JPH0546267Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は、フオトマスクまたはウエハ製造プ
ロセスなどで使用されるクリーンオーブンに関す
る。

従来の技術 この種のクリーンオーブンとして、送風機、フ
イルタおよびヒータを備え、フイルタを通してヒ
ータで加熱した空気を送風機により内槽に循環さ
せるようにしたものが知られている。

フイルタを使用するのは空気の清浄度を高める
ためであり、とくに高い清浄度が要求されるクリ
ーンオーブンでは、HEPAフイルタ（米国ケン
ブリツジ社の商品名）などの高性能エアフイルタ
が使用される。

考案が解決しようとする課題 現在市販されている高性能エアフイルタは最高
使用温度が制限されており、クリーンオーブンの
最高使用温度はこのフイルタの最高使用温度によ
つて制約されている。たとえば、市販されている
HEPAフイルタの最高使用温度は350℃程度であ
り、したがつて、クリーンオーブンの最高使用温
度も350℃程度に制約されており、これより高い
温度たとえば500〜600℃でクリーンオーブンを使
用することが不可能であつた。

この考案の目的は、上記の問題を解決し、フイ
ルタの最高使用温度より高い温度で使用できるク
リーンオーブンを提供することにある。

課題を解決するための手段 この考案によるクリーンオーブンは、 送風機、フイルタおよびヒータを備え、フイル
タを通してヒータで加熱した空気を送風機により
内槽に循環させるクリーンオーブンにおいて、 内槽とフイルタの間に、内槽から出た空気を冷
却してフイルタに通すための冷却器が設けられて
いることを特徴とするものである。

作 用 内槽から出た空気は、冷却器により冷却された
のち、フイルタに通され、ヒータにより加熱され
て再び内槽に供給される。このため、フイルタを
通る空気の温度は内槽内の温度より低下してお
り、したがつて、内槽内の温度をフイルタの最高
使用温度より高くしても、フイルタを通る空気の
温度をその最高使用温度より低く抑えることがで
きる。

実施例 以下、図面を参照して、この考案の１実施例を
説明する。なお、以下の説明において、図面の左
側を前、右側を後とする。

図面は、クリーンオーブンの垂直断面を概略的
に示し、クリーンオーブン内には、前面が開口し
た内槽１０が上部前側に設けられ、この内槽１０
の下、後および上を取囲むように空気通路１１が
設けられている。

内槽１０の後壁１２には、多数の空気流通穴１
３が形成され、内槽１０の前面および後面を除く
面は上壁１４、下壁１５および側壁１６により密
閉されている。内槽１０の後壁１２の後、上壁１
４の上および下壁１５の下に、空気通路１１を形
成する隔壁１７，１８，１９が形成されている。
内槽１０の下壁１５は後部隔壁１７まで達してお
り、これにより、隔壁１７，１８，１９に囲まれ
た空間が２つの部分に分割されている。上部隔壁
１８とクリーンオーブンの前外壁２０との間に
は、所定間隔の隙間すなわち空気流通部分２１が
形成されており、内槽１０の後壁１２および上壁
１４と後部隔壁１７および上部隔壁１８との間の
空間が空気導入空間２２となつている。内槽１０
の下壁１５と下部隔壁１９との間は空気導出空間
２３となつており、この空間２３の前面は開口し
ている。また、下部隔壁１９には、空気流通穴２
４が形成されている。

空気通路１１の導出空間２３の下方に、電動モ
ータなどで駆動される送風機２５が設けられてい
る。空気通路１１の後側には、下部に冷却器２６
が、その上にHEPAフイルタ２７が、上部にヒ
ータ２８が設けられている。

クリーンオーブンの前面には、内槽１０および
導出空間２３の前面開口を密閉するためのドア２
９が設けられている。ドア２９の後面には、これ
が閉じたときに内槽１０と導出空間２３を連通す
る連通凹所３０が形成され、これ以外の部分には
断熱材３１が設けられている。そして、凹所３０
を塞ぐドア２９の後板３２に、多数の空気流通穴
３３が形成されている。

上記のクリーンオーブンを使用する場合、内槽
１０内に被処理物を入れて、ドア２９を閉じ、送
風機２５、冷却器２６およびヒータ２８を駆動す
る。そして、次に説明するように、送風機２５に
より、冷却器２６およびフイルタ２７を通されて
ヒータ２８で加熱された空気が内槽１０に循環さ
せられる。

まず、内槽１０内の空気は、その前面開口から
ドア２９の後板３２の上部の流通穴３３を通つて
凹所３０内に入り、この空気は、後板３２の下部
の流通穴３３を通つて導出空間２３内にその前面
開口から入り、下部隔壁１９の流通穴２４から送
風機２５を通つて冷却器２６に送られる。冷却器
２６に送られた空気は、これにより冷却されたの
ち、フイルタ２７を通されて、ヒータ２８に送ら
れる。ヒータ２８に送られた空気は、これにより
加熱されて、導入空間２２内に流通部分２１から
入り、後壁１２の流通穴１３から内槽１０内に供
給される。そして、このような移動を繰返すこと
により、内槽１０に循環させられる。

このように、内槽１０から出た空気は、冷却器
２６により冷却されたのち、フイルタ２７に通さ
れ、ヒータ２８により加熱されて再び内槽１０に
供給される。このため、フイルタ２７を通る空気
の温度は内槽１０内の温度より低下しており、し
たがつて、内槽１０内の温度をフイルタ２７の最
高使用温度より高くしても、フイルタ２７を通る
空気の温度をその最高使用温度より低く抑えるこ
とができる。なお、各部の温度を測定した実験結
果の数例を挙げれば、内槽１０内が500℃、冷却
器２６を通過した直後が70℃、フイルタ２７を通
過した直後が180℃であつた。また、内槽１０内
が400℃、冷却器２６の直後が65℃、フイルタ２
７の直後が135℃であつた。さらに、内槽１０内
が300℃、冷却器２６の直後が60℃、フイルタ２
７の直後が100℃であつた。

処理が終了したならば、ヒータ２８の駆動のみ
を停止させ、送風機２５および冷却器２６を駆動
したままにして、内槽１０に空気を循環させる。
これにより、空気は、冷却器２６により冷却され
ながら循環させられるため、内槽１０内の温度降
下が速く、処理の終わつた被処理物を早く取出す
ことができる。これに対し、従来のクリーンオー
ブンでは、処理が終了したのちにヒータの駆動を
停止しても、加熱されたままの空気が循環させら
れるだけであるから、内槽内の温度降下が遅く、
被処理物を早く取出すことができない。実験によ
れば、ヒータの駆動を停止したのちに内槽内の温
度を500℃から100℃まで降下させるのに要した時
間は、上記実施例の場合は約70分、従来例の場合
は約９時間であつた。

考案の効果 この考案のクリーンオーブンによれば、内槽か
ら出た空気が冷却器により冷却されてフイルタに
通されるので、内槽内の温度をフイルタの最高使
用温度より高くしても、フイルタを通る空気の温
度をその最高使用温度より低く抑えることがで
き、したがつて、フイルタの最高使用温度より高
い温度で使用することができる。また、処理が終
了したのちに、ヒータの駆動を停止した状態で空
気を冷却器で冷却しながら循環させることによ
り、内槽内の温度を速く降下させることができ、
被処理物を早く取出すことができる。

【図面の簡単な説明】

図面は、この考案の１実施例を示すクリーンオ
ーブンの概略垂直断面図である。 １０……内槽、１１……空気通路、２５……送
風機、２６……冷却器、２７……フイルタ、２８
……ヒータ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 送風機、フイルタおよびヒータを備え、フイル
   タを通してヒータで加熱した空気を送風機により
   内槽に循環させるクリーンオーブンにおいて、 内槽とフイルタの間に、内槽から出た空気を冷
   却してフイルタに通すための冷却器が設けられて
   いることを特徴とするクリーンオーブン。