JPH05501476A - 高収率の広溝の環状リング型のゲッター装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 高収率の広溝の環状リング型のゲッター装置環状リング形のゲッター装置はこの 分野で良く知られており、例えば、米国特許第３１５１７３６．３３８１８０５ 及び３３８５４２０号に記載されている。かかる装置から高収率のゲッター金属 を得るために、環状の溝を拡大または拡張することが通常行われていた。かかる 「広溝」のゲッター装置は米国特許第３７１９４３３及び４６４２５１６号に記 載されている。

しかしながら、これらのタイプの装置でさえも、ゲッター金属蒸気放出材料がホ ルダーから脱離する危険を招くことなく且つゲッター容器の壁を溶融することも なく、ゲッター金属蒸気を十分な量で蒸発させることができない。

それゆえ、本発明の目的は、従来のゲッター装置と同一形態を有し且つ従来の装 置の少なくともひとつの欠点を持たない改善されたｍ１ゲッター装置を提供する ことにある。本発明の別の目的は、高収率のゲッター金属を有する広溝のゲッタ ー装置を提供することにある。また、本発明の目的は、ゲッター容器壁の溶融を 示さないｍ１ゲッター装置を提供することにある。さらにまた本発明の別の目的 はゲッター金属蒸気放出材料がホルダーから脱離しないｍ１ゲッター装置を提供 することにある。

本発明のこれらのそして他の目的並びに利点は、以下の詳細な説明及び図面を参 照することにより当業者に明らかになろう。

図１は、本発明のゲッター装置の第１の好ましい具体例の平面図である。

図２は、図１の線２−２°に沿って切断された断面図である。

図３は、本発明のゲッター装置の第２の好ましい具体例の平面図である。

図４は、図３の線４−４°に沿って切断された断面図である。

図５は、本発明のゲッター装置と従来技術のゲッター装置との蒸発（バリウムの 蒸発）特性を比較したグラフである。

ここに、特に、図１及び２（同一部分が同一の番号により識別される）を参照す ると、電子管に搭載するのに好適な広溝環状リング型の、蒸発させることができ るゲッター装置１００の第１の好ましい具体例が示されている。ゲッター装置１ ００は、好ましくはステンレス製のホルダー１０２を含み、ホルダー１０２は蒸 発性のゲッター金属蒸気放出材料１０４を支持するの適している。

ホルダー１０２は縦の外側壁１０６と、縦の内側壁１゜８と、上記外側壁１０６ 及び上記内側壁１０８を連結する底部１１０とから構成される。底壁１１０には ゲッタる手段１１２が装備されている。この第１の好ましい具体例において、手 段１１２は、底壁中に一体的に形成され且つ外側壁１０６及び内側壁１０８によ って形成された空間に入り込んでいる環状のくぼみ１１４の形である。環状のく ぼみ１１４は、底壁１１０の近傍で絞り込まれた概して球型の断面を有する。

ゲッター金属蒸気放出材料１０４は、ホルダー１０２の上記内側、外側及び底部 壁によって画定される空間に押し込まれることによって、ホルダー１０２に支持 される。ゲッター材料１０４は、上面１１６及び該上面にある複数の熱伝導抑制 手段１１８，１１８’、１１８”及び１１８”を含み、それらの手段は、ゲッタ ー装置が電子管の外側に位置するコイルによって発生したＲＦ場からの誘導電流 によって加熱されるときに、ゲッター金属蒸気放出材料を通じる円周方向への熱 の伝播を遅延するのに適する。熱伝導抑制手段は、好ましくは、上記ゲッター金 属蒸気放出材料の上面に圧入されて上記側壁及び底壁によって形成された空間に 少なくとも部分的に入り込む、半径方向に等間隔に置かれた４つの（ぼみを含む 、一般には、該半径方向のくぼみはそれらの幅よりも長い長さを有する。

ここに、図３及び４を参照すると、蒸発させることができるゲッター装置２００ の第２の好ましい具体例が示され、それは、外側壁２０４と、底壁２０８によっ て一体に連結する内側壁２０６とを有するホルダー２０２の形態である。ホルダ ー２０２は蒸発性のゲッター金属蒸気放出材料２１０を支持する。ゲッター材料 ２１０は、複数の熱伝導抑制手段２１４．２１４°、２１４”及び２１４”′を 含む上面２１２を有する。熱伝導抑制手段は、好ましくは、上記ゲッター金属蒸 気放出材料の上面に圧入されて上記側壁及び底壁によって形成された空間に少な くとも部分的に入り込む、４つの等間隔の半径方向の（ぼみを含む、一般には、 半径方向の（ぼみの長さはそれらの幅よりも長い。

底壁２０８は、ゲッター金属蒸気放出材料２１０の脱離を防止する手段２１６を 備え、該手段２１６は底壁２０８方向に広がり且つゲッター材料２１０の下面を 露出する複数の開口の形である。これはｔツタ−材料と底壁２０８との間の過剰 の圧力の発生を防止する。

この例は従来技術のゲッター装置の挙動を例示する。

直径１５ｍｍの外側壁及び直径４＋ａｍの内側壁を有する３０個のゲッターホル ダーを製造した。底壁には環状の（ぼみかない、ホルダーに５０％ＢａＡｌ４− ５０％Ｎｉ（重量による）の粉末混合物１０００ｍｇを充填した。上面には熱伝 導抑制手段を設けなかった。ゲッターを米国規格ＡＳＴＭ　Ｆ　１１１−７２に 従って蒸発して、バリウム収率曲線を決定した。全時間を３５秒とした。得られ た収率曲線は図５に曲線ｌとしてプロットする。ゲッター容器が溶融し始めた開 始時間をラインＡで示す。

鯉ユ この例は別の従来技術のゲッター装置の挙動を例示する。ホルダーの底壁に米国 特許第４６４２５１６号に記載されたようなくぼみを設けた以外は、例１と同様 にして３０個のゲッター装置を製造してそして蒸発させた。

得られた収率曲線は図５の曲線２として示す。ゲッター容器が溶融し始める開始 時間をラインＢで示す。

性ユ この例は本発明の例である。ゲッター粉末混合物の上面に図１及び２に示したよ うな熱伝導抑制手段を提供した以外は、例２に従って３０個のゲッター装置を製 造した。得られた収率曲線を図５に曲線３として示す。ゲッター容器が溶融し始 める開始時間をラインＣとして示す。

■ この例は本発明の例である。底壁の（ぼみを図３及び４に示したような開口に変 えた以外は、例３に従って、３０個のゲッター装置を製造する。結果は図５にお ける曲Ｉｌｌ　３及び点Ｃと一致することがわかった。

Ｌ朋 図５かられかるように、例１及び２の従来のゲッター装置は、ゲッター金属（バ リウム）の収率がゲッター装置のバリウム含有量（２５０ｍｇ）の約７２％にす ぎない１８０ｍｇをわずかに超えるときに、溶融し始める。

有量の９２〜９６％である約２３０〜２４０ｍｇのバリウムを生じる。

明細書及び請求の範囲で用いたような用語［ゲッター金属蒸気放出材料」は、ゲ ッター金属蒸気が放出される前及び後の材料の両方を意味する。この用語は、ゲ ッター装置と一緒に販売されている形態の材料、ゲッター金属の大部分が材料か ら蒸発した操作管内で見いだされる形態の材料及び該管の内側表面上にあるフィ ルム形態の材料のいずれをも含む。

本発明の最良の実施方法を当業者に教示するのに設計された所定の好ましい具体 例を参照して本発明を詳細に記載してきたけれども、本発明の範囲を離れること なく他の改良を用い得ることが理解されよう。

国際調査報告

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. １． Ａ）蒸発性のゲッター金属蒸気放出材料を支持するホルダーであって、 ｉ）縦の外側壁、 ｉｉ）縦の内側壁、及び ｉｉｉ）上記内側壁と上記外側壁を連結する底壁から構成され、ゲッター金属蒸 気放出材料がホルダーから脱離するのを防止する手段を上記底壁に備える上記ホ ルダーと、 Ｂ）上記ホルダーに支持され、上記内側、外側及び底壁によって画定された空間 に押し込まれ且つ上面を有する蒸発性のゲッター金属蒸気放出材料とを含む電子 管に装着される蒸発ゲッター装置において、 さらに、複数の熱伝導抑制手段が上記上面に含まれ、該手段が、ゲッター装置が 電子管の外側に位置するコイルによって発生したＲＦ場から誘導された電流によ って加熱されるときに、ゲッター金属蒸気放出材料を通じて円周方向へ熱が伝播 するのを遅延するのに適していることを特徴とする上記蒸発ゲッター装置。
2. ２．熱伝導抑制手段が、上記ゲッター金属蒸気放出材料の上面に、上記側壁及び 上記底壁によって形成される空間に少なくとも部分的に入り込むように圧入され た、半径方向に等間隔に置かれた４つのくぼみから構成される請求項１のゲッタ ー装置。
3. ３．上記半径方向のくぼみが、その幅よりも長い長さを有する請求項２のゲッタ ー装置。
4. ４．ゲッター金属蒸気放出材料がホルダーから脱離するのを防止する手段が、底 壁に一体的に形成され且つ上記側壁及び底壁によって形成された空間に入り込む 環状のくぼみであり、該環状のくぼみが上記底壁近傍で絞られている概して球型 の断面を有する請求項１のゲッター装置。
5. ５．ゲッター金属蒸気放出材料がホルダーから脱離することを防止する手段が、 複数の、上記底壁中に広がる開口の形態である請求項１のゲッター装置。