JPH0533828A - 振動絶縁方法 - Google Patents
振動絶縁方法Info
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- JPH0533828A JPH0533828A JP3187676A JP18767691A JPH0533828A JP H0533828 A JPH0533828 A JP H0533828A JP 3187676 A JP3187676 A JP 3187676A JP 18767691 A JP18767691 A JP 18767691A JP H0533828 A JPH0533828 A JP H0533828A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 酸化物超電体を用いて基台からの振動を絶縁
する。 【構成】 床面６に固定され、上面にＭＰＭＧ法により
製作したＹ系の酸化物超電導物質よりなる複数個のバル
ク材４を固設した基台３と、下面にバルク材４と対向す
る位置に複数個の磁石２を固設した機器搭載台１とをス
ペーサを介し所定の間隔に維持して前記バルク材に磁束
を侵入させ、次いで容器７の内部に液体窒素１０を供給
してバルク材４を冷却した後、スペーサを除去して機器
搭載台１を基台３から浮上させる。機器搭載台１は磁石
２とバルク材４の反発力により浮上し、完全な非接触型
の振動絶縁方法が得られる。
する。 【構成】 床面６に固定され、上面にＭＰＭＧ法により
製作したＹ系の酸化物超電導物質よりなる複数個のバル
ク材４を固設した基台３と、下面にバルク材４と対向す
る位置に複数個の磁石２を固設した機器搭載台１とをス
ペーサを介し所定の間隔に維持して前記バルク材に磁束
を侵入させ、次いで容器７の内部に液体窒素１０を供給
してバルク材４を冷却した後、スペーサを除去して機器
搭載台１を基台３から浮上させる。機器搭載台１は磁石
２とバルク材４の反発力により浮上し、完全な非接触型
の振動絶縁方法が得られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は振動絶縁方法に係り、特
に酸化物超電導物質よりなるバルク材を用いて定盤の振
動を防止する方法に関する。
に酸化物超電導物質よりなるバルク材を用いて定盤の振
動を防止する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】定盤あるいは半導体のステッパ装置や電
子顕微鏡等の各種の機器を搭載する台を床面からの振動
から防止するために、磁気力を利用する方法が知られて
いる。この方法は、定盤や機器搭載台を磁石の反発力ま
たは吸引力を利用して浮上させるもので、大別して
（イ）反発方式と（ロ）吸引方式とに分けることができ
る。 上記（イ）の反発方式は、基台と、この上に配置
される定盤や機器搭載台の対向面にそれぞれ複数個の磁
石を同極側を対向して固設し、磁石の同極の反発力を利
用して定盤や機器搭載台を基台から浮上させるもので、
一方上記（ロ）の吸引方式は、基台と、この上に配置さ
れる定盤や機器搭載台の対向面にそれぞれ複数個の磁石
を異極側を対向して固設し、そのギャップを一定に制御
する手段を設けたものである。
子顕微鏡等の各種の機器を搭載する台を床面からの振動
から防止するために、磁気力を利用する方法が知られて
いる。この方法は、定盤や機器搭載台を磁石の反発力ま
たは吸引力を利用して浮上させるもので、大別して
（イ）反発方式と（ロ）吸引方式とに分けることができ
る。 上記（イ）の反発方式は、基台と、この上に配置
される定盤や機器搭載台の対向面にそれぞれ複数個の磁
石を同極側を対向して固設し、磁石の同極の反発力を利
用して定盤や機器搭載台を基台から浮上させるもので、
一方上記（ロ）の吸引方式は、基台と、この上に配置さ
れる定盤や機器搭載台の対向面にそれぞれ複数個の磁石
を異極側を対向して固設し、そのギャップを一定に制御
する手段を設けたものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記
（イ）の反発方式では、対向する各磁石には垂直方向の
反発力と同時に横方向の力が常に働き、対向位置で安定
しないため、横方向のずれを抑えるストッパーが必要と
なる。このため、実際には非接触型の浮上方式を維持す
ることが困難であるという問題を生ずる。また吸引方式
に比較して効率が悪いという問題もある。
（イ）の反発方式では、対向する各磁石には垂直方向の
反発力と同時に横方向の力が常に働き、対向位置で安定
しないため、横方向のずれを抑えるストッパーが必要と
なる。このため、実際には非接触型の浮上方式を維持す
ることが困難であるという問題を生ずる。また吸引方式
に比較して効率が悪いという問題もある。
【０００４】一方、上記（ロ）の吸引方式では、単に吸
引力だけであると、最終的には接触してしまうため、電
磁石の反発力や吸引力を利用してギャップを一定に制御
する必要があり、一般には変位センサーを用いて浮上代
を一定に制御することが行われているが、装置およびそ
の取扱いが複雑になるという欠点がある。本発明は以上
の問題を解決するためになされたもので、構造が簡単
で、完全な非接触型の浮上方式が得られる振動絶縁方法
を提供することをその目的とする。
引力だけであると、最終的には接触してしまうため、電
磁石の反発力や吸引力を利用してギャップを一定に制御
する必要があり、一般には変位センサーを用いて浮上代
を一定に制御することが行われているが、装置およびそ
の取扱いが複雑になるという欠点がある。本発明は以上
の問題を解決するためになされたもので、構造が簡単
で、完全な非接触型の浮上方式が得られる振動絶縁方法
を提供することをその目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、基台上に定盤を配置し、基台と定盤との
間に振動絶縁手段を備えた振動絶縁装置の振動を絶縁す
る方法において、振動絶縁手段に磁石と酸化物超電導物
質よりなるバルク材との反発力を利用するもので，本願
第１の発明は、基台または定盤のいずれか一方の対向面
に複数個の磁石を固設するとともに、他方の対向面の磁
石と対向する位置に酸化物超電導物質よりなるバルク材
を固設し、基台と定盤とをスペーサを介し所定の間隔に
維持してバルク材に磁束を侵入させた後、バルク材を液
体窒素温度以下に冷却し、次いでスペーサを除去して定
盤を基台から浮上させるようにしたものである．上記発
明においては、酸化物超電導物質よりなるバルク材は、
磁束の侵入後に冷却されるが、このバルク材を冷却後に
磁束を侵入させるようにすることもできる。
に、本発明は、基台上に定盤を配置し、基台と定盤との
間に振動絶縁手段を備えた振動絶縁装置の振動を絶縁す
る方法において、振動絶縁手段に磁石と酸化物超電導物
質よりなるバルク材との反発力を利用するもので，本願
第１の発明は、基台または定盤のいずれか一方の対向面
に複数個の磁石を固設するとともに、他方の対向面の磁
石と対向する位置に酸化物超電導物質よりなるバルク材
を固設し、基台と定盤とをスペーサを介し所定の間隔に
維持してバルク材に磁束を侵入させた後、バルク材を液
体窒素温度以下に冷却し、次いでスペーサを除去して定
盤を基台から浮上させるようにしたものである．上記発
明においては、酸化物超電導物質よりなるバルク材は、
磁束の侵入後に冷却されるが、このバルク材を冷却後に
磁束を侵入させるようにすることもできる。
【０００６】これは本願第２の発明として、基台または
定盤のいずれか一方の対向面に複数個の酸化物超電導物
質よりなるバルク材を固設し、基台と定盤とをスペーサ
を介し所定の間隔に維持してバルク材を液体窒素温度以
下に冷却し、次いで他方の対向面のバルク材と対向する
位置に磁石を固設してバルク材に磁束を侵入させた後、
スペーサを除去する方法として記述される。
定盤のいずれか一方の対向面に複数個の酸化物超電導物
質よりなるバルク材を固設し、基台と定盤とをスペーサ
を介し所定の間隔に維持してバルク材を液体窒素温度以
下に冷却し、次いで他方の対向面のバルク材と対向する
位置に磁石を固設してバルク材に磁束を侵入させた後、
スペーサを除去する方法として記述される。
【０００７】この場合、バルク材を液体窒素温度以下に
冷却して磁束を侵入させ、次いで他方の対向面のバルク
材と対向する位置に磁石を固設した後、スペーサを除去
することも含む。本発明における酸化物超電導物質より
なるバルク材としては、溶融法、即ち、ＭＰＭＧ法（Ｍ
ｅｌｔ−Ｐｏｗｄｅｒ−Ｍｅｌｔ−Ｇｒｏｗｔｈ法）に
より製造した所定形状の成型体が用いられる。
冷却して磁束を侵入させ、次いで他方の対向面のバルク
材と対向する位置に磁石を固設した後、スペーサを除去
することも含む。本発明における酸化物超電導物質より
なるバルク材としては、溶融法、即ち、ＭＰＭＧ法（Ｍ
ｅｌｔ−Ｐｏｗｄｅｒ−Ｍｅｌｔ−Ｇｒｏｗｔｈ法）に
より製造した所定形状の成型体が用いられる。
【０００８】この方法は、例えばＹ2Ｏ3 、ＢａＣＯ3
およびＣｕＯの混合粉末を仮焼→溶融→急冷した後、粉
砕→混合→成型して（２１１）相（Ｙ：Ｂａ：Ｃｕ＝
２：１：１のモル比、以下同じ。）＋液相の領域まで再
加熱し、室温まで徐冷したもので、出発組成を（１２
３）相から（２１１）相側へずらすことにより過剰の
（２１１）相が（１２３）相のマトリックス中に微細に
分散した組織が得られ、（２１１）相は常電導相である
ため、ピン止め効果の大きなＹ系（Ｙ−Ｂａ−Ｃｕ−Ｏ
系）の酸化物超電導物質よりなるバルク材を得ることが
できる。
およびＣｕＯの混合粉末を仮焼→溶融→急冷した後、粉
砕→混合→成型して（２１１）相（Ｙ：Ｂａ：Ｃｕ＝
２：１：１のモル比、以下同じ。）＋液相の領域まで再
加熱し、室温まで徐冷したもので、出発組成を（１２
３）相から（２１１）相側へずらすことにより過剰の
（２１１）相が（１２３）相のマトリックス中に微細に
分散した組織が得られ、（２１１）相は常電導相である
ため、ピン止め効果の大きなＹ系（Ｙ−Ｂａ−Ｃｕ−Ｏ
系）の酸化物超電導物質よりなるバルク材を得ることが
できる。
【０００９】上記方法によれば、常電導析出物の分散が
制御できる上、各種の形状に製作できるため、これを所
定形状に成型したバルク材を基台または前記定盤のいず
れか一方の対向面に複数個固設する。このバルク材にと
対向する位置に、それぞれ磁石が固設されるが、この磁
石は永久磁石あるいは電磁石のいずれを用いることも可
能である。永久磁石を用いた場合にはメンテナンスフリ
ーの振動絶縁方法が、また電磁石を用いた場合には、こ
の電流値を制御することにより浮上代を制御し得る振動
絶縁方法が得られる。
制御できる上、各種の形状に製作できるため、これを所
定形状に成型したバルク材を基台または前記定盤のいず
れか一方の対向面に複数個固設する。このバルク材にと
対向する位置に、それぞれ磁石が固設されるが、この磁
石は永久磁石あるいは電磁石のいずれを用いることも可
能である。永久磁石を用いた場合にはメンテナンスフリ
ーの振動絶縁方法が、また電磁石を用いた場合には、こ
の電流値を制御することにより浮上代を制御し得る振動
絶縁方法が得られる。
【００１０】
【作用】上記構成により本発明の振動絶縁方法において
は、酸化物超電導物質よりなるバルク材が磁化された
後、磁石との反発力により定盤が基台から浮上するた
め、定盤に横方向の力が働いても直ちに元の位置に復帰
し、従来の反発方式のように横ずれストッパーが必要で
なくなり、完全な非接触型の浮上方式を維持することが
できる。
は、酸化物超電導物質よりなるバルク材が磁化された
後、磁石との反発力により定盤が基台から浮上するた
め、定盤に横方向の力が働いても直ちに元の位置に復帰
し、従来の反発方式のように横ずれストッパーが必要で
なくなり、完全な非接触型の浮上方式を維持することが
できる。
【００１１】
【実施例】以下本発明の一実施例について説明する。図
１〜４は本発明の振動絶縁方法の概略を示したもので、
１は定盤あるいは機器搭載台、２は磁石、３は基台、４
はＭＰＭＧ法により製作したＹ系の酸化物超電導物質よ
りなるバルク材、５はストッパーである。
１〜４は本発明の振動絶縁方法の概略を示したもので、
１は定盤あるいは機器搭載台、２は磁石、３は基台、４
はＭＰＭＧ法により製作したＹ系の酸化物超電導物質よ
りなるバルク材、５はストッパーである。
【００１２】図２において、基台３は床面６に固定さ
れ、その上面には複数個のバルク材４が配設されてお
り、このバルク材は容器７の内部に収容されるととも
に、係止部材８により基台３に固定されている。一方、
図３に示すように、機器搭載台１の下側には複数個の磁
石２が配設されており、この磁石２は係止部材９により
機器搭載台１に固定されている。
れ、その上面には複数個のバルク材４が配設されてお
り、このバルク材は容器７の内部に収容されるととも
に、係止部材８により基台３に固定されている。一方、
図３に示すように、機器搭載台１の下側には複数個の磁
石２が配設されており、この磁石２は係止部材９により
機器搭載台１に固定されている。
【００１３】上記の磁石２とバルク材４は、基台上の所
定位置に機器搭載台１を配置した時に、それぞれが対向
するように配設され、これらの複数対の磁石とバルク材
の数および磁石磁化の強さは機器搭載台１上に半導体の
ステッパ装置のような機器を載置した場合の浮上力と浮
上重量との関係によって所定の浮上代が得られるように
決められる。
定位置に機器搭載台１を配置した時に、それぞれが対向
するように配設され、これらの複数対の磁石とバルク材
の数および磁石磁化の強さは機器搭載台１上に半導体の
ステッパ装置のような機器を載置した場合の浮上力と浮
上重量との関係によって所定の浮上代が得られるように
決められる。
【００１４】このようにバルク材４を上面に固設した基
台３上に、図４に示すようにストッパー５を介して基台
と機器搭載台とを所定の間隔に維持し、即ち所定の浮上
代Ｌでバルク材４と磁石２を対向させて機器搭載台１を
載置してバルク材４に磁束を侵入させ、次いで容器７の
内部に液体窒素１０を供給してバルク材を冷却した後、
スペーサを除去する。
台３上に、図４に示すようにストッパー５を介して基台
と機器搭載台とを所定の間隔に維持し、即ち所定の浮上
代Ｌでバルク材４と磁石２を対向させて機器搭載台１を
載置してバルク材４に磁束を侵入させ、次いで容器７の
内部に液体窒素１０を供給してバルク材を冷却した後、
スペーサを除去する。
【００１５】上記の磁場中冷却による方法、即ちバルク
材４に磁場を印加した後、冷却する方法により、バルク
材４は、その内部に侵入した磁場がピン止めされて永久
磁石の挙動を示し、図１に示すように機器搭載台１は基
台３上に浮上する。機器搭載台１上には機器１０が載置
され、この重量により浮上代は変化するが、機器搭載台
１は基台３上で安定して浮上する。
材４に磁場を印加した後、冷却する方法により、バルク
材４は、その内部に侵入した磁場がピン止めされて永久
磁石の挙動を示し、図１に示すように機器搭載台１は基
台３上に浮上する。機器搭載台１上には機器１０が載置
され、この重量により浮上代は変化するが、機器搭載台
１は基台３上で安定して浮上する。
【００１６】尚、上記の磁場中冷却による方法に代えて
零磁場冷却の後、磁場を印加する方法、即ち予め基台３
と機器搭載台１との間隔をスペーサ５を介して所定の間
隔に維持し、容器７の内部に液体窒素１０を供給してバ
ルク材４を液体窒素で冷却し、次いで磁石２を機器搭載
台１の下部に固設してバルク材に磁束を侵入させた後、
スペーサ５を除去する方法を採用することもできる。
零磁場冷却の後、磁場を印加する方法、即ち予め基台３
と機器搭載台１との間隔をスペーサ５を介して所定の間
隔に維持し、容器７の内部に液体窒素１０を供給してバ
ルク材４を液体窒素で冷却し、次いで磁石２を機器搭載
台１の下部に固設してバルク材に磁束を侵入させた後、
スペーサ５を除去する方法を採用することもできる。
【００１７】さらに、磁石とバルク材の配置を逆にして
機器搭載台の下面にバルク材を、基台上面に磁石を固設
することもでき、また磁石として電磁石を用いることも
できる。電磁石を用いる場合には、予め複数個の電磁石
を一方の対向面に固設し、電磁石に所定値の電流を流し
た後、バルク材を冷却するか、あるいはバルク材を冷却
後、電磁石に所定値の電流を流すことにより、上記と同
様の浮上方法が得られる。
機器搭載台の下面にバルク材を、基台上面に磁石を固設
することもでき、また磁石として電磁石を用いることも
できる。電磁石を用いる場合には、予め複数個の電磁石
を一方の対向面に固設し、電磁石に所定値の電流を流し
た後、バルク材を冷却するか、あるいはバルク材を冷却
後、電磁石に所定値の電流を流すことにより、上記と同
様の浮上方法が得られる。
【００１８】
【発明の効果】以上述べたように本発明の振動絶縁方法
によれば、非接触で定盤を基台より浮上させることがで
き、また上部から強制的な力を加えることにより浮上位
置を変化させることができるため、浮上代を変化させる
こともできる。さらに、バルク材のピン止め効果により
ダンピングがあり、このダンピング力は浮上代が大きい
と小さく、浮上代が小さいと大きくなるため、ダンピン
グの調整が容易であるとともに、従来の磁気力を利用す
る方法に比較して大きな浮上力を得ることができ、かつ
その方法も簡単である利点を有する。
によれば、非接触で定盤を基台より浮上させることがで
き、また上部から強制的な力を加えることにより浮上位
置を変化させることができるため、浮上代を変化させる
こともできる。さらに、バルク材のピン止め効果により
ダンピングがあり、このダンピング力は浮上代が大きい
と小さく、浮上代が小さいと大きくなるため、ダンピン
グの調整が容易であるとともに、従来の磁気力を利用す
る方法に比較して大きな浮上力を得ることができ、かつ
その方法も簡単である利点を有する。
【図１】本発明の方法における浮上状態を示す断面図。
【図２】本発明の方法に用いられるバルク材を固設した
基台の断面図。
基台の断面図。
【図３】本発明の方法に用いられる磁石を固設した機器
搭載台の断面図。
搭載台の断面図。
【図４】本発明の方法におけるスペーサを介して基台と
定盤とを配置した状態を示す断面図。
定盤とを配置した状態を示す断面図。
１…機器搭載台
２…磁石
３…基台
４…バルク材
５…ストッパー
１０…液体窒素
１１…機器
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 塩野 武男
神奈川県川崎市川崎区小田栄２丁目１番１
号 昭和電線電纜株式会社内
(72)発明者 内田 公夫
神奈川県川崎市川崎区小田栄２丁目１番１
号 昭和電線電纜株式会社内
(72)発明者 長屋 重夫
神奈川県川崎市川崎区小田栄２丁目１番１
号 昭和電線電纜株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】基台上に定盤を配置し、前記基台と前記定
盤との間に振動絶縁手段を備えた振動絶縁装置の振動を
絶縁する方法において、前記基台または前記定盤のいず
れか一方の対向面に複数個の磁石を固設するとともに、
他方の対向面の前記磁石と対向する位置に酸化物超電導
物質よりなるバルク材を固設し、前記基台と前記定盤と
をスペーサを介し所定の間隔に維持して前記バルク材に
磁束を侵入させた後、前記バルク材を液体窒素温度以下
に冷却し、次いで前記スペーサを除去することを特徴と
する振動絶縁方法。 - 【請求項２】基台上に定盤を配置し、前記基台と前記定
盤との間に振動絶縁手段を備えた振動絶縁装置の振動を
絶縁する方法において、前記基台または前記定盤のいず
れか一方の対向面に複数個の酸化物超電導物質よりなる
バルク材を固設し、前記基台と前記定盤とをスペーサを
介し所定の間隔に維持して前記バルク材を液体窒素温度
以下に冷却し、次いで他方の対向面の前記バルク材と対
向する位置に磁石を固設して前記バルク材に磁束を侵入
させた後、前記スペーサを除去することを特徴とする振
動絶縁方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3187676A JPH0533828A (ja) | 1991-07-26 | 1991-07-26 | 振動絶縁方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3187676A JPH0533828A (ja) | 1991-07-26 | 1991-07-26 | 振動絶縁方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0533828A true JPH0533828A (ja) | 1993-02-09 |
Family
ID=16210200
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3187676A Withdrawn JPH0533828A (ja) | 1991-07-26 | 1991-07-26 | 振動絶縁方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0533828A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5686053A (en) * | 1994-05-11 | 1997-11-11 | Babcock-Hitachi Kabushiki Kaisha | Wet-type flue gas desulfurization plant and method making use of a solid desulfurizing agent |
| US5788944A (en) * | 1995-02-28 | 1998-08-04 | Babcock-Hitachi Kabushiki Kaisha | Wet-type flue gas desulfurization plant and method making use of a solid desulfurizing agent |
| EP2336596A3 (en) * | 2009-12-17 | 2012-12-26 | Exelis Inc. | Enhanced damping using cryogenic cooling |
| CN110556755A (zh) * | 2019-07-23 | 2019-12-10 | 武汉船用机械有限责任公司 | 一种电缆桥架 |
-
1991
- 1991-07-26 JP JP3187676A patent/JPH0533828A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5686053A (en) * | 1994-05-11 | 1997-11-11 | Babcock-Hitachi Kabushiki Kaisha | Wet-type flue gas desulfurization plant and method making use of a solid desulfurizing agent |
| US5945081A (en) * | 1994-05-11 | 1999-08-31 | Babcock-Hitachi Kabushiki Kaisha | Wet-type flue gas desulfurization plant and method making use of a solid desulfurizing agent |
| US5788944A (en) * | 1995-02-28 | 1998-08-04 | Babcock-Hitachi Kabushiki Kaisha | Wet-type flue gas desulfurization plant and method making use of a solid desulfurizing agent |
| EP2336596A3 (en) * | 2009-12-17 | 2012-12-26 | Exelis Inc. | Enhanced damping using cryogenic cooling |
| US8584816B2 (en) | 2009-12-17 | 2013-11-19 | Exelis, Inc. | Enhanced damping using cryogenic cooling |
| CN110556755A (zh) * | 2019-07-23 | 2019-12-10 | 武汉船用机械有限责任公司 | 一种电缆桥架 |
| CN110556755B (zh) * | 2019-07-23 | 2021-05-28 | 武汉船用机械有限责任公司 | 一种电缆桥架 |
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