JPH0536772A - 高周波特性測定用治具 - Google Patents
高周波特性測定用治具Info
- Publication number
- JPH0536772A JPH0536772A JP18867391A JP18867391A JPH0536772A JP H0536772 A JPH0536772 A JP H0536772A JP 18867391 A JP18867391 A JP 18867391A JP 18867391 A JP18867391 A JP 18867391A JP H0536772 A JPH0536772 A JP H0536772A
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- Japan
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- signal line
- dielectric substrate
- jig
- frequency characteristic
- ground conductor
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被測定部品の一面側に接触する固定用部材を
なくし、実装状態に極めて近い状態で高周波特性を測定
しうるようにする。 【構成】 誘電体基板1と、この誘電体基板1上に形成
された信号ライン2と、誘電体基板1上で信号ライン2
の両側に平行間隔をおいて形成された接地導体3とを備
えてなる高周波特性測定用治具であって、信号ライン2
の幅方向中央部と、接地導体3の被測定部品端子Tbの
接触個所とのそれぞれには真空吸着用の吸引孔5,6が
開設されている。
なくし、実装状態に極めて近い状態で高周波特性を測定
しうるようにする。 【構成】 誘電体基板1と、この誘電体基板1上に形成
された信号ライン2と、誘電体基板1上で信号ライン2
の両側に平行間隔をおいて形成された接地導体3とを備
えてなる高周波特性測定用治具であって、信号ライン2
の幅方向中央部と、接地導体3の被測定部品端子Tbの
接触個所とのそれぞれには真空吸着用の吸引孔5,6が
開設されている。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、トランジスタの高周波
特性の測定に用いる治具に関する。
特性の測定に用いる治具に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、トランジスタの高周波特性を測定
するには、図3および図4に示すような治具が用いられ
る。図3は治具の平面図、図4は図3のB−B線におけ
る断面図である。
するには、図3および図4に示すような治具が用いられ
る。図3は治具の平面図、図4は図3のB−B線におけ
る断面図である。
【0003】従来の治具は、金属ベース21と、誘電体
基板22と、信号ライン23とからなる。金属ベース2
1は、接地導体となるもので、その上に誘電体基板22
が設けられている。この誘電体基板22のほぼ中央部に
は、被測定部品であるトランジスタTの本体部Taを収
容しうる程度の大きさのキャビティ24があり、このキ
ャビティ24を中心に、その両側の誘電体基板22上に
信号ライン23が形成されており、この信号ライン23
と誘電体基板22と金属ベース21とで、マイクロスト
リップラインを構成している。また、キャビティ24の
個所で信号ライン23と直交する方向に接触用の接地導
体25があり、この接地導体25は、金属ベース21に
連続している。
基板22と、信号ライン23とからなる。金属ベース2
1は、接地導体となるもので、その上に誘電体基板22
が設けられている。この誘電体基板22のほぼ中央部に
は、被測定部品であるトランジスタTの本体部Taを収
容しうる程度の大きさのキャビティ24があり、このキ
ャビティ24を中心に、その両側の誘電体基板22上に
信号ライン23が形成されており、この信号ライン23
と誘電体基板22と金属ベース21とで、マイクロスト
リップラインを構成している。また、キャビティ24の
個所で信号ライン23と直交する方向に接触用の接地導
体25があり、この接地導体25は、金属ベース21に
連続している。
【0004】測定に当たっては、トランジスタTの本体
部Taがキャビティ24内に収容され、その4本の端子
のうち、2本の端子Tb,Tbがそれぞれ信号ライン2
3上に載せられ、また、他の2本の端子Tb,Tbが接
触用接地導体25に載せられる。そして、これらの端子
Tbは、押え棒26の押し付けにより、信号ライン23
や接触用接地導体25に圧着される。
部Taがキャビティ24内に収容され、その4本の端子
のうち、2本の端子Tb,Tbがそれぞれ信号ライン2
3上に載せられ、また、他の2本の端子Tb,Tbが接
触用接地導体25に載せられる。そして、これらの端子
Tbは、押え棒26の押し付けにより、信号ライン23
や接触用接地導体25に圧着される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、トランジス
タを回路基板等に実装した状態では、回路基板の反対側
でトランジスタは空気に覆われているだけで、これに接
するものがない。
タを回路基板等に実装した状態では、回路基板の反対側
でトランジスタは空気に覆われているだけで、これに接
するものがない。
【0006】これに対して、従来の治具では、トランジ
スタTの一面側に押え棒26のような固定用部材が接触
する。押え棒26には、比誘電率が空気に近いテフロン
等の材料のものが使用されているが、トランジスタに空
気以外の部材が接触することで、その一面側の電界が実
装状態とは異なっており、これが特性インピーダンス等
の測定結果に影響を及ぼす。押え棒26の形状や比誘電
率によっては、共振を起こすことがある。そのため、実
装時のトランジスタの高周波特性を正確に評価できない
という問題がある。
スタTの一面側に押え棒26のような固定用部材が接触
する。押え棒26には、比誘電率が空気に近いテフロン
等の材料のものが使用されているが、トランジスタに空
気以外の部材が接触することで、その一面側の電界が実
装状態とは異なっており、これが特性インピーダンス等
の測定結果に影響を及ぼす。押え棒26の形状や比誘電
率によっては、共振を起こすことがある。そのため、実
装時のトランジスタの高周波特性を正確に評価できない
という問題がある。
【0007】本発明は、かかる従来の不都合に鑑みて創
案されたものであって、被測定部品の一面側に接触する
固定用部材をなくし、実装状態に近い状態で高周波特性
を測定しうる高周波特性測定用治具の提供を目的として
いる。
案されたものであって、被測定部品の一面側に接触する
固定用部材をなくし、実装状態に近い状態で高周波特性
を測定しうる高周波特性測定用治具の提供を目的として
いる。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明にかかる高周波特
性測定用治具は、このような目的を達成するために、誘
電体基板と、この誘電体基板上に形成された信号ライン
と、誘電体基板上で信号ラインの両側に平行間隔をおい
て形成された接地導体とを備えており、信号ラインの幅
方向中央部と、接地導体の被測定部品端子の接触個所と
のそれぞれに、真空吸着用の吸引孔が開設されているこ
とを特徴とするものである。
性測定用治具は、このような目的を達成するために、誘
電体基板と、この誘電体基板上に形成された信号ライン
と、誘電体基板上で信号ラインの両側に平行間隔をおい
て形成された接地導体とを備えており、信号ラインの幅
方向中央部と、接地導体の被測定部品端子の接触個所と
のそれぞれに、真空吸着用の吸引孔が開設されているこ
とを特徴とするものである。
【0009】
【作用】上記構成によれば、被測定部品の各端子は信号
ラインもしくは接地導体に載った状態で吸引孔を通じて
吸引排気されることにより、信号ラインもしくは接地導
体に密着することになる。そこで、被測定部分の一面側
に接触する部材がない状態での特性の測定が可能にな
る。
ラインもしくは接地導体に載った状態で吸引孔を通じて
吸引排気されることにより、信号ラインもしくは接地導
体に密着することになる。そこで、被測定部分の一面側
に接触する部材がない状態での特性の測定が可能にな
る。
【0010】この場合、信号ラインおよび接地導体に設
けられた吸引孔が電磁界に影響することが考えられる
が、信号ラインでは、接地導体との間で発生する電界が
信号ラインの両側部分に集中し、幅方向中央部分にはほ
とんど電気力線が存在せず、この中央部分に吸引孔が開
口しているため、吸引孔が電磁界に与える影響は、無視
しうるほど小さい。また、接地導体の吸引孔も、同様
に、電磁界にほとんど影響を与えない。
けられた吸引孔が電磁界に影響することが考えられる
が、信号ラインでは、接地導体との間で発生する電界が
信号ラインの両側部分に集中し、幅方向中央部分にはほ
とんど電気力線が存在せず、この中央部分に吸引孔が開
口しているため、吸引孔が電磁界に与える影響は、無視
しうるほど小さい。また、接地導体の吸引孔も、同様
に、電磁界にほとんど影響を与えない。
【0011】
【実施例】以下、本発明の詳細を図1および図2に示す
一実施例に基づいて説明する。
一実施例に基づいて説明する。
【0012】図1は本発明の一実施例に係る高周波特性
測定用治具の平面図、図2は図1のA−A線における断
面図である。
測定用治具の平面図、図2は図1のA−A線における断
面図である。
【0013】これらの図に示すように、この実施例の治
具は、誘電体基板1と、信号ライン2と、接地導体3
と、電波吸収体層4からなる。
具は、誘電体基板1と、信号ライン2と、接地導体3
と、電波吸収体層4からなる。
【0014】誘電体基板1は、比較的厚めのもので、下
面側に電波吸収体層4が設けられている。この誘電体基
板1の表面には、信号ライン2および接地導体3がいず
れも金属膜により形成されている。
面側に電波吸収体層4が設けられている。この誘電体基
板1の表面には、信号ライン2および接地導体3がいず
れも金属膜により形成されている。
【0015】信号ライン2は、2本が直線状に配置され
ており、その2本の信号ライン2,2の対向部間に、被
測定部品であるトランジスタTの本体部Taを配置しう
る程度のスペースが確保されている。そして、各信号ラ
イン2の幅方向中央部分で、トランジスタの端子Tbが
載置される個所に、吸引孔5が開設されている。
ており、その2本の信号ライン2,2の対向部間に、被
測定部品であるトランジスタTの本体部Taを配置しう
る程度のスペースが確保されている。そして、各信号ラ
イン2の幅方向中央部分で、トランジスタの端子Tbが
載置される個所に、吸引孔5が開設されている。
【0016】接地導体3は、信号ライン2の両側に一定
の平行間隔をおいて形成されており、この接地導体3
と、信号ライン2と、誘電体基板1とで、コプレーナウ
ェーブガイドを構成している。したがって、その特性イ
ンピーダンスは、信号ライン2の幅と、信号ライン2と
接地導体3との間隔と、誘電体基板1の厚さと、誘電体
基板1の誘電率とで決まる。接地導体3の各部のうち、
縁部から離れた個所で、トランジスタTの端子Tbが載
置される位置に、吸引孔6が開設されている。
の平行間隔をおいて形成されており、この接地導体3
と、信号ライン2と、誘電体基板1とで、コプレーナウ
ェーブガイドを構成している。したがって、その特性イ
ンピーダンスは、信号ライン2の幅と、信号ライン2と
接地導体3との間隔と、誘電体基板1の厚さと、誘電体
基板1の誘電率とで決まる。接地導体3の各部のうち、
縁部から離れた個所で、トランジスタTの端子Tbが載
置される位置に、吸引孔6が開設されている。
【0017】上記の構成において、測定に当たっては、
トランジスタTの本体部Taが、2本の信号ライン2,
2の対向部間に配置され、その4本の端子のうち、2本
の端子Tb,Tbがそれぞれ信号ライン2,2に、ま
た、他の2本の端子Tb,Tbが接地導体3,3上に置
かれ、各端子Tbが信号ライン2および接地導体3の各
吸引孔5,6の上に載せられる。この状態で吸引孔5,
6を通じて吸引排気される。この吸引排気による吸引力
で、各端子Tbは、それぞれ信号ライン2もしくは接地
導体3に密着する。これで、トランジスタTの一面側
(図示例では上面側)が空気に覆われているだけで、同
側に接触する部材がない状態で、特性の測定が可能にな
る。
トランジスタTの本体部Taが、2本の信号ライン2,
2の対向部間に配置され、その4本の端子のうち、2本
の端子Tb,Tbがそれぞれ信号ライン2,2に、ま
た、他の2本の端子Tb,Tbが接地導体3,3上に置
かれ、各端子Tbが信号ライン2および接地導体3の各
吸引孔5,6の上に載せられる。この状態で吸引孔5,
6を通じて吸引排気される。この吸引排気による吸引力
で、各端子Tbは、それぞれ信号ライン2もしくは接地
導体3に密着する。これで、トランジスタTの一面側
(図示例では上面側)が空気に覆われているだけで、同
側に接触する部材がない状態で、特性の測定が可能にな
る。
【0018】この場合、信号ライン2や接地導体3に吸
引孔5,6を開口させることで、開口部の周りで電磁界
が乱れる等の影響が出ることが考えられるが、吸引孔
5,6はその開口位置が前記した位置に限定されている
ので、電磁界に与える影響は極めて小さい。
引孔5,6を開口させることで、開口部の周りで電磁界
が乱れる等の影響が出ることが考えられるが、吸引孔
5,6はその開口位置が前記した位置に限定されている
ので、電磁界に与える影響は極めて小さい。
【0019】すなわち、信号ライン2と接地導体3との
間に信号を印加した場合、信号ライン2の下側には電気
力線が発生せず、誘電体基板1の表面側で信号ライン2
と接地導体3との間に電界が発生し、その電界は信号ラ
イン2の両側部分に集中し、信号ライン2の幅方向中央
部分の電界は無視できる程度に小さいものである。そし
て、吸引孔5は、このように電気力線がほとんどない個
所に設けられているため、電磁界にほとんど影響を与え
ない。また、接地導体3の吸引孔6も、広い形成面積の
内側に設けられているから、電磁界にほとんど影響を与
えない。
間に信号を印加した場合、信号ライン2の下側には電気
力線が発生せず、誘電体基板1の表面側で信号ライン2
と接地導体3との間に電界が発生し、その電界は信号ラ
イン2の両側部分に集中し、信号ライン2の幅方向中央
部分の電界は無視できる程度に小さいものである。そし
て、吸引孔5は、このように電気力線がほとんどない個
所に設けられているため、電磁界にほとんど影響を与え
ない。また、接地導体3の吸引孔6も、広い形成面積の
内側に設けられているから、電磁界にほとんど影響を与
えない。
【0020】なお、上記実施例では、信号ライン2の下
側に電界が発生しないように、誘電体基板1の下側に電
波吸収体層4を設けたが、誘電体基板1の厚みを使用す
る周波数の波長に対して充分に厚くし、電波吸収体層4
を省略することもできる。
側に電界が発生しないように、誘電体基板1の下側に電
波吸収体層4を設けたが、誘電体基板1の厚みを使用す
る周波数の波長に対して充分に厚くし、電波吸収体層4
を省略することもできる。
【0021】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
被測定部品の一面側に固定用部材を接触させることな
く、実装状態に極めて近い状態で高周波特性を測定する
ことができるという効果が得られることになる。
被測定部品の一面側に固定用部材を接触させることな
く、実装状態に極めて近い状態で高周波特性を測定する
ことができるという効果が得られることになる。
【図1】本発明の一実施例に係る高周波特性測定用治具
の平面図である。
の平面図である。
【図2】図1のA−A線における断面図である。
【図3】従来の高周波特性測定用治具の平面図である。
【図4】図3のB−B線における断面図である。
1 誘電体基板 2 信号ライン 3 接地導体 5,6 吸引孔
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項1】 誘電体基板(1)と、この誘電体基板
(1)上に形成された信号ライン(2)と、誘電体基板
(1)上で信号ライン(2)の両側に平行間隔をおいて
形成された接地導体(3)とを備えており、 信号ライン(2)の幅方向中央部と、接地導体(3)の
被測定部品端子(Tb)の接触個所とのそれぞれに、真
空吸着用の吸引孔(5,6)が開設されていることを特
徴とする高周波特性測定用治具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18867391A JP2671653B2 (ja) | 1991-07-29 | 1991-07-29 | 高周波特性測定用治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18867391A JP2671653B2 (ja) | 1991-07-29 | 1991-07-29 | 高周波特性測定用治具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0536772A true JPH0536772A (ja) | 1993-02-12 |
JP2671653B2 JP2671653B2 (ja) | 1997-10-29 |
Family
ID=16227849
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18867391A Expired - Fee Related JP2671653B2 (ja) | 1991-07-29 | 1991-07-29 | 高周波特性測定用治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2671653B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000004394A1 (fr) * | 1998-07-16 | 2000-01-27 | Advantest Corporation | Support pour mesure de dispositif et procede de mesure de dispositif |
JP2004279110A (ja) * | 2003-03-13 | 2004-10-07 | Soshin Electric Co Ltd | アンテナ測定装置及びアンテナ測定方法 |
JP2006208208A (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Mitsubishi Electric Corp | 検査治具 |
-
1991
- 1991-07-29 JP JP18867391A patent/JP2671653B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000004394A1 (fr) * | 1998-07-16 | 2000-01-27 | Advantest Corporation | Support pour mesure de dispositif et procede de mesure de dispositif |
JP2004279110A (ja) * | 2003-03-13 | 2004-10-07 | Soshin Electric Co Ltd | アンテナ測定装置及びアンテナ測定方法 |
JP2006208208A (ja) * | 2005-01-28 | 2006-08-10 | Mitsubishi Electric Corp | 検査治具 |
JP4509811B2 (ja) * | 2005-01-28 | 2010-07-21 | 三菱電機株式会社 | 検査治具 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2671653B2 (ja) | 1997-10-29 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |