の幅方
   向に沿つて互いに平行かつ同ピツチに配置された
   一対の磁極鉄心８３と８４と、前記一対の磁極鉄
   心８３と８４を互いに逆極性に励磁して異磁極を
   形成する永久磁石８２と、前記一対の磁極鉄心８
   ３と８４の各歯部磁極A₁〜A₄，B₁〜B₄に巻回さ
   れたコイルとから構成され、 スケール８５は、相互に1/2ピツチの差を持つ
   一対のスケール歯部８６と８７を有し、 前記スライダ８１の前記一対の磁極鉄心８３と
   ８４の各歯部磁極A₁〜A₄，B₁〜B₄の双方をとも
   に励磁し、かつ、切り替えて一定ピツチずつ歩進
   を行わせる手段 を備えたリニアパルスモータにおいて、 スケール歯部８６₁と８６₂，８７₁と８７₂間で
   互いに1/8ピツチずつずらして2n（ｎ＝２，３，
   ４）列のスケール歯部８６₁，８６₂，８７₁，８
   ７₂を形成した ことを特徴とする低騒音リニアパルスモータ。 ２ 永久磁石に基づく磁束と、スライダ用歯部磁
   極に備えられたコイルの励磁に基づく磁束との相
   互作用によつて駆動力を得る基本構成であり、 前記スライダは、互いに平行かつ1/2ピツチず
   れて配置された一対の磁極鉄心３０と３１と、前
   記一対の磁極鉄心３０と３１を互いに逆極性に励
   磁して異磁極を形成する永久磁石と、前記一対の
   磁極鉄心３０と３１の各歯部磁極C₁₁〜C₁₄，C₂₁
   〜C₂₄，D₁₁〜D₁₄，D₂₁〜D₂₄に巻回されたコイル
   とから構成され、 スケールは、均一ピツチのスケール歯部３４を
   有し、 前記スライダの前記一対の磁極鉄心３０と３１
   の各歯部磁極C₁₁〜C₁₄，C₂₁〜C₂₄，D₁₁〜D₁₄，
   D₂₁〜D₂₄の双方をともに励磁し、かつ、切り替
   えて一定ピツチずつ歩進を行わせる手段 を備えたリニアパルスモータにおいて、 磁極鉄心３０₁と３０₂，３１₁と３１₂間で互い
   に1/8ピツチずつずらして2n（ｎ＝２，３，４）
   列の磁極鉄心３０₁，３０₂，３１₁，３１₂を形成
   した ことを特徴とする低騒音リニアパルスモータ。