JPH0539619U - 液体濾過装置 - Google Patents

液体濾過装置

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JPH0539619U
JPH0539619U JP9722891U JP9722891U JPH0539619U JP H0539619 U JPH0539619 U JP H0539619U JP 9722891 U JP9722891 U JP 9722891U JP 9722891 U JP9722891 U JP 9722891U JP H0539619 U JPH0539619 U JP H0539619U
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義見 忍足
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義見 忍足
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 逆洗浄により発生する逆洗浄液を容易に処理
することができ、さらに、コンパクト化可能な液体濾過
装置を提供すること。 【構成】 逆洗浄機構を有する濾過装置の排出口の下部
に、下部に排出口を有する沈降分離槽を設け、さらにそ
の下部に液切り槽を設けたことを特徴とする液体濾過装
置。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案は、逆洗浄機構を有する濾過装置から排出される濾過により除去された 微粒子の処理を簡単に行えるようにした液体濾過装置に関するものである。
【0002】
【考案の背景】
金属を放電加工すると多量の加工廃液が発生する。該加工廃液はこれを濾過装 置をとおして濾過し、再生して、再利用することが行われている。
【0003】 濾過装置の濾過エレメントは、通常、菊花状にするなどしてその濾過面積を大 きくし、濾過面で多量の微粒子が捕集できるようにし、濾過エレメントを交換す ることなく長時間濾過操作を行えるようにしているが、それでもなお、時間が経 過するにしたがって、濾過エレメント上に堆積した微粒子によって圧力損失が増 大し、濾過の効率が低下してくるので、さらに濾過を継続するには濾過エレメン トを新しい濾過エレメントに交換しなければならなかった。
【0004】 交換した濾過エレメントは、これを廃棄してしまうことは不経済であるので、 濾過エレメント上に堆積した微粒子を除去し、濾過エレメントを再利用すること がしばしば行われている。
【0005】 通常、濾過エレメント上に堆積した微粒子の除去には、濾過エレメントに濾過 の方向とは逆の方向に液体を通す方法、いわゆる逆洗浄方法が採用されているが 、逆洗浄により排出される洗浄液は多量であり、また、濾過され除去された微粒 子が多量に含まれているため、そのまま廃棄することは公害防止上問題があった 。
【0006】
【考案の目的】
したがって、本考案の第1の目的は、逆洗浄により発生する逆洗浄液を容易に 処理することができる処理装置を有する液体濾過装置を提供することにある。本 考案の第2の目的は、コンパクト化できる逆洗浄可能な液体濾過装置を提供する ことにある。本考案の第3の目的は、放電加工機の加工廃液処理に適した逆洗浄 可能な液体濾過装置を提供することにある。
【0007】
【考案の構成】
本考案の上記目的は、 (1)逆洗浄機構を有する濾過装置の排出口の下部に、下部に排出口を有する沈 降分離槽を設け、さらにその下部に液切り槽を設けたことを特徴とする液体濾過 装置。 (2)液切り槽の下部に排出口を設けると共にその下部に液受け槽を設けたこと を特徴とする上記(1)記載の液体濾過装置。 (3)沈降分離槽に上澄み液を液受け槽に送る配管を設けたことを特徴とする上 記(2)記載の液体濾過装置。 (4)逆洗浄機構を有する濾過装置が、濾過エレメントを支持板に設置した濾過 体を挟んで、その下部に、流入口及び排出口を設けた下部槽を、また、その上部 に、流出口を設けた上部槽を設けたものであることを特徴とする上記(1)〜( 3)記載の液体濾過装置。 (5)液受け槽の液体を逆洗浄機構を有する濾過装置の流入口へ供給する配管を 設けたことを特徴とする上記(2)〜(4)記載の液体濾過装置。 (6)濾過エレメントが、フィルター材を連通孔を有する管の周囲に設け、その 間に網状物又は不織布を介在させたものであることを特徴とする上記(1)〜( 5)記載の液体濾過装置。 (7)フィルター材が、四フッ化エチレン樹脂からなるフィルター材であること を特徴とする上記(1)〜(6)記載の液体濾過装置。 (8)逆洗浄機構を有する濾過装置に逆洗浄開始の信号を出す信号発生装置を設 け、さらに、濾過液の流出口の開閉弁の開閉、処理液の流入口の開閉弁の開閉、 排出口の開閉弁の開閉、圧力空気発生装置に接続する開閉弁の開閉を行う制御装 置を設けたことを特徴とする上記(1)〜(7)記載の液体濾過装置。
【0008】 以下、本考案を詳細に説明する。
【0009】 本考案の液体濾過装置において、逆洗浄時に、逆洗浄機構を有する濾過装置か ら排出された液は、沈降分離槽に入り、2〜10時間放置されると上澄み液と微 細粒子層に分離する。上澄み液は濾過され、再利用される。微細粒子層は沈降分 離槽の下部に設けられた排出口から濾過袋が設置された液切り槽に排出される。 排出された微細粒子層は90〜99%の液体分を有している。
【0010】 液切り槽では上記排出された微細粒子を含む液からさらに液体分が除去され、 10時間ほど放置すると含液率は75〜90%となり液体分の滴下はなくなる。 濾過袋に捕集された微細粒子は濾過袋ごと取り出され、事後の処理がなされる。
【0011】 液切り槽の下部に液受け槽を設けることは配管を不要にし、またコンパクトに する上で好ましい。また、沈降分離槽の上澄み液を液受け槽に送る配管を設け、 あるいは、液受け槽の液体を逆洗浄機構を有する濾過装置の流入口へ供給する配 管を設けることは、逆洗浄に使われた液を有効に利用し、配管を簡素化し、装置 をコンパクトにする上で好ましい。
【0012】 四フッ化エチレン樹脂からなるフィルター材とは、四フッ化エチレンまたは四 フッ化エチレンを主体とする樹脂からなるフィルムに微細な多数の孔を形成した ものである。
【0013】 係る四フッ化エチレン樹脂からなるフィルター材は各種のものが市販されてお り、市販されているものには厚さが5〜35μm、平均孔径が0.1〜10μm のものがある。
【0014】 本考案で使用する四フッ化エチレン樹脂からなるフィルター材は、これらの中 から除去すべき微粒子の大きさ等を考慮して選択すればよい。
【0015】 濾過エレメントとしては、連通孔を有する管の周囲にフィルター材、例えば上 記四フッ化エチレン樹脂からなるフィルター材を設けたものを使用することがで きる。濾過エレメントは一端が開口し他端が閉鎖されており、フィルター材を通 った濾過された液体は開口部から流出するようになっている。
【0016】 フィルター材と連通孔を有する管との間に網状物又は不織布を介在させること によって濾過をスムースに行うことができるようになるので好ましい。これら網 状物又は不織布としては各種のものが用いられる。
【0017】 網状物としては、厚さが0.3〜0.5mmで、網目20〜50メッシュである のものが好ましい。また、不織布としては、厚さが0.3〜0.5mmであるのも のが好ましい。
【0018】 網状物又は不織布の材料は、濾過体に要求される性能を満たすものであればい ずれでもよい。例えばポリ四フッ化エチレン、四フッ化エチレン−六フッ化プロ ピレン共重合体、塩化ビニル樹脂、塩化ビニリデン樹脂、ポリエチレン、ポリプ ロピレン、ポリアミド、ポリエステルを用いることができる。
【0019】 四フッ化エチレン樹脂からなるフィルター材と網状物又は不織布とは、接着剤 によりあるいは融着により一体化した方が四フッ化エチレン樹脂からなるフィル ター材がより補強されるので好ましいが、四フッ化エチレン樹脂からなるフィル ター材と網状物又は不織布とは必ずしも一体化してなければならないものではな い。
【0020】 四フッ化エチレン樹脂からなるフィルター材と網状物又は不織布とを融着によ り一体化する場合には、網状物又は不織布として四フッ化エチレン樹脂からなる フィルター材よりも融点の低いものが用いられる。
【0021】 四フッ化エチレン樹脂からなるフィルター材により濾過された液体は、連通孔 を有する管の連通孔を通り、管の中心孔から排出される。
【0022】 連通孔を有する管の材料は、使用する液体によって侵されないものであれば、 セラミック、ガラス等の無機質のものであっても、合成樹脂等の有機質のもので あってもよい。
【0023】 連通孔を有する管は、発泡成形等、通常用いられる方法によって形成すること ができるが、四フッ化エチレン−六フッ化プロピレン共重合体、塩化ビニル樹脂 、塩化ビニリデン樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリアミド、ポリエス テル等の熱可塑性合成樹脂からなる粒子あるいは繊維を融着し、連通孔を形成し たものが好ましい。連通孔を有する管は、濾過圧により、四フッ化エチレン樹脂 からなるフィルター材が変形するのをさけるために剛性を有することが好ましい 。
【0024】 四フッ化エチレン樹脂それ自身はその儘では接着剤によって接着することはで きないが、四フッ化エチレン樹脂からなるフィルター材は接着することができる ので、四フッ化エチレン樹脂からなるフィルター材がフィルム状のものであって も、容易にこれを通気性を有する管の周囲に設けることができる。また、連通孔 を有する管と四フッ化エチレン樹脂からなるフィルター材との間に網状物又は不 織布を介在させる場合、該網状物又は不織布の材料として四フッ化エチレン樹脂 より低い融点を有する合成樹脂を採用すれば、該網状物又は不織布を熱融着性の 接着剤として働かせ、四フッ化エチレン樹脂からなるフィルター材を通気性を有 する管の周囲に設けることができる。
【0025】 次に、濾過エレメントを支持板に設置した濾過体を挟んで、その下部に、流入 口及び排出口を設けた下部槽を、また、その上部に、流出口を設けた上部槽を設 けた逆洗浄機構を有する濾過装置について説明する。
【0026】 濾過体は、例えば支持板に濾過エレメントを挿入することができる大きさの複 数の孔を設け、該孔に濾過エレメントの開口部側を挿入し、接着剤を用いて気密 に固着することによって構成することができる。
【0027】 流入口は下部槽のいかなる位置に設けてもよいが、濾過体の周囲に整流板を設 けるとかして流入口から流入した処理される液体が直接濾過エレメントに当たら ないようにしておくことが好ましい。下部槽にはまた逆洗浄によって濾過エレメ ントから洗い落とされた排出物を排出する排出口が開閉弁を介して設けられてい る。
【0028】 また、下部槽には空気溜めを設けることが好ましい。空気溜めは下部槽の中心 、その他如何なる位置に設けてもよいが、下部槽の周囲に設けることが好ましい 。流入口の開閉弁が解放されると流入口から入ってくる液体によって空気溜めに ある空気は圧縮される。次いで、流入口が閉じられ、排出口が解放されるとこの 圧縮された空気によって下部槽の液体は一気に排出口から排出され、その勢いに よって濾過エレメント上に堆積した微粒子の殆どは濾過エレメントから落下し、 次に行われる逆洗浄の効果を高めることができる。
【0029】 上部槽には処理された液体を送り出す流出口が開閉弁を介して設けられ、さら に好ましくは、空気溜めが設けられている。流出口の開閉弁が閉じられると流入 口から入ってくる液体によって空気溜めにある空気は圧縮され、上部槽の圧力は 流入口の圧力あるいはそれに近い圧力にまで高められる。流入口が閉じられ、排 出口が解放されるとこの空気圧によって上部槽の液は濾過エレメントを通り排出 口から排出され逆洗浄が行われる。
【0030】 また、上記逆洗浄は、上部槽に空気溜めを設けあるいは設けることなく上部槽 に圧力空気発生装置を接続し、逆洗浄を空気溜めの空気圧及び圧力空気発生装置 からの空気圧の両者によって、あるいは、圧力空気発生装置からのみの空気圧に よって行うようにしてもよい。
【0031】 濾過を継続すると、濾過エレメント上に微粒子が堆積し、圧力損失が増大する 。圧力損失が大きくなると流入口から液を一定の圧力で送っているときには流出 量が少なくなり、また、流出量を一定にしようとすると流入口から送る液の圧力 を高めなければならなくなり濾過を効率よく行うことができなくなる。逆洗浄開 始の信号を出す信号発生装置は、濾過を効率よく行うことができなくなったとき にもたらされるこれらの変化を検知して、逆洗浄が必要となったことを知らせる 信号を発生するものである。逆洗浄開始の信号を出す信号発生装置は、逆洗浄開 始の信号を出すことができるものであればどのようなものでもよい。
【0032】 逆洗浄開始の信号を出す信号発生装置は、濾過エレメントでの圧力損失を直接 測定し、これが一定の値を超えたときに信号を出す信号発生装置であってもよい し、また、濾過エレメントでの圧力損失を間接的に測定し、これが一定の値を超 えたときに信号を出す信号発生装置であってもよい。濾過エレメントでもたらさ れる圧力損失は濾過エレメントを通過する液体の量によって変わるので、上記一 定の値は、濾過エレメントを通過する液体の量によって変化する。
【0033】 また、逆洗浄開始の信号を出す信号発生装置は、例えば、濾過エレメントを通 過する液体の量を一定にしておき、上部槽及び下部槽の圧力をそれぞれ測定し、 或いは上部槽又は下部槽の圧力を測定し演算によって圧力差を算出し信号を発生 するもの、濾過エレメントを通過する液体の量を一定にしておき、上部槽及び下 部槽の圧力差を直接測定し信号を発生するものであることができる。また、流入 口から送る液体の圧力を一定にしておき、流出口から出る液体の量を測定し、こ れが一定の値以下になったときに信号を発生するもの、流入口から送る液体の圧 力を一定にし、また、流出口に定流量弁を設け、上部槽の圧力を測定し、これが 一定の値以下になったときに信号を発生するものであることができる。
【0034】 信号発生装置からの信号に基づいて逆洗浄が開始され、流出口の開閉弁、流入 口の開閉弁、排出口の開閉弁、圧力空気発生装置に接続する開閉弁の開閉が行わ れる。
【0035】 上部槽に空気溜めを設け、ここに生じた空気圧によって逆洗浄を行う場合には 、信号発生装置からの信号に基づいてまず流出口の開閉弁が閉鎖される。次いで 上部槽の空気溜めの圧力が必要とする圧力になったとき、流入口の開閉弁が閉鎖 され、排出口の開閉弁が解放される。これら一連の開閉弁の操作は各種センサー を設け、センサーからの信号に基づいて行うことができ、また、シーケンス制御 で行うこともできる。
【0036】 逆洗浄が終わった後、濾過を開始するには、排出口の開閉弁を閉鎖し、流入口 及び流出口の開閉弁を解放すればよい。
【0037】 逆洗浄を圧力空気発生装置からのみの空気圧で行う場合には、信号発生装置か らの信号に基づいて流入口及び流出口の開閉弁を閉鎖し、次いで排出口の開閉弁 及び圧力空気発生装置に接続する開閉弁を解放する。これら一連の開閉弁の操作 は上記と同様に各種センサーを設け、センサーからの信号に基づいて行うことが でき、また、シーケンス制御で行うこともできる。
【0038】 逆洗浄が終わった後、濾過を開始するには、圧力空気発生装置に接続する開閉 弁を閉鎖し、次いで排出口の開閉弁を閉鎖し、流入口及び流出口の開閉弁を解放 すればよい。
【0039】 上部槽に空気溜めを設け、逆洗浄に圧力空気発生装置からの空気圧とともに空 気溜めに生じた空気圧を用いる場合には、流出口の開閉弁を閉鎖し、上部槽の空 気溜めの圧力が必要とする圧力になったとき、流入口の開閉弁を閉鎖し、排出口 の開閉弁を解放し、次いで圧力空気発生装置に接続する開閉弁を解放するのが好 ましい。
【0040】 各開閉弁の操作の順序は本考案所期の目的を達成する範囲で変更することが可 能である。
【0041】 逆洗浄によってフィルター材の表面に堆積し、固まった微粒子は容易に脱落し 、濾過エレメントを容易に再生することができる。
【0042】
【実施例】
以下、図面を参照して本考案の実施例を説明するが、本考案はこれにより限定 されるものではない。
【0043】 図1は本考案の連続液体濾過装置の一部切り欠き側面図である。
【0044】 図において1は濾過エレメントを示す。濾過エレメント1は管の周囲に四フッ 化エチレン樹脂からなるフィルター材が設けられている。また、濾過エレメント 1の一端は蓋体で閉じられている。管は合成樹脂の粒子を焼結して作られたもの で、管の外側から管の中心部に液体が通過できるように連通孔が形成されている 。濾過されるべき液体は濾過エレメント1の外側から入り、微粒子を四フッ化エ チレン樹脂からなるフィルター材の表面に残し、管の連通孔を通過し、管の中心 部に集まり、解放端から排出される。
【0045】 濾過エレメント1の解放端が支持板2に埋め込まれ濾過体が形成される。濾 過体の上部には空気溜め4を有する上部槽5が設けられている。また上部槽5 は流出口6及び図には示されていないが圧力計が設けられており、流出口6には 電磁弁7及び定流量弁8が設けられている。9は電磁弁10を有する管を、11 は下限圧力リミットスイッチを、12は上限圧力リミットスイッチを示す。
【0046】 濾過体の下部には下部槽13が設けられている。また下部槽13は流入口1 4、排出口15を有しており、流入口14には電磁弁16が、排出口15には電 磁弁17が設けられている。
【0047】 流入口14から入った液が直接濾過エレメント1にあたらないようにし、また 、流入口14から入った液を濾過体の下方から送るようにするために整流筒1 8が濾過体の周囲に設けられている。
【0048】 上部槽5、濾過体及び下部槽13よりなる濾過装置は、支持台19に載置さ れている。
【0049】 排出口15の下には沈降分離槽20が支持台21に載置されている。22は沈 降分離槽20の上澄み液を液受け槽23に送る配管を示し、該配管22の途中に は電磁弁24が設けられている。沈降分離槽20の下部には電磁弁25を有する 排出口26が設けられている。
【0050】 排出口26の下には液切り槽27が設けられ、液切り槽27の中には多数の孔 を設けた篭28が設けられている。篭28の中には濾紙袋29が入れられる。
【0051】 30は液切り槽27の下部に設けられた排出口であって、液受け槽23はその 下部には設置されている。液受け槽23にはポンプ31が設けられており、液受 け槽23に溜った液を電磁弁16を通って流入口14に供給することができるよ うになっている。32は放電加工機から送られてくる加工廃液を受け入れる管を 、33は電磁弁を、34は空気取り入れ管を示す。35は制御装置を示す。
【0052】 次に、図1に示された連続液体濾過装置の作動を説明する。
【0053】 放電加工機から送られてくる加工廃液は管32を通り液受け槽23に一時蓄え られ、ポンプ31によって電磁弁16を通り一定の圧力(例えば1kg/cm2)で 流入口14から下部槽13に入る。下部槽13に入った加工廃液は整流筒18で 流れが変えられ、濾過体の下方から濾過体に入り、濾過エレメント1で濾過 される。加工廃液に含まれた微粒子は濾過エレメント1のフィルター材で除かれ 、清浄になった加工廃液は上部槽5に集められ、電磁弁7、定流量弁8を通り流 出口6から排出され再利用される。
【0054】 濾過が進むにしたがって、フィルター材表面に堆積する微粒子の量が増加し、 濾過エレメント1での圧力損失が増加し、濾過を効率よく行うことができなくな る。
【0055】 定流量弁8は送られてくる液体の圧力、すなわち上部槽5の圧力により絞り開 度を調節して流量を一定に維持するものでる。
【0056】 加工廃液は一定の圧力で流入口14から送られて来ており、また、流出口6に は上記定流量弁8が設けられているので、フィルター材表面に堆積する微粒子の 量が増加し、濾過エレメント1での圧力損失が増加し、流量が低下してくると定 流量弁8の絞り開度が大きくなり、上部槽5の圧力は低下してくる。
【0057】 上部槽5の圧力の低下は濾過エレメント1での圧力損失の増加を示し、濾過を 効率よく行うことができなくなる時期、すなわち逆洗浄開始の時期を判断する指 標になる。
【0058】 上部槽5の圧力がある値(例えば0.3kg/cm2)まで低下したとき、下限圧 力リミットスイッチ11が働き逆洗浄開始の信号が制御装置35に送られる。該 信号に基づいて電力供給部から電力が供給され流出口6の電磁弁7が閉鎖される 。
【0059】 流出口6の電磁弁7が閉鎖されたのちにも加工廃液は一定の圧力で流入口14 から供給され続けているので上部槽5の圧力は上昇し、空気溜め4の空気は圧縮 される。上部槽5の圧力がある値にまで上昇したときに、上限圧力リミットスイ ッチ12が働き信号を出す。該信号に基づいて電力供給部から電力が供給され流 入口14の電磁弁16が閉鎖され、ポンプ31が停止する。次いで、電力供給部 から電力が供給され排出口15の電磁弁17が解放される。電磁弁17が解放さ れると空気溜め4に溜められた空気の圧力によって、上部槽5の液体は逆流し、 濾過エレメント1に堆積した粒子を剥離する。剥離された粒子は液体とともに排 出口15から排出される。排出に当り、排出口15から空気が取り込まれるので 、排出される剥離された粒子は砕かれ排出が容易になる。この時空気溜め4に蓄 えられた空気が不足する場合には管9を通して圧搾空気を送り込むことができる 。また、電磁弁33を開くことにより空気取り入れ管34から空気が入り込み、 下部槽13からの加工廃液の排出が促進され、排出される剥離された粒子はさら に良く砕かれることになる。排出口15から排出された液は沈降分離槽20に蓄 えられ静置される。
【0060】 排出が終わった後、排出口15の電磁弁17が閉鎖され、流出口6の電磁弁7 及び流入口14の電磁弁16が解放され、ポンプ31が起動し、下限圧力リミッ トスイッチ11及び上限圧力リミットスイッチ12がリセットされ、濾過が再び 開始される。下限圧力リミットスイッチ11及び上限圧力リミットスイッチ12 のリセットは逆洗浄開始からの経過時間によって行うことができる。
【0061】 沈降分離槽20の液は2〜10時間静置した後、電磁弁24を開き上澄み液を 配管22を通して液受け槽23に移す。次いで電磁弁25を開くと、沈降した粒 子は濾紙袋29の中に落下する。10時間ほど静置すると液が切れ、液の滴下が なくなる。
【0062】 濾紙袋29に濾過され除去された粒子がある程度たまった時、液切り槽27か ら濾紙袋29を引き出し、濾紙袋29の口を締め処分する。
【0063】
【考案の効果】
本考案の液体濾過装置は、逆洗浄により発生する逆洗浄液を容易に処理するこ とができると共に、装置をコンパクト化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の液体濾過装置の一部切り欠き側面図で
ある。
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 B01D 24/44 29/94 B23H 7/36 C 9239−3C

Claims (8)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 逆洗浄機構を有する濾過装置の排出口の
    下部に、下部に排出口を有する沈降分離槽を設け、さら
    にその下部に液切り槽を設けたことを特徴とする液体濾
    過装置。
  2. 【請求項2】 液切り槽の下部に排出口を設けると共に
    その下部に液受け槽を設けたことを特徴とする請求項1
    記載の液体濾過装置。
  3. 【請求項3】 沈降分離槽に上澄み液を液受け槽に送る
    配管を設けたことを特徴とする請求項2記載の液体濾過
    装置。
  4. 【請求項4】 逆洗浄機構を有する濾過装置が、濾過エ
    レメントを支持板に設置した濾過体を挟んで、その下部
    に、流入口及び排出口を設けた下部槽を、また、その上
    部に、流出口を設けた上部槽を設けたものであることを
    特徴とする請求項1〜3記載の液体濾過装置。
  5. 【請求項5】 液受け槽の液体を逆洗浄機構を有する濾
    過装置の流入口へ供給する配管を設けたことを特徴とす
    る請求項2〜4記載の液体濾過装置。
  6. 【請求項6】 濾過エレメントが、フィルター材を連通
    孔を有する管の周囲に設け、その間に網状物又は不織布
    を介在させたものであることを特徴とする請求項1〜5
    記載の液体濾過装置。
  7. 【請求項7】 フィルター材が、四フッ化エチレン樹脂
    からなるフィルター材であることを特徴とする請求項1
    〜6記載の液体濾過装置。
  8. 【請求項8】 逆洗浄機構を有する濾過装置に逆洗浄開
    始の信号を出す信号発生装置を設け、さらに、濾過液の
    流出口の開閉弁の開閉、処理液の流入口の開閉弁の開
    閉、排出口の開閉弁の開閉、圧力空気発生装置に接続す
    る開閉弁の開閉を行う制御装置を設けたことを特徴とす
    る請求項1〜7記載の液体濾過装置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107790836A (zh) * 2017-12-05 2018-03-13 江西创迪科技有限公司 一种电火花机清洗装置

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CN107790836A (zh) * 2017-12-05 2018-03-13 江西创迪科技有限公司 一种电火花机清洗装置

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