JPH054278Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、半導体製品の組立装置に関し、特に
ダイボンデイング装置に関するものである。

〔従来の技術〕

従来、２種類以上の半導体チツプをダイボンデ
イングする場合には、１種類の半導体チツプにつ
き、１台のダイボンデイング装置を１ユニツトと
し、半導体ペレツトの種類数に応じたユニツト数
を設置し、ダイボンデイングする方法と、第８図
ａ，ｂのようにダイボンデイングアーム３に回転
機構５を設け、２種類以上の半導体チツプ吸着コ
レツト１，……をダイボンデイングアーム先端に
予め装着し、モータ等の駆動によりその半導体チ
ツプ吸着コレツト装着部を回転させて切り替え、
１度に２種類以上の半導体チツプのダイボンデイ
ングを行う方法とがある。

〔考案が解決しようとする問題点〕

上述した従来のダイボンデイング方法のうち前
者、即ち１台につき１チツプダイボンデイングで
２度以上流しを行う方法においては、ダイボンデ
イング装置を２台以上用いることにより、フロア
スペースを２倍以上占有することになつていた。
さらには最初のダイボンデイング終了後から２回
目のダイボンデイング開始までの待ち時間が発生
するという欠点があつた。

また、後者即ち２種類以上の半導体チツプ吸着
コレツトをダイボンデイングアーム先端に装着
し、回転切り替えを行うダイボンデイング装置に
おいては、半導体チツプ吸着コレツト装着部を回
転させる駆動源が必要となるために、ユニツトが
大型化する欠点があり、また装着できる半導体チ
ツプ吸着コレツトも限度があつた。

本考案の目的は、ユニツトの小型化を図り、１
台のダイボンデイング装置にて２種類以上の半導
体チツプをダイボンデイングしうるチツプ吸着コ
レツト交換装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するため、本案による半導体チ
ツプ吸着コレツト交換装置においては、吸着コレ
ツト保管部と、ダイボンデイングアームとを有す
る半導体チツプ吸着コレツト交換装置であつて、 吸着コレツト保管部は、櫛歯状のアームとブロ
ツクとを有し、 櫛歯状アームは、交換用の吸着コレツトを吊下
げて保持させるものであり、櫛歯の開口部より吸
着コレツトの抜き取りが可能であり、 ブロツクは、櫛歯状アームを支えて上下に変位
するものであり、 ダイボンデイングアームは、孔と、チヤツク部
とを有し、 孔は、吸着コレツトを挿し込む孔であり、 チヤツク部は、孔内に挿し込まれた吸着コレツ
トを圧着して定位置に固定保持させるものであ
り、 ダイボンデイングアームは、吸着コレツト保管
部の櫛歯状アームの開口部に向けて進退動可能で
あり、吸着コレツト保管部のブロツクの上昇時に
持ち上げられた吸着コレツトを、ブロツクの下降
時に、前記孔内に受入れるものであり、 吸着コレツト保管部は、ダイボンデイングアー
ムの孔内に挿し込まれた吸着コレツトを櫛歯状ア
ームに支え、ブロツクの上昇時に孔内より抜き取
つて保管するものである。

〔実施例〕

以下、本考案の一実施例を図によつて説明す
る。

第１図において、３はダイボンデイングアー
ム、２は吸着コレツト保管部である。ダイボンデ
イングアーム３は第２図に示すように、先端に吸
着コレツト１を垂直姿勢に挿入する孔３ａが設け
られ、該孔３ａに向けてシリンダ３ｂによりチヤ
ツク部４が進退動し、該チヤツク部４にてコレツ
ト１を孔３ａに固定する。また、チヤツク部４に
はコレツト１の真空路１ａを真空源（図示略）に
接続する真空路４ａが設けられている。

一方、保管部２にはブロツク２ａが上下動可能
に取り付けられ、該ブロツク２ａには、櫛歯の開
口部を通してコレツト１の頭部１ｂに差し込みこ
れを吊下する櫛歯状のアーム２ｂが取り付けられ
ており、コレツトの交換時ブロツク２ａの直下位
置に、櫛歯状アームの開口部側からアーム３が移
送される。

不使用の半導体チツプ吸着コレツト１は半導体
チツプ吸着コレツト保管部２のアーム２ｂに吊下
保持されている。ダイボンデイングに使用してい
る半導体チツプ吸着コレツト１はダイボンデイン
グアーム３に保持されている。半導体チツプ吸着
コレツト交換の際には、第３図のようにダイボン
デイングアーム３が半導体チツプ吸着コレツト保
管部２の半導体チツプ吸着コレツト空の位置まで
直進し、チヤツク部４を開放したままコレツト１
の頭部を櫛歯状アーム２ｂに、開口部を通して差
し込む。

次に第４図のように半導体チツプ吸着コレツト
保管部２のブロツク２ａを上昇させ、ダイボンデ
イングアーム３から半導体チツプ吸着コレツト１
を抜き取る。そして第５図のように、次に使用す
る半導体チツプ吸着コレツト１の真下にダイボン
デイングアーム３を移動させる。

次に第６図のように、半導体チツプ吸着コレツ
ト保管部２のブロツク２ａを下降させ、ダイボン
デイングアーム３に使用する半導体チツプ吸着コ
レツト１を装着し、これをチヤツク部４で固定
し、第７図のように、ダイボンデイングアーム３
を使つてダイボンデイングを開始する。

第２図のように、ダイボンデイングアーム３で
装着された半導体チツプ吸着コレツト１はチヤツ
ク部４によつて固定され、吸着の際の真空路１ａ
はこのチヤツク部４の真空路４ａを通して真空源
に接続される。

〔考案の効果〕

以上説明したように本考案は、半導体チツプ吸
着コレツトの交換を着脱方式にすることにより、
ダイボンデイング装置１台にて２種類以上の半導
体チツプをダイボンデイングすることができ、か
つ、アームに吸着コレツトの交換用回転機構を必
要とせず、ユニツトを小型化し、且つ吸着コレツ
ト交換の自動化を図ることができる効果を有する
ものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す斜視図、第２
図はダイボンデイングアームの縦断面図、第３〜
７図は動作説明図、第８図ａは従来の半導体チツ
プ吸着コレツト回転切り替え方式ダイボンデイン
グアームを示す正面図、ｂは同側面図である。 １……半導体チツプ吸着コレツト、２……吸着
コレツト保管部、３……ダイボンデイングアー
ム、４……チヤツク部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 吸着コレツト保管部と、ダイボンデイングアー
   ムとを有する半導体チツプ吸着コレツト交換装置
   であつて、 吸着コレツト保管部は、櫛歯状のアームとブロ
   ツクとを有し、 櫛歯状アームは、交換用の吸着コレツトを吊下
   げて保持させるものであり、櫛歯の開口部より吸
   着コレツトの抜き取りが可能であり、 ブロツクは、櫛歯状アームを支えて上下に変位
   するものであり、 ダイボンデイングアームは、孔と、チヤツク部
   とを有し、 孔は、吸着コレツトを挿し込む孔であり、 チヤツク部は、孔内に挿し込まれた吸着コレツ
   トを圧着して定位置に固定保持させるものであ
   り、 ダイボンデイングアームは、吸着コレツト保管
   部の櫛歯状アームの開口部に向けて進退動可能で
   あり、吸着コレツト保管部のブロツクの上昇時に
   持ち上げられた吸着コレツトを、ブロツクの下降
   時に、前記孔内に受入れるものであり、 吸着コレツト保管部は、ダイボンデイングアー
   ムの孔内に挿し込まれた吸着コレツトを櫛歯状ア
   ームに支え、ブロツクの上昇時に孔内より抜き取
   つて保管するものであることを特徴とする半導体
   チツプ吸着コレツト交換装置。