JPH0534103Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は、被処理物を加熱昇温するために用
いる加熱炉に関するもので、更に述べると、加熱
炉内を急激に冷却したり、または、加熱したりす
る強制降温装置に関するものである。

従来の技術 加熱炉として、例えば、半導体製造などに用い
る拡散炉がある。

拡散炉でウエハを処理する場合には、ローテー
シヨンを早くし炉の稼働率を良くするため熱処理
終了後短時間で炉を冷却する必要がある。

そこで、従来、第２図に示す様に、均熱管１と
ヒータ２との空間部Ｓに冷却空気を圧送して炉内
を強制冷却している。

考案が解決しようとする問題点 従来例の強制降温方法では、高温領域、即ち
1200℃〜800℃の範囲では、比較的順調に強制冷
却されるが、低温領域、すなわち800℃に満たな
い範囲では、効果的降温が期待できない。

それは、比較的厚く形成されている断熱材３に
大きな熱量が蓄積されているため急激に炉内が降
温しないのである。

この考案は、上記事情に鑑み、低温領域でも強
制降温出来るようにすることである。

問題点を解決するための手段 この考案は、ヒータの外周を断熱材で覆い、該
断熱材の外周を流体通路を介して外部カバーで被
覆した加熱炉において前記流体通路を断熱材と同
心状の筒状形に形成し、その内部に筒状バツフア
を同心的に設け該バツフアにその軸方向に沿つて
複数の通孔を設けたことを特徴とする加熱炉によ
り前記目的を達成しようとするものである。

作 用 流体通路に冷却流体を流すと、高温となつてい
る断熱材が冷却され、その熱量が奪われるので、
炉内は、急激に冷却される。

実施例 この考案の一実施例を、添付図面により説明す
る。

ヒータの外周は、断熱材１１により覆われてい
るが、この断熱材１１の厚さは、従来例のそれに
比し極めて薄く、例えば、10〜20mmである。断熱
材１１の外周は、外部カバ１３により覆われてお
り、又、この断熱材１１と外部カバ１３との間に
は、流体通路１２が形成されている。流体通路１
２には、入口１４と出口１５が設けられ、また、
その中間部には、円筒状のバツフア１６が配設さ
れている。

バツフア１６には、多数の通孔１７が形成され
ているが、この通孔の数は、入口１４側から出口
１５側に向かうほど多くし、均熱管１８が均一に
冷却されるようにしている。

なお、通孔１７の面積を、入口１４側から出口
１５側に向かうほど大きくしても、上記のような
均熱効果を得ることが出来る。

均熱管１８内に装着した石英管（図示せず）の
なかにウエハを収容したボート（図示せず）を挿
入した後、ヒータ１０により炉内を加熱しウエハ
の熱処理を行う。

この熱処理終了後、入口１４から冷却流体、例
えば、空気を流体通路内に注入すると、該空気
は、バツフアの通孔１７を通りながら矢印Ａ１６
方向に流れ、断熱材１１の熱を奪いながら出口１
５から排出される。

このとき、通孔１７の数は、入口側から出口側
に向かうほど多くなつているので、断熱材１１は
均等に冷却される。

従つて、炉内の全域が、均等に冷却されるので
石英管内のウエハに悪影響を及ぼすことがない。
なお、前記実施例では、流体通路に冷却流体を流
す場合について述べたが、冷却流体の代わりに加
熱流体を流すと、炉内を強制昇温させ得ることは
勿論である。

考案の効果 この考案は、流体通路が断熱材と同心状の筒状
形に形成し、その内部に筒状バツフアを同心的に
設け、該バツフアにその軸方向に沿つて複数の通
孔を設けているので、例えば、流体通路の入口に
冷却流体を注入すると、該冷却流体はバツフアの
通孔を通り、流体通路の内周側から外周側、又は
その逆方向に流れ蛇行しながら断熱材の全外周面
に接触して熱を奪いながらゆつくりと出口に向
う。

そのため炉内の全域が均等に冷却されるので、
石英管内のウエハに悪影響を及ぼすことがない。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この考案の実施例を示す長手方向断
面図、第２図は、従来例を示す縦断面図である。 １０……ヒータ、１１……断熱材、１２……流
体通路、１３……外部カバ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ヒータの外周を断熱材で覆い、該断熱材の外
   周を流体通路を介して外部カバーで被覆した加
   熱炉において前記流体通路を断熱材と同心状の
   筒状形に形成し、その内部に筒状バツフアを同
   心的に設け、該バツフアにその軸方向に沿つて
   複数の通孔を設けたことを特徴とする加熱炉の
   強制降温装置。 (2) 通孔の数が、流体通路の入口側から出口側に
   向かつて次第に多くなることを特徴とする実用
   新案登録請求の範囲第１項記載の加熱炉の強制
   降温装置。 (3) 通孔の面積が、流体通路の入口側から出口側
   に向かつて次第に大きくなることを特徴とする
   実用新案登録請求の範囲第１項記載の加熱炉の
   強制降温装置。