JPH0548405B2 - - Google Patents
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- JPH0548405B2 JPH0548405B2 JP59206731A JP20673184A JPH0548405B2 JP H0548405 B2 JPH0548405 B2 JP H0548405B2 JP 59206731 A JP59206731 A JP 59206731A JP 20673184 A JP20673184 A JP 20673184A JP H0548405 B2 JPH0548405 B2 JP H0548405B2
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- JP
- Japan
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- measurement object
- scanning
- radiation
- radiation source
- radiant energy
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- Expired - Lifetime
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- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 47
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 34
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/0896—Optical arrangements using a light source, e.g. for illuminating a surface
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/48—Thermography; Techniques using wholly visual means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/80—Calibration
- G01J5/802—Calibration by correcting for emissivity
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J2005/0074—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry having separate detection of emissivity
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(1) 発明の分野
この発明は、走査形放射温度計を用いたフイル
ム等の半透明体の測定物体の温度測定装置に関す
るものである。
ム等の半透明体の測定物体の温度測定装置に関す
るものである。
(2) 従来技術
出願人は、不透明体の物体について、たとえば
特開昭57−161521号公報にあるように、比較熱板
と測定物体との距離を変化させたときの放射検出
器の出力変化から測定物体の放射率、温度を求め
る方法を提案している。
特開昭57−161521号公報にあるように、比較熱板
と測定物体との距離を変化させたときの放射検出
器の出力変化から測定物体の放射率、温度を求め
る方法を提案している。
しかしながら、この方法では、比較熱板を測定
する装置が大型なものとなり、半透明体について
の測定は難しく、また測定物体の広い範囲での温
度パターンの測定は困難である等の問題点を生じ
ている。
する装置が大型なものとなり、半透明体について
の測定は難しく、また測定物体の広い範囲での温
度パターンの測定は困難である等の問題点を生じ
ている。
(3) 発明の目的
この発明の目的は、以上の点に鑑み、より簡便
に半透明の測定物体の広い範囲での温度の測定を
可能とした温度測定装置を提供することである。
に半透明の測定物体の広い範囲での温度の測定を
可能とした温度測定装置を提供することである。
(4) 発明の概要
この発明は、走査形放射温度計に測定物体から
の放射エネルギーが入射したときの第１の検出
値、第１の放射源からの放射エネルギーが測定物
体で反射して入射したときの第２の検出値、およ
び第２の放射源からの放射エネルギーが測定物体
を透過して入射したときの第３の検出値に基いて
測定物体の放射率を求め、この放射率から測定物
体の温度を求めるようにした温度測定装置であ
る。
の放射エネルギーが入射したときの第１の検出
値、第１の放射源からの放射エネルギーが測定物
体で反射して入射したときの第２の検出値、およ
び第２の放射源からの放射エネルギーが測定物体
を透過して入射したときの第３の検出値に基いて
測定物体の放射率を求め、この放射率から測定物
体の温度を求めるようにした温度測定装置であ
る。
(5) 発明の実施例
第１図は、この発明の一実施例を示す構成説明
図である。
図である。
図において、１は、紙面に対して垂直に走行す
るフイルムのような半透明体の測定物体、２は、
測定物体１の幅方向を走査して測定物体１からの
放射エネルギーを検出する走査形放射温度計、３
１，３２は、走査形放射温度計２の走査線上の測
定物体１をはさんだ両側に位置し走査形放射温度
計２の走査領域に放射エネルギーを放射する第１
の放射源、および第２の放射源、４は、走査形放
射温度計２からの出力信号が供給され、所定の演
算処理を行う、アナログ回路、マイクロコンピユ
ータ、パーソナルコンピユータ等を利用した演算
手段である。
るフイルムのような半透明体の測定物体、２は、
測定物体１の幅方向を走査して測定物体１からの
放射エネルギーを検出する走査形放射温度計、３
１，３２は、走査形放射温度計２の走査線上の測
定物体１をはさんだ両側に位置し走査形放射温度
計２の走査領域に放射エネルギーを放射する第１
の放射源、および第２の放射源、４は、走査形放
射温度計２からの出力信号が供給され、所定の演
算処理を行う、アナログ回路、マイクロコンピユ
ータ、パーソナルコンピユータ等を利用した演算
手段である。
なお、第１の放射源３１は、走査形放射温度計
２の設けてある側に近接して設けられており、第
２の放射源３２は、測定物体１をはさんで対称的
な位置に設けられており、その反射、透過位置は
近づけておくのが望ましく、たとえば、その中間
位置からの放射エネルギーを測定物体１からの放
射エネルギーの代表値とする。
２の設けてある側に近接して設けられており、第
２の放射源３２は、測定物体１をはさんで対称的
な位置に設けられており、その反射、透過位置は
近づけておくのが望ましく、たとえば、その中間
位置からの放射エネルギーを測定物体１からの放
射エネルギーの代表値とする。
測定物体１の温度をＴ、放射率をε、反射率を
ρ、透化率をτ、第１の放射源３１の温度をT1、
第２の放射源３２の温度をT2、走査形放射温度
計２の出力信号をEi、温度Ｔの黒体の放射エネル
ギーをＥ(T)とする。
ρ、透化率をτ、第１の放射源３１の温度をT1、
第２の放射源３２の温度をT2、走査形放射温度
計２の出力信号をEi、温度Ｔの黒体の放射エネル
ギーをＥ(T)とする。
走査形放射温度計２が、測定物体１を走査する
と第２図で示すように、測定物体１を見るための
やや高いプラトー上の出力E1（たとえば中央の出
力を代表値とする）、中央付近の両側で第１、第
２の放射源３１，３２についてのピーク値E2，
E3が検出される。
と第２図で示すように、測定物体１を見るための
やや高いプラトー上の出力E1（たとえば中央の出
力を代表値とする）、中央付近の両側で第１、第
２の放射源３１，３２についてのピーク値E2，
E3が検出される。
つまり、走査形放射温度計２が、測定物体１の
みを見たときの検出値をE1、第１、第２の放射
源３１，３２を見たときの検出値をE2，E3とす
れば、次式が成り立つ。
みを見たときの検出値をE1、第１、第２の放射
源３１，３２を見たときの検出値をE2，E3とす
れば、次式が成り立つ。
E1＝εE(T) ……(1)
E2＝εE(T)＋ρE（T1） ……(2)
E3＝εE(T)＋τE（T2） ……(3)
ここで、(1)式右辺第１項は測定物体１自体から
の放射エネルギー、(2)式右辺の第２項は第１の放
射源３１からの放射エネルギーが測定物体１を反
射する寄与分、(3)式右辺第２項は、第２の放射源
３２からの放射エネルギーが測定物体１を透過す
る寄与分である。
の放射エネルギー、(2)式右辺の第２項は第１の放
射源３１からの放射エネルギーが測定物体１を反
射する寄与分、(3)式右辺第２項は、第２の放射源
３２からの放射エネルギーが測定物体１を透過す
る寄与分である。
(1)、(2)式を辺々差し引くと次式が得られる。
E2−E1＝ρE（T1）
ρ＝E2−E1／Ｅ（T1） ……(4)
(1)、(3)式を辺々差し引くと次式が得られる。
E3−E1＝τE（T2）
τ＝E3−E1／Ｅ（T2） ……(5)
(4)、(5)式の右辺は、測定により求まり、これら
から、放射率εは、次式で求まる。
から、放射率εは、次式で求まる。
ε＝１−ρ−τ ……(6)
ここで、(1)を書き直すと、
Ｅ(T)＝E1／ε ……(7)
となり、この(7)式に、(6)式を代入し、測定物体１
の真温度(T)を求めることができる。
の真温度(T)を求めることができる。
つまり、走査形放射温度計２が測定物体１を１
回走査すると第２図のような出力信号が得られ、
この出力信号E1，E2，E3に基いて、(4)、(5)、(6)、
(7)式の演算を演算手段４で行い、ε、Ｔを求め
る。なお、第１、第２の放射源３１，３２の温度
は適当な温度検出器で検出して求め、演算手段４
に供給すればよい。
回走査すると第２図のような出力信号が得られ、
この出力信号E1，E2，E3に基いて、(4)、(5)、(6)、
(7)式の演算を演算手段４で行い、ε、Ｔを求め
る。なお、第１、第２の放射源３１，３２の温度
は適当な温度検出器で検出して求め、演算手段４
に供給すればよい。
このように、２つの放射源３１，３２を利用し
て、測定物体１の放射率εを求め、測定物体１の
各点の温度Ｔを求めることができる。。あらかじ
め、εを求めた後は、放射源３１，３２にシヤツ
タをし、連続測定を行うようにしてもよい。
て、測定物体１の放射率εを求め、測定物体１の
各点の温度Ｔを求めることができる。。あらかじ
め、εを求めた後は、放射源３１，３２にシヤツ
タをし、連続測定を行うようにしてもよい。
また、走査形放射温度計２が、一軸（一次元）
走査でなく、面（二次元）走査であつても、その
測定領域内に第１、第２の放射源３１，３２の放
射エネルギーを放射し、同様の演算で温度分布の
測定ができる。
走査でなく、面（二次元）走査であつても、その
測定領域内に第１、第２の放射源３１，３２の放
射エネルギーを放射し、同様の演算で温度分布の
測定ができる。
(6) 発明の効果
２つの放射源および走査形放射温度計を用い、
放射率を求め、次いで温度を測定するようにして
いるので、簡単な構成で半透明体の測定物体の広
い範囲についての温度分布を高精度に測定するこ
とができる。
放射率を求め、次いで温度を測定するようにして
いるので、簡単な構成で半透明体の測定物体の広
い範囲についての温度分布を高精度に測定するこ
とができる。
第１図は、この発明の一実施例を示す構成説明
図、第２図は、動作説明用波形図である。 １……測定物体、２……走査形放射温度計、３
１，３２……放射源、４……演算手段。
図、第２図は、動作説明用波形図である。 １……測定物体、２……走査形放射温度計、３
１，３２……放射源、４……演算手段。
Claims (1)
- １ 測定物体を走査して測定物体からの放射エネ
ルギーを検出する走査形放射温度計と、測定物体
をはさんだ両側に設けられ走査形放射温度計の走
査領域内の測定物体の別位置に放射エネルギーを
放射する第１の放射源および第２の放射源と、走
査形放射温度計に測定物体から放射エネルギーが
入射したときの第１の検出値、第１の放射源から
の放射エネルギーが測定物体で反射して入射した
ときの第２の検出値、および第２の放射源からの
放射エネルギーが測定物体で透過して入射したと
きの第３の検出値に基いて測定物体の放射率を求
め、この放射率から測定物体の温度を求める演算
手段とを備えたことを特徴とする温度測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59206731A JPS6184528A (ja) | 1984-10-02 | 1984-10-02 | 温度測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59206731A JPS6184528A (ja) | 1984-10-02 | 1984-10-02 | 温度測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6184528A JPS6184528A (ja) | 1986-04-30 |
| JPH0548405B2 true JPH0548405B2 (ja) | 1993-07-21 |
Family
ID=16528170
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59206731A Granted JPS6184528A (ja) | 1984-10-02 | 1984-10-02 | 温度測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6184528A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6375525A (ja) * | 1986-09-18 | 1988-04-05 | Chino Corp | 温度測定装置 |
| JPS6375526A (ja) * | 1986-09-18 | 1988-04-05 | Chino Corp | 温度測定装置 |
| DE10119599A1 (de) * | 2001-04-21 | 2002-10-31 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zur Bestimmung von Temperaturen an Halbleiterbauelementen |
-
1984
- 1984-10-02 JP JP59206731A patent/JPS6184528A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6184528A (ja) | 1986-04-30 |
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