JPH0512784U

JPH0512784U - 振動絶縁装置

Info

Publication number: JPH0512784U
Application number: JP6048391U
Authority: JP
Inventors: 節花井; 一弥清水; 武男塩野; 公夫内田; 重夫長屋
Original assignee: 昭和電線電纜株式会社
Priority date: 1991-07-31
Filing date: 1991-07-31
Publication date: 1993-02-19

Abstract

(57)【要約】【目的】酸化物超電体を用いて基台からの振動を絶縁
する。【構成】基台２の上面には複数個の円板状のバルク材
３が固設され、バルク材３と冷却室９は隔壁１０，１０
´により形成された真空断熱層１１により包囲されてい
る。機器搭載台５の下側には複数個の円板状の永久磁石
６がバルク材３と対向する位置に固設されており、永久
磁石６の磁束をバルク材３に侵入させた後、冷却室９の
下部に接続された循環式の圧縮冷凍機４により冷却ガス
を供給してバルク材３を臨界温度以下に冷却することに
より内部に侵入した磁場がピン止めされてバルク材３は
永久磁石の挙動を示し、機器搭載台５は基台２上に浮上
する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は振動絶縁装置に係り、特に酸化物超電導物質よりなるバルク材を用いて定盤の振動を防止する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

定盤あるいは半導体のステッパ装置や電子顕微鏡等の各種の機器を搭載する台を床面からの振動から防止するために、磁気力を利用する方法が知られている。この方法は、定盤や機器搭載台を磁石の反発力または吸引力を利用して浮上させるもので、大別して（イ）反発方式と（ロ）吸引方式とに分けることができる。上記（イ）の反発方式は、基台と、この上に配置される定盤や機器搭載台の対向面にそれぞれ複数個の磁石を同極側を対向して固設し、磁石の同極の反発力を利用して定盤や機器搭載台を基台から浮上させるもので、一方上記（ロ）の吸引方式は、基台と、この上に配置される定盤や機器搭載台の対向面にそれぞれ複数個の磁石を異極側を対向して固設し、そのギャップを一定に制御する手段を設けたものである。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上記（イ）の反発方式では、対向する各磁石には垂直方向の反発力と同時に横方向の力が常に働き、対向位置で安定しないため、横方向のずれを抑えるストッパーが必要となる。このため、実際には非接触型の浮上方式を維持することが困難であるという問題を生ずる。また吸引方式に比較して効率が悪いという問題もある。

【０００４】一方、上記（ロ）の吸引方式では、単に吸引力だけであると、最終的には接触してしまうため、電磁石の反発力や吸引力を利用してギャップを一定に制御する必要があり、一般には変位センサーを用いて浮上代を一定に制御することが行われているが、装置およびその取扱いが複雑になるという欠点がある。本考案は以上の問題を解決するためになされたもので、構造が簡単で、完全な非接触型の浮上方式が得られる振動絶縁装置を提供することをその目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために、本考案は、基台上に定盤を配置し、前記基台と前記定盤との間に振動絶縁手段を備えた振動絶縁装置において、前記基台上に断熱室を設けて、この断熱室内の上部に酸化物超電導物質よりなるバルク材を、その下部に冷却室を配置し、この冷却室内に冷却ガスを供給して前記バルク材をその臨界温度以下に保持する圧縮冷凍機を前記冷却室に接続するとともに、前記定盤下部の前記バルク材と対向する位置に磁石を固設し、前記バルク材と前記磁石との反発力により前記定盤を前記基台上に浮上させるようにしたものである。

【０００６】本考案における酸化物超電導物質よりなるバルク材としては、溶融法、即ち、ＭＰＭＧ法（Ｍｅｌｔ−Ｐｏｗｄｅｒ−Ｍｅｌｔ−Ｇｒｏｗｔｈ法）により製造した所定形状の成型体が用いられる。この方法は、例えばＹ₂ Ｏ₃ 、ＢａＣＯ₃ およびＣｕＯの混合粉末を仮焼→溶融→急冷した後、粉砕→混合→成型して（２１１）相（Ｙ：Ｂａ：Ｃｕ＝２：１：１のモル比、以下同じ。）＋液相の領域まで再加熱し、室温まで徐冷したもので、出発組成を（１２３）相から（２１１）相側へずらすことにより過剰の（２１１）相が（１２３）相のマトリックス中に微細に分散した組織が得られ、（２１１）相は常電導相であるため、ピン止め効果の大きなＹ系（Ｙ−Ｂａ−Ｃｕ− Ｏ系）の酸化物超電導物質よりなるバルク材を得ることができる。

【０００７】上記方法によれば、常電導析出物の分散が制御できる上、各種の形状に製作できるため、これを所定形状に成型したバルク材を基台上に複数個固設し、一方、定盤下部の前記バルク材と対向する位置に磁石を固設してバルク材と磁石の反発力により定盤を基台上に浮上させる。このため、バルク材を、その臨界温度以下の超電導状態に維持して磁化する必要があり、本考案においては、バルク材の下部に冷却室をもうけ、この冷却室内に循環式の圧縮冷凍機等により冷却ガスを供給してバルク材を冷却する。またバルク材の磁化は、例えば定盤の下部に固設された磁石の磁束をバルク材に侵入させることにより行うことができる。

【０００８】この場合、磁石としては永久磁石の他、電磁石を用いることができ、永久磁石を用いた場合にはメンテナンスフリーの振動絶縁装置が、また電磁石を用いた場合にはその電流値を制御することにより浮上代を制御できる振動絶縁装置が得られる。

【０００９】

【作用】

上記構成により本考案の振動絶縁装置においては、磁化された酸化物超電導物質と磁石との反発力により定盤が基台から浮上するため、定盤に横方向の力が働いても直ちに元の位置に復帰し、従来の反発方式のように横ずれストッパーが必要でなくなり、完全な非接触型の浮上方式を維持することができる。

【００１０】

【実施例】

以下本考案の一実施例について説明する。図１は本発明の振動絶縁装置１の概略を示したもので、２は基台、３はＭＰＭＧ法により製作したＹ系の酸化物超電導物質よりなるバルク材、４は循環式の圧縮冷凍機，５は定盤あるいは機器搭載台、６は永久磁石である。

【００１１】図において、基台２は床面７に固定され、その上面には複数個の円板状のバルク材３が支持部材８を介して基台２上に固設されている。支持部材８の下部には冷却室９が設けられており、バルク材３と冷却室９は隔壁１０，１０´により形成された真空断熱層１１により包囲されている。上記の冷却室９の下部には配管１２，１２´を介して循環式の圧縮冷凍機４が接続されており、この冷凍機より冷却ガスが冷却室９内へ供給され、バルク材３をその臨界温度以下に冷却する。尚、支持部材８には冷却効率を向上させるため多数の貫通孔１３、１３が形成されている。

【００１２】また、機器搭載台５の下側には複数個の円板状の永久磁石６が固設されており、永久磁石６とバルク材３とは基台２上の所定位置に機器搭載台５を配置した時に、それぞれが対向するように固設されている。これらの複数対の永久磁石とバルク材の数および磁化の強さは，機器搭載台５上に半導体のステッパ装置のような機器１４を載置した時の浮上力と浮上重量との関係によって所定の浮上代が得られるように決められる。

【００１３】バルク材３は永久磁石６によって磁化されるが、これは基台と機器搭載台とを所定の間隔に維持して対向させ、バルク材３に磁束を侵入させた後、圧縮冷凍機４により冷却室９内へ冷却ガスを供給してバルク材３をその臨界温度以下に冷却することにより行うことができる。上記の磁場中冷却による方法、即ちバルク材３に磁場を印加した後冷却する方法により、バルク材は、その内部に侵入した磁場がピン止めされて永久磁石の挙動を示し、機器搭載台５は基台２上に浮上する。

【００１４】機器搭載台５上には機器１４が載置され、この重量により浮上代は変化するが、機器搭載台５は基台２上で安定して浮上する。尚、上記の磁場中冷却による方法に代えて零磁場冷却の後、磁場を印加する方法、即ち予め冷却室内へ冷却ガスを供給してバルク材３をその臨界温度以下に冷却した後、バルク材に磁束を侵入させることもできる。

【００１５】さらに、圧縮冷凍機４を基台２の内部に配置することもできる。

【００１６】

【考案の効果】

以上述べたように本考案の振動絶縁装置によれば、非接触で定盤を基台より浮上させることができ、また上部から強制的な力を加えることにより浮上位置を変化させることができるため、浮上代を変化させることもできる。また、バルク材のピン止め効果によりダンピングがあり、このダンピング力は浮上代が大きいと小さく、浮上代が小さいと大きくなるため、ダンピングの調整が容易であるとともに、従来の磁気力を利用する方法に比較して大きな浮上力を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の振動絶縁装置の概略断面図。

【符号の説明】

１…振動絶縁装置２…基台３…酸化物超電導物質よりなるバルク材４…循環式の圧縮冷凍機５…定盤あるいは機器搭載台６…永久磁石９…冷却室１１…真空断熱層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者塩野武男神奈川県川崎市川崎区小田栄２丁目１番１号昭和電線電纜株式会社内 (72)考案者内田公夫神奈川県川崎市川崎区小田栄２丁目１番１号昭和電線電纜株式会社内 (72)考案者長屋重夫神奈川県川崎市川崎区小田栄２丁目１番１号昭和電線電纜株式会社内

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】基台上に定盤を配置し、前記基台と前記定
盤との間に振動絶縁手段を備えた振動絶縁装置におい
て、前記基台上に断熱室を設けて、この断熱室内の上部
に酸化物超電導物質よりなるバルク材を、その下部に冷
却室を配置し、この冷却室内に冷却ガスを供給して前記
バルク材をその臨界温度以下に保持する圧縮冷凍機を前
記冷却室に接続するとともに、前記定盤下部の前記バル
ク材と対向する位置に磁石を固設し、前記バルク材と前
記磁石との反発力により前記定盤を前記基台上に浮上さ
せるようにしたことを特徴とする振動絶縁装置。