JPH0536772A - 高周波特性測定用治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 被測定部品の一面側に接触する固定用部材を
なくし、実装状態に極めて近い状態で高周波特性を測定
しうるようにする。 【構成】 誘電体基板１と、この誘電体基板１上に形成
された信号ライン２と、誘電体基板１上で信号ライン２
の両側に平行間隔をおいて形成された接地導体３とを備
えてなる高周波特性測定用治具であって、信号ライン２
の幅方向中央部と、接地導体３の被測定部品端子Ｔｂの
接触個所とのそれぞれには真空吸着用の吸引孔５，６が
開設されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、トランジスタの高周波
特性の測定に用いる治具に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、トランジスタの高周波特性を測定
するには、図３および図４に示すような治具が用いられ
る。図３は治具の平面図、図４は図３のＢ−Ｂ線におけ
る断面図である。

【０００３】従来の治具は、金属ベース２１と、誘電体
基板２２と、信号ライン２３とからなる。金属ベース２
１は、接地導体となるもので、その上に誘電体基板２２
が設けられている。この誘電体基板２２のほぼ中央部に
は、被測定部品であるトランジスタＴの本体部Ｔａを収
容しうる程度の大きさのキャビティ２４があり、このキ
ャビティ２４を中心に、その両側の誘電体基板２２上に
信号ライン２３が形成されており、この信号ライン２３
と誘電体基板２２と金属ベース２１とで、マイクロスト
リップラインを構成している。また、キャビティ２４の
個所で信号ライン２３と直交する方向に接触用の接地導
体２５があり、この接地導体２５は、金属ベース２１に
連続している。

【０００４】測定に当たっては、トランジスタＴの本体
部Ｔａがキャビティ２４内に収容され、その４本の端子
のうち、２本の端子Ｔｂ，Ｔｂがそれぞれ信号ライン２
３上に載せられ、また、他の２本の端子Ｔｂ，Ｔｂが接
触用接地導体２５に載せられる。そして、これらの端子
Ｔｂは、押え棒２６の押し付けにより、信号ライン２３
や接触用接地導体２５に圧着される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、トランジス
タを回路基板等に実装した状態では、回路基板の反対側
でトランジスタは空気に覆われているだけで、これに接
するものがない。

【０００６】これに対して、従来の治具では、トランジ
スタＴの一面側に押え棒２６のような固定用部材が接触
する。押え棒２６には、比誘電率が空気に近いテフロン
等の材料のものが使用されているが、トランジスタに空
気以外の部材が接触することで、その一面側の電界が実
装状態とは異なっており、これが特性インピーダンス等
の測定結果に影響を及ぼす。押え棒２６の形状や比誘電
率によっては、共振を起こすことがある。そのため、実
装時のトランジスタの高周波特性を正確に評価できない
という問題がある。

【０００７】本発明は、かかる従来の不都合に鑑みて創
案されたものであって、被測定部品の一面側に接触する
固定用部材をなくし、実装状態に近い状態で高周波特性
を測定しうる高周波特性測定用治具の提供を目的として
いる。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明にかかる高周波特
性測定用治具は、このような目的を達成するために、誘
電体基板と、この誘電体基板上に形成された信号ライン
と、誘電体基板上で信号ラインの両側に平行間隔をおい
て形成された接地導体とを備えており、信号ラインの幅
方向中央部と、接地導体の被測定部品端子の接触個所と
のそれぞれに、真空吸着用の吸引孔が開設されているこ
とを特徴とするものである。

【０００９】

【作用】上記構成によれば、被測定部品の各端子は信号
ラインもしくは接地導体に載った状態で吸引孔を通じて
吸引排気されることにより、信号ラインもしくは接地導
体に密着することになる。そこで、被測定部分の一面側
に接触する部材がない状態での特性の測定が可能にな
る。

【００１０】この場合、信号ラインおよび接地導体に設
けられた吸引孔が電磁界に影響することが考えられる
が、信号ラインでは、接地導体との間で発生する電界が
信号ラインの両側部分に集中し、幅方向中央部分にはほ
とんど電気力線が存在せず、この中央部分に吸引孔が開
口しているため、吸引孔が電磁界に与える影響は、無視
しうるほど小さい。また、接地導体の吸引孔も、同様
に、電磁界にほとんど影響を与えない。

【００１１】

【実施例】以下、本発明の詳細を図１および図２に示す
一実施例に基づいて説明する。

【００１２】図１は本発明の一実施例に係る高周波特性
測定用治具の平面図、図２は図１のＡ−Ａ線における断
面図である。

【００１３】これらの図に示すように、この実施例の治
具は、誘電体基板１と、信号ライン２と、接地導体３
と、電波吸収体層４からなる。

【００１４】誘電体基板１は、比較的厚めのもので、下
面側に電波吸収体層４が設けられている。この誘電体基
板１の表面には、信号ライン２および接地導体３がいず
れも金属膜により形成されている。

【００１５】信号ライン２は、２本が直線状に配置され
ており、その２本の信号ライン２，２の対向部間に、被
測定部品であるトランジスタＴの本体部Ｔａを配置しう
る程度のスペースが確保されている。そして、各信号ラ
イン２の幅方向中央部分で、トランジスタの端子Ｔｂが
載置される個所に、吸引孔５が開設されている。

【００１６】接地導体３は、信号ライン２の両側に一定
の平行間隔をおいて形成されており、この接地導体３
と、信号ライン２と、誘電体基板１とで、コプレーナウ
ェーブガイドを構成している。したがって、その特性イ
ンピーダンスは、信号ライン２の幅と、信号ライン２と
接地導体３との間隔と、誘電体基板１の厚さと、誘電体
基板１の誘電率とで決まる。接地導体３の各部のうち、
縁部から離れた個所で、トランジスタＴの端子Ｔｂが載
置される位置に、吸引孔６が開設されている。

【００１７】上記の構成において、測定に当たっては、
トランジスタＴの本体部Ｔａが、２本の信号ライン２，
２の対向部間に配置され、その４本の端子のうち、２本
の端子Ｔｂ，Ｔｂがそれぞれ信号ライン２，２に、ま
た、他の２本の端子Ｔｂ，Ｔｂが接地導体３，３上に置
かれ、各端子Ｔｂが信号ライン２および接地導体３の各
吸引孔５，６の上に載せられる。この状態で吸引孔５，
６を通じて吸引排気される。この吸引排気による吸引力
で、各端子Ｔｂは、それぞれ信号ライン２もしくは接地
導体３に密着する。これで、トランジスタＴの一面側
（図示例では上面側）が空気に覆われているだけで、同
側に接触する部材がない状態で、特性の測定が可能にな
る。

【００１８】この場合、信号ライン２や接地導体３に吸
引孔５，６を開口させることで、開口部の周りで電磁界
が乱れる等の影響が出ることが考えられるが、吸引孔
５，６はその開口位置が前記した位置に限定されている
ので、電磁界に与える影響は極めて小さい。

【００１９】すなわち、信号ライン２と接地導体３との
間に信号を印加した場合、信号ライン２の下側には電気
力線が発生せず、誘電体基板１の表面側で信号ライン２
と接地導体３との間に電界が発生し、その電界は信号ラ
イン２の両側部分に集中し、信号ライン２の幅方向中央
部分の電界は無視できる程度に小さいものである。そし
て、吸引孔５は、このように電気力線がほとんどない個
所に設けられているため、電磁界にほとんど影響を与え
ない。また、接地導体３の吸引孔６も、広い形成面積の
内側に設けられているから、電磁界にほとんど影響を与
えない。

【００２０】なお、上記実施例では、信号ライン２の下
側に電界が発生しないように、誘電体基板１の下側に電
波吸収体層４を設けたが、誘電体基板１の厚みを使用す
る周波数の波長に対して充分に厚くし、電波吸収体層４
を省略することもできる。

【００２１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
被測定部品の一面側に固定用部材を接触させることな
く、実装状態に極めて近い状態で高周波特性を測定する
ことができるという効果が得られることになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る高周波特性測定用治具
の平面図である。

【図２】図１のＡ−Ａ線における断面図である。

【図３】従来の高周波特性測定用治具の平面図である。

【図４】図３のＢ−Ｂ線における断面図である。

【符号の説明】

１ 誘電体基板 ２ 信号ライン ３ 接地導体 ５，６ 吸引孔

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】 誘電体基板（１）と、この誘電体基板
   （１）上に形成された信号ライン（２）と、誘電体基板
   （１）上で信号ライン（２）の両側に平行間隔をおいて
   形成された接地導体（３）とを備えており、 信号ライン（２）の幅方向中央部と、接地導体（３）の
   被測定部品端子（Ｔｂ）の接触個所とのそれぞれに、真
   空吸着用の吸引孔（５，６）が開設されていることを特
   徴とする高周波特性測定用治具。