JPH053654B2 - - Google Patents
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- JPH053654B2 JPH053654B2 JP58144112A JP14411283A JPH053654B2 JP H053654 B2 JPH053654 B2 JP H053654B2 JP 58144112 A JP58144112 A JP 58144112A JP 14411283 A JP14411283 A JP 14411283A JP H053654 B2 JPH053654 B2 JP H053654B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/65—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition
- G11B5/656—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition containing Co
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は薄膜堆積法により形成される磁気記録
媒体、特に耐食性の優れた磁気記録媒体に関する
ものである。
媒体、特に耐食性の優れた磁気記録媒体に関する
ものである。
近年、真空蒸着法、スパツタリング法、メツキ
法等の薄膜堆積法により磁気記録媒体を製造する
研究開発が活発化している。これらの製法によつ
て作られた磁気記録媒体は、残留磁束密度が高
い、保磁力を大きくできる、磁性層を薄くで
きる等の高密度記録化のための条件を非常によく
満足している。従来、この記録媒体の磁性材料と
しては、CoとNiを主成分とする合金が主に用い
られており、なかでもCo−20％Ni合金が多く検
討されている。その理由はこの合金が比較的耐食
性が良いこと、70wt％以上のCoを含む合金はh.
c.p構造を持ち、磁気異方性をコントロールしや
すく、面内異方性を卓越させることが容易である
ためといわれる。しかしながら、この合金はCo
を70％以上、通常は80％前後も含んでいるために
極めて高価であり、しかもCoは国際情勢の変化
により価格が大きく変動するという問題を有して
いる。また、耐食性も厳しい環境条件に対しては
不十分である。而して本発明は上記欠点を改善す
べく、Coの含有量を少くし、安価で安定供給が
可能な磁気記録媒体を提供するとともに、その磁
気特性及び耐食性においても優れた性能を有する
磁気記録媒体の提供を主たる目的とする。
法等の薄膜堆積法により磁気記録媒体を製造する
研究開発が活発化している。これらの製法によつ
て作られた磁気記録媒体は、残留磁束密度が高
い、保磁力を大きくできる、磁性層を薄くで
きる等の高密度記録化のための条件を非常によく
満足している。従来、この記録媒体の磁性材料と
しては、CoとNiを主成分とする合金が主に用い
られており、なかでもCo−20％Ni合金が多く検
討されている。その理由はこの合金が比較的耐食
性が良いこと、70wt％以上のCoを含む合金はh.
c.p構造を持ち、磁気異方性をコントロールしや
すく、面内異方性を卓越させることが容易である
ためといわれる。しかしながら、この合金はCo
を70％以上、通常は80％前後も含んでいるために
極めて高価であり、しかもCoは国際情勢の変化
により価格が大きく変動するという問題を有して
いる。また、耐食性も厳しい環境条件に対しては
不十分である。而して本発明は上記欠点を改善す
べく、Coの含有量を少くし、安価で安定供給が
可能な磁気記録媒体を提供するとともに、その磁
気特性及び耐食性においても優れた性能を有する
磁気記録媒体の提供を主たる目的とする。
本発明において、堆積法により形成される磁気
記録媒体は、磁性層の組成が （Fe1-xCox）1-(a+b)NiaMb （ＭはＶ，Nb，Ta，Mo及びＷより選ばれる少
なくとも一種の元素）で、組成比が０＜Ｘ0.5，
0.05ａ0.25及び0.005ｂ0.12であることを
特徴とするものであり、誘導加熱蒸着法、抵抗加
熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、スパツタリング
法、イオンプレーテイング法、メツキ法等の薄膜
堆積法を利用して形成できるものである。
記録媒体は、磁性層の組成が （Fe1-xCox）1-(a+b)NiaMb （ＭはＶ，Nb，Ta，Mo及びＷより選ばれる少
なくとも一種の元素）で、組成比が０＜Ｘ0.5，
0.05ａ0.25及び0.005ｂ0.12であることを
特徴とするものであり、誘導加熱蒸着法、抵抗加
熱蒸着法、電子ビーム蒸着法、スパツタリング
法、イオンプレーテイング法、メツキ法等の薄膜
堆積法を利用して形成できるものである。
磁性層材料として、Co元素とFe元素の和が
60wt％以上でFeが主成分となるようにCo元素を
Fe元素に置換することにより磁気的特性は、従
来のCo−Ni合金と同等以上のものが得られるこ
とが認められた。しかしながら、Co元素をFe元
素で置換することにより耐食性が劣化するが、
Ｖ，Nb，Ta，Mo，Ｗ元素を単独もしくは適当
な比率で混合し添加することにより磁気特性を損
うことなく耐食性においても、従来のCo−Ni合
金と同等以上の改善を図ることができた。
60wt％以上でFeが主成分となるようにCo元素を
Fe元素に置換することにより磁気的特性は、従
来のCo−Ni合金と同等以上のものが得られるこ
とが認められた。しかしながら、Co元素をFe元
素で置換することにより耐食性が劣化するが、
Ｖ，Nb，Ta，Mo，Ｗ元素を単独もしくは適当
な比率で混合し添加することにより磁気特性を損
うことなく耐食性においても、従来のCo−Ni合
金と同等以上の改善を図ることができた。
本発明の磁気記録媒体についてさらに詳細に説
明する。本発明に用いる磁性材料においてFe元
素は原子１個あたりの磁気モーメントを高め、
Br（残留磁束密度）を増加させると同時に、展延
性を増し磁性層のワレ、ヒビの発生を防止する。
一方、前記した如く、Fe元素が増すと耐食性が
急激に悪くなると同時に、残留磁束密度Brを増
加させる効果はむしろ低下する。またNiは耐食
性の改善、及び展延性の向上効果を有し磁性層の
ワレ、ヒビの発生を防止する。またＶ，Nb，
Ta，Mo，Ｗは単独または混合し添加することに
より、耐食性の向上が認められるとともに磁性層
の耐摩耗性改善にも有効である。ただし添加量が
多すぎるとBrが減少する等磁性層の磁気特性を
低下させる。
明する。本発明に用いる磁性材料においてFe元
素は原子１個あたりの磁気モーメントを高め、
Br（残留磁束密度）を増加させると同時に、展延
性を増し磁性層のワレ、ヒビの発生を防止する。
一方、前記した如く、Fe元素が増すと耐食性が
急激に悪くなると同時に、残留磁束密度Brを増
加させる効果はむしろ低下する。またNiは耐食
性の改善、及び展延性の向上効果を有し磁性層の
ワレ、ヒビの発生を防止する。またＶ，Nb，
Ta，Mo，Ｗは単独または混合し添加することに
より、耐食性の向上が認められるとともに磁性層
の耐摩耗性改善にも有効である。ただし添加量が
多すぎるとBrが減少する等磁性層の磁気特性を
低下させる。
以上の結果として良好な磁性層の組成は、
（Fe1-xCox）1-(a+b)NiaMb
（ＭはＶ，Nb，Ta，Mo及びＷより選ばれる少
なくとも一種の元素）で、組成比が０＜Ｘ0.5，
0.05ａ0.25および0.005ｂ0.12の範囲のも
のであり、特にＶ，Nb，Ta，Mo，Ｗが単独ま
たは合計で２〜10wt％、Niが８〜20wt％、Coが
15〜40wt％、残りがFeのものが好適である。さ
らに最適な組成は、Ｖ，Nb，Ta，Mo，Ｗが単
独または合計で２〜9wt％、Niが10〜16wt％、
Coが20〜30wt％残りがFeの範囲にある。
なくとも一種の元素）で、組成比が０＜Ｘ0.5，
0.05ａ0.25および0.005ｂ0.12の範囲のも
のであり、特にＶ，Nb，Ta，Mo，Ｗが単独ま
たは合計で２〜10wt％、Niが８〜20wt％、Coが
15〜40wt％、残りがFeのものが好適である。さ
らに最適な組成は、Ｖ，Nb，Ta，Mo，Ｗが単
独または合計で２〜9wt％、Niが10〜16wt％、
Coが20〜30wt％残りがFeの範囲にある。
以下実施例により本発明を説明する。第１図は
磁気記録媒体の１つである蒸着テープの製造装置
を示す。真空槽１内にフイルム巻出し軸２、巻取
り軸３、中間フリーローラ４、冷却キヤン５、蒸
着材料収納容器７、電子ビーム発生源８が配置さ
れている、幅100mm、厚さ15μｍのポリエチレン
テレフタレートのフイルム９はフイルム巻出し軸
２から中間フリーローラ４及び冷却キヤン５を経
てフイルム巻取り軸３に送られる。蒸着材料６は
蒸着材料収納容器７内に入れられ、冷却キヤン５
と対向して配置され、電子ビーム発生源８からの
電子ビームにより加熱される。加熱された蒸着材
料は蒸気流６′となり冷却キヤン５上のフイルム
９に付着して磁性層を形成するが、防着板１１に
よりフイルム９上に蒸着される蒸気流の入射角が
60〜90゜に制限される。真空槽１内は排気装置１
０により成膜中の真空度を１×10-4〜５×
10-6Torrに保持した。フイルム送り速度は毎分
10ｍで、形成された磁性層の厚さはほぼ1000Åで
ある。
磁気記録媒体の１つである蒸着テープの製造装置
を示す。真空槽１内にフイルム巻出し軸２、巻取
り軸３、中間フリーローラ４、冷却キヤン５、蒸
着材料収納容器７、電子ビーム発生源８が配置さ
れている、幅100mm、厚さ15μｍのポリエチレン
テレフタレートのフイルム９はフイルム巻出し軸
２から中間フリーローラ４及び冷却キヤン５を経
てフイルム巻取り軸３に送られる。蒸着材料６は
蒸着材料収納容器７内に入れられ、冷却キヤン５
と対向して配置され、電子ビーム発生源８からの
電子ビームにより加熱される。加熱された蒸着材
料は蒸気流６′となり冷却キヤン５上のフイルム
９に付着して磁性層を形成するが、防着板１１に
よりフイルム９上に蒸着される蒸気流の入射角が
60〜90゜に制限される。真空槽１内は排気装置１
０により成膜中の真空度を１×10-4〜５×
10-6Torrに保持した。フイルム送り速度は毎分
10ｍで、形成された磁性層の厚さはほぼ1000Åで
ある。
第２図に、上記方法により作製した蒸着テープ
の磁性層の組成と耐食性試験の結果を示す。耐食
性試験は上記テープを60℃、湿度90％の恒温恒湿
槽内に1000時間放置したのち、テープの残留磁束
密度Brの変化を測定することにより行なつた。
第２図において、◎はBrの低下が５％未満、〇
は５〜10％、×は10％以上を表す。
の磁性層の組成と耐食性試験の結果を示す。耐食
性試験は上記テープを60℃、湿度90％の恒温恒湿
槽内に1000時間放置したのち、テープの残留磁束
密度Brの変化を測定することにより行なつた。
第２図において、◎はBrの低下が５％未満、〇
は５〜10％、×は10％以上を表す。
第３図に家庭用VTRデツキを用い記録再生し
た時の再生出力を示す。本発明のテープNo.３の再
生出力を曲線２０で、比較のため同一条件で作製
したCo−NiテープNo.５の再生出力を曲線２１で
示した。本発明テープの再生出力は従来テープNo.
５に比べ同等ないし略2dB高い。No.３テープのほ
か、第２図中のNo.７、No.11、No.14、No.17、No.19の
組成のテープについても良好な耐食性と同時に
Co−Niテープ以上の再生出力が得られた。
た時の再生出力を示す。本発明のテープNo.３の再
生出力を曲線２０で、比較のため同一条件で作製
したCo−NiテープNo.５の再生出力を曲線２１で
示した。本発明テープの再生出力は従来テープNo.
５に比べ同等ないし略2dB高い。No.３テープのほ
か、第２図中のNo.７、No.11、No.14、No.17、No.19の
組成のテープについても良好な耐食性と同時に
Co−Niテープ以上の再生出力が得られた。
以上述べたように、本発明の磁気記録媒体は
Feを主成分とするために従来のCoを主成分とす
るCo−Ni合金系記録媒体と比べ、非常に安価に
なるばかりでなく、Ｖ，Nb，Ta，Mo，Ｗの少
くとも一種を添加することにより、Feが主成分
の磁気記録媒体の欠点である耐食性を大幅に改善
し、Co−Ni系合金と同等あるいはそれ以上の再
生出力、耐食性を有するものである。
Feを主成分とするために従来のCoを主成分とす
るCo−Ni合金系記録媒体と比べ、非常に安価に
なるばかりでなく、Ｖ，Nb，Ta，Mo，Ｗの少
くとも一種を添加することにより、Feが主成分
の磁気記録媒体の欠点である耐食性を大幅に改善
し、Co−Ni系合金と同等あるいはそれ以上の再
生出力、耐食性を有するものである。
第１図は、本実施例に用いた蒸着テープ作製装
置の説明図である。第２図は、磁性層の組成と耐
食性テストの結果の対比を示す表である。第３図
は、第２図のNo.３のテープと、Co−Niテープの
再生出力の各周波数における比較を表わしたグラ
フである。 １…真空槽、２…フイルム巻出し軸、３…フイ
ルム巻取り軸、４…中間フリーローラ、５…冷却
キヤン、６…蒸着材料、７…蒸着材料収納容器、
８…電子ビーム発生源、９…ポリエチレンテレフ
タレートフイルム、１０…排気装置、１１…防着
板、２０…本発明の実施例の再生出力曲線、２１
…Co−Niの再生出力曲線。
置の説明図である。第２図は、磁性層の組成と耐
食性テストの結果の対比を示す表である。第３図
は、第２図のNo.３のテープと、Co−Niテープの
再生出力の各周波数における比較を表わしたグラ
フである。 １…真空槽、２…フイルム巻出し軸、３…フイ
ルム巻取り軸、４…中間フリーローラ、５…冷却
キヤン、６…蒸着材料、７…蒸着材料収納容器、
８…電子ビーム発生源、９…ポリエチレンテレフ
タレートフイルム、１０…排気装置、１１…防着
板、２０…本発明の実施例の再生出力曲線、２１
…Co−Niの再生出力曲線。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 非磁性体基体上に薄膜堆積法により形成され
た磁性層を有する磁気記録媒体において、前記磁
性層の組成が （Fe1-xCox）1-(a+b)NiaMb （ＭはＶ，Nb，Ta，Mo及びＷより選ばれる少
なくとも一種の元素）で、組成比が０＜Ｘ0.5，
0.05ａ0.25及び0.005ｂ0.12であることを
特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58144112A JPS6035325A (ja) | 1983-08-06 | 1983-08-06 | 磁気記録媒体 |
| US06/635,234 US4567116A (en) | 1983-08-06 | 1984-07-27 | Magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58144112A JPS6035325A (ja) | 1983-08-06 | 1983-08-06 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6035325A JPS6035325A (ja) | 1985-02-23 |
| JPH053654B2 true JPH053654B2 (ja) | 1993-01-18 |
Family
ID=15354460
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58144112A Granted JPS6035325A (ja) | 1983-08-06 | 1983-08-06 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6035325A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS524805A (en) * | 1975-07-01 | 1977-01-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | Production method of magnetic recording media |
| JPS5629A (en) * | 1979-06-15 | 1981-01-06 | Ulvac Corp | Vacuum-evaporated film type magnetic recording substance and its manufacture |
| JPS567231A (en) * | 1979-06-27 | 1981-01-24 | Ulvac Corp | Vapor deposition film type magnetic recording material and its production |
-
1983
- 1983-08-06 JP JP58144112A patent/JPS6035325A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS524805A (en) * | 1975-07-01 | 1977-01-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | Production method of magnetic recording media |
| JPS5629A (en) * | 1979-06-15 | 1981-01-06 | Ulvac Corp | Vacuum-evaporated film type magnetic recording substance and its manufacture |
| JPS567231A (en) * | 1979-06-27 | 1981-01-24 | Ulvac Corp | Vapor deposition film type magnetic recording material and its production |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6035325A (ja) | 1985-02-23 |
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