JPH0512792U

JPH0512792U - 振動絶縁装置

Info

Publication number: JPH0512792U
Application number: JP5428791U
Authority: JP
Inventors: 節花井; 一弥清水; 武男塩野; 公夫内田; 重夫長屋
Original assignee: 昭和電線電纜株式会社
Priority date: 1991-07-12
Filing date: 1991-07-12
Publication date: 1993-02-19

Abstract

(57)【要約】【目的】酸化物超電体を用いて基台からの振動を絶縁す
る。【構成】機器搭載台２の下側と床面７に固設された基台
３のそれぞれに対抗する位置にＭＰＭＧ法により製作し
たＹ系の酸化物超電導物質よりなるバルク材４、５が固
設され、これらのバルク材は内部に液体窒素Ｌ、Ｌ’を
収容した容器１０、１１により包囲されている。機器搭
載台２はバルク材４、５の反発力により浮上し、完全な
非接触型の振動絶縁装置が得られる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は振動絶縁装置に係り、特に酸化物超電導物質よりなるバルク材を用いて振動を防止する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

定盤あるいは半導体のステッパ装置や電子顕微鏡等の各種の機器を搭載する台を床面からの振動から防止するために、磁気力を利用する方法が知られている。この方法は、定盤や機器搭載台を磁石の反発力または吸引力を利用して浮上させるもので、大別して（イ）反発方式と（ロ）吸引方式とに分けることができる。上記（イ）の反発方式は、基台と、この上に配置される定盤や機器搭載台の対向面にそれぞれ複数個の磁石を同極側を対向して固設し、磁石の同極の反発力を利用して定盤や機器搭載台を基台から浮上させるもので、一方上記（ロ）の吸引方式は、基台と、この上に配置される定盤や機器搭載台の対向面にそれぞれ複数個の磁石を異極側を対向して固設し、そのギャップを一定に制御する手段を設けたものである。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上記（イ）の反発方式では、対向する各磁石には垂直方向の反発力と同時に横方向の力が常に働き、対向位置で安定しないため、横方向のずれを抑えるストッパーが必要となる。このため、実際には非接触型の浮上方式を維持することが困難であるという問題を生ずる。また吸引方式に比較して効率が悪いという問題もある。

【０００４】一方、上記（ロ）の吸引方式では、単に吸引力だけであると、最終的には接触してしまうため、電磁石の反発力や吸引力を利用してギャップを一定に制御する必要があり、一般には変位センサーを用いて浮上代を一定に制御することが行われているが、装置およびその取扱いが複雑になるという欠点がある。本考案は以上の問題を解決するためになされたもので、構造が簡単で、完全な非接触型の浮上方式が得られる振動絶縁装置を提供することをその目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために、本考案は、基台上に定盤を配置し、前記基台と前記定盤との間に前記基台の振動を絶縁するための手段を備えた振動絶縁装置において、前記基台および前記定盤の対向面に、磁化された複数個の酸化物超電導物質よりなるバルク材をそれぞれ対向して固設するとともに、前記バルク材を液体窒素温度以下に冷却する手段をを備えたものである。

【０００６】本考案における酸化物超電導物質よりなるバルク材としては、溶融法、即ち、ＭＰＭＧ法（Ｍｅｌｔ−Ｐｏｗｄｅｒ−Ｍｅｌｔ−Ｇｒｏｗｔｈ法）により製造した所定形状の成型体が用いられる。この方法は、例えばＹ₂Ｏ₃、ＢａＣＯ₃、およびＣｕＯの混合粉末を仮焼→溶融→急冷した後、粉砕→混合→成型して（２１１）相（Ｙ：Ｂａ：Ｃｕ＝２：１：１のモル比、以下同じ。）＋液相の領域まで再加熱し、室温まで徐冷したもので、出発組成を（１２３）相から（２１１）相側へずらすことにより過剰の（２１１）相が（１２３）相のマトリックス中に微細に分散した組織が得られ、（２１１）相は常電導相であるため、ピン止め効果の大きなＹ系（Ｙ−Ｂａ− Ｃｕ −Ｏ系）の酸化物超電導物質よりなるバルク材を得ることができる。

【０００７】上記方法によれば、常電導析出物の分散が制御できる上、各種の形状に製作できるため、これを所定形状、例えば円盤状に成型したバルク材を基台および定盤の対向面にそれぞれ上下方向の対応する位置に複数組固設する。

【０００８】

【作用】

上記構成により本考案の振動絶縁装置においては、基台上に固設されたバルク材と定盤の下側に固設されたバルク材との反発力により定盤基台から浮上するため、定盤に横方向の力が働いても直ちに元の位置に復帰し、従来の反発方式のように横ずれストッパーが必要でなくなり、完全な非接触型の浮上方式を維持することができる。

【０００９】

【実施例】

以下本考案の一実施例について説明する。図１は本考案の振動絶縁装置１の概略を示したもので、２は定盤あるいは機器搭載台、３は基台、４，５はＭＰＭＧ法により製作したＹ系の酸化物超電導物質よりなる円盤状のバルク材である。

【００１０】上記の機器搭載台２上には半導体のステッパ装置のような機器６が載置されており、その下側の面には複数個のバルク材４が配置されている。また基台３は床面７に固定され、その上面には機器搭載台２のバルク材４に対向する位置にバルク材５が配置されている。上記の各バルク材４，５は、それぞれ係止部材８，９により機器搭載台２または基台３に固定されており、さらに各バルク材４，５は、それぞれ内部に液体窒素Ｌ、Ｌ’を収容した容器１０，１１により包囲されている。

【００１１】また、各バルク材４，５は、図１の状態において、その内部に侵入した磁場がピン止めされて永久磁石の挙動を示し、その磁化の方法としては（ａ）零磁場冷却の後、磁場を印加する方法および（ｂ）磁場を印加した後、冷却する磁場中冷却による方法のいずれの方法によることもできるが、（ｂ）の磁場中冷却によるほうが大きい磁化の強さ、即ち、大きい浮上力が得られる。

【００１２】この（ｂ）の方法によれば、予め基台３上のバルク材５に永久磁石または電磁石を近接させて磁束を侵入させた後、容器１１の内部に液体窒素Ｌ’を注入してバルク材５をその臨界温度以下に冷却し、次いで磁石を除去した後、基台３に固設されたバルク材５と機器搭載台２に固設されたバルク材４とが対向するように、適宜の保持手段により基台３上に所定の浮上代をもって機器搭載台２を載置し、バルク材４に磁束を侵入させた状態で容器１０の内部に液体窒素Ｌを注入してバルク材４をその臨界温度以下に冷却した後、保持手段を除去することにより、機器搭載台２を基台３上に浮上させることができる。

【００１３】以上の機器搭載台２または基台３に固設された複数対のバルク材の数は、浮上力と浮上重量との関係によって所定の浮上代が得られるように決められる。

【００１４】

【考案の効果】

以上述べたように本考案の振動絶縁装置によれば、非接触で定盤を基台より浮上させることができ、また上部から強制的な力を加えることにより浮上位置を変化させることができるため、浮上代を変化させることもできる。さらに、バルク材のピン止め効果によりダンピングがあり、このダンピング力は浮上代が大きいと小さく、浮上代が小さいと大きくなるため、ダンピングの調整が容易であるとともに、従来の磁気力を利用する方法に比較して大きな浮上力を得ることができる上、構造が簡単で、メンテナンスフリーの振動絶縁装置が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の振動絶縁装置の概略図。

【符号の説明】

１…振動絶縁装置２…定盤あるいは機器搭載台３…基台４、５…酸化物超電導物質よりなるバルク材１０、１１…容器Ｌ、Ｌ’…液体窒素

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者塩野武男神奈川県川崎市川崎区小田栄２丁目１番１号昭和電線電纜株式会社内 (72)考案者内田公夫神奈川県川崎市川崎区小田栄２丁目１番１号昭和電線電纜株式会社内 (72)考案者長屋重夫神奈川県川崎市川崎区小田栄２丁目１番１号昭和電線電纜株式会社内

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】基台上に定盤を配置し、前記基台と前記定
盤との間に前記基台の振動を絶縁するための手段を備え
た振動絶縁装置において、前記基台および前記定盤の対
向面に、磁化された複数個の酸化物超電導物質よりなる
バルク材をそれぞれ対向して固設するとともに、前記バ
ルク材を液体窒素温度以下に冷却する手段を備えたこと
を特徴とする振動絶縁装置。