JPS61183533U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS61183533U JPS61183533U JP6770885U JP6770885U JPS61183533U JP S61183533 U JPS61183533 U JP S61183533U JP 6770885 U JP6770885 U JP 6770885U JP 6770885 U JP6770885 U JP 6770885U JP S61183533 U JPS61183533 U JP S61183533U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor chip
- suction collet
- die bonding
- bonding arm
- chip suction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例を示す斜視図、第2
図はダイボンデイングアームの縦断面図、第3〜
7図は動作説明図、第8図aは従来の半導体チツ
プ吸着コレツト回転切り替え方式ダイボンデイン
グアームを示す正面図、bは同側面図である。 1……半導体チツプ吸着コレツト、2……吸着
コレツト保管部、3……ダイボンデイングアーム
、4……チヤツク部。
図はダイボンデイングアームの縦断面図、第3〜
7図は動作説明図、第8図aは従来の半導体チツ
プ吸着コレツト回転切り替え方式ダイボンデイン
グアームを示す正面図、bは同側面図である。 1……半導体チツプ吸着コレツト、2……吸着
コレツト保管部、3……ダイボンデイングアーム
、4……チヤツク部。
Claims (1)
- 半導体チツプ吸着コレツトを脱着可能に保持す
るチヤツク部を備えたダイボンデイングアームと
、ダイボンデイングアームに装着する複数種の半
導体チツプ吸着コレツトを予じめ保管するととも
に、ダイボンデイングアームより抜き取られた吸
着コレツトを保管する吸着コレツト保管部とを有
することを特徴とする半導体チツプ吸着コレツト
交換機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985067708U JPH054278Y2 (ja) | 1985-05-08 | 1985-05-08 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985067708U JPH054278Y2 (ja) | 1985-05-08 | 1985-05-08 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61183533U true JPS61183533U (ja) | 1986-11-15 |
JPH054278Y2 JPH054278Y2 (ja) | 1993-02-02 |
Family
ID=30601776
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1985067708U Expired - Lifetime JPH054278Y2 (ja) | 1985-05-08 | 1985-05-08 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH054278Y2 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5128757A (ja) * | 1974-09-04 | 1976-03-11 | Hitachi Ltd | Peretsutobondeingusochi |
-
1985
- 1985-05-08 JP JP1985067708U patent/JPH054278Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5128757A (ja) * | 1974-09-04 | 1976-03-11 | Hitachi Ltd | Peretsutobondeingusochi |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH054278Y2 (ja) | 1993-02-02 |
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