JPH0526296A - 振動絶縁装置 - Google Patents
振動絶縁装置Info
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- JPH0526296A JPH0526296A JP18658391A JP18658391A JPH0526296A JP H0526296 A JPH0526296 A JP H0526296A JP 18658391 A JP18658391 A JP 18658391A JP 18658391 A JP18658391 A JP 18658391A JP H0526296 A JPH0526296 A JP H0526296A
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- 239000013590 bulk material Substances 0.000 claims abstract description 44
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 28
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 22
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 14
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
- 239000011343 solid material Substances 0.000 claims 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 239000002887 superconductor Substances 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 16
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 7
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 4
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/04—Bearings not otherwise provided for using magnetic or electric supporting means
- F16C32/0406—Magnetic bearings
- F16C32/0408—Passive magnetic bearings
- F16C32/0436—Passive magnetic bearings with a conductor on one part movable with respect to a magnetic field, e.g. a body of copper on one part and a permanent magnet on the other part
- F16C32/0438—Passive magnetic bearings with a conductor on one part movable with respect to a magnetic field, e.g. a body of copper on one part and a permanent magnet on the other part with a superconducting body, e.g. a body made of high temperature superconducting material such as YBaCuO
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- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 酸化物超電体を用いて基台からの振動を絶縁
する。 【構成】 基台２の上面に固設された複数個の酸化物超
電導物質よりなるバルク材３は内部に液体窒素Ｌを収容
した容器８により包囲され、一方、基台２上に配置され
た機器搭載台５の下面には複数個のバルク材４がバルク
材３に対向する位置に配置されており、これらのバルク
材４も内部に液体窒素Ｌ´を収容した容器１１により包
囲されている。バルク材３はパルス磁場により磁化さ
れ、バルク材４はバルク材３の磁場を侵入させることに
より磁化され、バルク材３，４の反発力によつて基台２
上に機器搭載台５が浮上する。
する。 【構成】 基台２の上面に固設された複数個の酸化物超
電導物質よりなるバルク材３は内部に液体窒素Ｌを収容
した容器８により包囲され、一方、基台２上に配置され
た機器搭載台５の下面には複数個のバルク材４がバルク
材３に対向する位置に配置されており、これらのバルク
材４も内部に液体窒素Ｌ´を収容した容器１１により包
囲されている。バルク材３はパルス磁場により磁化さ
れ、バルク材４はバルク材３の磁場を侵入させることに
より磁化され、バルク材３，４の反発力によつて基台２
上に機器搭載台５が浮上する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は振動絶縁装置に係り、特
に酸化物超電導物質よりなるバルク材を用いて振動を防
止する装置に関する。
に酸化物超電導物質よりなるバルク材を用いて振動を防
止する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】定盤あるいは半導体のステッパ装置や電
子顕微鏡等の各種の機器を搭載する台を床面からの振動
から防止するために、磁気力を利用する方法が知られて
いる。この方法は、定盤や機器搭載台を磁石の反発力ま
たは吸引力を利用して浮上させるもので、大別して
（イ）反発方式と（ロ）吸引方式とに分けることができ
る。 上記（イ）の反発方式は、基台と、この上に配置
される定盤や機器搭載台の対向面にそれぞれ複数個の磁
石を同極側を対向して固設し、磁石の同極の反発力を利
用して定盤や機器搭載台を基台から浮上させるもので、
一方上記（ロ）の吸引方式は、基台と、この上に配置さ
れる定盤や機器搭載台の対向面にそれぞれ複数個の磁石
を異極側を対向して固設し、そのギャップを一定に制御
する手段を設けたものである。
子顕微鏡等の各種の機器を搭載する台を床面からの振動
から防止するために、磁気力を利用する方法が知られて
いる。この方法は、定盤や機器搭載台を磁石の反発力ま
たは吸引力を利用して浮上させるもので、大別して
（イ）反発方式と（ロ）吸引方式とに分けることができ
る。 上記（イ）の反発方式は、基台と、この上に配置
される定盤や機器搭載台の対向面にそれぞれ複数個の磁
石を同極側を対向して固設し、磁石の同極の反発力を利
用して定盤や機器搭載台を基台から浮上させるもので、
一方上記（ロ）の吸引方式は、基台と、この上に配置さ
れる定盤や機器搭載台の対向面にそれぞれ複数個の磁石
を異極側を対向して固設し、そのギャップを一定に制御
する手段を設けたものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記
（イ）の反発方式では、対向する各磁石には垂直方向の
反発力と同時に横方向の力が常に働き、対向位置で安定
しないため、横方向のずれを抑えるストッパーが必要と
なる。このため、実際には非接触型の浮上方式を維持す
ることが困難であるという問題を生ずる。また吸引方式
に比較して効率が悪いという問題もある。
（イ）の反発方式では、対向する各磁石には垂直方向の
反発力と同時に横方向の力が常に働き、対向位置で安定
しないため、横方向のずれを抑えるストッパーが必要と
なる。このため、実際には非接触型の浮上方式を維持す
ることが困難であるという問題を生ずる。また吸引方式
に比較して効率が悪いという問題もある。
【０００４】一方、上記（ロ）の吸引方式では、単に吸
引力だけであると、最終的には接触してしまうため、電
磁石の反発力や吸引力を利用してギャップを一定に制御
する必要があり、一般には変位センサーを用いて浮上代
を一定に制御することが行われているが、装置およびそ
の取扱いが複雑になるという欠点がある。本考案は以上
の問題を解決するためになされたもので、構造が簡単
で、完全な非接触型の浮上方式が得られる振動絶縁装置
を提供することをその目的とする。
引力だけであると、最終的には接触してしまうため、電
磁石の反発力や吸引力を利用してギャップを一定に制御
する必要があり、一般には変位センサーを用いて浮上代
を一定に制御することが行われているが、装置およびそ
の取扱いが複雑になるという欠点がある。本考案は以上
の問題を解決するためになされたもので、構造が簡単
で、完全な非接触型の浮上方式が得られる振動絶縁装置
を提供することをその目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、基台上に定盤を配置し、前記基台と前記
定盤との間に前記基台の振動を絶縁するための手段を備
えた振動絶縁装置において、前記基台および前記定盤の
各対向面に複数個の酸化物超電導物質よりなるバルク材
をそれぞれ対向して固設し、前記バルク材を液体窒素温
度以下に冷却する手段を備えるとともに、前記少なくと
も一方の対向面に固設されたバルク材をパルス磁場によ
り磁化させたものである。
に、本発明は、基台上に定盤を配置し、前記基台と前記
定盤との間に前記基台の振動を絶縁するための手段を備
えた振動絶縁装置において、前記基台および前記定盤の
各対向面に複数個の酸化物超電導物質よりなるバルク材
をそれぞれ対向して固設し、前記バルク材を液体窒素温
度以下に冷却する手段を備えるとともに、前記少なくと
も一方の対向面に固設されたバルク材をパルス磁場によ
り磁化させたものである。
【０００６】上記発明において、パルス磁場により磁化
された一方の対向面に固設されたバルク材により、他方
の対向面に固設されたバルク材を磁化させるようにする
こともでき、これは本願第２の発明を構成する。本発明
における酸化物超電導物質よりなるバルク材としては、
溶融法、即ち、ＭＰＭＧ法（Ｍｅｌｔ−Ｐｏｗｄｅｒ−
Ｍｅｌｔ−Ｇｒｏｗｔｈ法）により製造した所定形状の
成型体が用いられる。
された一方の対向面に固設されたバルク材により、他方
の対向面に固設されたバルク材を磁化させるようにする
こともでき、これは本願第２の発明を構成する。本発明
における酸化物超電導物質よりなるバルク材としては、
溶融法、即ち、ＭＰＭＧ法（Ｍｅｌｔ−Ｐｏｗｄｅｒ−
Ｍｅｌｔ−Ｇｒｏｗｔｈ法）により製造した所定形状の
成型体が用いられる。
【０００７】この方法は、例えばＹ2Ｏ3、ＢａＣＯ3、
およびＣｕＯの混合粉末を仮焼→溶融→急冷した後、粉
砕→混合→成型して（２１１）相（Ｙ：Ｂａ：Ｃｕ＝
２：１：１のモル比、以下同じ。）＋液相の領域まで再
加熱し、室温まで徐冷したもので、出発組成を（１２
３）相から（２１１）相側へずらすことにより過剰の
（２１１）相が（１２３）相のマトリックス中に微細に
分散した組織が得られ、（２１１）相は常電導相である
ため、ピン止め効果の大きなＹ系（Ｙ−Ｂａ− Ｃｕ−
Ｏ系）の酸化物超電導物質よりなるバルク材を得ること
ができる。
およびＣｕＯの混合粉末を仮焼→溶融→急冷した後、粉
砕→混合→成型して（２１１）相（Ｙ：Ｂａ：Ｃｕ＝
２：１：１のモル比、以下同じ。）＋液相の領域まで再
加熱し、室温まで徐冷したもので、出発組成を（１２
３）相から（２１１）相側へずらすことにより過剰の
（２１１）相が（１２３）相のマトリックス中に微細に
分散した組織が得られ、（２１１）相は常電導相である
ため、ピン止め効果の大きなＹ系（Ｙ−Ｂａ− Ｃｕ−
Ｏ系）の酸化物超電導物質よりなるバルク材を得ること
ができる。
【０００８】上記方法によれば、常電導析出物の分散が
制御できる上、各種の形状に製作できるため、これを所
定形状に成型したバルク材を基台または前記定盤のいず
れか一方の対向面に複数個固設し、他方の面のこれ等の
バルク材と対向する位置に、それぞれバルク材を同様に
固設する。この場合、一方の側、例えば基台上に固設さ
れたバルク材は予め液体窒素等で冷却され、これ等のバ
ルク材にパルス磁場発生用コイルにより磁場を侵入させ
て磁化する。次いで、（ａ）予め液体窒素等で冷却した
後、磁場を侵入させて磁化したバルク材を固設した定盤
を基台上に配置するか、（ｂ）予め液体窒素等で冷却し
たバルク材を固設した定盤を基台上に配置し、基台上に
固設されたバルク材により磁場を侵入させて定盤に固設
されたバルク材を磁化する。あるいは（ｃ）バルク材を
固設した定盤を基台上に配置し、基台上に固設されたバ
ルク材により磁場を侵入させた後、液体窒素等で冷却し
て定盤に固設されたバルク材を磁化する。これによりメ
ンテナンスフリーの振動絶縁装置が得られる。
制御できる上、各種の形状に製作できるため、これを所
定形状に成型したバルク材を基台または前記定盤のいず
れか一方の対向面に複数個固設し、他方の面のこれ等の
バルク材と対向する位置に、それぞれバルク材を同様に
固設する。この場合、一方の側、例えば基台上に固設さ
れたバルク材は予め液体窒素等で冷却され、これ等のバ
ルク材にパルス磁場発生用コイルにより磁場を侵入させ
て磁化する。次いで、（ａ）予め液体窒素等で冷却した
後、磁場を侵入させて磁化したバルク材を固設した定盤
を基台上に配置するか、（ｂ）予め液体窒素等で冷却し
たバルク材を固設した定盤を基台上に配置し、基台上に
固設されたバルク材により磁場を侵入させて定盤に固設
されたバルク材を磁化する。あるいは（ｃ）バルク材を
固設した定盤を基台上に配置し、基台上に固設されたバ
ルク材により磁場を侵入させた後、液体窒素等で冷却し
て定盤に固設されたバルク材を磁化する。これによりメ
ンテナンスフリーの振動絶縁装置が得られる。
【０００９】
【作用】上記構成により本発明の振動絶縁装置において
は、酸化物超電導物質の強いピンニング力による磁気浮
上効果により定盤を基台上に浮上させることができ、ま
た、少なくとも一方の対向面に固設されたバルク材がＺ
ＦＣ（ゼロフィールドクール）の状態でパルス磁場によ
り磁化されているため、非常に大きな磁化、即ち大きな
浮上力が得られる。また、定盤に横方向の力が働いても
直ちに元の位置に復帰し、従来の反発方式のように横ず
れストッパーが必要でなくなり、完全な非接触型の浮上
方式を維持することができる。
は、酸化物超電導物質の強いピンニング力による磁気浮
上効果により定盤を基台上に浮上させることができ、ま
た、少なくとも一方の対向面に固設されたバルク材がＺ
ＦＣ（ゼロフィールドクール）の状態でパルス磁場によ
り磁化されているため、非常に大きな磁化、即ち大きな
浮上力が得られる。また、定盤に横方向の力が働いても
直ちに元の位置に復帰し、従来の反発方式のように横ず
れストッパーが必要でなくなり、完全な非接触型の浮上
方式を維持することができる。
【００１０】
【実施例】以下本発明の一実施例について説明する。図
１は本考案の振動絶縁装置１の概略を示したもので、２
は基台、３、４はＭＰＭＧ法により製作したＹ系の酸化
物超電導物質よりなるバルク材、５は定盤あるいは機器
搭載台である。
１は本考案の振動絶縁装置１の概略を示したもので、２
は基台、３、４はＭＰＭＧ法により製作したＹ系の酸化
物超電導物質よりなるバルク材、５は定盤あるいは機器
搭載台である。
【００１１】基台２は床面６に固定され、その上面には
複数個の断面凸状のバルク材３が係止部材７により固設
され、これらのバルク材３は内部に液体窒素Ｌを収容し
た容器８により包囲されている。また、機器搭載台５上
には半導体のステッパ装置のような機器９が載置されて
おり、その下側の面には複数個の断面凹状のバルク材４
がその凹状部を下側にして、基台２のバルク材３に対向
する位置に配置され、係止部材１０により固設されてい
る。これらのバルク材４も内部に液体窒素Ｌ´を収容し
た容器１１により包囲されている。
複数個の断面凸状のバルク材３が係止部材７により固設
され、これらのバルク材３は内部に液体窒素Ｌを収容し
た容器８により包囲されている。また、機器搭載台５上
には半導体のステッパ装置のような機器９が載置されて
おり、その下側の面には複数個の断面凹状のバルク材４
がその凹状部を下側にして、基台２のバルク材３に対向
する位置に配置され、係止部材１０により固設されてい
る。これらのバルク材４も内部に液体窒素Ｌ´を収容し
た容器１１により包囲されている。
【００１２】上記の基台２上に固設されたバルク材３と
機器搭載台５の下面に固設されたバルク材４とは、その
内部に侵入した磁場がピン止めされて永久磁石の挙動を
示し、相互に反発して基台２上に機器搭載台５が浮上す
る。これ等のバルク材３，４は以下のようにして磁化さ
れる。まず、容器８の内部に液体窒素Ｌを収容して基台
２上に固設されたバルク材３をその臨界温度以下に冷却
した後、パルス磁場発生用コイル１２をバルク材３の上
部に配置してパルス磁場を発生させ、その急激な磁束密
度変化によりバルク材３をＺＦＣの状態で磁化する。
機器搭載台５の下面に固設されたバルク材４とは、その
内部に侵入した磁場がピン止めされて永久磁石の挙動を
示し、相互に反発して基台２上に機器搭載台５が浮上す
る。これ等のバルク材３，４は以下のようにして磁化さ
れる。まず、容器８の内部に液体窒素Ｌを収容して基台
２上に固設されたバルク材３をその臨界温度以下に冷却
した後、パルス磁場発生用コイル１２をバルク材３の上
部に配置してパルス磁場を発生させ、その急激な磁束密
度変化によりバルク材３をＺＦＣの状態で磁化する。
【００１３】次いで、上記のコイル１２を除去し、容器
１１の内部に液体窒素Ｌ´を収容して機器搭載台５の下
部に固設されたバルク材４をその臨界温度以下に冷却し
た後、この機器搭載台５を適宜の保持手段により基台上
に配置してバルク材３により磁場を侵入させ、機器搭載
台５に固設されたバルク材４を磁化する。以上の複数対
のバルク材３，４の数は、浮上力と浮上重量との関係に
よって所定の浮上代が得られるように決められる。
１１の内部に液体窒素Ｌ´を収容して機器搭載台５の下
部に固設されたバルク材４をその臨界温度以下に冷却し
た後、この機器搭載台５を適宜の保持手段により基台上
に配置してバルク材３により磁場を侵入させ、機器搭載
台５に固設されたバルク材４を磁化する。以上の複数対
のバルク材３，４の数は、浮上力と浮上重量との関係に
よって所定の浮上代が得られるように決められる。
【００１４】
【発明の効果】以上述べたように本発明の振動絶縁装置
によれば、非接触で定盤を基台より浮上させることがで
き、また上部から強制的な力を加えることにより浮上位
置を変化させることができるため、浮上代を変化させる
こともできる。さらに、バルク材のピン止め効果により
ダンピングがあり、このダンピング力は浮上代が大きい
と小さく、浮上代が小さいと大きくなるため、ダンピン
グの調整が容易であるとともに、少なくとも一方の対向
面に固設されたバルク材をパルス磁場により磁化させた
ことにより、従来の磁気力を利用する方法に比較して大
きな浮上力を得ることができ、かつ構造が簡単である利
点を有する。
によれば、非接触で定盤を基台より浮上させることがで
き、また上部から強制的な力を加えることにより浮上位
置を変化させることができるため、浮上代を変化させる
こともできる。さらに、バルク材のピン止め効果により
ダンピングがあり、このダンピング力は浮上代が大きい
と小さく、浮上代が小さいと大きくなるため、ダンピン
グの調整が容易であるとともに、少なくとも一方の対向
面に固設されたバルク材をパルス磁場により磁化させた
ことにより、従来の磁気力を利用する方法に比較して大
きな浮上力を得ることができ、かつ構造が簡単である利
点を有する。
【図１】本発明の振動絶縁装置の概略図。
１…振動絶縁装置
２…基台
３、４…酸化物超電導物質よりなるバルク材
５…定盤あるいは機器搭載台
８、１１…容器
Ｌ，Ｌ´…液体窒素
フロントページの続き
(72)発明者 塩野 武男
神奈川県川崎市川崎区小田栄２丁目１番１
号 昭和電線電纜株式会社内
(72)発明者 内田 公夫
神奈川県川崎市川崎区小田栄２丁目１番１
号 昭和電線電纜株式会社内
(72)発明者 長屋 重夫
神奈川県川崎市川崎区小田栄２丁目１番１
号 昭和電線電纜株式会社内
Claims (2)
- 【請求項１】基台上に定盤を配置し、前記基台と前記定
盤との間に前記基台の振動を絶縁するための手段を備え
た振動絶縁装置において、前記基台および前記定盤の各
対向面に複数個の酸化物超電導物質よりなるバルク材を
それぞれ対向して固設し、前記バルク材を液体窒素温度
以下に冷却する手段を備えるとともに、前記少なくとも
一方の対向面に固設されたバルク材をパルス磁場により
磁化させたことを特徴とする振動絶縁装置。 - 【請求項２】基台上に定盤を配置し、前記基台と前記定
盤との間に前記基台の振動を絶縁するための手段を備え
た振動絶縁装置において、前記基台および前記定盤の各
対向面に複数個の酸化物超電導物質よりなるバルク材を
それぞれ対向して固設し、前記バルク材を液体窒素温度
以下に冷却する手段を備えるとともに、前記一方の対向
面に固設されたバルク材をパルス磁場により磁化させ、
この磁化されたバルク材により他方の対向面に固設され
たバルク材を磁化させたことを特徴とする振動絶縁装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18658391A JPH0526296A (ja) | 1991-07-25 | 1991-07-25 | 振動絶縁装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18658391A JPH0526296A (ja) | 1991-07-25 | 1991-07-25 | 振動絶縁装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0526296A true JPH0526296A (ja) | 1993-02-02 |
Family
ID=16191086
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18658391A Withdrawn JPH0526296A (ja) | 1991-07-25 | 1991-07-25 | 振動絶縁装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0526296A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5334965A (en) * | 1993-06-15 | 1994-08-02 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Superconductive material and magnetic field for damping and levitation support and damping of cryogenic instruments |
| WO2010094263A3 (de) * | 2009-02-17 | 2011-03-03 | Schaeffler Technologies Gmbh & Co. Kg | Supraleitendes lager sowie verfahren zu dessen montage |
| WO2011048019A1 (de) * | 2009-10-20 | 2011-04-28 | Schaeffler Technologies Gmbh & Co. Kg | Supraleitendes lager und verfahren zu dessen montage |
-
1991
- 1991-07-25 JP JP18658391A patent/JPH0526296A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5334965A (en) * | 1993-06-15 | 1994-08-02 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Superconductive material and magnetic field for damping and levitation support and damping of cryogenic instruments |
| WO2010094263A3 (de) * | 2009-02-17 | 2011-03-03 | Schaeffler Technologies Gmbh & Co. Kg | Supraleitendes lager sowie verfahren zu dessen montage |
| WO2011048019A1 (de) * | 2009-10-20 | 2011-04-28 | Schaeffler Technologies Gmbh & Co. Kg | Supraleitendes lager und verfahren zu dessen montage |
| US8875382B2 (en) | 2009-10-20 | 2014-11-04 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Method of assembling superconductor bearing |
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Legal Events
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| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981008 |