JPH05338183A - 液体噴射記録ヘッドの製造方法および液体噴射記録ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 吐出エネルギー発生素子が予め設けられた基
板の、インク流路及びインク吐出口が形成される位置に
除去可能層を積層する工程、該除去可能層を覆うように
前記基板の表面に被覆樹脂層を設ける工程、インク供給
口が設けられた構造体を被覆樹脂層と貼り合わせる工
程、被覆樹脂層の液室となる箇所にパターンを形成する
工程、除去可能層を除去する工程を有する液体噴射記録
ヘッドの製造方法に於いて、前記インク供給口が設けら
れた構造体として、その構造体の被覆樹脂層と接する面
側に金属層又は無機質膜又は、有機質膜又は、それらの
混成膜にて光を遮断する層を形成したものを用いること
を特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。 【効果】 液体噴射記録ヘッドの特性決定に重要である
インク流路長を高精度に、かつバラツキを低減して形成
できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インク吐出口と、前記
吐出口に連通するインク流路と、前記インク流路内に配
置されインクを前記吐出口から吐出するためのエネルギ
ーを発生する吐出発生素子とを有する液体噴射記録ヘッ
ドの製造方法、この製造方法によって製造された液体噴
射記録ヘッドおよびこの液体噴射記録ヘッドを備えてな
る記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録方法（液体噴射記録
方法）で用いられる液体噴射記録ヘッドは、一般に、イ
ンクが吐出する微小な吐出口、この吐出口に連通するイ
ンク流路、インク流路内に配置されインクを吐出するた
めのエネルギーを発生する吐出エネルギー発生素子とを
備えている。吐出エネルギー発生素子としては、圧電素
子や電気熱変換体などが使用される。

【０００３】従来このような液体噴射記録ヘッドは、例
えばガラスや金属などの板を用い、その板に切削あるい
はエッチングなどの加工を施してインク流路に相当する
微小な溝を形成し、この板と所定の位置に吐出エネルギ
ー発生素子を予め設けた別の基板とを位置合わせして貼
り合わせることによって製造されていた。この場合、イ
ンク流路に対応する溝の末端であって外部に開口してい
るところが吐出口となる。しかしながらこの従来の液体
噴射記録ヘッドでは、インク流路に対応する溝を切削加
工で形成する場合に溝の内壁面の荒れが大きく、又エッ
チングで溝を形成する場合にエッチング率の差により溝
に歪みが生じる等、流れ抵抗が一定なインク流路が得難
く、記録特性にばらつきが生じやすいという問題点があ
った。

【０００４】特開昭６２−１５４９４７号公報には改良
された方法が開示されている。すなわち予め吐出エネル
ギー発生素子の形成されている基板を用い、この基板上
のインク流路が形成されるべき位置に、フォトリソグラ
フィーなどにより、除去可能な部材からなる層を設け、
この層を覆うようにして前記基板上に樹脂層を設け、さ
らに該被覆樹脂層上部にガラス板を配し、その後前記除
去可能な部材からなる層を除去する方法である。インク
流路は、前記除去可能層を除去することにより形成され
るので、この方法を用いることにより、位置合わせの困
難さや、インク流路の内壁面の荒れによる流れ抵抗のば
らつき等の問題点は解決することが可能となる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】液体噴射記録ヘッドの
特性を大きく左右する因子として、インク流路の長さが
ある。特開昭６２−１５４９４７に開示されている方法
においては液室の形成は、除去可能層を覆っている被覆
樹脂層が、その上部に配されたガラス板を介して露光さ
れ、該露光された潜像を現像により除去することにより
達成される。ここで、インク流路の長さは、液室を形成
する工程で同時に決定される。上部に配するガラス板に
は、既述の露光工程の際に、ガラス板の厚みの影響をな
くすために切削加工により溝が形成され、該溝に遮光用
の樹脂が注入されている。しかしながら、該ガラス板に
はインク供給口は形成されていない。本発明に用いるよ
うなインク供給口の配された構造体に新たに樹脂注入用
溝を形成し、さらに微細な領域に樹脂を注入することは
高度な技術を要し、前例がない。

【０００６】又、前記方法で液室さらにはインク流路長
を決定する箇所を形成すると、インク流路長が精度よく
決定されず又、バラツキが大きくなってしまう。

【０００７】本発明の目的は、被覆樹脂層上部に配する
インク供給口が形成された構造体に、切削加工等を用い
る事なく容易に光を遮断する層を形成した構造体を用い
る液体噴射記録ヘッドの製造方法と、該製造方法によ
り、インク流路長が高精度に決定されかつ、バラツキの
少ない安定した液体噴射記録ヘッドおよびこのヘッドを
備えてなる記録装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、吐出エネルギ
ー発生素子が予め設けられた基板の、インク流路及びイ
ンク吐出口が形成される位置に除去可能層を積層する工
程、該除去可能層を覆うように前記基板の表面に被覆樹
脂層を設ける工程、インク供給口が設けられた構造体を
被覆樹脂層と貼り合わせる工程、被覆樹脂層の液室とな
る箇所にパターンを形成する工程、除去可能層を除去す
る工程を有する液体噴射記録ヘッドの製造方法に於い
て、前記インク供給口が設けられた構造体として、その
構造体の被覆樹脂層と接する面側に金属層又は無機質膜
又は、有機質膜又は、それらの混成膜にて、光を遮断す
る層を形成したものを用いることを特徴とするものであ
る。

【０００９】本発明の液体噴射記録ヘッドは、上記の製
造方法によって製造され、本発明の記録装置はこのヘッ
ドを備えてなる記録装置である。

【００１０】

【作用】被覆樹脂層と貼り合わせるインク供給口が設け
られた構造体として、被覆樹脂層と接する面側に形成す
る光を遮断する層を金属膜又は有機質膜等で構成するこ
とにより、微細な領域における切削加工等を導入する必
要がなく、又、切削加工では直線的な加工に限られる
が、本発明により自由な形状の光を遮断する層を形成す
ることが可能となる。

【００１１】さらに、金属膜又は有機質膜による光を遮
断する層の構成方法を選択することにより、その精度は
半導体デバイスの加工精度と同レベルで構成が可能であ
り、従来の切削加工、樹脂注入の構成に比して、より高
精度な光遮断層の形成が可能となる。従って、前記イン
ク流路長の精度の向上及び各インク流路長間でのばらつ
きの低減が可能となる。

【００１２】次に、図面を参照して本発明を詳細に説明
する。

【００１３】図１に、本発明の製造方法によって作製し
た液体噴射記録ヘッドの斜視図を示す。図に、本発明に
よる製造方法の工程フロー図の一例を示す。図におい
て、基板１は液流路構成部材の一部として、又後述のイ
ンク流路及びインク吐出口を形成する材料層の支持体と
して機能する。この機能を有するものであれば使用材料
は特に限定することはないが通常ガラス、セラミック
ス、金属等が用いられる。上記基板上には、電気熱変換
素子あるいは圧電素子等の液体吐出エネルギー発生素子
（図示せず）が所望の個数配置される。このような液体
吐出エネルギー発生素子によって記録液小滴を吐出させ
るための吐出エネルギーがインクに与えられ、記録が行
われる。これらの素子には、これらの素子を動作させる
ための制御信号入力用電極（図示せず）が形成されてい
る。

【００１４】次に、図２に沿って本発明による製造方法
の原理を説明する。上述の素子が配置された基板１のイ
ンク流路となる箇所に除去可能層５にてパターンを形成
する（図２Ｂ）。該パターン形成された除去可能層５の
上層に被覆樹脂層６を塗布する（図２Ｃ）。

【００１５】一方、インク供給口の設けられている構造
体２には、この構造体の、被覆樹脂層６と接する面側
に、例えばスパッタリング法、蒸着法、ロールコート法
等膜の材料に応じた種々の方法で、光遮断層となる膜を
形成する（図２ｂ）。この説明図では、最も複雑であ
る、光遮断層を金属膜とする場合を示した。次に、光遮
断層３を所望の形にパターン形成する為にレジスト層４
を塗布し、パターン形成する（図２ｃ）。その後、レジ
スト層４を介して光遮断層３の一部をエッチングにより
除去し、さらに、レジスト層４を剥離することにより、
光遮断層３１の設けられた構造体が完成する（図２
ｄ）。この光遮断層を設けたインク供給口付構造体２
を、被覆樹脂層６の塗布された基板１と位置合わせをし
た後、貼り合わせ、液室形成用マスク７を介して露光す
る（図２Ｄ）。ここで、液室形成用マスク７の寸法は、
前記光遮断層パターン３１の寸法と同等もしくは、小さ
くする必要がある。最後に、前工程により形成された潜
像を、現像除去することによりインク流路および液室が
形成され液体噴射記録ヘッドの基本構造が完成する（図
２Ｅ）。以上の工程を実施することにより、高精度にイ
ンク流路長を決定することができかつ、各インク流路長
間の寸法バラツキを少なくすることを可能とした。

【００１６】この発明で用いる光遮断層の材料は、被覆
樹脂層６の感光波長領域の光を遮断する材料であること
が必要かつ十分な条件である。材料を金属とした場合の
形成方法としては、スパッタリング、蒸着、メッキ等の
方法が適用できる。材料を有機質膜とする場合は、ラミ
ネート法、ロールコート法、印刷法等が適用できる。具
体的な材料としては金属では、Ｃｒが一般的である。有
機質膜の場合、感光波長域に注意を要するが、金属フィ
ラー（たとえばＡｇ）等を混合したペースト等の印刷が
一般的である。

【００１７】なお上記説明においては、インク供給口が
設けられた場合について記述したが、もちろんインク供
給口の存在しない構造体２を用いた場合においても、本
発明の製造方法を適用することは可能である。

【００１８】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも、熱エネルギーを利用して飛翔液滴を形成し、記
録を行うインクジェット記録方式の記録ヘッド、記録装
置に於いて、優れた効果をもたらすものである。

【００１９】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されており、本発明はこれらの基
本的な原理を用いて行うものが好ましい。この記録方式
は所謂オンデマンド型、コンティニュアス型のいずれに
も適用可能である。

【００２０】この記録方式を簡単に説明すると、液体
（インク）が保持されているシートや液路に対応して配
置されている電気熱変換体に、記録情報に対応して液体
（インク）に核沸騰現象を越え、膜沸騰現象を生じる様
な急速な温度上昇を与えるための少なくとも一つの駆動
信号を印加することによって、熱エネルギーを発生せし
め、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせる。この
様に液体（インク）から電気熱変換体に付与する駆動信
号に一対一対応した気泡を形成できるため、特にオンデ
マンド型の記録法には有効である。この気泡の成長、収
縮により吐出孔を介して液体（インク）を吐出させて、
少なくとも一つの滴を形成する。この駆動信号をパルス
形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が行なわれる
ので、特に応答性に優れた液体（インク）の吐出が達成
でき、より好ましい。このパルス形状の駆動信号として
は、米国特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５
２６２号明細書に記載されているようなものが適してい
る。尚、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国
特許第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を
採用すると、更に優れた記録を行なうことができる。

【００２１】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出孔、液流路、電気熱変換
体を組み合わせた構成（直線状液流路又は直角液流路）
の他に、米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許
第４４５９６００号明細書に開示されている様に、熱作
用部が屈曲する領域に配置された構成を持つものも本発
明に含まれる。

【００２２】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出孔とする構成を開
示する特開昭５９年第１２３６７０号公報や熱エネルギ
ーの圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を
開示する特開昭５９年第１３８４６１号公報に基づいた
構成においても本発明は有効である。

【００２３】さらに、本発明が有効に利用される記録ヘ
ッドとしては、記録装置が記録できる記録媒体の最大幅
に対応した長さのフルラインタイプの記録ヘッドがあ
る。このフルラインヘッドは、上述した明細書に開示さ
れているような記録ヘッドを複数組み合わせることによ
ってフルライン構成にしたものや、一体的に形成された
一個のフルライン記録ヘッドであっても良い。

【００２４】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効で
ある。

【００２５】又、本発明の記録装置に、記録ヘッドに対
する回復手段や、予備的な補助手段等を付加すること
は、本発明の記録装置を一層安定にすることができるの
で好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、記
録ヘッドに対しての、キャッピング手段、クリーニング
手段、加圧或は吸引手段、電気熱変換体或はこれとは別
の加熱素子、或はこれらの組み合わせによる予備加熱手
段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出モードを行なう
手段を付加することも安定した記録を行なうために有効
である。

【００２６】更に、記録装置の記録モードとしては黒色
等の主流色のみを記録するモードだけではなく、記録ヘ
ッドを一体的に構成したものか、複数個の組み合わせて
構成したものかのいずれでも良いが、異なる色の複色カ
ラー又は、混色によるフルカラーの少なくとも一つを備
えた装置にも本発明は極めて有効である。

【００２７】以上説明した本発明実施例においては、液
体インクを用いて説明しているが、本発明では室温で固
体状であるインクであっても、室温で軟化状態となるイ
ンクであっても用いることができる。上述のインクジェ
ット装置ではインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲
内で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあ
るように温度制御するものが一般的であるから、使用記
録信号付与時にインクが液状をなすものであれば良い。

【００２８】加えて、熱エネルギーによるヘッドやイン
クの過剰な昇温をインクの固形状態から液体状態への状
態変化のエネルギーとして使用せしめることで積極的に
防止するか又は、インクの蒸発防止を目的として放置状
態で固化するインクを用いることも出来る。いずれにし
ても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイン
クが液化してインク液状として吐出するものや記録媒体
に到達する時点ではすでに固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質を
持つインクの使用も本発明には適用可能である。

【００２９】このようなインクは、特開昭５４−５６８
４７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報に記
載されるような、多孔質シートの凹部又は貫通孔に液状
又は固形物として保持された状態で、電気熱変換体に対
して対向するような形態としても良い。

【００３０】本発明において、上述した各インクにたい
して最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行する
ものである。

【００３１】図５は本発明により得られた記録ヘッドを
インクジェットヘッドカートリッジ（ＩＪＣ）として装
着したインクジェット記録装置（ＩＪＲＡ）の一例を示
す外観斜視図である。

【００３２】図において、２０はプラテン２４上に送紙
されてきた記録紙の記録面に対向してインク吐出を行な
うノズル群を具えたインクジェットヘッドカートリッジ
（ＩＪＣ）である。１６はＩＪＣ２０を保持するキャリ
ッジＨＣであり、駆動モータ１７の駆動力を伝達する駆
動ベルト１８の一部と連結し、互いに平行に配設された
２本のガイドシャフト１９Ａおよび１９Ｂと摺動可能と
することにより、ＩＪＣ２０の記録紙の全幅にわたる往
復移動が可能となる。

【００３３】２６はヘッド回復装置であり、ＩＪＣ２０
の移動経路の一端、例えばホームポジションと対向する
位置に配設される。伝動機構２３を介したモータ２２の
駆動力によって、ヘッド回復装置２６を動作せしめ、Ｉ
ＪＣ２０のキャッピングを行なう。このヘッド回復装置
２６のキャップ部２６ＡによるＩＪＣ２０へのキャッピ
ングに関連させて、ヘッド回復装置２６内に設けた適宜
の吸引手段によるインク吸引もしくはＩＪＣ２０へのイ
ンク供給経路に設けた適宜の加圧手段によるインク圧送
を行い、インクを吐出口より強制的に排出させることに
よりノズル内の増粘インクを除去する等の吐出回復処理
を行なう。また、記録終了時等にキャッピングを施すこ
とによりＩＪＣが保護される。

【００３４】３０はヘッド回復装置２６の側面に配設さ
れ、シリコンゴムで形成されるワイピング部材としての
ブレードである。ブレード３１はブレード保持部材３１
Ａにカンチレバー形態で保持され、ヘッド回復装置２６
と同様、モータ２２および伝動機構２３によって動作
し、ＩＪＣ２０の吐出面との係合が可能となる。これに
より、ＩＪＣ２０の記録動作における適切なタイミング
で、あるいはヘッド回復装置２６を用いた吐出回復処理
後に、ブレード３１をＩＪＣ２０の移動経路中に突出さ
せ、ＩＪＣ２０の移動動作に伴なってＩＪＣ２０の吐出
面における結露、濡れあるいは塵埃等をふきとるもので
ある。

【００３５】次に、本発明の実施例について、図面を参
照して説明する。

【００３６】

【実施例】

［実施例１］光遮断層３として、Ａｌ薄膜を用いた例を
図２を用いて説明する。予め、吐出エネルギー発生素子
が形成されているシリコンウェハーを基板１として用い
た。まず、除去可能層５として、厚さ２０μｍのヘキス
ト社製ポジ型フォトレジストＡＺ４９０３を用い、基板
１の全面にスピンコーターを用いて塗布し、９０℃１０
分間のプリベークを行い、その後露光現像することによ
り、除去可能層５を基板１の吐出口とインク流路となる
べき位置に形成した（図２Ｂ）。次に、この除去可能層
５の上層に被覆樹脂層６をスピンコートにて形成する。

【００３７】被覆樹脂層としては、エポキシ樹脂を主剤
とし感光剤を添加した樹脂を用いた。感光剤は液室をフ
ォトリソグラフィーで形成する為に添加されたものであ
る（図２Ｃ）。

【００３８】一方、構造体２としては、ガラス板を用い
た。まず、ガラス板２に、Ａｌ薄膜をスパッタリング法
により、１μｍの厚さに形成する（図２ｂ）。成膜され
たＡｌ膜に、液室形成用マスクの一部となるパターンを
形成する為にＡｌ膜の表面にレジストパターンを形成す
る。

【００３９】前述のように、構造体２となるガラス板に
はインク供給口８が開口されている為、通常のポジ型レ
ジスト等をスピンコートで塗布するのは困難である。そ
こで、レジスト層の代用として東京応化製ネガ型ドライ
フィルムＳＹ３５５をラミネートし、この膜をパターニ
ングすることによりレジスト層とした。次にＡｌ膜をリ
ン酸・硝酸・酢酸の混酸でエッチングしてＡｌ膜にパタ
ーンを形成する（図２ｃ）。ドライフィルム層を東京応
化製剥離液５０２Ａを１３０℃に熱した液中で１０分間
処理してドライフィルムを除去し、光を遮断する層３１
の形成された構造体２が完成する。次に、光遮断層３１
の形成された構造体２と、被覆樹脂層６の塗布された基
板１を位置合わせした後に真空中に於いて貼り合わせ
る。真空中で貼り合わせるのは、貼り合わせ時の界面へ
の泡の混入を防ぐ為である。図にも示したようにインク
供給口８の部分には、薄膜を形成することは不可能であ
る為液室形成用の潜像を作る際には、インク供給口部を
遮光する為のマスク７が必要である。このマスクの寸法
は前述したＡｌ薄膜による光遮断層３１の端部と同一も
しくは、小さな寸法とする。マスク７と、Ａｌ薄膜によ
る光遮断層３１を併用することにより高精度にインク流
路長を決定できる。上記マスク７及び光遮断層３１を介
して露光した後、１，１，１−トリクロロエタンによ
り、未露光部（Ａｌ膜３１及びマスク７の下部）の被覆
樹脂層６を現像除去して、図１に示すような液体噴射記
録ヘッドが完成する（図２Ｅ）。 ［実施例２］光遮断層３１として、Ａｇ入りエポキシ系
ペーストによる厚膜を用いた例を図３に示す。

【００４０】まず、インク供給口８の設けられたガラス
板（構造体）２に、光遮断層３１となる箇所に、アミコ
ン社製Ａｇ入りエポキシ系ペーストＣ−９９０をスクリ
ーン印刷法を用いてパターン形成する（図３ｂ）。尚、
スクリーン印刷法を用いる場合、その印刷精度は、実施
例１で示したフォトリソグラフィーによるパターン形成
法よりも悪くなるのはやむを得ない。ペーストを全面印
刷した後、実施例１で示したように、フォトリソグラフ
ィーでパターン形成する方法で精度向上を試みた例もあ
るが一般的ではない。以下、実施例１と同様の工程を実
施することにより液体噴射記録ヘッドが完成する（図３
Ｅ）。 ［実施例３］光遮断層３１として、ポジ型レジストをロ
ールコート法にて塗布し、パターニングした例を図４に
示す。まず、構造体となるインク供給口８の設けられた
ガラス板２に、東京応化製ポジ型フォトレジストＯＦＰ
Ｒ−８００を、ロールコート法にて塗布する。既に述べ
た様にインク供給口が設けられている為スピンコート法
を用いるのは難しい為、ロールコート法にて塗布した。
膜厚は〜５μｍである（図４ｂ）。次に、液室形成用フ
ォトマスクを用いて前記ガラス板上のＯＦＰＲ−８００
の膜にパターンを形成する（図４ｃ）。

【００４１】このパターンを光遮断層３１として用い、
実施例１と同様の工程を実施して液体噴射記録ヘッドが
完成する（図４Ｅ）。

【００４２】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、液体噴射
記録ヘッドの製造方法に於いて、構造体の一部となる被
覆樹脂層と貼り合わせるインク供給口が設けられた構造
体の、被覆樹脂層と接する面側に、光を遮断する層を金
属膜、無機質膜、有機質膜又はそれらの混成膜によって
形成し、かつ、この光を遮断する層の設けられた構造体
と、液室マスクを併用することにより、液体噴射記録ヘ
ッドの特性決定に際し、重要であるインク流路長を、従
来法以上に、より高精度に、かつ、バラツキを低減して
形成できる、という効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の方法により製造される液体噴射記録ヘ
ッドの一例の斜視図である。

【図２】本発明の方法によって液体噴射記録ヘッドを製
造する工程を例示し、かつ実施例１を説明する図であ
る。

【図３】実施例２における液体噴射記録ヘッドの製造方
法を説明する図である。

【図４】実施例３における液体噴射記録ヘッドの製造方
法を説明する図である。

【図５】本発明に係る液体噴射記録ヘッドを備えた記録
装置の一例を示す斜視図である。

【符号の説明】

１ 基板 ２ 構造体 ３，３１ 光遮断層 ４ レジスト層 ５ 除去可能層 ６ 被覆樹脂層 ７ 液室形成用マスク ８ インク供給口 ９ インク吐出口 １０ インク流路 １６ キャリッジ １７ 駆動モータ １８ 駆動ベルト １９Ａ，１９Ｂ ガイドシャフト ２０ インクジェットヘッドカートリッジ ２２ クリーニング用モータ ２３ 伝動機構 ２４ プラテン ２６ キャップ部材 ３０ ブレード ３０Ａ ブレード保持部材

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 吐出口と、前記吐出口に連通するインク
   流路と、前記インク流路内に配置されインクを前記吐出
   口から吐出するためのエネルギーを発生する吐出エネル
   ギー発生素子を有する液体噴射記録ヘッドで、 前記吐出エネルギー発生素子が予め表面に設けられた基
   板を用い、前記インク流路と前記吐出口とが形成される
   位置の前記基板上に、除去可能層を積層する工程と、前
   記除去可能層を覆うように前記基板の表面に被覆樹脂層
   を設ける工程と、インク供給口が設けられた構造体を被
   覆樹脂層とはり合わせる工程と、被覆樹脂層の液室とな
   る箇所にパターンを形成する工程と、除去可能層を除去
   する工程を有する製造方法に於いて、 前記インク供給口が設けられた構造体の被覆樹脂層と接
   する面側に、光を遮断する層を設けることを特徴とす
   る、液体噴射記録ヘッドの製造方法。
2. 【請求項２】 光を遮断する層が金属層、無機質層、有
   機質層又はその混成膜であることを特徴とする請求項１
   記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。
3. 【請求項３】 光を遮断する層が有機質膜でありかつ、
   該有機質膜の感光波長域が、前記被覆樹脂層の感光波長
   域と異なることを特徴とする請求項１記載の液体噴射記
   録ヘッドの製造方法。
4. 【請求項４】 請求項１記載の液体噴射記録ヘッドの製
   造方法によって製造された液体噴射記録ヘッド。
5. 【請求項５】 インク吐出エネルギー発生素子が電気エ
   ネルギーを与えることによって発熱し、インクに状態変
   化を生ぜしめて吐出を行わせるための電気熱変換体であ
   る請求項４記載の液体噴射記録ヘッド。
6. 【請求項６】 記録媒体の記録領域の全幅にわたって吐
   出口が複数設けられているフルラインタイプのものであ
   ることを特徴とする請求項４記載の液体噴射記録ヘッ
   ド。
7. 【請求項７】 記録媒体の被記録面に対向してインクを
   吐出するインク吐出口が設けられている請求項４に記載
   の記録ヘッドと、該記録ヘッドを載置するための部材と
   を少なくとも具備することを特徴とする記録装置。